JP2011187490A - 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のノズル、第2のノズルを備えた液処理装置を構成する。この液処理装置において、通常時は、第1のカップ群と第2のカップ群との間で交互に基板を受け渡し、両カップ群においてカップが順番に使用されるように基板搬送機構を制御すると共に、基板保持部、処理液供給系またはノズル支持機構が使用できない状態になったことにより第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちの使用可能なカップにより基板を処理するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動する。
【選択図】図1
Description
前記基板保持部がその内部に配置され、左右方向に一列に配列された2n(nは2以上の整数)個のカップと、
通常時は第1のカップ群をなす左側n個のカップのみに対して共通に使用される第1のノズルと、
この第1のノズルを支持し、当該ノズルが2n個全部に対して使用可能なように左右方向に移動自在な第1のノズル支持機構と、
通常時は第2のカップ群をなす右側n個のカップのみに対して共通に使用される第2のノズルと、
この第2のノズルを支持し、当該ノズルが2n個全部に対して使用可能なように左右方向に移動自在な第2のノズル支持機構と、
基板を基板保持部に受け渡すための基板搬送機構と、
通常時は、第1のカップ群と第2のカップ群との間で交互に基板を受け渡し、両カップ群においてカップが順番に使用されるように基板搬送機構を制御すると共に、基板保持部、処理液供給系またはノズル支持機構が使用できない状態になったことにより第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちの使用可能なカップにより基板を処理するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
例えば手動モードを選択したときには、一方のカップ群のうちオペレータにより指定されたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力し、自動モードを選択したときには、一方のカップ群の中からその状態に応じて予め決められたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力する。
通常時に、前記基板保持部がその内部に配置され、左右方向に一列に配列された2n(nは2以上の整数)個のカップのうち、第1のカップ群をなす左側n個のカップのみに対して共通に使用される第1のノズルから処理液を供給する工程と、
通常時に、前記2n個のカップのうち、第2のカップ群をなす右側n個のカップのみに対して共通に使用される第2のノズルから処理液を供給する工程と、
通常時は、両カップ群においてカップが順番に使用されるように、基板搬送機構により第1のカップ群の基板保持部と第2のカップ群の基板保持部との間で交互に基板を受け渡す工程と、
基板保持部、処理液供給系またはノズル支持機構が使用できない状態になったことにより第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちの使用可能なカップにより基板を処理するために、他方のカップ群を受け持つ第1のノズルまたは第2のノズルを左右方向に移動させる工程と、
を含むことを特徴とする液処理方法。
前記コンピュータプログラムは、上述の液処理方法を実施するためのものであることを特徴とする。
上記の設定を行ったときに、装置1で処理中のロットAについては、上記の通常状態で処理される。そして、ロットAの処理が終わると、ノズルアーム4がノズルバス6の待機領域61内で処理液を吐出し、処理液供給ラインの洗浄が行われる。その間、図9に示すように後続のロットBのウエハBは、塗布処理部11c、11dに交互に搬送され、ノズルアーム5がこれらのウエハBに処理を行う。メンテナンスが終わると、次に搬送されるロットのウエハから、既述のノズルアーム4、5及び塗布処理部11a〜11dを用いた通常状態での処理が再開される。
上記の設定を行ったときに、装置1で処理中のロットAについては、通常状態で処理される。そして、ロットAの処理が終わると、ノズルアーム4がノズルバス6の待機領域61内で待機する。そして、図10に示すように後続のロットBのウエハBは、塗布処理部11a〜11dに通常状態と同様の順番で搬送されるが、通常状態と異なりノズルアーム5のみが、これらのウエハBに処理を行う。このようにロットBの処理が行われている間に、オペレータは、ノズルアーム4の部品の交換などのメンテナンス作業を行う。メンテナンスが終わると、例えばオペレータが操作画面95から所定の設定を行い、次に搬送されるロットのウエハから通常状態での処理が再開される。
設定が行われると、制御部90はノズルアーム4を停止させ、その位置が待機領域61であるか否かを判定する。待機領域61以外の領域に位置していると判定した場合、この判定時以降、装置1に搬送されるウエハAは、塗布処理部11c、11dに交互に搬送され、ノズルアーム5により処理される。図11では、ウエハA5が塗布処理部11aに搬送された後にトラブル個所の設定及び前記判定が行われ、ウエハA6以降のウエハAを上記のように塗布処理部11c、11dへ搬送し、ノズルアーム5で処理する例について示している。
設定が行われると、基板搬送機構10は、新たに装置1に搬入するウエハAを、塗布処理部11b〜11dのうち、早くウエハAの処理を終えたものに順次搬送し、以降はこの順番で、繰り返し塗布処理部11b〜11dにウエハAが搬送される。塗布処理部11bに搬送されたウエハの処理はノズルアーム4が行い、塗布処理部11c、11dに搬送されたウエハの処理はノズルアーム5が行う。図13の上段では、ロットAのウエハA6が塗布処理部11cに搬送された後に上記の設定が行われたときのウエハWの搬送状況を示している。
上記のように設定が行われると、基板搬送機構10は、装置1で処理中のロットAの後続のウエハAを、塗布処理部11a、11c、11dのうち、早くウエハWの処理を終えたものに順次搬送し、以降はこの順番で、繰り返し塗布処理部11a、11c、11dにウエハWが搬送される。塗布処理部11aに搬送されたウエハの処理はノズルアーム4が行い、塗布処理部11c、11dに搬送されたウエハの処理はノズルアーム5が行う。図14では、ロットAのウエハA3が塗布処理部11bに搬送された後に上記の設定が行われたときの搬送例を示している。
11a、11b、11c、11d 塗布処理部
12a、12b、12c、12d スピンチャック
21a、21b、21c、21d カップ
34 レジスト供給ノズル
4、5 ノズルアーム
41、51 ノズル支持機構
6、7 ノズルバス
61、71 待機領域
90 制御部
Claims (8)
- カップ内の基板保持部に基板を水平に保持し、処理液供給系からノズルを介してその上方から基板に処理液を供給して基板に対し液処理を行う装置において、
前記基板保持部がその内部に配置され、左右方向に一列に配列された2n(nは2以上の整数)個のカップと、
通常時は第1のカップ群をなす左側n個のカップのみに対して共通に使用される第1のノズルと、
この第1のノズルを支持し、当該ノズルが2n個全部に対して使用可能なように左右方向に移動自在な第1のノズル支持機構と、
通常時は第2のカップ群をなす右側n個のカップのみに対して共通に使用される第2のノズルと、
この第2のノズルを支持し、当該ノズルが2n個全部に対して使用可能なように左右方向に移動自在な第2のノズル支持機構と、
基板を基板保持部に受け渡すための基板搬送機構と、
通常時は、第1のカップ群と第2のカップ群との間で交互に基板を受け渡し、両カップ群においてカップが順番に使用されるように基板搬送機構を制御すると共に、基板保持部、処理液供給系またはノズル支持機構が使用できない状態になったことにより第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちの使用可能なカップにより基板を処理するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記制御部は、第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちオペレータにより指定されたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記制御部は、第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群の中からその状態に応じて予め決められたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記制御部は、第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、手動モードと自動モードとを選択できるように構成され、
手動モードを選択したときには、一方のカップ群のうちオペレータにより指定されたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力し、自動モードを選択したときには、一方のカップ群の中からその状態に応じて予め決められたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルが移動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項2または3記載の液処理装置。 - カップ内の基板保持部に基板を水平に保持し、処理液供給系からノズルを介してその上方から基板に処理液を供給して基板に対し液処理を行う液処理方法において、
通常時に、前記基板保持部がその内部に配置され、左右方向に一列に配列された2n(nは2以上の整数)個のカップのうち、第1のカップ群をなす左側n個のカップのみに対して共通に使用される第1のノズルから処理液を供給する工程と、
通常時に、前記2n個のカップのうち、第2のカップ群をなす右側n個のカップのみに対して共通に使用される第2のノズルから処理液を供給する工程と、
通常時は、両カップ群においてカップが順番に使用されるように、基板搬送機構により第1のカップ群の基板保持部と第2のカップ群の基板保持部との間で交互に基板を受け渡す工程と、
基板保持部、処理液供給系またはノズル支持機構が使用できない状態になったことにより第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちの使用可能なカップにより基板を処理するために、他方のカップ群を受け持つ第1のノズルまたは第2のノズルを左右方向に移動させる工程と、
を含むことを特徴とする液処理方法。 - 第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群のうちオペレータにより指定されたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルを移動させる工程を含むことを特徴とする請求項5記載の液処理方法。
- 第1のカップ群及び第2のカップ群の一方において基板の処理ができない状態になったときに、当該一方のカップ群の中からその状態に応じて予め決められたカップを使用するために、他方のカップ群を受け持つノズルを移動させる工程を含むことを特徴とする請求項5記載の液処理方法。
- 基板に対して液処理を行う液処理装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項5または7のいずれか一つに記載の液処理方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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