JP5420981B2 - 基板処理システム、群管理装置、群管理装置の通信処理プログラム及びデータ処理方法。 - Google Patents

Description

本発明は、基板処理システムに関する。

基板を処理する一台以上の基板処理装置と、その基板処理装置に接続される群管理装置と、その群管理装置に接続される一台以上の端末装置と、を有する基板処理システムが知られている。

各装置間では、電文（通信メッセージ）の送受信に関する規定の通信プロトコルに基づいて、装置データ等を含む電文の送受信が行われる。通信プロトコルとしては、一般的にＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）により規定されたＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ Ｓｔａｎｄａｒｄ）−ＩやＳＥＣＳ−ＩＩに基づくものが用いられている。
電文は、例えば電文内容を区分する電文区分コード（ストリームファンクションのコード）を格納するヘッダ部と、データ部と、を有する。群管理装置，基板処理装置，端末装置それぞれは、電文に関する共通のデータ形式リスト（電文定義フォーマット）を記憶する。この電文定義フォーマットには、電文区分コードとデータ部に関するデータ形式情報とが対応付けて記録されている。電文は、この電文定義フォーマットに基づいて生成される。

群管理装置は、基板処理装置又は端末装置から電文を受信すると、その電文から電文区分コードを抽出し、電文定義フォーマットを参照しながら、電文区分コード及びデータ部に基づいて、所定の電文処理を行う。

しかしながら、基板処理装置側又は端末装置側で、電文定義フォーマットの変更（例えば新規の電文区分コードを追加する等）を行い、且つ群管理装置側で電文定義フォーマットの変更を行わない場合、上述した群管理装置は、基板処理装置又は端末装置から電文を受信したとしても、受信電文中の新規の電文区分コードが群管理装置側の電文定義フォーマットで未定義であるので、受信電文の内容に従った処理を行うことができず、その受信電文を破棄することがあった。
群管理装置が受信電文を破棄した場合、基板処理装置と端末装置との間での電文の伝達不良により、基板処理システムに動作不良が発生する虞がある。

このため、基板処理装置側又は端末装置側で、電文定義フォーマットの変更を行った場合、上述した群管理装置側では、群管理装置の稼働を一時的に停止して、基板処理装置側又は端末装置側の電文定義フォーマットに対応して、群管理装置側の電文定義フォーマットを変更する、あるいは、電文を処理するプログラムを変更する、などの煩雑な作業を行っていた。

本発明の目的は、上述した問題に鑑み、基板処理装置又は端末装置から受信した電文中の電文区分コードが、群管理装置で記憶するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）にて未定義であっても、受信電文を無効として破棄することなく、群管理装置により、簡易にその受信電文を所定の転送先に転送することが可能な基板処理システムを提供することにある。

本発明の一態様によれば、一台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、前記群管理装置に接続される一台以上の端末装置と、を有する基板処理システムであって、前記群管理装置は、前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、前記電文から前記電文区分コードを抽出し、前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出し、前記データ形式リストにより前記電文から抽出した電文区分コードの定義の有無を確認し、前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ形式リストを参照して、前記抽出した電文区分コードに対応するデータ形式情報に基づいて、前記電文の前記データ部からデータを抽出し、前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記抽出した電文区分コード及び前記電文から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成し、前記通信部により該転送用電文を転送させる電文処理部と、を有する基板処理システムが提供される。

本発明にかかる基板処理システムによれば、基板処理装置又は端末装置から受信した電文中の電文区分コードが、群管理装置で記憶するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）にて未定義であっても、受信電文を無効として破棄することなく、群管理装置により、簡易にその受信電文を所定の転送先に転送することが可能である。

本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の機能ブロック図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体製造装置の斜透視図である。 図３に示した基板処理装置の一例を示す半導体製造装置の側面透視図である。 図５（Ａ）は本発明の一実施形態にかかる電文を説明するための図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）に示した電文のヘッダ部を説明するための図である。 図１に示した群管理装置の機能ブロック図である。 本発明の一実施形態にかかる電文区分コード及びデータ形式情報が関連付けられたデータ形式リストの一例を説明するための図である。 本発明の一実施形態にかかる群管理装置の動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の一実施形態にかかる群管理装置の通常電文を受信した際の動作の一例を説明するためのフローチャートである。 本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの動作を説明するための図である。 本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの動作を説明するための図である。詳細には、図１１（Ａ）は送信元のデータ形式リスト（電文定義フォーマット）の一例を説明するための図であり、図１１（Ｂ）は群管理装置が送信元から受信した電文を説明するための図であり、図１１（Ｃ）は群管理装置が未定義電文の受信時に用いるＳ０Ｆ０形式情報であり、図１１（Ｄ）は群管理装置による一時保存用Ｓ０Ｆ０用電文（バイナリデータ）を説明するための図であり、図１１（Ｅ）は転送先の端末装置が有するデータ形式リストを説明するための図であり、図１１（Ｆ）は群管理装置が転送する転送用電文を説明するための図である。 比較例にかかる群管理装置の動作を説明するためのフローチャートである。

以下に、本発明の一実施形態にかかる基板処理システム１の構成及び動作について、図面を参照しながら説明する。

（基板処理システム１の構成）
図１は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システム１の概略図である。
図１に示すように、本実施形態にかかる基板処理システム１は、一台以上の基板処理装置（半導体製造装置）１００と、基板処理装置１００に接続される群管理装置５００と、群管理装置５００に接続される一台以上の端末装置（ＧＵＩ端末装置）７００と、を有する。

基板処理装置１００と群管理装置５００とは、通信路（通信ネットワーク）６Ａによって通信可能に接続されている。群管理装置５００と端末装置７００とは、通信路（通信ネットワーク）６Ｂによって通信可能に接続されている。群管理装置５００と端末装置７００とにより、群管理システムが構成されている。本実施形態では、通信ネットワーク６ＡはＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）で構成され、通信ネットワーク６ＢはＬＡＮや広域通信網などで構成されている。通信ネットワーク６Ａと通信ネットワーク６Ｂは、それぞれ分離独立した通信ネットワークであってもよいし、同一の通信ネットワークでもよい。

基板処理を行う基板処理装置１００から群管理装置５００に送信されるデータ（装置データ）としては、基板処理にかかるデータ、例えば基板処理装置１００の装置自体の状態を示す情報、ウエハの情報、温度情報、ガス流量情報、圧力情報にかかるデータ、及び各種センサ情報などにかかるデータが挙げられる。基板処理装置１００は、これらの装置データを電文内に格納し、通信ネットワーク６Ａを介して群管理装置５００に送信する。

群管理装置５００は、複数の基板処理装置１００に関する情報を一元管理することが可能であり、複数の基板処理装置１００によるデータ（装置データ）を蓄積している。また、群管理装置５００は、基板処理装置１００及び端末装置７００と、所定の通信プロトコルにより電文の送受信を行う。

端末装置７００は、例えば、通信部、ディスプレーなどの表示手段、キーボードやマウス等の操作入力手段、及び電文処理を行う通信タスク（通信処理プログラム）を実行する制御部を有する。端末装置７００は、群管理装置５００と電文を送受信することで、装置データ、例えば基板処理装置１００の状態に関する情報を表示手段により表示することが可能である。

（基板処理システム１の動作）
本実施形態にかかる群管理装置５００は、例えば送信元の基板処理装置１００（又は端末装置７００）から受信した電文中の電文区分コードが、群管理装置５００内部で記憶するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）にて未定義であっても、その受信電文を無効として破棄することなく、簡易にその受信電文を転送先の端末装置７００（又は基板処理装置１００）に転送する。

次に、基板処理装置１００の構成及び動作について詳細に説明し、続いて、群管理装置５００の構成及び動作について詳細に説明する。

（基板処理装置１００のプロセス制御モジュール１００Ａの機能ブロック）
図２は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の機能ブロック図である。詳細には、図２は、基板処理装置１００の基板処理系に基板処理を実施させる装置コントローラとしてのプロセス制御モジュール１００Ａの機能ブロック図である。

図２に示すように、基板処理装置１００のプロセス制御モジュール１００Ａは、操作部２と、制御部３と、を有する。操作部２は、通信部（送受信モジュール）、固定記憶装置としてのハードディスク（ＨＤＤ）９、及びメモリ３０等を有する。制御部３は、通信部（送受信モジュール）５、各種モジュール１５〜１８、及びメモリ１９等を有する。
操作部２と制御部３とは、通信部４，５により通信路（ＬＡＮなど）６Ａを介して通信可能に接続されている。

（操作部２）
操作部２には、ユーザインタフェイスとして、モニタ７とキー入力装置８とが接続されている。
操作部２のハードディスク９には、プロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣ（プロセス制御モジュール）コンフィグファイル２３、制御タスク（制御プログラム）２４、データ形式リスト８００Ａ、画面ファイル、アイコンファイル、基板処理や画面表示処理に関するプログラム、基板処理に必要なテーブル類、ファイル類などが格納されている。

プロセスレシピ（基板処理のシーケンス）２０には、ステップ毎に、温度コントローラ、圧力コントローラ等の基板処理装置１００の各サブコントローラに送信する設定値（制御値）が設定されている。又、プロセスレシピ２０には、ステップ毎のエラーチェックを実行するシーケンスが含まれている。
アラーム条件テーブル２１には、エラーの状態毎に各種アラームに関する条件情報が格納されている。
ＡＢＯＲＴレシピ２２には、ステップ毎のエラーチェック等によりエラーが発生した場合のリカバリー処理の手順が格納されている。

ＰＭＣコンフィグファイル２３には、装置構成に係る各種パラメータや基板処理装置１００の制御に用いられる各種パラメータが格納されている。
制御タスク（制御プログラム）２４には、基板処理装置１００の各構成要素を制御する手順（内容）などが格納されている。
データ形式リスト８００Ａは、電文に関する電文区分コードやデータ形式情報を規定している。尚、データ形式リスト８００Ａは、直接、群管理装置５００に格納されるようにしてもよい。

（制御部３）
制御部３には、サブコントローラとして、ウエハ移載機１１を制御するコントローラ（図示せず）、処理炉を加熱するヒータ１２の温度を制御することで処理炉の温度を調節する温度コントローラ（図示せず）、処理炉から排気するための減圧排気装置としての真空ポンプのポンプ・圧力バルブ１３の開閉や、処理炉に連通するガス配管１４の単一又は複数の原料ガス供給管の開閉と、その下流に配置されたマスフローコントローラＭＦＣの流量を制御するガスコントローラ（図示せず）等が接続されている。

制御部３のメモリ１９には、少なくとも、プロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル２３、制御タスク２４等を格納可能である。

また、制御部３は、少なくとも各種モジュール、詳細には、レシピ設定値送信モジュー
ル１５、ＡＢＯＲＴレシピ取得モジュール１６、ＰＭＣコンフィグファイル内エラー処理取得モジュール１７、及びアラーム条件テーブルの設定値取得モジュール１８を有する。

レシピ設定値送信モジュール１５は、プロセスレシピ２０から各サブコントローラに対する設定値を取得してそれぞれ対応するサブコントローラに送信する。
ＡＢＯＲＴレシピ取得モジュール１６は、テーブル番号によりＡＢＯＲＴレシピ２２を取得する。
ＰＭＣコンフィグファイル内エラー処理取得モジュール１７は、ＰＭＣコンフィグファイル２３に関するエラー発生時に、リカバリー処理を自動で行わせるためにＡＢＯＲＴレシピ２２を選択する。
アラーム条件テーブル設定値の取得モジュール１８は、テーブル番号によりＡＢＯＲＴレシピ２２を選択するためのアラーム条件テーブル２１の設定値を取得する。

なお、操作部２及び制御部３は、それぞれＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、Ｉ／Ｏ（Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ）、メモリ等からなる周知のコンピュータで構成されており、各モジュールは、コンピュータのハードウエア資源を上記各手段として機能させるプログラムによって構成されている。

（プロセス制御モジュール１００Ａの動作）
次に、プロセス制御モジュール１００Ａの動作を説明する。
先ず、プロセス制御モジュール１００Ａを起動し、操作部２と制御部３とを起動すると、操作部２がハードディスク９に予め格納されていた画面ファイルから初期画面（起動画面）を取得してモニタ７に表示させる。初期画面にはダウンロードボタン（図示せず）が表示されていて、オペレータ等がキー入力装置８（初期画面上にタッチキーを表示させる場合は指）でダウンロードボタンを押下すると、制御に使用されるプロセスレシピ２０やＡＢＯＲＴレシピ２２等がメモリ３０，１９に格納される。

詳細には、操作部２（ＣＰＵなど）により、ハードディスク９のプロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル２３、制御タスク２４等が、操作部２のメモリ３０に格納され、操作部２のメモリ３０に格納したプロセスレシピ２０、アラーム条件テーブル２１、ＡＢＯＲＴレシピ２２、ＰＭＣコンフィグファイル２３、制御タスク２４等が、操作部２の通信部４、通信路６Ａ、制御部３の通信部５を介して制御部３のメモリ１９に転送される。又、データ形式リスト８００Ａは、通信路６Ａを介して群管理装置５００に送信される。
なお、このようなダウンロードは起動時に自動的に行われるようにしてもよい。

制御部３では、各モジュール１５〜１８が、制御部３のメモリ１９を参照している。操作部２のメモリ３０から制御部３のメモリ１９に上述したデータ等の転送が行われると、レシピ設定値送信モジュール１５が、制御部３のメモリ１９に格納されたプロセスレシピ２０から各サブコントローラに送信するための設定値を取得し、操作部２が、ハードディスク９の画面ファイルを検索してレシピ実行やレシピ作成等のための操作画面（図示せず）をモニタ７に表示させる処理を行う。

この後、例えばレシピ実行ボタン（図示せず）が押下されると、操作部２は、基板処理の制御状態やインターロックに関する操作画面をモニタ７に表示させる処理を行う。

本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えば、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置に適用することができる。以下、本実施形態にかかる基板処理装置１００を適用した、基板に酸化処理，拡散処理，ＣＶＤ処理などを行う縦型の半導体製造装置（単に処理装置ともいう）を説明する。

（基板処理装置１００の基板処理系の構成）
図３は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の一例を示す半導体製造装置の斜透視図である。図４は、図３に示した基板処理装置１００の一例を示す半導体製造装置の側面透視図である。
基板処理装置１００の基板処理系の構成について、図３，図４を参照しながら説明する。なお、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行う縦型の装置として構成されている。

図３，図４に示すように、基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能に設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。

筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、ロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。

筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が、筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。

各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口
を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。

図３に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部と筐体１１１右側端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能なように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、基板処理系としての処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図３に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。

ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。

図３に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給フアン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。

（基板処理装置１００の動作）
次に、上記基板処理装置１００の動作について、図３，図４を参照しながら説明する。

図３，図４に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート
１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。

筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。

載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。

ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の基板処理が実施される。基板処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。

上述したように、基板処理装置１００内には、例えば温度、ガス流量、圧力、その他、基板処理装置１００の各種状態を示すデータ（以下装置データと呼ぶ）の発生箇所（例えば温度センサ、ＭＦＣ、圧力センサなど、以下データ発生箇所と呼ぶ）が多数存在する。基板処理装置１００の制御部３は、各データ発生箇所にて発生した装置データを格納した電文（電文メッセージとも呼ぶ）を作成するように構成されている。基板処理装置１００の制御部３は、その電文を、通信ネットワーク６Ａを介して群管理装置５００へ送信するように構成されている。電文は、所定の間隔（例えば０．１秒間隔）にて定期的に送信されるか、装置データの発生時にその都度送信されるか、これらの組み合わせにより送信されるように構成されている。

（電文６００）
次に、本発明の一実施形態にかかる基板処理システム１の各装置間で送受信される電文６００について、図面を参照しながら説明する。
図５（Ａ）は本発明の一実施形態にかかる電文６００を説明するための図である。図５（Ｂ）は図５（Ａ）に示した電文６００のヘッダ部６２０を説明するための図である。

本実施形態にかかる電文６００は、図５（Ａ）に示すように、長さ情報部（レングスバイト）６１０、ヘッダ部６２０、データ部６３０、及びチェックサム６４０を有する。
長さ情報部６１０には、電文６００の長さを示す情報が格納される（例えば１バイト）。
ヘッダ部６２０には、電文区分コード（ストリームファンクションのコード）６２２Ａ等が格納される（例えば１０バイト）。
データ部６３０には、ヘッダ部６２０の電文区分コードに対応するデータ形式情報に基づいて配列されたデータ６３０Ａ（例えば装置データなど）が格納される（例えば０〜２４４バイト）。
チェックサム６４０には、電文６００（長さ情報部６１０及びチェックサム６４０を除く）のチェックサム（符号無し２進値の和）を示す情報が格納される（例えば２バイト）。

（ヘッダ部６２０の構成）
ヘッダ部６２０は、図５（Ｂ）に示すように、デバイスＩＤ情報部６２１、コード格納部（メッセージＩＤ格納部：電文区分コード格納部）６２２、ブロック番号格納部６２３、及びシステムバイト６２４を有する。
デバイスＩＤ情報部６２１には、送信元の装置を示す情報（デバイスＩＤ）が格納される。
コード格納部６２２には、電文区分コード（メッセージＩＤ）６２２Ａが格納される。電文区分コード６２２Ａは、電文６００の内容を区分する情報である。電文区分コード６２２Ａは、例えば、ストリーム（Ｓ）を示すコード、及びファンクション（Ｆ）を示すコードを有する。ストリームのコードとファンクションのコードとを合わせて、ストリームファンクションコードと呼ぶ。

ブロック番号格納部６２３には、ブロック番号を示す情報が格納される（２バイト）。詳細には、データ部６３０に格納される装置データが、データ部６３０のサイズより大きい場合、装置データは、データ部６３０のサイズに対応して、複数のブロックに分割されて、それぞれのブロックがデータ部６３０に格納される。このブロックに割り当てられた番号を示す情報が、ブロック番号格納部６３２に格納される。
システムバイト６２４には、電文送信回数を示す情報が格納される。この電文送信回数は、各装置で電文６００の送信を行う毎にインクリメントされる。

（群管理装置５００の構成）
図６は、本発明の一実施形態にかかる群管理装置５００の機能ブロック図である。
図６に示すように、群管理装置５００は、通信部５０１、外部記憶部５０２、メモリ５０３、及び制御部（ＣＰＵ）５０４を有する。通信部５０１，外部記憶部５０２，メモリ５０３，及び制御部５０４それぞれは、通信路５０５を介して接続されている。

通信部５０１は、基板処理装置１００及び／又は端末装置７００との間で、ヘッダ部６２０（電文区分コード６２２Ａ）及びデータ部６３０を含む電文６００を送受信する。

外部記憶部５０２は、例えば、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）、半導体ディスク（ＳＤＤ：Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｉｓｋ）などの外部記憶装置で構成されている。

メモリ５０３は、例えば、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などで構成されている。
制御部（ＣＰＵ）５０４は、例えば本発明にかかる処理内容を有するプログラムを実行して、群管理装置５００の各構成要素を統括的に制御することにより、本発明にかかる処理を行う。

（メモリ５０３）
次に、本実施形態にかかるメモリ５０３を説明する。
メモリ５０３は、図６に示すように、リスト記憶部５３１、電文記憶部５３２、制御タスク（制御処理プログラム）５３３、電文処理部（通信処理プログラム（通信タスク））５３４、及び転送先リスト５３６を有する。

（リスト記憶部５３１）
リスト記憶部５３１は、メモリ５０３内に作業用に確保された記憶部である。本実施形態にかかるリスト記憶部５３１は、図６に示すように、データ形式リスト８００、及びＳ０Ｆ０形式情報（一時保存用バイナリデータ形式情報）８３０を有する。

データ形式リスト８００は、電文区分コード８１０とデータ形式情報８２０とを関連付けて記憶する。
電文区分コード８１０は、電文の内容を区分する情報である。
データ形式情報８２０は、電文区分コード８１０に対応して、電文のデータ部に格納されるデータのデータ形式を示す情報である。
本実施形態にかかる群管理装置５００側で記憶されているデータ形式リスト８００は、ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠している。詳細には、電文区分コード８１０は、ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠するストリームファンクションのコードである。

Ｓ０Ｆ０形式情報８３０は、群管理装置５００で未定義電文（群管理装置５００側で未定義の電文区分コードを含む電文）を受信した場合、その未定義電文をメモリ５０３に一時的に保存する際に参照される。

（電文記憶部５３２）
電文記憶部５３２は、メモリ５０３内に作業用に確保された記憶部である。電文記憶部５３２は、図６に示すように、通信部５０１で受信した電文６００、一時保存用Ｓ０Ｆ０電文６００Ｃ、転送用電文６００Ｂなどを記憶することができる。一時保存用Ｓ０Ｆ０電文６００Ｃは、Ｓ０Ｆ０形式情報８３０に基づいて、未定義電文をメモリ５０３に一時的に保存する際に生成されるバイナリ形式の電文である。

制御タスク（制御処理プログラム）５３３は、群管理装置５００の各構成要素に関する制御を行うプログラムである。

（電文処理部５３４）
電文処理部５３４は、通信部５０１より電文記憶部５３２に記憶した電文６００から電文区分コード６２２Ａを抽出し、リスト記憶部５３１からデータ形式リスト８００を読み出して、そのデータ形式リスト８００に基づいて、抽出した電文区分コード６２２Ａの定義の有無を確認する。詳細には、電文処理部５３４は、データ形式リスト８００に含まれる複数の電文区分コード８１０の内に、受信した電文６００から抽出した電文区分コード６２２Ａと一致するコード（電文区分コード）８１０があるか否かを判断する。

また、電文処理部５３４は、上記確認の結果、データ形式リスト８００に電文区分コー
ド６２２Ａが定義されている場合、データ形式リスト８００を参照して、抽出した電文区分コード６２２Ａ（８１０）に対応するデータ形式情報８２０に基づいて、電文記憶部５３２に記憶されている電文６００のデータ部６３０からデータ６３０Ａを抽出し、そのデータ６３０Ａに基づいて所定の処理を行う。
また、電文処理部５３４は、上記確認の結果、データ形式リスト８００に電文６００の電文区分コード６２２Ａが定義されていない場合、電文記憶部５３２の電文６００のデータ部６３０からデータ６３０Ａの抽出を行わずに、抽出した電文区分コード６２２Ａ及び電文記憶部５３２から読み出したデータ部６３０のデータ６３０Ａを含む転送用電文６００Ｂを生成し、通信部５０１によりその転送用電文６００Ｂを転送させる処理を行う。

転送先リスト５３６は、電文の送信元と、その電文の転送先とを関連付けて記憶している。本実施形態にかかる転送先リスト５３６は、基板処理装置１００を送信元（又は転送先）として、端末装置７００を転送先（又は送信元）として、それぞれを関連付けて記録している。

（データ形式リスト８００（電文定義フォーマット））
図７は、本発明の一実施形態にかかるデータ形式リスト８００の一例を説明するための図である。以下、図７に示すデータ形式リスト８００の一例を説明する。

データ形式リスト８００は、例えば図７に示すように、電文区分コード（ストリームファンクションのコード）８１０と、データ形式情報８２０とが関連付けられて記憶されている。

Ｓ１Ｆ１３の電文区分コード８１０は、通信の確立要求を示すコードである。そのＳ１Ｆ１３の電文区分コード８１０に対応するデータ形式情報８２０は、２つの変数を有する。１番目の変数はアスキー文字コードで６バイト長で、変数名が”ＭＯＤＬＮ”に規定されている。２番目の変数はアスキー文字コードで６バイト長で、変数名が”ＳＯＦＴＲＥＶ”に規定されている。

Ｓ１Ｆ１４の電文区分コード８１０は、通信の確立要求の確認を示すコードである。Ｓ５Ｆ２３９の電文区分コード８１０は、基板処理装置１００が発行する障害情報の通知用コードである。Ｓ７Ｆ１−１の電文区分コード８１０は、基板処理装置１００にレシピファイルをダウンロードする要求を示すコードである。Ｓ７Ｆ２−１の電文区分コード８１０は、Ｓ７Ｆ１−１の応答電文用コードである。Ｓ７Ｆ１７−１の電文区分コード８１０は、装置レシピファイルに対し削除要求するコードである。Ｓ７Ｆ１８−１の電文区分コード８１０は、Ｓ７Ｆ１７−１に対する確認を示すコードである。Ｓ７Ｆ２７−１の電文区分コード８１０は、装置レシピファイルのダウンロード結果を通知するコードである。
上記Ｓ１Ｆ１３、Ｓ１Ｆ１４、Ｓ５Ｆ２３９、Ｓ７Ｆ１−１、Ｓ７Ｆ１８−１、Ｓ７Ｆ１７−１、Ｓ７Ｆ２７−１それぞれの電文区分コード８１０に対応するデータ形式情報８２０は、例えば図７に示すように規定されている。

（群管理装置５００の動作）
図８は、本発明の一実施形態にかかる群管理装置５００の動作を説明するためのフローチャートである。図８を参照しながら、群管理装置５００の動作を説明する。

先ず、群管理装置５００の制御部５０４は、例えば外部記憶部５０２に記憶されている電文処理部（通信処理プログラム）５３４を読み出してメモリ５０３上で実行する。

（ＳＴ１）
ステップＳＴ１において、電文処理部５３４は、外部記憶部５０２に記憶されているデ
ータ形式リスト８００を読み出して、メモリ５０３に記憶させる。

（ＳＴ２）
ステップＳＴ２において、電文処理部５３４は、通信部５０１で、基板処理装置１００又は端末装置７００から電文６００を受信する処理を行う。

（ＳＴ３）
ステップＳＴ３において、電文処理部５３４は、通信部５０１で電文６００を受信した場合、通信部５０１より電文記憶部５３２に受信電文６００を記憶させる。

（ＳＴ４）
ステップＳＴ４において、電文処理部５３４は、電文記憶部５３２に記憶した電文６００から電文区分コード６２２Ａを抽出する。

（ＳＴ５）
ステップＳＴ５において、電文処理部５３４は、リスト記憶部５３１からデータ形式リスト８００を読み出して、そのデータ形式リスト８００に基づいて、抽出した電文区分コード６２２Ａの定義の有無を確認する。
詳細には、電文処理部５３４は、データ形式リスト８００に含まれる複数の電文区分コード８１０の内に、受信した電文６００から抽出した電文区分コード６２２Ａと一致するコード（電文区分コード）８１０があるか否かを判断する。

（ＳＴ６）
データ形式リスト８００に、受信電文６００から抽出された電文区分コード６２２Ａが定義されている場合、ステップＳＴ６において、電文処理部５３４は、データ形式リスト８００を参照して、抽出した電文区分コード６２２Ａに対応するデータ形式情報８２０に基づいて、電文記憶部５３２に記憶されている電文６００のデータ部６３０からデータ６３０Ａを抽出する（ステップＳＴ６Ａ）。続いて、電文処理部５３４は、そのデータ部６３０から抽出したデータ６３０Ａ及び電文区分コード６２２Ａに応じた処理を行い、ステップＳＴ２の処理に戻る。

本実施形態にかかる電文処理部５３４は、ステップＳＴ５でデータ形式リスト８００に、受信電文６００から抽出された電文区分コード６２２Ａが定義されていない場合、電文記憶部５３２の電文６００のデータ部６３０からデータ６３０Ａの抽出を行わずに、抽出した電文区分コード６２２Ａ及び電文記憶部５３２から読み出した受信電文６００のデータ部６３０を含む転送用電文６００Ｂを生成し、通信部５０１により、その転送用電文６００Ｂを所定の転送先に転送させる処理を行う。
上記電文転送処理の際、本実施形態にかかる電文処理部５３４は、未定義電文６００を、一時保存用Ｓ０Ｆ０電文（バイナリ形式）６００Ｃに変換してメモリ５０３に一時的に保存した後、そのＳ０Ｆ０電文６００Ｃに基づいて、転送用電文６００Ｂを生成する。以下、その処理について詳細に説明する。

（ＳＴ７）
ステップＳＴ７において、電文処理部５３４は、電文記憶部５３２に記憶されている電文６００のデータ部６３０からデータの抽出を行わずに、受信した電文６００をＳ０Ｆ０形式（転送用のバイナリ形式）に変換する。

（ＳＴ８）
ステップＳＴ８において、電文処理部５３４は、Ｓ０Ｆ０形式に変換された電文（Ｓ０Ｆ０電文）を、電文記憶部５３２に記憶する。

（ＳＴ９）
ステップＳＴ９において、電文処理部５３４は、転送先リスト５３６を参照して、受信した電文６００の送信元に関連付けられている転送先に関する情報を取得する。

（ＳＴ１０）
ステップＳＴ１０において、電文処理部５３４は、抽出した電文区分コード６２２Ａ及び電文記憶部５３２から読み出したデータ部６３０のデータ６３０Ａを含む転送用電文６００Ｂを生成する。

（ＳＴ１１）
ステップＳＴ１１において、電文処理部５３４は、その転送用電文６００Ｂを、ステップＳＴ８で取得した転送先（例えば端末装置７００）に、通信部５０１によりその転送用電文６００Ｂを転送させる処理を行い、ステップＳＴ２の処理に戻る。

（通常電文受信時の動作）
図９は、本発明の一実施形態にかかる群管理装置５００の通常電文を受信した際の動作の一例を説明するためのフローチャートである。図９を参照しながら、図８に示したステップＳＴ６（ＳＴ６Ａ）の処理の一例を説明する。

（Ｓ１Ｆ１３）
電文処理部５３４は、図９に示すように、例えば、受信した電文６００から抽出された電文区分コード６２２ＡにＳ１Ｆ１３（通信確立要求を示すコード）が含まれている場合、その受信した電文６００のデータ部６３０を、メモリ５０３に確保された一時格納部（不図示）に格納し（Ｓ１Ｆ１３受信処理）、データ形式リスト８００を参照して電文区分コードに対応したデータ形式情報８２０に基づいて、データ部６３０からデータ６３０Ａを抽出し（データ取得処理）、そのデータ６３０Ａに応じて、応答電文（通信確立要求確認）を要求元に送信する処理を行う（応答電文送信処理）。

（Ｓ５Ｆ２３９）
電文処理部５３４は、例えば、受信した電文６００から抽出された電文区分コード６２２ＡにＳ５Ｆ２３９（基板処理装置１００が発行する障害情報の通知を示すコード）が含まれている場合、その受信した電文６００のデータ部６３０を、メモリ５０３に確保された一時格納部に格納し（Ｓ５Ｆ２３９受信処理）、そのデータ部６３０からデータ６３０Ａを抽出し（データ取得処理）、データ６３０Ａに基づいて、その障害情報の通知を示す電文を転送先に転送する処理を行う（Ｓ５Ｆ２３９転送処理）。

（Ｓ７Ｆ１５）
電文処理部５３４は、例えば、受信した電文６００から抽出された電文区分コード６２２ＡにＳ７Ｆ１５（基板処理装置１００の装置情報のコピー結果を通知するコード）が含まれている場合、その受信した電文６００のデータ部６３０を、メモリ５０３に確保された一時格納部に格納し（Ｓ７Ｆ１５受信処理）、そのデータ部６３０からデータ６３０Ａを抽出して、それを装置データとしてメモリ５０３に記憶する（データ取得処理）。

（Ｓ１４Ｆ２０１）
電文処理部５３４は、例えば、受信した電文６００から抽出された電文区分コード６２２ＡにＳ１４Ｆ２０１（基板処理装置１００から送信されるオブジェクト（各構成要素）に関する情報の転送を指示するコード）が含まれている場合、その受信した電文６００のデータ部６３０を、メモリ５０３に確保された一時格納部に格納し（Ｓ１４Ｆ２０１受信処理）、そのデータ部６３０からデータ６３０Ａを抽出し（データ取得処理）、データ６
３０Ａに基づいて、その情報を含む電文を転送先に転送する処理を行う（Ｓ１４Ｆ２０１転送処理）。

（基板処理システム１の未定義電文に関する動作）
次に、基板処理システム１の未定義電文に関する動作の一例を図面を参照しながら説明する。
図１０は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システム１の動作を説明するための図である。
図１１は、群管理装置５００側で未定義の電文区分コードを含む電文の送受信を行う基板処理システム１の動作の一例を説明するための図である。詳細には、図１１（Ａ）は送信元（本実施形態では基板処理装置１００側）のデータ形式リスト（電文定義フォーマット）の一例を説明するための図である。図１１（Ｂ）は群管理装置５００が送信元（本実施形態では基板処理装置１００）から受信した電文６００を説明するための図である。図１１（Ｃ）は群管理装置５００が未定義電文の受信時に用いるＳ０Ｆ０形式情報８３０である。図１１（Ｄ）は群管理装置５００による一時保存用Ｓ０Ｆ０電文（バイナリデータ）６００Ｃを説明するための図である。図１１（Ｅ）は転送先の端末装置７００が有するデータ形式リストを説明するための図である。図１１（Ｆ）は群管理装置５００が転送する転送用電文（転送先の端末装置７００が受信する電文）６００Ｂを説明するための図である。

図１０に示すように、群管理装置５００は、基板処理装置１００から未定義の電文区分コードを含む電文６００を受信した場合、転送処理ＳＴ１１（詳細にはＳＴ７〜ＳＴ１１）を行い、受信電文を端末装置７００に転送する。

以下、図１１（Ａ）〜図１１（Ｆ）等を参照しながら、基板処理システム１の未定義電文に関する動作を説明する。

基板処理装置１００は、図１１（Ａ），図２に示すように、新規のＳ１００Ｆ１００の電文区分コード８１０Ａとデータ形式情報８２０Ａとを関連付けるデータ形式リスト（電文定義フォーマット）８００Ａを基板処理装置１００のメモリ１９（３０）に記憶している。
端末装置７００は、図１１（Ｅ）に示すように、基板処理装置１００の有するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）８００Ａと同じデータ形式リスト８００Ａを端末装置７００の記憶部（図示せず）に記憶している。
群管理装置５００は、図１１（Ａ）及び図１１（Ｅ）に示した新規のＳ１００Ｆ１００の電文区分コード８１０等を含むデータ形式リスト８００Ａ（電文定義フォーマット）を、リスト記憶部５３１に記憶していない（新規な電文区分コードＳ１００Ｆ１００を含まないデータ形式リスト８００については記憶している）。
群管理装置５００は、図１１（Ｂ）に示すように、新規のＳ１００Ｆ１００の電文区分コード６２２Ａ、及びその電文区分コード６２２Ａに対応するデータ形式に応じたデータ６３０Ａを含む電文６００を受信したとしても、その電文６００のデータ６３０Ａの内容を理解できない。

図１１（Ｂ）に示すように、群管理装置５００の電文処理部５３４では、受信した電文６００から抽出した電文区分コード６２２Ａ（Ｓ１００Ｆ１００）が、リスト記憶部５３１のデータ形式リスト８００に定義されていないと判断した場合、電文記憶部５３２に記憶されている電文６００のデータ部６３０からデータ６３０Ａの抽出を行わずに、図１１（Ｃ）に示すＳ０Ｆ０形式情報（一時保存用バイナリ形式）８３０に基づいて、受信電文６００を、図１１（Ｄ）に示すようにＳ０Ｆ０形式（バイナリ形式）のＳ０Ｆ０電文６００Ｃを生成して、そのＳ０Ｆ０電文６００Ｃを一時的に電文記憶部５３２に保存する。

図１１（Ｃ）に示すＳ０Ｆ０形式情報８３０には、“［Ｓ０Ｆ０］ＦＲＥＥ，ＦＲＥＥ，＜ＴＯＰ＞”と規定されている。つまり、Ｓ０Ｆ０形式情報８３０には、電文６００をバイナリデータ形式（ＦＲＥＥ）で、電文６００に対応した大きさ（一時保存用データサイズを規定せずに（ＦＲＥＥ））、電文６００を先頭から順に（＜ＴＯＰ＞）、保存するように規定されている。

続いて、群管理装置５００の電文処理部５３４は、電文６００Ｃ（６００）から抽出した電文区分コード６２２ＡのＳ１００Ｆ１００を、図１１（Ｆ）に示すように、転送用電文６００Ｂのヘッダ部６２２に格納し、電文記憶部５３２から読み出した電文６００Ｃ（６００）のデータ部６３０をそのまま、転送用電文のデータ部６３０に格納することで、転送用電文６００Ｂを生成し、その転送用電文６００Ｂを通信部５０１により、転送先（本実施形態では端末装置７００）に転送する処理を行う。

端末装置７００は、群管理装置５００から、図１１（Ｆ）に示す転送用電文６００Ｂを受信すると、受信した電文６００Ｂから電文区分コード６２２Ａ（Ｓ１００Ｆ１００）を抽出し、端末装置７００内の記憶部（不図示）に記憶されている、図１１（Ｅ）に示すデータ形式リスト８００Ａを参照して、抽出したＳ１００Ｆ１０００の電文区分コード６２２Ａ（８１０Ａ）に対応するデータ形式情報８２０Ａに基づいて、データ部６３０からデータ６３０Ａを抽出し、そのデータ６３０Ａ及び電文区分コード６２２Ａ（８１０Ａ）に応じた処理を行う。

基板処理システム１の動作は、上述した実施形態に限られるものではない。例えば、群管理装置５００が端末装置７００から未定義電文６００を受信した場合、その電文６００を基板処理装置１００に転送する処理を行ってもよい。

（本実施形態にかかる効果）
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。

（ａ）本実施形態によれば、電文処理部５３４は、通信部５０１より電文記憶部５３２に記憶した電文６００のヘッダ部６２０のコード格納部６２２から電文区分コード６２２Ａを抽出し、リスト記憶部５３１からデータ形式リスト８００を読み出して、そのデータ形式リスト８００に基づいて、抽出した電文区分コード６２２Ａの定義の有無を確認し、それが定義されていない場合、電文記憶部５３２のデータ部６３０からデータ６３０Ａの抽出を行わずに、抽出した電文区分コード６２２Ａ及び電文記憶部５３２から読み出したデータ部６３０を含む転送用電文６００Ｂを生成し、通信部５０１によりその転送用電文６００Ｂを転送させる。
このため、群管理装置５００は、基板処理装置１００又は端末装置７００から受信した電文６００中の電文区分コード６２２Ａが、群管理装置５００で記憶するデータ形式リスト８００（電文定義フォーマット）にて未定義であっても、その受信電文６００を無効として破棄することなく、簡易にその受信電文６００に対応した転送用電文６００Ｂを所定の転送先に転送することが可能である。

（ｂ）本実施形態によれば、群管理装置５００は、未定義電文６００を受信した場合であっても、その受信電文６００を破棄することがないので、基板処理装置１００と端末装置７００との間での電文の伝達不良を抑制することができる。また、電文の伝達不良による基板処理システム１の動作の不具合を抑制することができる。

（ｃ）本実施形態によれば、基板処理装置１００側又は端末装置７００側でデータ形式リスト（電文定義フォーマット）の変更を行ったとしても、群管理装置５００の内部で記憶
するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）８００を変更することなく、群管理装置５００は、簡易に未定義電文を所定の転送先に転送することが可能である。

（ｄ）本実施形態によれば、転送先の端末装置７００（又は基板処理装置１００）では、群管理装置５００から転送された電文６００Ｂを受信すると、転送先の装置の内部に記憶するデータ形式リスト（電文定義フォーマット）を参照しながら、その電文から電文区分コード及びデータを抽出し、それに応じた処理を行うことが可能である。

（ｅ）本実施形態によれば、群管理装置５００は、未定義電文６００を、Ｓ０Ｆ０形式情報８３０に基づいたバイナリ形式のＳ０Ｆ０電文６００Ｃを一時的に電文記憶部５３２に保存した後、電文６００Ｃに基づいて転送用電文６００Ｂを生成する。このため、群管理装置５００は、複雑な処理を行うことなく、簡易に電文を所定の転送先に転送する処理を行うことができる。
また、群管理装置５００は、比較的大きな記憶容量の電文記憶部５３２を有していてもよい。こうすることで、群管理装置５００は、比較的大量の複数の未定義電文６００を受信した場合であっても、未定義電文６００をバイナリ形式で一時的に電文記憶部５３２に記憶させた後、上記転送を行うという簡易な処理を行うことで、比較的短時間に複数の電文を転送することができる。

（比較例）
図１２は、比較例にかかる群管理装置５００の動作を説明するためのフローチャートである。
比較例にかかる群管理装置は、図１２に示すように、電文６００を受信すると（ＳＴ１０１）、その電文６００に含まれる電文区分コード６２２Ａが、その群管理装置内に記憶されたデータ形式リストに定義されている場合（ＳＴ１０２）、電文種別毎の所定の処理を行い（ＳＴ１０３）、受信した電文６００に含まれる電文区分コード６２２Ａが、群管理装置内に記憶されたデータ形式リストに定義されていない場合、その受信した電文６００を破棄していた（ＳＴ１０４）。
この比較例にかかる群管理装置による電文６００の破棄で、その比較例にかかる群管理装置を有する基板処理システムの動作に不具合が生じる場合がある。

（本発明の他の実施形態）
本実施形態にかかる基板処理システムは、図１に示した基板処理システム１と略同様に、一台以上の基板処理装置（半導体製造装置）１００と、基板処理装置１００に接続される群管理装置５００と、群管理装置５００に接続される一台以上の端末装置７００と、を有する。

本実施形態では、図１に示すような基板処理システムの構成において、特定の基板処理装置１００への複数台の端末装置７００から定期的に発生する装置データの取得要求に対し、同一の検索条件で検索されるデータ種別を一つの検索項目としてまとめる。こうすることにより、装置データの検索件数を低減することができる。

基板処理装置（半導体製造装置）１００から群管理装置５００に送信されるデータ（装置データ）には、基板処理装置１００が有する基板処理装置１００自体の状態、ウエハの情報、温度情報、ガス流量情報、圧力情報、及び各種センサ情報などがあり、これらの情報はそれぞれグループにより分類され、そのグループ内において詳細なデータを持っている。例えば、温度情報であれば、温度の設定、温度のモニタ値、カスケードモニタ値、プロファイルモニタ値、ヒータパワーモニタ値、などが温度情報グループとして規定される。

本実施形態では、端末装置７００で温度情報を表示する場合、先ず、端末装置７００は群管理装置５００に、検索要求を含む電文を送信する。その電文には、表示項目の１項目毎に、検索条件として温度情報グループが設定され、種別として温度設定値や温度モニタ値が設定されている。
群管理装置５００は、複数の端末装置７００から検索要求を含む電文を受信すると、その複数の電文に基づいて、検索件数を低減する処理を行う。詳細には、群管理装置５００は、複数の表示項目の検索条件を参照し、同一条件（例えば“温度情報グループ”）の表示項目を検索項目として一つの検索項目にまとめる。このように検索条件をまとめることにより、群管理装置５００内に蓄積されている装置データに対して、グループ単位での検索による、装置データの取得が可能となる。
群管理装置５００は、そのグループ単位での検索結果を、要求元の端末装置７００それぞれに送信する。

このため、本実施形態では、群管理装置５００が、比較的多くの端末装置７００から検索要求を受信した場合であっても、グループ単位で装置データの検索を行うことが可能である。つまり、検索件数を低減することができる。群管理装置５００は、そのグループ単位での検索結果に基づいて、要求元の複数の端末装置７００それぞれに、簡易に検索要求の結果を送信することができる。端末装置７００それぞれでは、その検索要求の結果を比較的短時間で受信することができる。
つまり、各端末装置７００は、端末装置７００の台数が比較的多い場合であっても、群管理装置５００から、比較的短時間で、特定の基板処理装置１００に関する検索要求に対応する装置データを取得することができる。

また、本実施形態にかかる群管理装置５００は、基板処理装置１００又は端末装置７００から未定義電文を受信した場合、上記実施形態と同様に、受信電文を無効として破棄することなく、簡易にその受信電文を所定の転送先に転送する。

このため、本実施形態にかかる群管理装置５００は、未定義電文の受信時に簡易に転送処理を行うとともに、複数の検索要求に関する装置データの検索件数が低減することにより、比較的小さい負荷で、装置データに関する処理を行うことが可能である。

＜本発明の好ましい態様＞
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。

本発明の一態様によれば、
一台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、前記群管理装置に接続される一台以上の端末装置と、を有する基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
前記電文を記憶する電文記憶部と、
電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、
前記電文を処理する電文処理部と、を有し、
前記電文処理部は、
前記通信部より前記電文記憶部に記憶した前記電文から前記電文区分コードを抽出し、
前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認し、
前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ形式リストを参照して、前記抽出した電文区分コードに対応するデータ形式情報に基づいて、前
記電文記憶部の前記データ部からデータを抽出し、
前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記電文記憶部の前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記抽出した電文区分コード及び前記電文記憶部から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成し、前記通信部により該転送用電文を転送させる
基板処理システムが提供される。

好ましくは、前記リスト記憶部に記憶された前記データ形式リストに定義されている前記電文区分コードは、ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠するストリームファンクションのコードである。

本発明の他の態様によれば、
一台以上の基板処理装置と一台以上の端末装置とに接続される群管理装置であって、
前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
前記電文を記憶する電文記憶部と、
電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、
前記電文を処理する電文処理部と、を有し、
前記電文処理部は、
前記通信部より前記電文記憶部に記憶した前記電文から前記電文区分コードを抽出し、
前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認し、
前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ形式リストを参照して、前記抽出した電文区分コードに対応するデータ形式情報に基づいて、前記電文記憶部の前記データ部からデータを抽出し、
前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記電文記憶部の前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記抽出した電文区分コード及び前記電文記憶部から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成し、前記通信部により該転送用電文を転送させる
群管理装置が提供される。

好ましくは、前記リスト記憶部に記憶された前記データ形式リストに定義されている前記電文区分コードは、ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠するストリームファンクションのコードである。

また、本発明の他の態様によれば、
一台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、前記群管理装置に接続される一台以上の端末装置と、を有する基板処理システムに実施される基板処理方法であって、
前記群管理装置は、
前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
前記電文を記憶する電文記憶部と、
電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、を有し、
前記群管理装置が、前記基板処理装置又は前記端末装置から受信した電文を前記電文記憶部に記憶し、該電文から前記電文区分コードを抽出するステップと、
前記群管理装置が、前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認するステップと
、
前記群管理装置が、前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ形式リストを参照して、前記抽出した電文区分コードに対応するデータ形式情報に基づいて、前記電文記憶部の前記データ部からデータを抽出するステップと、
前記群管理装置が、前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記電文記憶部の前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記抽出した電文区分コード及び前記電文記憶部から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成し、前記通信部により該転送用電文を、前記基板処理装置又は前記端末装置に転送させるステップと、を有する
基板処理方法が提供される。

好ましくは、前記リスト記憶部に記憶された前記データ形式リストに定義されている前記電文区分コードは、前記ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠するストリームファンクションのコードである。

以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

例えば、各端末装置（ＧＵＩ端末装置）７００は、基板処理装置（半導体製造装置）１００と同じフロア（例えばクリーンルーム内）に配置されていてもよいし、それ以外の場所に設置されてもよい。その場合、各端末装置７００は、基板処理装置１００及び群管理装置５００の両方又は一方に、通信路（例えばインターネットなどの通信ネットワークなど）を介して通信可能に接続されていればよい。

本発明にかかる基板処理装置は、半導体製造装置に適用できるだけでなく、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置などに用いられるガラス基板を処理する基板処理装置処理装置にも適用することができる。また、基板処理装置は、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、プラズマを利用したＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置などにも適用することができる。

また、リスト記憶部５３１及び電文記憶部５３２は、メモリ５０３に設けてもよいし、外部記憶部５０２に設けてもよい。

また、本発明にかかる群管理装置５００は、その群管理装置５００の内部にＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩに準拠したデータ形式リストを記憶し、そのデータ形式リストに基づいて、受信電文中の電文区分コードの定義の有無を判断していたが、この形態に限られるものではない。例えば、群管理装置５００は、ＳＥＣＳ−Ｉ又はＳＥＣＳ−ＩＩ以外の予め規定された通信プロトコルに対応したデータ形式リストを記憶し、そのデータ形式リストに基づいて、受信電文中の電文区分コードの定義の有無を判断してもよい。

１ 基板処理システム
１００ 基板処理装置（半導体製造装置）
１００Ａ プロセス制御モジュール
５００ 群管理装置
５０１ 通信部
５０２ 外部記憶部
５０３ メモリ（記憶部）
５０４ 制御部（ＣＰＵ）
５３１ リスト記憶部
５３２ 電文記憶部
５３４ 電文処理部（通信処理プログラム：通信タスク）
６００ 電文
６２０ ヘッダ部
６２２ コード格納部
６２２Ａ 電文区分コード（ストリームファンクションのコード）
６３０ データ部
６３０Ａ データ
７００ 端末装置（ＧＵＩ端末装置）
８００ データ形式リスト
８１０ 電文区分コード（ストリームファンクションのコード）
８２０ データ形式情報

Claims (4)

1. 一台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、前記群管理装置に接続される一台以上の端末装置と、
   を有する基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
   電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、
   前記電文から前記電文区分コードを抽出し、
   前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出し、前記データ形式リストにより前記電文から抽出した電文区分コードの定義の有無を確認し、
   前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記電文の前記データ部からデータを抽出し、
   前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記電文のデータ部からデータの抽出を行わずに、前記電文を一時保存用電文に変換し、一時的に保存した後、転送先リストを参照して関連付けられている転送先に関する情報を取得し、前記一時保存用電文に基づいて、前記抽出した電文区分コード及び前記電文から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成する電文処理部と、
   を有することを特徴とする基板処理システム。
2. 一台以上の基板処理装置と一台以上の端末装置とに接続される群管理装置であって、
   前記基板処理装置又は前記端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
   前記電文を記憶する電文記憶部と、
   電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、
   前記通信部より前記電文記憶部に記憶した前記電文から前記電文区分コードを抽出し、
   前記リスト記憶部から前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認し、
   前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記電文記憶部の前記データ部からデータを抽出し、
   前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記電文記憶部の前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記電文を一時保存用電文に変換し、一時的に保存した後、転送先リストを参照して関連付けられている転送先に関する情報を取得し、前記一時保存用電文に基づいて、前記抽出した電文区分コード及び前記電文記憶部から読み出した前記データ部を含む転送用電文を生成する電文処理部と、
   を有することを特徴とする群管理装置。
3. 一台以上の基板処理装置と一台以上の端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
   前記電文を記憶する電文記憶部と、電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、を有する群管理装置の通信処理プログラムであって、
   前記基板処理装置又は前記端末装置から受信した電文を前記電文記憶部に記憶し、該電文から前記電文区分コードを抽出するステップと、
   前記基板処理装置又は前記端末装置から受信した電文から前記電文区分コードを抽出するステップと、
   前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認するステップと、
   前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ部からデータを抽出するステップと、
   前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記電文を一時保存用電文に変換し、一時的に保存した後、転送先リストを参照して関連付けられている転送先に関する情報を取得し、前記一時保存用電文に基づいて、前記抽出した電文区分コード及び前記データ部を含む転送用電文を生成するステップと、
   を有する通信処理プログラム。
4. 基板処理装置と端末装置との間で、電文区分コード及びデータ部を含む電文を送受信する通信部と、
   前記電文を記憶する電文記憶部と、電文区分コードとデータ形式情報とを関連付けるデータ形式リストを記憶するリスト記憶部と、を有する群管理装置のデータ処理方法であって、
   前記基板処理装置又は前記端末装置から受信した電文から前記電文区分コードを抽出するステップと、
   前記データ形式リストを読み出して、該データ形式リストに基づいて前記抽出した電文区分コードの定義の有無を確認するステップと、
   前記データ形式リストに前記電文区分コードが定義されている場合、前記データ部からデータを抽出するステップと、
   前記データ形式リストに前記電文の電文区分コードが定義されていない場合、前記データ部からデータの抽出を行わずに、前記電文を一時保存用電文に変換し、一時的に保存した後、転送先リストを参照して関連付けられている転送先に関する情報を取得し、前記一時保存用電文に基づいて、前記抽出した電文区分コード及び前記データ部を含む転送用電文を生成するステップと、
   を有する群管理装置のデータ処理方法。

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