JP5279288B2 - 基板処理システム及びデータ検索方法 - Google Patents
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Description
比較した結果、両者の検索条件が一致しない場合、検索項目2の検索条件2に設定される。
Claims (9)
- 基板を処理する複数の基板処理装置と、
前記各基板処理装置を管理する群管理装置と、
前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成し、前記群管理装置へ送信する複数の操作端末とを備え、
前記群管理装置は、前記複数の操作端末のそれぞれより取得した前記データ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成することを特徴とする基板処理システム。 - 前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報であるデータ取得要求フォーマットとをまとめてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。
- 前記群管理装置が、基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアと、前記作成されたマージテーブルを用い、対象とする前記データ蓄積エリアを前記取得要求フォーマットから取得した検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納し、
前記データ検索結果格納テーブルと前記マージデータ管理テーブルの内容を照合して、前記操作端末にデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信する請求項2記載の基板処理システム。 - 前記群管理装置は、定期的に前記データ蓄積エリアを検索し、前記操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする請求項3記載の基板処理システム。
- 前記操作端末からのデータ取得要求は、前記操作端末における操作画面切り換え操作で発生することを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。
- 基板を処理する複数の基板処理装置と、
前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成する複数の操作端末と、
前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする基板処理システム。 - 前記群管理装置は、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをまとめてマージデータ管理テーブルを作成することを特徴とする請求項6記載の基板処理システム。
- 表示対象の操作端末に表示する表示項目毎に検索条件とデータ種別がフォーマット化されたデータ取得要求フォーマットを送信し、該データ取得要求フォーマットに基づいて、同一の検索条件で検索される各表示項目におけるデータ種別をマージしてマージテーブルを作成し、該マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索するデータ検索方法。
- 前記マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索した結果を第一の検索結果格納テーブルに格納し、
前記第一の検索結果格納テーブルと前記データ取得要求フォーマットと前記マージテーブルをマージしたマージデータ管理テーブルとを照合して、データを送信するための第二の検索結果格納テーブルを作成し、該第二の検索結果格納テーブルの内容を該当する前記操作端末に送信する請求項8記載のデータ検索方法。
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