JP4401879B2 - 基板の回収方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
2 カセットステーション
3 処理ステーション
30 第1の搬送ユニット
31 第2の搬送ユニット
160 制御部
W ウェハ
Claims (14)
- 基板を搬入出するための搬入出部と,基板を処理する複数の処理ユニットを備えた処理部と,前記搬入出部から搬入された基板を前記処理部の処理ユニットに順次搬送し,前記処理部において所定の処理の施された基板を前記搬入出部に戻すことができる基板搬送手段とを備えた基板処理装置において,前記基板処理装置内の基板を搬入出部に回収する方法であって,
正常時には,前記搬入出部に搬入された基板を前記基板搬送手段によって前記複数の処理ユニットに対し所定の搬送順路に従って搬送し,
トラブルが発生した場合には,前記処理部の処理ユニット内にある基板を,前記基板搬送手段によって,前記所定の搬送順路によらず,各基板の位置から前記搬入出部の方向に向けて,かつ前記搬入出部により近い空の処理ユニットに搬送し,基板処理装置内にある総ての基板を前記搬入出部に回収することを特徴とする,基板の回収方法。 - 基板を搬入出するための搬入出部と,基板を処理する複数の処理ユニットを備えた処理部と,前記搬入出部から搬入された基板を前記処理部の処理ユニットに順次搬送し,前記処理部において所定の処理の施された基板を前記搬入出部に戻すことができる基板搬送手段とを備えた基板処理装置において,前記基板処理装置内の基板を搬入出部に回収する方法であって,
トラブルが発生した場合に,トラブル発生の原因となった処理ユニット内にある基板を回収せず,他の総ての基板を前記基板搬送手段によって前記搬入出部に回収し,
前記トラブル発生の原因となった処理ユニット内にある基板については,トラブルが解消した後に前記基板搬送手段を用いて回収することを特徴とする,基板の回収方法。 - 正常時には,前記搬入出部に搬入された基板を前記基板搬送手段によって前記複数の処理ユニットに対し所定の搬送順路に従って搬送し,
トラブルが発生した場合には,基板処理装置内の基板を前記基板搬送手段によって,前記所定の搬送順路によらず,各基板の位置から前記搬入出部の方向に向けて搬送することを特徴とする,請求項2に記載の基板の回収方法。 - トラブルが発生した場合には,前記処理部の処理ユニット内にある基板を,前記基板搬送手段によって前記搬入出部により近い空の処理ユニットに搬送することを特徴とする,請求項3に記載の基板の回収方法。
- 前記空の処理ユニットが複数ある場合には,基板を当該基板から最も近い空の処理ユニットに搬送することを特徴とする,請求項1又は4のいずれかに記載の基板の回収方法。
- 前記処理部に備えられた液処理ユニットにおいて液処理を施されている基板については,当該液処理を終了し,乾燥してから回収することを特徴とする,請求項1,2,3,4又は5のいずれかに記載の基板の回収方法。
- 前記処理部に備えられた熱処理ユニットにおいて加熱処理が施されている基板については,当該加熱処理を終了し,冷却してから回収することを特徴とする,請求項1,2,3,4,5又は6のいずれかに記載の基板の回収方法。
- 基板を搬入出するための搬入出部と,基板を処理する複数の処理ユニットを備えた処理部と,前記搬入出部から搬入された基板を前記処理部の処理ユニットに順次搬送し,前記処理部において所定の処理の施された基板を前記搬入出部に戻すことができる基板搬送手段とを筺体内に備えた基板処理装置であって,
トラブルが発生した場合に,筺体内の総ての基板を前記基板搬送手段によって前記搬入出部に回収する基板回収制御部を備え,
前記基板搬送手段は,正常時には,前記複数の処理ユニットに対し所定の搬送順路に沿って基板を搬送しており,
前記基板回収制御部は,トラブルが発生した場合には,前記基板搬送手段によって,前記処理部の処理ユニット内にある基板を,前記所定の搬送順路によらず各基板の位置から前記搬入出部の方向に向けて,かつ前記搬入出部により近い空の処理ユニットに搬送させることを特徴とする,基板処理装置。 - 基板を搬入出するための搬入出部と,基板を処理する複数の処理ユニットを備えた処理部と,前記搬入出部から搬入された基板を前記処理部の処理ユニットに順次搬送し,前記処理部において所定の処理の施された基板を前記搬入出部に戻すことができる基板搬送手段とを筺体内に備えた基板処理装置であって,
トラブルが発生した場合に,筺体内の総ての基板を前記基板搬送手段によって前記搬入出部に回収する基板回収制御部を備え,
前記基板回収制御部は,トラブル発生時には,トラブル発生の原因となった処理ユニット内にある基板を回収せず,他の総ての基板を回収し,前記トラブル発生の原因となった処理ユニット内にある基板については,トラブルが解消した後に前記基板搬送手段によって回収することを特徴とする,基板処理装置。 - 前記基板搬送手段は,正常時には,前記複数の処理ユニットに対し所定の搬送順路に沿って基板を搬送しており,
前記基板回収制御部は,トラブルが発生した場合には,前記基板搬送手段によって,前記筺体内の基板を,前記所定の搬送順路によらず各基板の位置から前記搬入出部の方向に向けて搬送させることを特徴とする,請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記基板回収制御部は,トラブルが発生した場合には,前記処理部の処理ユニット内にある基板を,前記基板搬送手段によって前記搬入出部により近い空の処理ユニットに搬送させることを特徴とする,請求項10に記載の基板処理装置。
- 前記基板回収制御部は,前記空の処理ユニットが複数ある場合には,前記基板搬送手段によって,前記基板を当該基板から最も近い空の処理ユニットに搬送させることを特徴とする,請求項8又は11のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記処理部は,基板に液処理を施す液処理ユニットを有し,
前記基板回収制御部は,トラブル発生時に前記液処理ユニットにおいて液処理が施されている基板を,当該液処理が終了した後に乾燥してから回収することを特徴とする,請求項8,9,10,11又は12のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記処理部は,基板に加熱処理を施す熱処理ユニットを有し,
前記基板回収制御部は,トラブル発生時に前記熱処理ユニットにおいて加熱処理が施されている基板を,当該加熱処理が終了した後に冷却してから回収することを特徴とする,請求項8,9,10,11,12又は13のいずれかに記載の基板処理装置。
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