JP2011146626A - 基板処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】障害から復旧した際、障害発生前の基板処理装置との関係を復元することができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】ウエハ１４を処理する複数の基板処理装置１０と、基板処理装置１０を管理する群管理システム３と、群管理システム３を監視するバックアップシステム４と、を有し、バックアップシステム４は、群管理システム３の動作を監視し、群管理システム３の接続構成を定義する構成情報を利用して、群管理システムに通信異常が発生した場合、基板処理装置１０との通信を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板処理システムに関する。

従来、システムの一部に故障が発生した場合でも稼動を継続できるように、無停止サーバや、複数のサーバによりクラスタ構成として運用する対応がとられている。
無停止サーバは、ＣＰＵや、メモリ、ハードディスク等の部品をそれぞれ２つ以上搭載し、冗長性を持たせ、これらのハードウエア間で同期をとりながら稼動するというものである。しかし、無停止サーバは、非常に高価であり、コスト面での負担が大きい。

クラスタ構成は、障害が発生した時のためのサーバを別に用意するというものである。しかし、クラスタ構成では、障害が発生した際、障害発生時用のサーバに処理を切り替える際に時間がかかり、その間、サーバの稼動が停止する。
また、クラスタ構成では、複数の基板処理装置のデータを、複数の関連するシステムに中継する構成をとる。しかし、障害から復旧した際、障害発生前の基板処理装置と関連するシステムとの関係を復元する構成が実現されていない。

本発明は、障害から復旧した際、障害発生前の基板処理装置との関係を復元することができる基板処理システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、前記基板処理装置を管理する群管理システムと、前記群管理システムを監視する監視システムと、を有し、前記監視システムは、前記群管理システムの動作を監視し、前記群管理システムの接続構成を定義する構成情報を利用して、前記群管理システムに通信異常が発生した場合、前記基板処理装置との通信を行う。

本発明によれば、障害から復旧した際、障害発生前の基板処理装置との関係を復元することができる基板処理システムを提供することができる。

本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜視図を示す。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図を示す。 ＰＭＣを中心とした基板処理装置の機能構成を示す。 端末装置のハードウエア構成を示す図である。 基板処理システムにおいて互いに通信を行うハードウエアを示す図である。 構成管理装置に記憶されている構成情報を例示する図である。 基板処理装置に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する基板処理装置選択画面を例示する図である。 図９（ａ）は、構成管理装置により実行される構成管理プログラムの機能構成を説明する図である。図９（ｂ）は、接続管理装置により実行される接続管理プログラムの機能構成を説明する図である。図９（ｃ）は、データ管理装置により実行されるデータ管理プログラムの機能構成を説明する図である。 監視装置により実行される監視プログラムの機能構成を説明する図である。 端末装置により実行される端末プログラムの機能構成を説明する図である。 接続管理装置の起動時の動作を示すシーケンス図である。 端末装置を用いた基板処理装置に関する情報の閲覧時の動作を示すシーケンス図である。 基板処理システムのシステム構成を管理するシステム管理画面を例示する図である。 群管理システムにおいて障害が発生した際の切り替え動作を説明する図である。 障害時切替動作を示すシーケンス図である。 復旧動作を説明する図である。 復旧動作を示すシーケンス図である。 本発明の他の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。

本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎと、表示手段及び指示手段としての端末装置２と、群管理システム３と、この群管理システム３をバックアップする監視システムとしてのバックアップシステム４とを有する。
群管理システム３には、構成情報を記憶する構成情報記憶装置としての構成管理装置５、通信装置としての接続管理装置６、及び基板処理装置１０に関する情報を格納する装置情報格納装置としてのデータ管理装置７が含まれている。
バックアップシステム４には、構成管理装置５、接続管理装置６、及びデータ管理装置７、及び群管理システム３を監視する監視装置８が含まれている。

なお、群管理システム３及びバックアップシステム４に共通して含まれる構成管理装置５等は同様の構成となっているが、区別のため、例えば、群管理システム３に含まれるものを構成管理装置５ａ、接続管理装置６ａ等のように表記し、バックアップシステム４に含まれるものを構成管理装置５ｂ、接続管理装置６ｂ等のように表記することがある。
また、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。また、基板処理システム１において、基板処理装置１０、端末装置２、構成管理装置５、接続管理装置６、データ管理装置７及び監視装置８のそれぞれを、ハードウエアとも称する。

基板処理装置１０、端末装置２、構成管理装置５、接続管理装置６、データ管理装置７及び監視装置８は、例えばＬＡＮ、ＷＡＮなどのネットワーク１２を介して接続されている。

基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、この手順に基づいて装置内の構成要素の制御を行う。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、障害情報等を含む装置自体の運転状態に関するデータを、ネットワーク１２を介して端末装置２、群管理システム３及びバックアップシステム４に対して送信する。

基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置を適用した実施例について述べる。

端末装置２は、各ハードウエアにより蓄積されている情報を画面に表示し、ユーザに対して情報の提供を行うインタフェースを構成する。より具体的には、端末装置２は、キーボード又はマウスなどを介してユーザの要求を受け付け、当該要求に関する情報がいずれのハードウエアにより蓄積されている情報かを判定し、この判定結果に基づいて、対象のハードウエアから情報を取得し、当該情報を画面に表示する。

構成管理装置５は、基板処理システム１の構成情報を記憶する。構成情報には、各ハードウエアの名称、各ハードウエアの接続構成等が含まれている。構成情報は、接続管理装置６等の他のハードウエアが、自身の役割や他のハードウエアとの関連を認識するために用いられる。また、構成管理装置５は、基板処理システム１全体で共有する情報（共有情報）を蓄積する。共有情報は、基板処理装置１０において発生する発生頻度が少ない情報、又は突発的に発生する情報であり、例えば基板処理装置１０の障害情報やイベント情報などがある。

接続管理装置６は、構成管理装置５に記憶されている構成情報に基づいて、複数の基板処理装置１０の少なくともいずれかとの間で通信を行う。接続管理装置６は、基板処理装置１０からの情報を受信し、他のハードウエアからの要求に応じて、該ハードウエアに対して基板処理装置１０に関する情報を送信する。接続管理装置６は、構成情報が更新された旨の通知を構成管理装置５から受け付けると、更新された構成情報に基づいて、複数の基板処理装置１０及びデータ管理装置７の少なくともいずれかとの間で接続を確立する。

データ管理装置７は、構成管理装置５に記憶されている構成情報に基づいて接続管理装置６と接続される。データ管理装置７は、この接続された接続管理装置６との間で通信を行う基板処理装置１０に関する情報を格納する。データ管理装置７は、基板処理装置１０からの送信されるデータ（イベント情報及びプロセス情報）を、接続管理装置６を介して取得して蓄積する。当該情報は、構成管理装置５に蓄積される情報と比較して、発生頻度が高く、多くのデータを含む情報であり、例えば基板処理装置１０の温度情報、圧力情報等である。

なお、構成管理装置５に記憶されている構成情報、及びハードウエア上で動作するプログラムについては、後で詳述する。

次に、基板処理装置１０の詳細な構成を説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。また、図３は、図２に示す基板処理装置１０の側面透視図を示す。
この基板処理装置１０は、バッチ式縦型半導体製造装置であり、主要部が配置される筺体１１を有する。基板処理装置１０には、例えばシリコンからなる基板としてのウエハ１４を収納した基板収容器としてのフープ（以下、ポッドという）１６が、ウエハキャリアとして使用される。

筺体１１の正面壁１１ａには、ポッド搬入搬出口１８が筺体１１の内外を連通するように開設されており、このポッド搬入搬出口１８はフロントシャッタ２０によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１８の正面前方側には、ロードポート２２が設置されており、このロードポート２２はポッド１６が載置され位置合わせを行うように構成されている。ポッド１６は、図示しない工程内搬送装置とロードポート２２との間で授受される。

筺体１１内の前後方向の略中央上部には、回転式ポッド棚２４が設置されており、この回転式ポッド棚２４は複数個のポッド１６を保管するように構成されている。回転式ポッド棚２４は、垂直に立設され水平面内で間欠回転される支柱２６と、この支柱２６に例えば上下３段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板２８とを備えており、この棚板２８はそれぞれ、ポッド１６を複数個載置した状態で保持するように構成されている。

筺体１１内におけるロードポート２２と回転式ポッド棚２４との間には、ポッド搬送装置３０が設置されており、このポッド搬送装置３０は、ポッド１６を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ３０ａと、ポッド搬送機構３０ｂとで構成されている。ポッド搬送装置３０は、ポッドエレベータ３０ａとポッド搬送機構３０ｂとの連続動作により、ロードポート２２、回転式ポッド棚２４及び後述するポッドオープナ３６との間で、ポッド１６を搬送するように構成されている。

筺体１１内の前後方向の略中央下部には、サブ筺体３２が後端にわたって構築されている。サブ筺体３２の正面壁３２ａには、ウエハ１４をこのサブ筺体３２内に対して搬入搬出するための第１のウエハ搬入搬出口３４が、例えば一対垂直方向に上下２段に並べて開設されており、上下段の第１のウエハ搬入搬出口３４、３４には一対のポッドオープナ３６がそれぞれ設置されている。

ポッドオープナ３６は、ポッド１６を載置する載置台３８と、ポッド１６のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構４０とを備えている。ポッドオープナ３６は、載置台３８に設置されたポッド１６のキャップをキャップ着脱機構４０によって着脱することにより、ポッド１６のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筺体３２は、ポッド搬送装置３０や回転式ポッド棚２４の設置空間から流体的に隔絶された移載室４２を構成している。移載室４２の前側領域にはウエハ移載機構５０が設置されており、このウエハ移載機構５０は、ウエハ１４を水平方向に回転または直動可能なウエハ移載装置５２及び、ウエハ移載装置５２を昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ５４とで構成されている。これら、ウエハ移載装置５２及びウエハ移載装置エレベータ５４の連続動作により、ウエハ移載装置５２のツイーザ５６をウエハ１４の載置部として、基板保持具であるボート６０に対してウエハ１４を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

ボート６０は、複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば５０〜１２５枚程度）のウエハ１４をその中心に揃えて垂直方向に整列された状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

移載室４２のウエハ移載装置エレベータ５４と対向する反対側には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエアを供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット６４が設置されている。また、このクリーンユニット６４とウエハ移載装置５２との間には、ウエハ１４の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置６６が設置されている。

クリーンユニット６４から吹き出されたクリーンエアは、ウエハ移載装置５２及びノッチ合わせ装置６６に流通された後、ダクト（非図示）に吸い込まれ、筺体１１の外部に排気されるか、もしくは、クリーンユニット６４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット６４によって、移載室４２内に吹き出されるように構成されている。

移載室４２の後側領域上方には、処理炉７０が設けられている。処理炉７０の下端部は炉口ゲートバルブ７２により開閉されるように構成されている。
処理炉７０の下方には、ボート６０を昇降させるためのボートエレベータ７４が設置されている。ボートエレベータ７４のアームには、蓋体としてのシールキャップ７６が水平方向に据え付けられており、このシールキャップ７６はボート６０を垂直に支持し、処理炉７０の下端部を閉塞可能なように構成されている。

次に、基板処理装置１０内に設けられ、基板処理装置１０内の各装置の制御を行うプロセスモジュールコントローラ（ＰＭＣ）１００について説明する。
図４は、ＰＭＣ１００を中心とした基板処理装置１０の機能構成を示す。ＰＭＣ１００は、ＣＰＵ１０２、ＲＯＭ１０４、ＲＡＭ１０６、データを記憶するハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１０８、ディスプレイ等の表示装置及びキーボード等の入力装置を含む入力手段１１０との間でのデータの送受信を行う入出力インタフェース（ＩＦ）１１２、ネットワーク１２を介して他のハードウエア（接続管理装置６等）との間でのデータの通信を制御する通信制御部１１４、温度制御部１２０、ガス制御部１２２、圧力制御部１２４、及びこれら温度制御部１２０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１２６を有する。これらの構成要素はバス１３０を介して相互に接続されており、データは構成要素の間でバス１３０を介して入出力される。

ＰＭＣ１００において、ＣＰＵ１０２は、所定のレシピに基づいて基板（ウエハ１４）を処理する。具体的には、ＣＰＵ１０２は、制御データ（制御指示）を、温度制御部１２０、ガス制御部１２２及び圧力制御部１２４等に対して出力する。ＲＯＭ１０４、ＲＡＭ１０６、及びＨＤＤ１０８には、シーケンスプログラム、入出力ＩＦ１１２より入力されるデータ、通信制御部１１４を介して入力されるデータ等が格納される。

温度制御部１２０は、処理炉７０の外周部に設けられたヒータ１４０によりこの処理炉７０内の温度を制御する。ガス制御部１２２は、処理炉７０のガス配管１４２に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）１４６からの出力値に基づいて処理炉７０内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１２４は、処理炉７０の排気配管１４８に設けられた圧力センサ１５０の出力値に基づいてバルブ１５２を開閉することにより処理炉７０内の圧力を制御する。搬送制御部１５４は、ポッドオープナ３６、ボートエレベータ７４、ウエハ移載機構５０等の搬送系を制御する。搬送制御部１５４は、Ｉ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１５６を介して、バス１３０に接続されている。
このように、温度制御部１２０等の制御コントローラは、ＣＰＵ１０２からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ１４０、ＭＦＣ１４６及びバルブ１５２等）の制御を行う。

したがって、ＣＰＵ１０２は、シーケンスプログラムを起動し、このシーケンスプログラムに従って、レシピのコマンドを呼び込み実行することで、制御パラメータの目標値等が設定されているステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１２６、１５６を介して温度制御部１２０、ガス制御部１２２、圧力制御部１２４、及び搬送制御部１５４に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１２０等の制御コントローラは、制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ１４０、ＭＦＣ１４６及びバルブ１５２等）の制御を行う。これにより、ウエハ１４の処理が行われる。

ＣＰＵ１０２は、温度情報、圧力情報など基板処理装置１０の状態に関するデータを、通信制御部１１４を介して接続管理装置６に対して送信する。さらに、ＣＰＵ１０２は、基板処理装置１０において発生したイベント及び障害に関する情報、及びプロセス情報を、同様にして接続管理装置６に対して送信する。

次にハードウエハ構成について説明する。
図５は、端末装置２ハードウエア構成を示す図である。端末装置２は、ＣＰＵ２０２及びメモリ２０４などを含む制御装置２１０と、ネットワーク１２を介して外部のハードウエアなどとデータの送信及び受信を行う通信インタフェース（ＩＦ）２１２と、ハードディスクドライブなどの記憶装置２１４と、液晶ディスプレイなどの表示装置並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含む表示・入力装置２１６とを有する。
なお、構成管理装置５、接続管理装置６、データ管理装置７及び監視装置８は、上述した制御装置２１０及び通信ＩＦ２１２を有し、必要に応じて表示・入力装置２１６と接続できるように構成されている。構成管理装置５等には、例えば、後述する構成管理プログラム５００などがインストールされている。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて、互いに通信を行うハードウエア間の構成について説明する。
図６は、基板処理システム１において互いに通信を行うハードウエアを示す図である。群管理システム３について、構成管理装置５ａは、端末装置２及び接続管理装置６ａとの間で通信を行う。接続管理装置６ａは、データ管理装置７ａ、基板処理装置１０、及びバックアップシステム４の接続管理装置６ｂとの間で通信を行う。データ管理装置７ａは、接続管理装置６ａとの間で通信を行う。
バックアップシステム４について、構成管理装置５ｂは、端末装置２、接続管理装置６ｂ、及び監視装置８との間で通信を行う。接続管理装置６ｂは、データ管理装置７ｂ、監視装置８、基板処理装置１０、及び群管理システム３の接続管理装置６ａとの間で通信を行う。データ管理装置７ｂは、接続管理装置６ａとの間で通信を行う。

それぞれのハードウエアの接続関係は、構成管理装置５に記憶されている構成情報により管理されている。
図７は、構成管理装置５に記憶されている構成情報を例示する図である。
図７に例示するように、構成情報は、ＸＭＬ（Ｅｘｔｅｎｓｉｂｌｅ Ｍａｒｋｕｐ Ｌａｎｇｕａｇｅ）形式で記載されている。構成情報において、図中の矢印Ａで示される領域には、構成管理装置５の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載され、図７中の矢印Ｂで示される領域には、接続管理装置６の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載され、図中の矢印Ｃで示される領域には、データ管理装置７の設定（種別、名称、アドレス（位置情報））が記載されている。また、図中の矢印Ｄで示される領域には、基板処理装置１０と群管理システム３との接続構成の設定（種別（ｔｙｐｅ）、名称、アドレス（位置情報））が記載されている。

本例では、「ｎｏｄｅｓ」タグは、構成管理装置５、接続管理装置６及びデータ管理装置７の設定情報が記載されていることを示す。「ｎｏｄｅ」タグは、それぞれのハードウエアの設定情報を示し、当該タグの「ｎｏｄｅ＿ｔｙｐｅ」は、当該ハードウエアの種別を示す。例えば、「ＧＤＢ」は、当該ハードウエアが構成管理装置５であることを示し、「ＥＤＳ」は、当該ハードウエアが接続管理装置６であることを示し、「ＥＤＢ」は、当該ハードウエアがデータ管理装置７であることを示す。また、当該タグの「ｎｏｄｅ＿ｉｄ」は、当該種別においてハードウエアを一意に識別するための識別子である。また、「ｎｏｄｅ＿ｎａｍｅ」タグは、当該ハードウエアの名称を示す。「ｉｐ＿ａｄｄｒ」タグは、当該ハードウエアに設定されているｉｐアドレスを示す。

したがって、矢印Ａで示される領域には、当該ハードウエアの種別が構成管理装置５（ＧＤＢ）であり、当該ハードウエアの名称が「ＧＤＢ」であり、当該ハードウエアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．１であることが記載されている。また、矢印Ｂで示される領域には、当該ハードウエアの種別が接続管理装置６（ＥＤＳ）であり、接続管理装置６における識別子が「１」であり、当該ハードウエアの名称が「ＥＤＳ＃２」であり、当該ハードウエアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．２であることが記載されている。また、矢印Ｃで示される領域には、当該ハードウエアの種別がデータ管理装置７（ＥＤＢ）であり、データ管理装置７における識別子が「１」であり、当該ハードウエアの名称が「ＥＤＢ＃２」であり、当該ハードウエアに設定されているｉｐアドレスが１９２．１６８．１１．１０であることが記載されている。

さらに、本例では、「ｅｑ」タグは、基板処理装置１０の設定情報を示し、当該タグの「ｅｑ＿ｔｙｐｅ」は、当該基板処理装置１０の種別を示す。「ｅｑ＿ｎａｍｅ」タグは、当該基板処理装置１０の名称を示す。また、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」タグは、当該基板処理装置１０が接続されて通信を行う接続管理装置６の名称を示し、「ｅｄｂ＿ｎａｍｅ」タグは、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」により示された接続管理装置６に接続され、当該基板処理装置１０に関する情報を蓄積するデータ管理装置７の名称を示す。ここで、「ｅｄｓ＿ｎａｍｅ」タグ及び「ｅｄｂ＿ｎａｍｅ」タグに示される名称は、上述した「ｎｏｄｅ＿ｎａｍｅ」タグで示される名称である。また、「ｅｑ＿ａｄｄｒ」タグは、当該基板処理装置１０に設定されているｉｐアドレスを示す。

したがって、本例では、基板処理装置１０の種別が「ｓｙｓｔｅｍ１」であり、当該ハードウエアの名称が「装置１」であり、当該基板処理装置１０は名称を「ＥＤＳ＃２」とする接続管理装置６に接続されて当該接続管理装置６との間で通信を行い、名称を「ＥＤＢ＃１」とするデータ管理装置７は当該接続管理装置６に接続され、当該基板処理装置１０に関する情報は当該データ管理装置７に蓄積されることが記載されている。

なお、タグの名称、設定内容等は、本例に限定されない。また、構成情報の記述形式は、ハードウエアの接続構成をデータとして記述できる形式であればよく、ＸＭＬ形式に限定されない。また、ＥＤＳ，ＥＤＢは複数でもよい。このような構成情報は、図示しないテキスト編集ソフトウエアにより編集される。テキスト編集ソフトウエアは、例えば、構成管理装置５上で動作し、構成管理装置５に記憶されている構成情報を読み込んで画面に表示し、編集内容を受け付ける。

図８は、基板処理装置１０に関する情報の閲覧権限をユーザ毎に設定する基板処理装置選択画面２３０を示す図である。
基板処理装置選択画面２３０には、装置一覧表示領域２３２、閲覧可能装置表示領域２３４、追加ボタン２３６、及び削除ボタン２３８が含まれる。装置一覧表示領域２３２には、基板処理システム１に含まれている例えば２５６台の基板処理装置１０の一覧が表示される。本例では、基板処理装置１０のそれぞれについて、当該基板処理装置１０の識別番号、当該基板処理装置１０の名称、及び当該基板処理装置１０が接続されている接続管理装置６の名称（サーバ名称）が表示されている。

閲覧可能装置表示領域２３４には、基板処理システム１に含まれている基板処理装置１０であって、対象となるユーザが閲覧可能であるものの識別番号、当該基板処理装置１０の名称、及び当該基板処理装置１０が接続されている接続管理装置６の名称が表示されている。

追加ボタン２３６は、装置一覧表示領域２３２において選択された基板処理装置１０を、閲覧可能装置表示領域２３４に追加するためのボタンである。基板処理装置１０が閲覧可能装置表示領域２３４に追加されると、ユーザは、当該基板処理装置１０に関する情報を閲覧可能となる。削除ボタン２３８は、閲覧可能装置表示領域２３４において選択された基板処理装置１０を、閲覧可能装置表示領域２３４から削除するためのボタンである。基板処理装置１０が閲覧可能装置表示領域２３４から削除されると、ユーザは、当該基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができなくなる。

基板処理装置選択画面２３０は、構成管理装置５の表示・入力装置２１６に表示され、設定された内容は、構成管理装置５に記憶される。なお、基板処理装置選択画面２３０は、端末装置２の表示・入力装置２１６に表示され、端末装置２の表示・入力装置２１６を介して入力されたデータがネットワーク１２を介して構成管理装置５に送信されることにより、閲覧権限が設定されてもよい。

例えば、ユーザＡが、第１番目から第１２８番目の基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができ、ユーザＢが、第１２９番目から第２５６番目の基板処理装置１０に関する情報を閲覧することができるように設定された場合、ユーザＡが端末装置２にログインすると、２５６台の基板処理装置１０のうち、権限が付与された１２８台の基板処理装置１０の一覧が画面に表示される。

次に、図９乃至図１１に基づいて、本発明の実施形態に係る基板処理システム１に含まれるハードウエア上で動作するプログラムを説明する。
図９（ａ）は、構成管理装置５により実行される構成管理プログラム５００の機能構成を説明する図である。構成管理プログラム５００は、通信部５０２、構成情報記憶部５０４、システム情報記憶部５０６、権限記憶部５０８、構成情報更新部５１０、構成情報管理部５１２、システム情報管理部５１４、権限設定部５１６及び権限管理部５１８を有する。

構成管理プログラム５００は、例えば、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記録媒体２１８（図５参照）を介して記憶装置２１４に格納されて構成管理装置５に供給され、メモリ２０４にロードされて、制御装置２１０上で動作する図示しないＯＳ上で実行される。なお、構成管理プログラム５００は、ネットワーク１２に接続された外部のコンピュータから通信ＩＦ２１２を介して制御装置２１０に供給されてもよい。また、以降のプログラムも、同様にしてそれぞれのハードウエアに供給されて実行される。

構成管理プログラム５００において、通信部５０２は、各ハードウエアとの間の通信に必要とされる通信処理を行う。具体的には、通信部５０２は、構成管理プログラム５００の各構成要素により生成されたデータを通信処理に適した形式に変更し、通信ＩＦ２１２を介してネットワーク１２に対して出力する。また、通信部５０２は、ネットワーク１２から受け付けた所定の形式のデータを他の構成要素に対して出力する。

構成情報記憶部５０４は、構成管理装置５が含まれている基板処理システム１の構成情報（図７参照）を記憶する。構成情報記憶部５０４は、メモリ２０４及び記憶装置２１４の少なくともいずれかにより実現される。

システム情報記憶部５０６は、基板処理システム１において共有される例えば、動作状況情報あるいは障害情報等の共有情報を記憶する。動作状況情報には、例えば、構成管理装置５ａのプログラム５００の動作状況、あるいは、接続管理装置６と基板処理装置１０との接続状況等の情報が含まれる。

権限記憶部５０８は、基板処理装置選択画面２３０（図８参照）を介してユーザ毎に設定された閲覧権限を記憶する。システム情報記憶部５０６及び権限記憶部５０８は、構成情報記憶部５０４と同様にして実現される。

構成情報更新部５１０は、構成管理装置５又は端末装置２の表示・入力装置２１６を介してなされた、構成情報に対する追加、削除等の変更操作を受け付けて、この変更内容に基づいて、構成情報記憶部５０４に記憶されている構成情報を更新する。

構成情報管理部５１２は、端末装置２、接続管理装置６など他のハードウエアからの構成情報の参照要求を受け付け、構成情報記憶部５０４に記憶されている構成情報を要求元のハードウエアに対して送信する。

システム情報管理部５１４は、基板処理装置１０から接続管理装置６に対して送信される共有情報を、接続管理装置６から受け付けて、システム情報記憶部５０６に格納する。

権限設定部５１６は、権限記憶部５０８に記憶されている閲覧権限を参照し、基板処理装置選択画面２３０を表示・入力装置２１６に表示し、当該画面を介して入力される設定内容を受け付け、当該設定内容に基づいて、権限記憶部５０８に記憶されている閲覧権限を更新する。

権限管理部５１８は、端末装置２からの閲覧権限の参照要求を受け付け、権限記憶部５０８に記憶されている閲覧権限を要求元の端末装置２に対して送信する。

図９（ｂ）は、接続管理装置６により実行される接続管理プログラム６００の機能構成を説明する図である。接続管理プログラム６００は、通信部５０２、構成情報記憶部５０４、構成情報取得部６０２、接続確立部６０４、装置情報記憶部６０６、及び装置情報管理部６０８を有する。なお、図９（ｂ）に示された各構成のうち、図９（ａ）に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。

接続管理プログラム６００において、構成情報取得部６０２は、接続管理装置６が起動した後に、構成管理装置５に対して構成情報を要求し、構成管理装置５から送信された構成情報を受け付けて構成情報記憶部５０４に格納する。

接続確立部６０４は、構成情報取得部６０２により構成情報が取得されると、構成情報記憶部５０４に記憶されている構成情報に基づいて、基板処理装置１０及びデータ管理装置７との間で接続を確立する。より具体的には、接続確立部６０４は、構成情報に記載されている各ハードウエアの名称に基づいて接続構成を認識し、当該名称のハードウエアとの間で接続を確立する。

一方で、接続確立部６０４は、構成情報取得部６０２から取得する構成情報とは別に、常時（又は定期的に）、他の接続管理装置６との間で接続を確立する。
より具体的には、例えば、群管理システム３に含まれる接続管理装置６ａの接続確立部６０４ａは、バックアップシステム４に含まれる接続管理装置６ｂとの間で常時（又は定期的に）に接続を確立する。接続管理装置６ａは、群管理システム３の動作状況や、群管理システム３の構成管理装置５ａが記憶する構成情報、データ管理装置７ａが記憶する情報等を、定期的にバックアップシステム４に送信する。これらの情報は、バックアップシステム４の対応する装置によって、記憶あるいは判定等される。すなわち、バックアップシステム４は、定期的に群管理システム３の動作状況等を監視できる構成となっている。

装置情報記憶部６０６は、当該接続管理装置６と接続されている基板処理装置１０により送信される当該基板処理装置１０に関する情報を記憶する。この情報には、温度情報、圧力情報、ガス流量情報等を含む装置自体の運転状態に関するものが含まれている。装置情報記憶部６０６は、メモリ２０４及び記憶装置２１４の少なくともいずれかにより実現される。

装置情報管理部６０８は、当該接続管理装置６と接続されている基板処理装置１０により送信される当該基板処理装置１０に関する情報を受け付けて、装置情報記憶部６０６に格納する。
装置情報管理部６０８は、このような情報のうち、障害情報など発生頻度が少ない情報を構成管理装置５に対して送信する。さらに、装置情報管理部６０８は、温度情報、圧力情報等、発生頻度が高い情報を、当該接続管理装置６と接続されているデータ管理装置７に対して送信する。また、このような情報は、装置情報記憶部６０６に格納されることなく、構成管理装置５、データ管理装置７のそれぞれに送信されてもよい。また、構成管理装置５に対してのみ情報が装置情報管理部６０８から直接送信される形態など、種々の形態で実施される。

一方で、装置情報管理部６０８は、上記情報を、他の接続管理装置６に対して送信する。
より具体的には、例えば、接続管理装置６ａにより実行される装置情報管理部６０８ａは、当該接続管理装置６ａと接続されている基板処理装置１０により送信される当該基板処理装置１０に関する情報を受け付けて、この情報を接続管理装置６ｂに送信する。接続管理装置６ｂにより実行される装置情報管理部６０８ｂは、接続管理装置６ａから送信される基板処理装置１０に関する情報を受け付け処理する。

図９（ｃ）は、データ管理装置７により実行されるデータ管理プログラム７００の機能構成を説明する図である。データ管理プログラム７００は、通信部５０２、構成情報記憶部５０４、構成情報取得部６０２、接続確立部６０４、データ情報記憶部７０２及びデータ情報管理部７０４を有する。なお、図９（ｃ）に示された各構成のうち、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。

データ管理プログラム７００において、データ情報記憶部７０２は、当該データ管理装置７が接続されている接続管理装置６と接続されている基板処理装置１０に関する情報を記憶する。当該情報には、例えば、温度情報、圧力情報等が含まれている。データ情報記憶部７０２は、メモリ２０４及び記憶装置２１４の少なくともいずれかにより実現される。

データ情報管理部７０４は、基板処理装置１０から接続管理装置６に対して送信される情報を、接続管理装置６から受け付けて、データ情報記憶部７０２に格納する。

群管理システム３に含まれる構成管理装置５ａ等により実行されるプログラム５００ａ等が記憶する情報は、接続管理装置６ａ、６ｂを介して、バックアップシステム４に含まれる構成管理装置５ｂ等により実行されるプログラム５００ｂ等に記憶される。

図１０は、監視装置８により実行される監視プログラム８００の機能構成を説明する図である。監視プログラム８００は、通信部５０２、構成情報記憶部５０４、構成情報取得部６０２、接続確立部６０４、システム情報取得部８０２、システム情報判定部８０４及びバックアップ決定部８０６を有する。なお、図１０に示された各構成のうち、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。

監視プログラム８００において、システム情報取得部８０２は、群管理システム３の接続管理装置６ａからバックアップシステム４の接続管理装置６ｂに対して送信される情報を、接続管理装置６ｂから取得する。

システム情報判定部８０４は、群管理システム３の接続管理装置６ａからバックアップシステム４の接続管理装置６ｂに対して送信される情報を判定し、判定結果をバックアップ決定部８０６に出力する。
より具体的には、システム情報判定部８０４は、群管理システム３が正常に動作しているか否か判定する。システム情報判定部８０４は、例えば、構成管理装置５ａのプログラム５００の動作が停止している情報を、接続管理装置６ｂから受け付けると、群管理システム３が正常に動作していないと判定する。あるいは、接続管理装置６ａと接続管理装置６ｂとの接続が確立されない場合に、群管理システム３が正常に動作していないと判定する。

バックアップ決定部８０６は、システム情報判定部８０４から判定結果を受け付けて、判定結果に基づいて、群管理システム３に替えてバックアップシステム４により、基板処理装置１０を管理するか否かを決定する。
より具体的には、バックアップ決定部８０６は、群管理システム３が正常に動作していないとする判定結果をシステム情報判定部８０４から受け付けると、群管理システム３に含まれる接続管理装置６ａと基板処理装置１０との接続に替えて、バックアップシステム４に含まれる接続管理装置６ｂが基板処理装置１０との接続を引き継ぐようにする。

図１１は、端末装置２により実行される端末プログラム２００の機能構成を説明する図である。端末プログラム２００は、通信部５０２、構成情報記憶部５０４、構成情報取得部６０２、接続確立部６０４、ユーザインタフェース（ＵＩ）部２５２及び権限取得部２５４を有する。なお、図１１に示された各構成のうち、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示された構成と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。

端末プログラム２００において、ＵＩ部２５２は、基板処理装置選択画面２３０、構成情報を更新するための画面（不図示）、基板処理装置１０に関する情報を表示する画面（不図示）などを表示・入力装置２１６に表示する。また、ＵＩ部２５２は、表示・入力装置２１６を介して入力された内容を、通信部５０２を介して他のハードウエアに対して送信する。

権限取得部２５４は、ユーザが端末装置２にログインした際に、構成管理装置５に対して当該ユーザの権限を要求し、構成管理装置５から送信された権限を受け付けて接続確立部６０４に対して出力する。接続確立部６０４は、当該ユーザが接続可能である範囲内で接続を確立する。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の動作を説明する。
図１２は、接続管理装置６の起動時の動作（Ｓ１０）を示すシーケンス図である。
接続管理装置６が起動されると、接続管理プログラム６００が接続管理装置６上で動作し、ステップ１００（Ｓ１００）において、接続管理プログラム６００の構成情報取得部６０２が、構成管理装置５に対して構成情報の送信を要求する。構成管理装置５では、構成管理プログラム５００の構成情報管理部５１２が、この要求を受け付けると、記憶されている構成情報を接続管理装置６に対して送信する。接続管理装置６では、接続管理プログラム６００の構成情報取得部６０２が、送信された構成情報を受け付け、構成情報記憶部５０４に格納する。

ステップ１０２（Ｓ１０２）において、接続確立部６０４は、記憶されている構成情報を参照し、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべき基板処理装置１０を認識し、当該基板処理装置１０との間で接続を確立する。

ステップ１０４（Ｓ１０４）において、接続確立部６０４は、当該構成情報に基づいて、接続を確立すべきデータ管理装置７を認識し、当該データ管理装置７との間で接続を確立する。
なお、データ管理装置７もまた同様にして、起動時に接続を確立する動作を行う。

図１３は、端末装置２を用いた基板処理装置１０に関する情報の閲覧時の動作（Ｓ２０）を示すシーケンス図である。
ユーザが、端末装置２にログインすると、ステップ２００（Ｓ２００）において、端末プログラム２００の構成情報取得部６０２が、構成管理装置５に対して構成情報の送信を要求し、構成情報を取得する。また、権限取得部２５４が、構成管理装置５に対して当該ユーザの権限の送信を要求し、権限を取得する。

ステップ２０２（Ｓ２０２）において、接続確立部６０４は、記憶されている構成情報及び権限取得部２５４により取得された権限に基づいて、接続を確立すべき接続管理装置６を認識し、当該接続管理装置６との間で接続を確立する。

ステップ２０４（Ｓ２０４）において、接続確立部６０４は、当該構成情報及び権限に基づいて、接続を確立すべきデータ管理装置７を認識し、接続管理装置６を介して当該データ管理装置７との間で接続を確立する。

このようにして基板処理システム１において接続が確立されると、基板処理装置１０により実行される基板処理の情報を受信又は蓄積することができるようになる。

次に、基板処理装置１０による基板処理を詳細に説明する。
図２及び図３に示されているように、ポッド１６がロードポート２２に供給されると、ポッド搬入搬出口１８がフロントシャッタ２０によって開放され、ロードポート２２の上のポッド１６はポッド搬送装置３０によって筐体１１の内部へポッド搬入搬出口１８から搬入される。

搬入されたポッド１６は回転式ポッド棚２４の指定された棚板２８へポッド搬送装置３０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板２８から一方のポッドオープナ３６に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板２８から一方のポッドオープナ３６に搬送されて載置台３８に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ３６に搬送されて載置台３８に移載される。この際、ポッドオープナ３６のウエハ搬入搬出口３４はキャップ着脱機構４０によって閉じられており、移載室４２にはクリーンエアが流通され、充満されている。例えば、移載室４２にはクリーンエアとして窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台３８に載置されたポッド１６は、その開口側端面がサブ筐体３２の正面壁３２ａにおけるウエハ搬入搬出口３４の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構４０によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。

ポッド１６がポッドオープナ３６によって開放されると、ウエハ１４はポッド１６からウエハ移載装置５２のツイーザ５６によってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置６６にてウエハを整合した後、移載室４２の後方へ搬送され、ボート６０に装填（チャージング）される。ボート６０にウエハ１４を受け渡したウエハ移載装置５２はポッド１６に戻り、次のウエハ１４をボート６０に装填する。

この一方（上段又は下段）のポッドオープナ３６におけるウエハ移載機構５０によるウエハのボート６０への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ３６には回転式ポッド棚２４から別のポッド１６がポッド搬送装置３０によって搬送されて移載され、ポッドオープナ３６によるポッド１６の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ１４がボート６０に装填されると、炉口ゲートバルブ７２によって閉じられていた処理炉７０の下端部が、炉口ゲートバルブ７２によって、開放される。続いて、ウエハ１４群を保持したボート６０はシールキャップ７６がボートエレベータ７４によって上昇されることにより、処理炉７０内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後、処理炉７０にて、所定のレシピに基づいて、処理がウエハ１４に対して実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置６６でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ１４及びポッド１６は筐体１１の外部へ払出される。

基板処理装置１０は、このような基板処理の間、温度情報、圧力情報など基板処理装置１０の状態に関するデータを接続管理装置６に対して送信する。さらに、基板処理装置１０は、イベント情報、障害情報及びロギング情報を接続管理装置６に対して送信する。

次に、編集された構成情報を基板処理システム１に反映する方法を説明する。
図１４は、基板処理システム１のシステム構成を管理するシステム管理画面２８０を例示する図である。システム管理画面２８０には、通知ボタン２８２、インポートボタン２８４、リストアボタン２８６、ノードボタン２８８、ユーザ編集ボタン２９０、グループ編集ボタン２９２、権限編集ボタン２９４及び終了ボタン２９６が含まれる。システム管理画面２８０は、構成管理装置５の表示・入力装置２１６に表示され、構成管理装置５は、システム管理画面２８０を介して例えばマウス及びキーボード等により入力される操作を受け付ける。

インポートボタン２８４は、構成管理装置５において構成情報を通知可能状態に置くためのボタンである。インポートボタン２８４が押下されると、構成情報は、編集された内容に更新され、構成管理装置５の記憶装置２１４に格納される。
すなわち、当該構成情報は、群管理システム３に含まれる構成管理システム５ａの記憶装置２１４ａ及びバックアップシステム４に含まれる構成管理システム５ａの記憶装置２１４ｂに同時に格納される。

通知ボタン２８２は、構成情報に基づいて接続構成を変更するためのボタンである。通知ボタン２８２が押下されると、構成情報変更通知は、接続管理装置６など他のハードウエアに対して送信される。インポートボタン２８４及び通知ボタン２８２以外のボタンについては、本発明には直接関係がないので説明を省略する。

なお、システム管理画面２８０は、端末装置２の表示・入力装置２１６に表示され、端末装置２の表示・入力装置２１６を介して入力された設定内容がネットワーク１２を介して構成管理装置５に送信されることにより、構成情報が更新されてもよい。この場合、テキスト編集ソフトウエアもまた、端末装置２上で動作する。

図１５は、群管理システム３において障害が発生した際の切り替え動作（障害時切替動作）を説明する図である。
ここで、基板処理装置１０及び端末装置２は、パッシブモードにより群管理システム３又はバックアップシステム４と接続するように設定されている。より具体的には、群管理システム３（又はバックアップシステム４）から基板処理装置１０及び端末装置２へ接続後、もう一度群管理システム３（又はバックアップシステム４）から基板処理装置１０及び端末装置２へ情報通信用の接続要求を行う構成、すなわち、接続の方向が常に群管理システム３（又はバックアップシステム４）から基板処理装置１０及び端末装置２へ向かって行われる構成となっている。
また、上述したようにバックアップシステム４の対応する構成装置には、群管理システム３の構成管理装置５ａが記憶する構成情報や、データ管理装置７ａが記憶する情報等が記憶されている。

群管理システム３に発生した障害として、例えば、構成管理プログラム５００ａが無反応状態となった場合（図１５（ａ））、バックアップシステム４は、群管理システム３の構成管理プログラム５００ａを強制的に終了させる。構成管理プログラム５００ａを終了させると、バックアップシステム４は、群管理システム３に替えて、基板処理装置１０及び端末装置２との通信を開始し、群管理システム３が実行していた管理を引き継ぐ（図１５（ｂ））。
なお、群管理システム３に発生した障害として、例えば、構成管理プログラム５００ａのプログラムが停止した場合、バックアップシステム４は、群管理システム３の５００ａを強制的に終了させることなく、群管理システム３に替えて、基板処理装置１０及び端末装置２との通信を開始し、群管理システム３が実行していた管理を引き継ぐ。

図１６は、群管理システム３に障害が発生した場合における切り替え動作（Ｓ３０）を示すシーケンス図である。群管理システム３に発生した障害として、構成管理プログラム５００ａが無反応状態となった場合を例に説明する。

群管理システム３の接続管理装置６ａは、構成管理装置５ａのシステム情報管理部５１４ａから定期的に群管理システム３の動作状況情報を受け付ける。
ステップ３００（Ｓ３００）において、構成管理プログラム５００ａのシステム管理部５１４ａは、定期的に動作状況を接続管理装置６ａに送信する。ここで、構成管理プログラム５００ａが無反応状態となると、接続管理装置６ａは、正常に動作状況情報を取得することができない。

ステップ３０２（Ｓ３０２）において、接続管理プログラム６００ａの接続確立部６０４ａは、バックアップシステム４の接続管理装置６ｂとの間で接続を確立し、群管理システム３の動作状況情報を接続管理装置６ｂに対し送信する。
接続管理装置６ａから接続管理装置６ｂに対する送信は、定期的に行われるものである。

ステップ３０４（Ｓ３０４）において、監視プログラム８００のシステム情報取得部８０２は、動作状況情報を接続管理装置６ｂから受け付ける。システム情報判定部８０４は、システム情報取得部８０２から動作状況情報を受け付け、群管理システム３の動作状況を判定し、判定結果をバックアップ決定部８０６に出力する。
システム情報判定部８０４が、群管理システム３は正常に動作していないと判定した場合、ステップ３０６（Ｓ３０６）の処理へ進む。本例においては、接続管理装置６ａは正常に動作状況を取得できていないため、システム情報判定部８０４は、群管理システム３が正常に動作していないと判定する。
なお、システム情報判定部８０４が、群管理システム３が正常に動作していると判定した場合は、ステップ３００（Ｓ３００）に戻り、処理を繰り返す。

ステップ３０６（Ｓ３０６）において、群管理システム３が正常に動作していないとする判定結果を受け付けたバックアップ決定部８０６は、構成情報を更新し、これを構成管理装置５ｂに対し通知する。構成管理プログラム５００ｂの構成情報記憶部５０４ｂは、更新された構成情報を記憶する。
この構成情報は、接続管理装置６ｂと基板処理装置１０及び端末装置２との接続を確立させ、接続管理装置６ａと基板処理装置１０及び端末装置２との接続を解除させる内容を含むものである。

ステップ３０８（Ｓ３０８）において、構成管理プログラム５００ｂの構成情報管理部５１２ｂは、更新された構成情報を反映し、構成情報変更通知を、接続管理装置６ｂ及び群管理システム３の接続管理装置６ａを介して構成管理装置５ａに送信する。この際、構成管理プログラム５００ｂの構成情報管理部５１２ｂは、構成管理装置５ａにより実行される構成管理プログラム５００ａの動作を終了させる指示を出力する。
その後、接続管理装置６ａは、構成管理プログラム５００ａの動作が終了したとする情報を接続管理装置６ｂに送信する。

ステップ３１０（Ｓ３１０）において、接続管理プログラム６００ｂの接続確立部６０２ｂは、構成管理プログラム５００ｂから取得した構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を確立する。
一方、接続管理プログラム６００ａの接続確立部６０２ａは、構成管理プログラム５００ｂから取得した構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を解除する。
これにより、バックアップシステム４が、群管理システム３に替わって、基板処理装置１０及び端末装置２を管理するようになる。

図１７は、群管理システム３が障害から復旧した際の切り替え動作（復旧動作）を説明する図である。
図１７（ａ）に示すように、群管理システム３が障害から復旧した場合、作業者は、バックアップシステム４に含まれる構成管理装置５ｂ（又は端末装置２）において、構成管理装置５ｂに記憶されている構成情報を編集し、システム管理画面２８０を介して当該編集された構成情報を基板処理システム１に反映させる。これにより、構成管理装置５ｂ（又は端末装置２）は、更新された構成情報の反映、及び接続管理装置６ｂを介して群管理システム３に含まれる構成管理装置５ａへの通知を指示する。

図１７（ｂ）に示すように、システム管理画面２８０において通知ボタン２８２が押下されると、構成情報変更通知が、構成管理装置５ｂから接続管理装置６ｂへ送信され、この接続管理装置６ｂから群管理システム３の接続管理装置６ａへ、この接続管理装置６ａから構成管理装置５ａへと送信される。接続管理装置６ｂは、構成情報変更通知を受け付けると、構成情報を構成管理装置５ｂから取得し、この構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を解除する。
この際、接続管理装置６ｂは、群管理システム３に替わりバックアップシステム４が基板処理装置１０を管理していた間に、データ管理装置７ｂ等に蓄積された情報を群管理システム３に送信する。これらの情報は、群管理システム３の対応する装置に記憶される。

一方、接続管理装置６ａは、構成情報変更通知を受け付けると、構成情報を構成管理装置５ａから取得し、この構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を確立する。したがって、接続管理装置６ｂに接続されていた基板処理装置１０及び端末装置２は、接続管理装置６ａとの間で接続を確立し、接続管理装置６ａと通信を行う。
このようにして、基板処理装置１０は、群管理システム３によって管理されるようになる。なお、復旧動作中において、群管理システム３が基板処理装置１０を正常に管理可能な状況となるまでは、バックアップシステム４により管理されるように構成されている。このため、復旧に際し、切り替えに要する時間が減縮される。

図１８は、群管理システム３が障害から復旧した際の切り替え動作（Ｓ４０）を示すシーケンス図である。群管理システム３が障害から復旧した状況として、構成管理プログラム５００ａが無反応状態から正常に動作を再開した場合を例に説明する。

ステップ４００（Ｓ４００）において、バックアップシステム４の構成管理プログラム５００ｂの構成情報記憶部５０４ｂは、作業者により編集された構成情報を記憶し、これを受けて構成情報管理部５１２ｂは、構成情報変更通知を接続管理装置６ｂ及び群管理システムの接続管理装置６ａを介して、構成管理装置５ａへ送信する。

ステップ４０２（Ｓ４０２）において、構成管理プログラム５００ａの構成情報記憶部５０４ａは、更新された構成情報を記憶する。また、構成管理プログラム５００ａのシステム情報管理部５１２ａは、動作状況を接続管理装置６ａに送信する。

ステップ４０４（Ｓ４０４）において、監視プログラム８００のシステム情報取得部８０２は、接続管理装置６ａ及び接続管理装置６ｂを介して、動作状況情報を受け付ける。システム情報判定部８０４は、システム情報取得部８０２から動作状況情報を受け付け、群管理システム３の動作状況を判定し、判定結果をバックアップ決定部８０６に出力する。
システム情報判定部８０４が、群管理システム３は正常に動作していると判定した場合、ステップ４０６（Ｓ４０６）の処理へ進む。本例においては、構成管理プログラム５００ａが無反応状態から正常に動作を再開しているため、システム情報取得部８０２は、群管理システム３が正常に動作していると判定する。
なお、システム情報判定部８０４が、群管理システム３は正常に動作していないと判定した場合は、復旧動作の処理を終了する。

ステップ４０６（Ｓ４０６）において、群管理システム３が正常に動作しているとする判定結果を受け付けたバックアップ決定部８０６は、構成情報を更新し、これを構成管理装置５ａに対し通知する。構成管理プログラム５００ａの構成情報記憶部５０４ａは、更新された構成情報を記憶する。
この構成情報は、障害発生前の接続管理装置６ａと基板処理装置１０との接続構成等を含むものである。また、この構成情報は、接続管理装置６ｂと基板処理装置１０及び端末装置２との接続を解除させ、接続管理装置６ａと基板処理装置１０及び端末装置２との接続を確立させる内容を含むものである。
さらに、接続管理装置６ｂは、群管理システム３に替わりバックアップシステム４が基板処理装置１０を管理していた間に、データ管理装置７ｂ等に蓄積された情報については群管理システム３に自動送信又は手動実行により復旧させる。この復旧を自動で行う自動送信とするか、又は、ユーザの操作により行う手動実行とするかを、ユーザが選択できるように構成されている。なお、復旧には時間を要するため、この復旧作業の進捗状態を示す実行状態確認画面（非図示）を、例えば端末装置２の表示・入力装置２１６に表示する。このため、ユーザは、復旧作業の進捗状態を確認することができる。
このようにして、群管理システム３は、障害発生中のデータ情報の反映がなされている状態で、障害発生前の接続関係が復元される。

ステップ４０８（Ｓ４０８）において、構成管理プログラム５００ａの構成情報管理部５１２ａは、更新された構成情報を反映し、構成情報変更通知を、接続管理装置６ａに送信する。

ステップ４１０（Ｓ４１０）において、接続管理プログラム６００ａの接続確立部６０２ａは、構成管理プログラム５００ａから取得した構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を確立する。
一方、接続管理プログラム６００ｂの接続確立部６０２ｂは、構成管理プログラム５００ｂから取得した構成情報に基づいて基板処理装置１０及び端末装置２との接続を解除する。
これにより、群管理システム３が、バックアップシステム４に替わって、基板処理装置１０及び端末装置２を管理するようになる。

上記実施形態においては、バックアップシステム４が、１つの群管理システム３をバックアップする構成について説明したが、これに限らず、図１９に示すように、バックアップシステム４が、複数の群管理システム３をバックアップする構成としてもよい。

また、上記実施形態においては、群管理システム３の障害として構成管理プログラム５００ａの動作が停止した場合について説明したが、これに限らず、群管理システム３を構成するその他のプログラムの異常、構成管理装置５ａ等の装置自体の異常（ハード異常）、又は、接続管理装置６ａと構成管理装置５ａとの間等での接続異常（ネットワーク異常）が発生した場合にも適用することができる。

群管理システム３及びバックアップシステム４は、基板処理装置１０と同一のフロア（クリーンルーム）内に配置する必要はなく、例えばＬＡＮで接続され、他のフロア（事務所等）内に配置してもよい。また、構成管理装置５が、群管理システム３及びバックアップシステム４それぞれに設けられている構成について説明したが、これに限らず、構成管理装置５は、基板処理システム１に少なくとも１つ設けられていればよい。

格納部（データベース）や制御部と、操作部や表示部を、一体とせず別体として、データベース内のデータを遠隔で操作部によって検索するようにしてもよい。
例えば、構成管理装置５において、構成情報記憶部５０４等のデータ格納部と、表示・入力装置２１６を一体でなく、それぞれを別体として、データ格納部のデータを遠隔で表示・入力装置２１６で検索するようにしてもよい。接続管理装置６等についても同様である。

基板処理装置１０としては、半導体製造装置に限られず、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。
成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理や、金属を含む膜を形成する処理等を含む。さらに、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理を含む。

１ 基板処理システム
２ 端末装置
３ 群管理システム
４ バックアップシステム
５ 構成管理装置
６ 接続管理装置
７ データ管理装置
８ 監視装置
１０ 基板処理装置
２００ 端末プログラム
５００ 構成管理プログラム
６００ 接続管理プログラム
７００ データ管理プログラム
８００ 監視プログラム
８０２ システム情報取得部
８０４ システム情報判定部
８０６ バックアップ決定部

Claims (1)

1. 基板を処理する複数の基板処理装置と、
   前記基板処理装置を管理する群管理システムと、
   前記群管理システムを監視する監視システムと、
   を有し、
   前記監視システムは、
   前記群管理システムの動作を監視し、前記群管理システムの接続構成を定義する構成情報を利用して、前記群管理システムに通信異常が発生した場合、前記基板処理装置との通信を行う基板処理システム。
   

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