JP5279288B2 - 基板処理システム及びデータ検索方法 - Google Patents

Description

本発明は、群管理装置によって半導体製造装置などの複数の基板処理装置の情報を一元管理する基板処理システムに関し、特に、群管理装置で取り扱われるデータを効率的に検索する基板処理システム及びデータ検索方法に関する。

従来より、群管理装置においては、それぞれの半導体製造装置より送信されるデータを各半導体製造装置単位で群管理装置の内部にある半導体製造装置データ蓄積エリアに蓄積している。そして、群管理装置は、定期的に発生する各ＧＵＩ（Graphical User Interface）端末（つまり、各操作端末）から送信される表示対象の半導体製造装置のデータ取得要求にしたがって、該当する半導体製造装置のデータをそのまま半導体製造装置データ蓄積エリアより検索して、その結果を該当するＧＵＩ端末に送信している。このような機能を備える群管理装置を用いることにより、例えば、基板処理を行うときのレシピの不整合や不良ロットの発生を未然に防止することができる（例えば、特許文献１参照）。

図１４は、一般的な群管理装置（群管理システム）のデータの流れを示す概念図である。つまり、この図は、従来の群管理装置におけるＧＵＩ端末からの表示データ取得要求に対するデータ検索時のデータの流れを示し、具体的にはＧＵＩ端末に表示する半導体製造装置のデータ取得の流れを示している。図１４において、実線の矢印は半導体製造装置１のデータの流れを示し、破線は半導体製造装置２のデータの流れを示し、鎖線は半導体製造装置ｎのデータの流れを示している。尚、以下の説明では、ＳＥＭＩの標準規格Ｅ１２０に定義される共通装置モデル（ＣＥＭ[Common Equipment Model]）の仕様に準拠したインタフェースを持つ半導体製造装置を単に装置ということがある。
特開２００６−７３８４５号公報

しかしながら、前記図１４の群管理装置のデータの流れに示すように、ｎ台の装置とｎ台のＧＵＩ端末との間でデータのやりとりを行うと、群管理装置内において負荷に集中状態が発生する。すなわち、ＧＵＩ端末からの表示対象の装置データの取得要求時において、ＧＵＩ端末に表示する装置データの項目数が多くなったり、ＧＵＩ端末で表示される装置の台数及びＧＵＩ端末の台数が増加したりすると、群管理装置内でのデータ検索処理負荷が増大してデータの検索に遅延が生じてしまう。その結果、ＧＵＩ端末にデータが表示されるのに長い時間を要したり、場合によってはタイムアウト等のエラーが発生し、ＧＵＩ端末にデータを表示することができなくなるおそれがある。

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、半導体製造装置などの基板処理装置やＧＵＩ端末の台数が増加しても群管理装置内でのデータ検索処理の負荷を増大させないようにして、データ検索を迅速に行って必要なデータをＧＵＩ端末に確実に表示させることができる基板処理システムを提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、前記各基板処理装置を管理する群管理装置と、前記群管理装置と接続時に前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成し、前記群管理装置へ送信する複数の操作端末とを備えた。

ここで、前記群管理装置は、前記操作端末からのデータ取得要求時に、前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目をマージしてマージテーブルを作成することを特徴とする。

本発明によれば、群管理装置によるデータのグループ分け機能やデータマージ機能により、ＧＵＩ端末から表示データ取得要求が発行されたとき、ＧＵＩ端末のデータ取得に遅延が生じるおそれがなくなる。また、群管理装置の内部でデータ検索を行う場合、データマージを行うことにより、データ検索負荷を軽減させたり内部メモリの使用量を減少させたりすることが可能となる。更に、従来のような重複したデータの検索がなくなるため、検索時間の短縮が可能となる。

まず、本発明における基板処理システムの概要について説明する。図１は、本発明における基板処理システムの基本構成図である。図１に示すように、本発明の基板処理システムは、複数台の装置２の情報を一元管理することの可能な群管理装置３が複数台の装置２のデータを蓄積していて、これら（つまり、複数台の装置２と群管理装置３）がネットワークで接続された構成となっている。さらに、複数台の装置２のデータを表示することができる複数台のＧＵＩ端末４（つまり、装置２のデータを表示可能な端末）と群管理装置３とがネットワークで接続された構成となっている。本発明の基板処理システムは、図１のような構成において、複数台のＧＵＩ端末４に表示するデータの効率的な検索手段を実現するものである。

図１のような基板処理システムの構成において、特定の装置２への複数台のＧＵＩ端末４より定期的に発生する装置データ取得要求に対し、同一の検索条件で検索されるデータ種別を１つの検索項目としてまとめることにより、装置データの検索件数の削減を行うことができる。つまり、半導体製造装置（装置２）より群管理装置３に送られてくるデータ（装置データ）には、装置２が持つ装置自体の状態、ウエハの情報、温度情報、ガス流量情報、圧力情報、及び各種センサ情報などがあり、これらの情報はそれぞれグループにより分類され、そのグループ内において詳細なデータを持っている。例えば、温度情報であれば、温度の設定値、モニタ値、カスケードモニタ値、プロファイルモニタ値、ヒータパワーモニタ値などが温度情報グループとして定義される。このため、ＧＵＩ端末４によって温度情報を表示しようとする場合は、表示項目の１項目ごとに、検索条件に温度情報グループを設定し、種別に温度設定値や温度モニタ値を設定して、これらを群管理装置３に渡している。

一方、群管理装置３では、ＧＵＩ端末４より取得した複数の表示項目の検索条件を参照し、同一条件（この場合は「温度情報グループ」）の表示項目を検索項目として１つの項目にまとめる。このようにして検索条件を１つにまとめることにより、群管理装置３内に蓄積されている装置データに対してグループ単位での検索によるデータの取得が可能となる。ＧＵＩ端末４は複数台存在するが、群管理装置３においてグループ単位で検索できるため、ＧＵＩ端末４の台数を意識することなく、装置データの取得を行うことが可能となる。

これにより、群管理装置３が行う装置２データの検索負荷を軽減させることができる。従って、検索時間に遅延を発生させることなく、各ＧＵＩ端末４に対して適切な検索結果を返すことのできる複数のＧＵＩ端末４に対応した検索方式を実現することが可能となる。すなわち、群管理装置３に接続する複数台のＧＵＩ端末４が必要とする複数台の装置２のデータを検索するマージデータ検索方式を実現することができる。さらには、群管理装置３が行う複数台のＧＵＩ端末４のマージデータ管理方式や複数台のＧＵＩ端末４へのマージデータ展開方式を実現することができる。尚、マージとは、コンピュータで複数のファイルを併合して１つのファイルを作ることである。

ここで、マージ可能な理由は、群管理装置３では、ＧＵｌ端末４からのデータ取得要求を受けたときに現在接続中のＧＵＩ端末４の情報とを合わせてマージテーブル及びマージデータ管理テーブルを再構築しているからである。なお、ＧＵｌ端末４からのデータ取得要求フォーマットが送られるのはＧＵｌ端末４の接続時のみである。その後は定期的に群管理装置３がマージされたデータをもとにＧＵｌ端末４に対しデータ取得応答を発行している。

次に、本発明における基板処理システムの実施形態について詳細に説明する。まず、図２を用いて、ＧＵＩ端末４からのデータ取得要求フォーマットの統一化について説明する。この図は、群管理装置３において装置２データの検索効率を向上するためのＧＵＩ端末４に表示する装置データ取得要求フォーマットの定義の例を示すものである。右図が各ＧＵＩ端末４の表示画像群であり、左図が各ＧＵＩ端末４で作成される表示データ取得要求フォーマットである。

図２に示すように、各ＧＵＩ端末４は複数の画面表示パターンを持っているが、何れの画面表示パターンの場合も表示するデータ項目単位（装置毎）に検索条件と表示データ種別の定義を行い（つまり、図２の左図に示すようなデータ取得要求フォーマットを作成し）、装置２単位に分類して群管理装置３に渡している。ここで、図２の左側は、図２の右側の各ＧＵＩ端末４の表示画像群のうちの一つをフォーマットしたものである。

群管理装置３では各ＧＵＩ端末４の画面表示項目の検索条件と種別の定義に基づいてマージを行う。そのため、各ＧＵＩ端末４より送られる情報はフォーマットを統一化している。

次に、基板処理システムにおけるＧＵＩ端末のある画面（画面Ａ）表示データ取得要求時のフォーマットの具体的な一例について説明する。図３は、図２に示すＧＵＩ端末のある画面（画面Ａ）の表示データ取得要求時のフォーマットの具体例を示す図である。すなわち、図３は、ＧＵＩ端末４によって各装置２（図３における装置ナンバーとしての装置１、２…５）の温度設定値及び温度モニタ値を表示する場合のＧＵＩ端末表示画面イメージと、群管理装置３に渡すための表示データ取得要求フォーマット（表示項目格納テーブル）の関連を示している。尚、装置は５台に限定されないのは言うまでもない。

尚、図３以降の図中では、装置の符号（つまり、図１に示す装置２）としてではなく、装置の番号として装置１、２…５と表現することにする。同様にして、ＧＵＩ端末の符号（つまり、図１に示すＧＵＩ端末４）としてではなく、ＧＵＩ端末の番号としてＧＵＩ端末１、２…ｎと表現することにする。

図３のステップＳ１において、装置１の温度設定値を『表示項目格納テーブル』の装置１の表示項目１に設定する。この場合は、データが温度であるので検索条件は「温度グループ」とする。さらに、装置１の温度モニタ値を『表示項目格納テーブル』の装置１の表示項目２に設定する。この場合もデータが温度であるので検索条件は「温度グループ」とする。次に、ステップＳ２において、前述と同様に、装置２の温度設定値及び温度モニタ値を『表示項目格納テーブル』の装置２の表示項目１及び表示項目２に設定する。以降、ステップＳ３のように、各装置単位で表示項目を『表示項目格納テーブル』の表示項目１及び表示項目２に追加設定する。

次に、群管理装置内における装置データ検索項目のマージ方式について説明する。図４は、本発明の基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目マージ方式の概念図である。つまり、この図は、ＧＵＩ端末より取得したデータ表示項目から群管理装置内において蓄積している装置データの検索を効率よく行うためのマージ方式を示しており、右図はＧＵＩ端末単位の表示項目格納テーブル、左図は装置単位の検索項目データマージテーブルを示している。

ここで、マージデータ管理テーブルの定義について述べる。マージデータ管理テーブルは、半導体製造装置より報告されるデータの検索取得回数を削減することを目的とし、かつ検索結果取得したデータを誤ることなく効率よく各ＧＵＩ端末の該当する項目に展開するためのテーブルである。

図４に示すように、群管理装置では、各ＧＵＩ端末より取得した情報（つまり、表示データ取得要求フォーマット）をＧＵＩ端末毎に内部テーブル（つまり、図４右図のＧＵＩ端末単位での表示項目格納テーブル）に保管している。そして、保管された各ＧＵＩ端末の情報より同一装置の情報を取得し、同一検索条件の各表示項目における表示データ種別を図４左図の装置単位の検索項目データマージテーブルに格納する。つまり、同一検索条件である表示データの種別を１つの項目にまとめてマージテーブル（つまり、左図の装置単位の検索項目データマージテーブル）に格納する。これによって、特定装置への複数台のＧＵＩ端末からの要求をマージすることにより、検索条件数が大幅に削減される。

尚、図４右図の内部テーブルについて、ＧＵＩ端末１、２・・・ｎ装置１というのは、装置１のデータを表示するＧＵＩ端末が群管理装置３に１、２・・・ｎ台接続されていることを示す。表示項目はＧＵＩ端末が表示する項目を示す（例えば、“１”は表示項目１を示す）。検索条件は、群管理装置３がデータ蓄積エリアのデータを検索するための条件を示す（例えば、“１”は検索条件１を示す）。種別はＧＵｌ端末が表示したい項目の種類を示す（例えば、“１”は種別１を示す）。また、表示項目と検索項目は同じであり、同じ表示項目がある場合は１つの検索項目にマージするイメージで表現が変えてある。

図５は、図４に示す基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索方式の具体例を示す概念図である。以下、図５を用いて、図４に示す検索方式の具体的な例を説明する。尚、図５の右図は表示項目格納テーブル、左図は検索項目データマージテーブルを示している。

まず、図５のステップＳ１１において、『ＧＵＩ端末１』より取得した『表示項目格納テーブル』より『装置１』の表示項目１の検索条件１を取り出して、『検索項目データマージテーブル』の『装置１』の検索項目１の検索条件１に設定する。次に、ステップＳ１２において、『表示項目格納テーブル』の『装置１』の表示項目１の種別１を取り出して、『検索項目データマージテーブル』の『装置１』の検索項目１の種別１に設定する。そして、ステップＳ１３において、『表示項目格納テーブル』の『装置１』の表示項目２の検索条件１と、『検索項目データマージテーブル』の『装置１』の検索項目１の検索条件１とを比較する。
比較した結果、両者の検索条件が一致しない場合、検索項目２の検索条件２に設定される。

ここで両者の検索条件が一致した場合は、『表示項目格納テーブル』の『装置１』の表示項目２の種別１と、『検索項目データマージテーブル』の『装置１』の検索項目１の種別１とを比較する。そして、両者の種別が一致した場合は、両者は同一検索項目であると判断して検索項目に追加を行わない。

ステップＳ１４において、両者の種別が不一致であった場合は次に続く種別との比較を行い、比較対象の種別が存在しない場合は新規種別として検索項目に追加を行う。そして、ステップＳ１５において、指定した装置が複数台ある場合は装置台数分だけ上記のステップＳ１１〜Ｓ１４の処理を繰り返す。さらに、ステップＳ１６において、ＧＵＩ端末が複数台存在する場合はＧＵＩ端末の台数分だけ上記のステップＳ１２〜Ｓ１５の処理を繰り返す。

次に、マージデータ管理テーブルについて説明する。図６は、図１に示す群管理装置３におけるマージデータ管理テーブルを示す図であり、マージした検索項目に対するＧＵＩ端末表示項目を定義するテーブルを示している。つまり、マージした表示項目がどのＧＵＩ端末のどの表示項目であるかを認識するために図６に示すようなマージデータ管理テーブルを作成する。

尚、図６におけるＧＵＩ端末表示項目情報とはＧＵＩ端末から送られてくる表示データ取得要求フォーマットの情報を示すものである。また、マージデータ管理テーブルは群管理装置３に接続される装置１の台数分だけ作成される。さらに、データ検索結果格納テーブルとは検索項目データマージテーブルに検索結果を格納したものである。

図６に示すように、ＧＵＩ端末表示項目格納テーブルの情報とマージテーブルの情報とを対比させることにより、データの所在を確認することが可能となり、装置データ検索結果後のマージデータからＧＵＩ端末表示項目への展開が容易となる。

ここで、マージデータ管理テーブルについてさらに詳しく説明する。マージデータ管理テーブルは、ＧＵＩ端末からの『表示項目格納テーブル』の種別情報が『検索項目データマージテーブル』のどの種別情報に該当するのかを管理するテーブルである。

群管理装置３において複数のＧＵＩ端末から表示の要求を受けた場合は、その都度データ検索を行うと検索に時間がかかり、結果として、検索に遅延が発生してＧＵＩ端末の画面描画性能に悪影響を与えてしまう。そのため、ＧＵＩ端末からの要求で同一の項目は一度の検索においてデータを取得する必要がある。つまり、各ＧＵＩ端末からの表示項目において同一項目をマージし、検索件数を削減して検索時の負担を軽減させる必要がある。また、マージ後の検索した結果データを各ＧＵＩ端末に渡す場合は、該当するＧＵＩ端末からの要求順（つまり、表示項目及び種別順）に結果データを展開する必要があり、マージデータ管理テーブルはそれらの内容を容易に展開するための管理テーブルである。

図７は、図６に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す概念図であり、マージデータ管理テーブルは図７に示す項目により構成されていて図の矢印のように展開される。ＧＵＩ端末表示項目情報は、ＧＵＩ端末より取得した『表示項目格納テーブル』の各種情報を番号にて管理する。例えば、ＧＵＩ端末としてＧＵＩ端末の番号を示し、ＧＵＩ端末の表示項目として表示項目格納テーブルの表示項目番号を示し、ＧＵＩ端末の検索条件として表示項目格納テーブルの検索条件番号を示し、さらに、ＧＵＩ端末の種別として表示項目格納テーブルの種別番号を示す。

また、マージテーブル情報は、装置取得データの検索件数を削減するための『検索項目データマージテーブル』の各種情報を番号にて管理する。例えば、検索項目として検索項目データマージテーブルの検索項目番号を示し、検索条件として検索項目データマージテーブルの検索条件番号を示し、種別として検索項目データマージテーブルの種別番号を示す。

図８は、図６に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す流れ図である。ここで、マージデータ管理テーブルに情報を設定するタイミングはマージデータの作成と同時に行う。マージデータ管理テーブルへの情報設定手順は以下の通りである。すなわち、ステップＳ２１において、『マージデータ管理テーブル』の［ＧＵＩ端末表示項目情報］に『表示項目格納テーブル』のＧＵＩ端末番号、表示項目番号、検索条件番号、種別番号をＧＵＩ端末の台数分だけ設定する。

さらに、ステップＳ２２において、『表示項目格納テーブル』の情報より『検索項目データマージテーブル』を作成する。そのときの手順は、前述の図５における装置データ検索方式のステップＳ１１〜Ｓ１６の手順と同じであるので、重複する説明は省略する。そして、ステップＳ２３において、Ｓ２２で行った『検索データマージテーブル』の設定時に、該当する情報をマージデータ管理テーブルに展開する。このようにして、全てのＧＵＩ端末４の全表示項目に対して前述のステップＳ２１〜Ｓ２３を繰り返す。

次に、データ検索結果格納方式について説明する。図９は、図１に示す群管理装置３が行うデータ検索結果格納テーブルヘの展開の様子を示す概念図である。つまり、図９は、検索項目にしたがった装置データ検索実施時の検索結果を格納するテーブルヘの流れを示し、左図は装置単位の検索項目データマージテーブル、右図はデータ検索結果格納テーブルを示している。

まず、作成されたマージデータを用いて、検索条件と種別より装置情報のデータ検索を行う。次に、検索結果は、マージデータの検索項目内の種別に応じた項目を検索結果格納テーブルに格納する。尚、このときの検索条件は不要である。すなわち、図９に示すように、検索条件と種別よりデータを検索して、例えば、『装置１』のデータ蓄積エリアに格納する。そして、検索結果をデータ検索結果格納テーブルに格納する。

図１０は、図９に示すデータ検索結果格納テーブルヘの展開の具体的な一例を示す展開図である。まず、ステップＳ３１において、『検索項目データマージテーブル』の検索条件１に一致する温度グループを蓄積データより検索する。次に、ステップＳ３２において、ステップＳ３１で一致する温度グループがある場合は『検索項目データマージテーブル』の同一グループ内の各種別を順に検索する。そして、ステップＳ３３において、ステップＳ３２で検索した結果を『データ検索結果格納テーブル』に設定する。

次に、データ検索結果展開方式について説明する。図１１は、図１に示す群管理装置が行うデータ検索結果展開方式の流れを示す概念図であり、装置データの検索結果より、ＧＵＩ端末検索結果格納テーブルヘの展開の流れを示している。データ検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルより各ＧＵＩ端末に渡すためのＧＵＩ端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当するＧＵＩ端末に送信する。このとき、検索項目と種別より当該ＧＵＩ端末のどの項目であるかを確認して検索結果を格納する。

図１２は、図１１に示すデータ検索結果展開方式の具体的な流れを示す流れ図である。図１２において、まず、ステップＳ４１において、データ検索結果格納テーブルの検索項目番号及び種別番号と一致するＧＵＩ端末表示項目情報をマージデータ管理テーブルより取得する。次に、ステップＳ４２において、ステップＳ４１で取得した情報（つまり、ＧＵＩ端末番号、表示項目、種別）に基づいてＧＵＩ端末検索結果格納テーブルの該当する位置を求める。さらに、ステップＳ４３において、ステップＳ４２で求めた位置に対して装置より取得したデータを設定する。そして、ステップＳ４４において、マージデータ管理テーブルに格納されている行数分だけステップＳ４１〜Ｓ４３の処理を繰り返す。

次に、上述した内容を要約するために群管理装置３のデータの流れの具体的な一例を説明する。図１３は、本発明の基板処理システムにおける群管理装置３のデータの流れを示す流れ図である。まず、ステップＳ５１において、群管理装置３は、各装置２から最新の装置情報を不定期に受信して自己の装置データ蓄積エリアへ蓄積する。このときの装置情報には、装置の状態、ウエハの状態、温度情報、ガス流量情報、圧力情報、センサ情報などさまざまな情報が存在する。

そして、ステップＳ５２において、群管理装置３は、ＧＵＩ端末からの表示データ取得要求を受け付け、検索項目を装置単位ごとに分けてデータ検索テーブルに格納する。さらに、ステップＳ５３において、群管理装置３は、ＧＵＩ端末のデータ検索テーブルに格納された検索項目に対して、対象装置のデータ蓄積エリアより該当するデータを個々に検索する。次に、ステップＳ５４において、群管理装置４は、ステップＳ５３で検索した結果を装置単位で検索結果格納テーブルに格納する。そして、ステップＳ５５において、群管理装置３は、検索結果格納テーブルより検索結果データを取り出してＧＵＩ端末に返却する。これによって、ＧＵＩ端末は群管理装置３より取得した検索結果を適切に表示する。

以上の実施形態では、基板処理装置として半導体製造装置を適用した場合について説明したが、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも本実施形態が適用できることは言うまでもない。

次に、本発明が適用される基板処理装置の具体的な実施形態について説明する。本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１５は、本発明に適用される処理装置の平面透視図として示されている。また、図１６は図１５に示す処理装置の側面透視図である。

図１５及び図１６に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器、以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。

筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。また、ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつ、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には、一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。

ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

図１５に示されているように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するように、供給フアン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａに流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、大気圧未満の圧力（以下、負圧という。）を維持可能な機密性能を有する筐体（以下、耐圧筐体という。）１４０が設置されており、この耐圧筐体１４０によりボート２１７を収容可能な容積を有するロードロック方式の待機室であるロードロック室１４１が形成されている。

耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａにはウエハ搬入搬出開口（基板搬入搬出開口）１４２が開設されており、ウエハ搬入搬出開口１４２はゲートバルブ（基板搬入搬出口開閉機構）１４３によって開閉されるようになっている。耐圧筐体１４０の一対の側壁には、ロードロック室１４１へ窒素ガスを給気するためのガス供給管１４４と、ロードロック室１４１を負圧に排気するための排気管１４５とがそれぞれ接続されている。

ロードロック室１４１上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は炉口ゲートバルブ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａの上端部には、炉口ゲートバルブ１４７を処理炉２０２の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー１４９が取り付けられている。

図１５に示されているように、耐圧筐体１４０にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。

ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

次に、図１５及び図１６に示す処理装置の動作について説明する。図１５及び図１６に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。

搬入されたポッド１１０は、回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室１４１のウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３の動作により開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口１４２を通じてロードロック室１４１に搬入され、ボート２１７へ移載されて装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７装填されると、ウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３によって閉じられ、ロードロック室１４１は排気管１４５から真空引きされることにより、減圧される。

ロードロック室１４１が処理炉２０２内の圧力と同圧に減圧されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ１４７は炉口ゲートバルブカバー１４９の内部に搬入されて収容される。

続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５の昇降台１６１によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。そして、処理後は、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、更に、ロードロック室１４０内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ１４３が開かれる。その後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。

以上、本実施において好ましい形態における基板処理システムは、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報であるデータ取得要求フォーマットとをまとめてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備えている。

また、本実施例における基板処理システムは、前記群管理装置が、基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアと、前記作成されたマージテーブルを用い、対象とする前記データ蓄積エリアを前記取得要求フォーマットから取得した検索条件と種別により検索し、検索した結果を格納するデータ検索結果格納テーブルとを備え、前記検索結果格納テーブルと前記マージデータ管理テーブルにより、前記操作端末のそれぞれにデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする。

また、本実施例おける基板処理システムにおいて、前記群管理装置は、定期的に前記データ蓄積エリアを検索し、前記操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする。

また、前記操作端末からのデータ取得要求は、前記操作端末における操作画面切り換え操作で発生することを特徴とする。

さらに、本実施例の一態様における基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、電源を入れたときに前記基板処理装置毎にデータ取得要求フォーマットを作成する複数の操作端末と、前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目をマージしてマージテーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする。

また、この前記群管理装置は、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをまとめてマージデータ管理テーブルを作成することを特徴とする。

また、本実施例の一態様における基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、データ取得要求時に基板処理装置ごとにデータ取得要求フオーマットを作成する複数の操作端末と、複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納し、基板処理装置ごとのマージテーブルを作成すると共に、そのマージテーブルの情報と操作端末の表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備え、群管理装置が、作成されたマージテーブルを用い、対象とする基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアを検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納し、検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルにより、操作端末のそれぞれにデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当する操作端末に送信するように構成されている。

また、本実施例の一態様においては、複数の基板処理装置の情報を一元管理する基板処理システムにおける群管理装置であって、複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納し、前記基板処理装置ごとのマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成するものである。

また、本実施例の一態様にいては、基板処理システムにおける基板処理方法を提供することもできる。すなわち、基板を処理する基板処理装置と、複数の基板処理装置を管理する群管理装置と、群管理装置に接続された複数の操作端末とで構成される基板処理システムにおける基板処理方法であって、操作端末がデータ取得要求時に基板処理装置ごとにデータ取得要求フオーマットを作成する手順と、群管理装置が、各操作端末より取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから、同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納して基板処理装置ごとのマージテーブルを作成する手順と、マージテーブルの情報と操作端末表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成する手順と、作成されたマージテーブルを用い、対象とする基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアを検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納する手順と、検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルにより各操作端末にデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当する操作端末に送信する手順とを含むことを特徴とする基板処理方法を提供することもできる。

本発明における基板処理システムの基本構成図である。 本発明の基板処理システムにおけるＧＵＩ端末表示データ取得要求時のフォーマット例を示す図である。 図２に示すＧＵＩ端末表示データ取得要求時のフォーマットの具体例を示す図である。 本発明の基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目マージ方式の概念図である。 図４に示す基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目データマージ方式の具体例を示す概念図である。 図１に示す群管理装置におけるマージデータ管理テーブルを示す図である。 図６に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す概念図である。 図６に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す流れ図である。 図１に示す群管理装置が行うデータ検索結果格納テーブルヘの展開の様子を示す概念図である。 図９に示すデータ検索結果格納テーブルヘの展開の具体的な一例を示す展開図である。 図１に示す群管理装置が行うデータ検索結果展開方式の流れを示す概念図である。 図１１に示すデータ検索結果展開方式の具体的な流れを示す流れ図である。 本発明の基板処理システムにおける群管理装置のデータの流れを示す流れ図である。 一般的な群管理装置のデータの流れを示す概念図である。 本発明に適用される処理装置の平面透視図である。 図１５に示す処理装置の側面透視図である。

符号の説明

２ 装置（半導体製造装置）、３ 群管理装置、４ ＧＵＩ端末。

Claims (9)

1. 基板を処理する複数の基板処理装置と、
   前記各基板処理装置を管理する群管理装置と、
   前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成し、前記群管理装置へ送信する複数の操作端末とを備え、
   前記群管理装置は、前記複数の操作端末のそれぞれより取得した前記データ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成することを特徴とする基板処理システム。
2. 前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報であるデータ取得要求フォーマットとをまとめてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする請求項１記載の基板処理システム。
3. 前記群管理装置が、基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアと、前記作成されたマージテーブルを用い、対象とする前記データ蓄積エリアを前記取得要求フォーマットから取得した検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納し、
   前記データ検索結果格納テーブルと前記マージデータ管理テーブルの内容を照合して、前記操作端末にデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信する請求項２記載の基板処理システム。
4. 前記群管理装置は、定期的に前記データ蓄積エリアを検索し、前記操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする請求項３記載の基板処理システム。
5. 前記操作端末からのデータ取得要求は、前記操作端末における操作画面切り換え操作で発生することを特徴とする請求項１記載の基板処理システム。
6. 基板を処理する複数の基板処理装置と、
   前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成する複数の操作端末と、
   前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする基板処理システム。
7. 前記群管理装置は、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをまとめてマージデータ管理テーブルを作成することを特徴とする請求項６記載の基板処理システム。
8. 表示対象の操作端末に表示する表示項目毎に検索条件とデータ種別がフォーマット化されたデータ取得要求フォーマットを送信し、該データ取得要求フォーマットに基づいて、同一の検索条件で検索される各表示項目におけるデータ種別をマージしてマージテーブルを作成し、該マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索するデータ検索方法。
9. 前記マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索した結果を第一の検索結果格納テーブルに格納し、
   前記第一の検索結果格納テーブルと前記データ取得要求フォーマットと前記マージテーブルをマージしたマージデータ管理テーブルとを照合して、データを送信するための第二の検索結果格納テーブルを作成し、該第二の検索結果格納テーブルの内容を該当する前記操作端末に送信する請求項８記載のデータ検索方法。

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