KR20110007076A - 기판 처리 시스템 및 데이터 검색 방법 - Google Patents

Abstract

장치나 GUI 단말이 증가하더라도 군 관리 장치 내에서의 데이터 검색 처리의 부하를 증대시키지 않고, GUI 단말에 있어서의 데이터 검색과 표시를 신속히 수행한다.
장치(2)로부터 송신되는 데이터는 군 관리 장치(3)에 의하여 그룹마다 분류된다. 이 때문에, GUI 단말(4)에 의하여 예를 들면 온도 정보를 표시하는 경우에는, 표시 항목의 한 항목마다 검색 조건에 온도 정보 그룹을 설정하고 종별로 온도 설정치나 온도 모니터치를 설정하고, 이들을 군 관리 장치(3)에 전달한다. 군 관리 장치(3)는, GUI 단말(4)로부터 취득한 복수의 표시 항목의 검색 조건을 참조하여, 동일한 조건의 표시 항목을 검색 항목으로 하여 하나의 항목으로 정리한다. 이에 따라, 군 관리 장치(3) 내에 축적되어 있는 데이터에 대하여 그룹 단위에서의 요구에 의하여 데이터의 취득이 가능하게 되어, 장치 데이터의 검색 건수를 삭감할 수가 있다.

Description

기판 처리 시스템 및 데이터 검색 방법{SUBSTRARE PROCESSING SYSTEM AND DATA RETRIEVAL METHOD}

본 발명은 군 관리 장치에 의하여 반도체 제조장치 등 복수의 기판 처리 장치의 정보를 일원화하여 관리하는 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 특히, 군 관리 장치로 취급되는 데이터를 효율적으로 검색하는 기판 처리 시스템 및 데이터 검색 방법에 관한 것이다.

종래의, 군 관리 장치에 있어서는, 각각의 반도체 제조장치로부터 송신되는 데이터를 각 반도체 제조장치 단위로 군 관리 장치의 내부에 있는 반도체 제조장치 데이터 축적 에리어에 축적하고 있다. 따라서, 군 관리 장치는 정기적으로 발생하는 각 GUI(Graphical User Interface) 단말(즉, 각 조작 단말)로부터 송신되는 표시 대상인 반도체 제조장치의 데이터 취득 요구에 따라서, 해당하는 반도체 제조장치의 데이터를 그대로 반도체 제조장치 데이터 축적 에리어로부터 검색하고, 그 결과를 해당하는 GUI 단말에 송신하고 있다. 이와 같은 기능을 구비한 군 관리 장치를 사용함으로써, 예컨대, 기판을 처리할 때의 레시피(recipe)의 부정합(不整合)이나 불량 로트(lot)의 발생을 미연에 방지할 수 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

도 14는 일반적인 군 관리 장치(군 관리 시스템)에 있어서의 데이터의 흐름을 나타내는 개념도이다. 즉, 이 도면은, 종래의 군 관리 장치에 있어서의 GUI 단말로부터의 표시 데이터 취득 요구에 대한 데이터 검색시의 데이터 흐름을 나타내며, 구체적으로는 GUI 단말에 표시하는 반도체 제조장치의 데이터 취득의 흐름을 나타내고 있다. 도 14에 있어서, 실선의 화살표는 반도체 제조장치(1)의 데이터 흐름을 나타내고, 파선(波線)은 반도체 제조장치(2)의 데이터 흐름을 나타내며, 쇄선(鎖線)은 반도체 제조장치(n)의 데이터 흐름을 나타내고 있다. 그리고, 이하의 설명에서는, SEMI의 표준 규격 E120에 정의되는 공통 장치 모델[CEM(Common Equipment Model)] 사양(仕樣)에 준거한 인터페이스(interface)를 가지는 반도체 제조장치를 단순히 '장치'라고 칭한다.

<특허 문헌 1>

일본 특허공개 2006-73845호 공보

그러나, 상기 도 14의 군 관리 장치의 데이터 흐름에 나타내는 바와 같이, n대의 장치와 n대의 GUI 단말과의 사이에서 데이터를 주고받으면, 군 관리 장치 내에 있어서 부하에 집중하는 상태가 발생한다. 즉, GUI 단말로부터의 표시 대상인 장치 데이터의 취득 요구시에 있어서, GUI 단말에 표시하는 장치 데이터의 항목 수가 많아지거나, GUI 단말로 표시되는 장치의 대수 및 GUI 단말의 대수가 증가하면, 군 관리 장치 내에서의 데이터 검색 처리 부하가 증대하여 데이터 검색에 지연이 생긴다. 그 결과, GUI 단말에 데이터가 표시되는 데 긴 시간을 요하거나, 경우에 따라서는 타임 아웃(time-out) 등의 에러(error)가 발생하여, GUI 단말에 데이터를 표시할 수 없게 될 우려가 있다.

본 발명은 이상과 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 반도체 제조장치 등의 기판 처리 장치나 GUI 단말의 대수가 증가하더라도 군 관리 장치 내에서의 데이터 검색 처리 부하를 증대시키지 않도록 함으로써, 데이터 검색을 신속하게 하여 필요한 데이터를 GUI 단말에 확실하게 표시시킬 수 있는 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치를 관리하는 군 관리 장치와의 접속 시에, 상기 기판 처리 장치마다 각각의 테이블로 분류된 표시 항목의 검색 조건과 종별을 규정한 데이터 취득 요구 포맷을 작성하고, 상기 군 관리 장치에 송신하는 복수의 조작 단말을 제공한다.

또한 본 발명은, 조작 단말로부터의 데이터 취득 요구 시에, 상기 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 기판 처리 장치마다의 데이터 취득 요구 포맷을 상기 조작 단말마다 전개하고, 전개한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색되는 각 표시 항목을 머지(merge)하여, 상기 기판 처리 장치마다 머지 테이블을 작성하는 군 관리 장치를 제공한다.

또한 본 발명은 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치마다 데이터 취득 요구 포맷을 작성하는 복수의 조작 단말과, 상기 복수의 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 기판 처리 장치마다의 데이터 취득 요구 포맷을 상기 조작 단말마다 전개하고, 전개한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목을 머지하여 상기 기판 처리 장치마다 머지 테이블을 작성하는 군 관리 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템을 제공한다.

또한 본 발명은 조작 단말에서의 데이터 취득 요구 시에, 상기 조작 단말로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목을 머지하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법을 제공한다.

또한 본 발명은 표시 대상의 조작 단말에 표시하는 표시 항목마다 검색 조건과 데이터 종별이 포맷화된 데이터 취득 요구 포맷을 송신하고, 상기 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목에 있어서의 데이터 종별을 머지하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법을 제공한다.

본 발명에 따른 기판 처리 시스템은, 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치와, 상기 각 기판 처리 장치를 관리하는 군 관리 장치와, 상기 군 관리 장치와 접속시에 상기 기판 처리 장치마다 각각의 테이블로 분류된 표시 항목의 검색 조건과 종별을 규정한 데이터 취득 요구 포맷을 작성하고, 상기 군 관리 장치에 송신하는 복수의 조작 단말을 구비하고 있다.

여기에서, 상기 군 관리 장치는, 상기 조작 단말로부터의 데이터 취득 요구시에, 상기 복수의 조작 단말 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 동일한 기판 처리 장치의 데이터 취득 요구 포맷을 추출하고, 동일한 검색 조건으로 검색되는 각 표시 항목을 머지하여 머지 테이블을 작성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 군 관리 장치에 의한 데이터의 그룹 분류 기능이나 데이터 머지 기능에 의하여, GUI 단말로부터 표시 데이터 취득 요구가 발행되었을 때, GUI 단말의 데이터 취득에 지연이 발생할 우려가 없어진다. 또한, 군 관리 장치 내부에서 데이터 검색을 실시하는 경우, 데이터 머지를 실시함으로써, 데이터 검색 부하를 경감시키거나 내부 메모리의 사용량을 감소시키거나 할 수 있다. 더욱이, 종래와 같은 중복된 데이터 검색이 없어지기 때문에, 검색 시간의 단축이 가능해진다.

도 1은 본 발명에 있어서의 기판 처리 시스템의 기본 구성도.
도 2는 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서의 GUI 단말 표시 데이터 취득 요구시의 포맷의 예를 나타내는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 GUI 단말 표시 데이터 취득 요구시 포맷의 구체적인 예를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서의 군 관리 장치 내의 장치 데이터 검색 항목 머지 방식의 개념도.
도 5는 도 4에 도시된 기판 처리 시스템에 있어서의 군 관리 장치 내의 장치 데이터 검색 항목 데이터 머지 방식의 구체적인 예를 나타내는 개념도.
도 6은 도 1에 도시된 군 관리 장치에 있어서의 머지 데이터 관리 테이블을 나타내는 도면.
도 7은 도 6에 도시된 머지 데이터 관리 테이블의 전개 순서를 나타내는 개념도.
도 8은 도 6에 도시된 머지 데이터 관리 테이블의 전개 순서를 나타내는 흐름도.
도 9는 도 1에 도시된 군 관리 장치가 수행하는 데이터 검색 결과 격납 테이블에 대한 전개의 모습을 나타내는 개념도.
도 10은 도 9에 도시된 데이터 검색 결과 격납 테이블에 대한 전개의 구체적인 한 예를 나타내는 전개도.
도 11은 도 1에 도시된 군 관리 장치가 수행하는 데이터 검색 결과 전개 방식의 흐름을 나타내는 개념도.
도 12는 도 11에 도시된 데이터 검색 결과 전개 방식의 구체적인 흐름을 나타내는 흐름도.
도 13은 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서의 군 관리 장치의 데이터의 흐름을 나타내는 흐름도.
도 14는 일반적인 군 관리 장치의 데이터의 흐름을 나타내는 개념도.
도 15는 본 발명에 적용되는 처리 장치의 평면 투시도.
도 16은 도 15에 나타내는 처리 장치의 측면 투시도.

먼저, 본 발명에 따른 기판 처리 시스템의 개요에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 시스템의 기본 구성도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 시스템은, 복수대의 장치(2) 정보를 일원화하여 관리할 수 있는 군 관리 장치(3)가 복수대의 장치(2) 데이터를 축적하고 있어, 이들[즉, 복수대의 장치(2) 및 군 관리 장치(3)]이 네트워크로 접속된 구성으로 되어 있다. 더욱이 복수대의 장치(2)의 데이터를 표시할 수 있는 복수대의 GUI 단말(4)[즉, 장치(2)의 데이터를 표시할 수 있는 단말)]과 군 관리 장치(3)가 네트워크로 접속된 구성으로 되어 있다. 본 발명의 기판 처리 시스템은, 도 1과 같은 구성에 있어서, 복수대의 GUI 단말(4)에 표시하는 데이터의 효율적인 검색 수단을 실현한다.

도 1과 같은 기판 처리 시스템의 구성에 있어서, 특정한 장치(2)에 대한 복수대의 GUI 단말(4)로부터 정기적으로 발생하는 장치 데이터 취득 요구에 대하여, 동일한 검색 조건으로 검색되는 데이터 종별을 하나의 검색 항목으로 하여 정리함으로써, 장치 데이터의 검색 건수를 삭감할 수 있다. 즉, 반도체 제조장치[장치(2)]로부터 군 관리 장치(3)에 이송되어 오는 데이터(장치 데이터)에는, 장치(2)가 가지는 장치 자체의 상태, 웨이퍼 정보, 온도 정보, 가스 유량 정보, 압력 정보, 및 각종 센서 정보 등이 있고, 이들 정보는 각각 그룹으로 분류되고, 그 그룹 내에 있어서 상세한 데이터를 가지고 있다. 예를 들면, 온도 정보라면, 온도의 설정치, 모니터(monitor)치, 캐스캐이드(cascade) 모니터치, 프로파일(profile) 모니터치, 히터 파워(heater power) 모니터치 등이 온도 정보 그룹으로서 정의된다. 이 때문에, GUI 단말(4)에 의하여 온도 정보를 표시하려고 하는 경우에는, 표시 항목의 1항목마다, 검색 조건에 온도 정보 그룹을 설정하고, 종별로 온도 설정치나 온도 모니터치를 설정하여, 이들을 군 관리 장치(3)에 전달하고 있다.

한편, 군 관리 장치(3)에서는, GUI 단말(4)로부터 취득한 복수 표시 항목의 검색 조건을 참조하고, 동일 조건(이 경우에는 '온도 정보 그룹'의 표시 항목을 검색 항목으로 하여 하나의 항목으로 정리한다. 이와 같이 하여 검색 조건을 하나로 정리함으로써, 군 관리 장치(3) 내에 축적되어 있는 장치 데이터에 대하여 그룹 단위에서의 검색에 의한 데이터 취득이 가능해진다. GUI 단말(4)은 복수대 존재하지만, 군 관리 장치(3)에 있어서 그룹 단위로 검색할 수 있기 때문에, GUI 단말(4)의 대수를 의식함이 없이, 장치 데이터를 취득할 수 있다.

이에 따라, 군 관리 장치(3)가 수행하는 장치(2)의 데이터 검색 부하를 경감시킬 수 있다. 따라서, 검색 시간의 지연을 발생시키지 않고, 각 GUI 단말(4)에 대하여 적절한 검색 결과를 반환할 수 있는 복수의 GUI 단말(4)에 대응한 검색 방식을 실현할 수 있게 된다. 즉, 군 관리 장치(3)에 접속하는 복수대의 GUI 단말(4)이 필요로 하는 복수대의 장치(2)의 데이터를 검색하는 머지 데이터 검색 방식을 실현할 수 있다. 나아가, 군 관리 장치(3)가 수행하는 복수대의 GUI 단말(4)의 머지 데이터 관리 방식이나 복수대의 GUI 단말(4)에 대한 머지 데이터 전개 방식을 실현할 수 있다. 한편, 머지란, 컴퓨터에서 복수의 파일을 병합하여 하나의 파일을 만드는 것이다.

여기에서, 머지가 가능한 이유는, 군 관리 장치(3)에서는, GUl 단말(4)로부터의 데이터 취득 요구를 받았을 때 현재 접속 중인 GUI 단말(4) 정보에 맞추어 머지 테이블 및 머지 데이터 관리 테이블을 재구축하고 있기 때문이다. 또한, GUl 단말(4)로부터의 데이터 취득 요구 포맷이 전달되는 것은 GUl 단말(4)이 접속할 때 뿐이다. 그 후에는 정기적으로 군 관리 장치(3)가 머지된 데이터를 토대로 GUl 단말(4)에 대하여 데이터 취득 응답을 발행하고 있다.

다음에, 본 발명에 따른 기판 처리 시스템의 실시 형태에 대하여 상세히 설명한다. 먼저, 도 2를 이용해, GUI 단말(4)로부터의 데이터 취득 요구 포맷의 통일화에 대하여 설명한다. 이 도면은, 군 관리 장치(3)에 있어서 장치(2) 데이터의 검색 효율을 향상하기 위한 GUI 단말(4)에 표시하는 장치 데이터 취득 요구 포맷을 정의한 예를 나타내는 것이다. 우도는 각 GUI 단말(4)의 표시 화상 군(群)이며, 좌도는 각 GUI 단말(4)에서 작성되는 표시 데이터 취득 요구 포맷이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 각 GUI 단말(4)은 복수의 화면 표시 패턴을 구비하는데, 어떠한 화면 표시 패턴의 경우도 표시하는 데이터 항목 단위(장치마다)에 검색 조건과 표시 데이터 종별을 정의하고(즉, 도 2의 좌도에 나타내는 것과 같은 데이터 취득 요구 포맷을 작성함), 장치(2) 단위로 분류하여 군 관리 장치(3)에 전달한다. 여기에서, 도 2의 좌측은, 도 2 우측의 각 GUI 단말(4)의 표시 화상 군 중 하나를 포맷한 것이다.

군 관리 장치(3)에서는 각 GUI 단말(4) 화면 표시 항목의 검색 조건과 종별 정의를 토대로 머지한다. 이 때문에, 각 GUI 단말(4)로부터 전달되는 정보는 포맷을 통일화하고 있다.

다음에, 기판 처리 시스템에 있어서의 GUI 단말이 있는 화면(화면 A) 표시 데이터 취득 요구시의 포맷의 구체적인 한 예에 대하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 GUI 단말이 있는 화면(화면 A) 표시 데이터 취득 요구시의 포맷의 구체적인 예를 나타내는 도면이다. 즉, 도 3은, GUI 단말(4)에 의하여 각 장치(2)[도 3에 있어서의 장치 넘버로서의 장치 1, 2…5]의 온도 설정치 및 온도 모니터치를 표시하는 경우의 GUI 단말 표시 화면 이미지(image)와, 군 관리 장치(3)에 전달하기 위한 표시 데이터 취득 요구 포맷(표시 항목 격납 테이블)의 관계를 나타내고 있다. 또한, 장치는 5대로 한정되지 않는 것은 말할 나위도 없다.

한편, 도 3 이후의 도면에서는, 장치의 부호[즉, 도 1에 나타내는 장치(2)]로서가 아닌, 장치의 번호로서 장치 1, 2…5로 표현하는 것으로 한다. 마찬가지로, GUI 단말의 부호[즉, 도 1에 나타내는 GUI 단말(4)]로서가 아닌, GUI 단말의 번호로서 GUI 단말 1, 2…n으로 표현하는 것으로 한다.

도 3의 단계 S1에서, 장치(1)의 온도 설정치를 '표시 항목 격납 테이블' 장치(1)의 표시 항목 1로 설정한다. 이 경우는, 데이터가 온도이기 때문에 검색 조건은 '온도 그룹'으로 한다. 아울러, 장치(1)의 온도 모니터치를 '표시 항목 격납 테이블' 장치(1)의 표시 항목 2로 설정한다. 이 경우에도 데이터가 온도이기 때문에 검색 조건은 '온도 그룹'으로 한다. 다음으로, 단계 S2에 있어서, 전술한 바와 마찬가지로, 장치(2)의 온도 설정치 및 온도 모니터치를 '표시 항목 격납 테이블'의 장치(2)의 표시 항목 1 및 표시 항목 2로 설정한다. 이후, 단계 S3와 같이, 각 장치 단위로 표시 항목을 '표시 항목 격납 테이블'의 표시 항목 1 및 표시 항목 2에 추가 설정한다.

다음에, 군 관리 장치 내에 있어서의 장치 데이터 검색 항목의 머지 방식에 대하여 설명한다. 도 4는, 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서의 군 관리 장치 내의 장치 데이터 검색 항목 머지 방식의 개념도이다. 즉, 이 도면은, GUI 단말로부터 취득한 데이터 표시 항목으로부터 군 관리 장치 내에 있어서 축적하고 있는 장치 데이터의 검색을 효율적으로 하기 실시하기 위한 머지 방식을 나타내고 있으며, 우도는 GUI 단말 단위의 표시 항목 격납 테이블, 좌도는 장치 단위의 검색 항목 데이터 머지 테이블을 나타내고 있다.

여기에서, 머지 데이터 관리 테이블의 정의에 대하여 설명한다. 머지 데이터 관리 테이블은, 반도체 제조장치로부터 보고되는 데이터의 검색 취득 회수를 삭감하는 것을 목적으로 하고, 또한 검색 결과 취득한 데이터를 오류가 없이 효율적으로 각 GUI 단말에 해당하는 항목으로 전개하기 위한 테이블이다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 군 관리 장치에서는, 각 GUI 단말로부터 취득한 정보(즉, 표시 데이터 취득 요구 포맷)를 GUI 단말마다 내부 테이블(즉, 도 4 우도의 GUI 단말 단위에서의 표시 항목 격납 테이블)에 보관하고 있다. 그리고, 보관된 각 GUI 단말의 정보로부터 동일 장치의 정보를 취득하여, 동일 검색 조건인 각 표시 항목에 있어서의 표시 데이터 종별을 도 4 좌도의 장치 단위의 검색 항목 데이터 머지 테이블에 격납한다. 즉, 동일 검색 조건인 표시 데이터의 종별을 하나의 항목으로 정리하여 머지 테이블(즉, 좌도의 장치 단위의 검색 항목 데이터 머지 테이블)에 격납한다. 이에 따라, 특정 장치에 대한 복수대의 GUI 단말로부터의 요구를 머지함으로써, 검색 조건수가 대폭으로 삭감된다.

또한, 도 4 우도의 내부 테이블에 있어서, GUI 단말 1, 2 …n 장치(1)라고 하는 것은, 장치(1)의 데이터를 표시하는 GUI 단말이 군 관리 장치(3)에 1, 2…n 대 접속되어 있는 것을 나타낸다. 표시 항목은 GUI 단말이 표시하는 항목을 나타낸다(예를 들면,'1'은 표시 항목 1을 나타낸다). 검색 조건은 군 관리 장치(3)가 데이터 축적 에리어의 데이터를 검색하기 위한 조건을 나타낸다(예컨대, '1'은 검색 조건 1을 나타낸다). 종별은 GUl 단말이 표시하고 싶은 항목의 종류를 나타낸다(예컨대, '1'은 종별 1을 나타낸다). 또한, 표시 항목과 검색 항목은 동일하고, 동일한 표시 항목이 있는 경우에는 하나의 검색 항목에 머지하는 이미지로 표현이 변경된다.

도 5는, 도 4에 나타내는 기판 처리 시스템에 있어서 군 관리 장치 내의 장치 데이터 검색 방식의 구체적인 예를 나타내는 개념도이다. 이하, 도 5를 사용하여, 도 4에 나타내는 검색 방식의 구체적인 예를 설명한다. 도 5의 우도는 표시 항목 격납 테이블, 좌도는 검색 항목 데이터 머지 테이블을 나타내고 있다.

먼저, 도 5의 단계 S11에서, 'GUI 단말 1'로부터 취득한 '표시 항목 격납 ㅌ테이블'로부터 '장치(1)'인 표시 항목 1의 검색 조건 1을 독출하고, '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 '장치(1)'의 검색 항목 1의 검색 조건 1로 설정한다. 다음에, 단계 S12에서, '표시 항목 격납 테이블'의 '장치(1)'인 표시 항목 1의 종별 1을 독출하며, '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 '장치(1)'인 검색 항목 1의 종별 1로 설정한다. 단계 S13에서, '표시 항목 격납 테이블'의 '장치(1)'인 표시 항목 2의 검색 조건 1과 '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 '장치(1)'인 검색 항목 1의 검색 조건 1을 비교한다.

비교한 결과, 양자의 검색 조건이 일치하지 않는 경우, 검색 항목 2의 검색 조건 2에 설정된다.

여기에서 양자의 검색 조건이 일치했을 경우에는, '표시 항목 격납 테이블'의 '장치(1)'인 표시 항목 2의 종별 1과, '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 '장치(1)'인 검색 항목 1의 종별 1을 비교한다. 양자의 종별이 일치한 경우에는, 양자는 동일 검색 항목인 것으로 판단하여 검색 항목에 추가하지 않는다.

단계 S14에서, 양자의 종별이 불일치한 경우에는 다음에 계속되는 종별과 비교항고, 비교 대상의 종별이 존재하지 않는 경우에는 신규 종별로서 검색 항목에 추가한다. 그 다음, 단계 S15에서, 지정한 장치가 복수대 있는 경우에는 장치 대수분만치 상기 단계 S11~S14의 처리를 반복한다. 또한, 단계 S16에서, GUI 단말이 복수대 존재하는 경우에는 GUI 단말의 대수만큼 상기의 단계 S12~S15의 처리를 반복한다.

다음에, 머지 데이터 관리 테이블에 대하여 설명한다. 도 6은 도 1에 나타내는 군 관리 장치(3)에 있어서의 머지 데이터 관리 테이블을 나타내는 도면으로서, 머지한 검색 항목에 대한 GUI 단말 표시 항목을 정의하는 테이블을 나타내고 있다. 즉, 머지한 표시 항목이 어느 GUI 단말의 어느 표시 항목인지를 인식하기 위하여 도 6에 나타내는 것과 같은 머지 데이터 관리 테이블을 작성한다.

한편, 도 6에 있어서 GUI 단말 표시 항목 정보란 GUI 단말로부터 전달되는 표시 데이터 취득 요구 포맷의 정보를 나타내는 것이다. 또한, 머지 데이터 관리 테이블은 군 관리 장치(3)에 접속되는 장치(1)의 대수만큼 작성된다. 데이터 검색 결과 격납 테이블이란 검색 항목 데이터 머지 테이블에 검색 결과를 격납한 것이다.

도 6에 나타내는 바와 같이, GUI 단말 표시 항목 격납 테이블의 정보와 머지 테이블의 정보를 대비시킴으로써, 데이터의 소재를 확인할 수 있으며, 장치 데이터 검색 결과 후의 머지 데이터로부터 GUI 단말 표시 항목에 대한 전개가 용이해진다.

여기에서, 머지 데이터 관리 테이블에 대하여 더욱 상세하게 설명한다. 머지 데이터 관리 테이블은, GUI 단말로부터의 '표시 항목 격납 테이블'의 종별 정보가 '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 어느 종별 정보에 해당하는지를 관리하는 테이블이다.

군 관리 장치(3)에 있어서 복수의 GUI 단말로부터 표시 요구를 받았을 경우에는, 그때마다 데이터 검색을 실시하면 검색에 시간이 걸리고, 결과적으로, 검색 지연이 발생하여 GUI 단말의 화면 묘화(描畵) 성능에 악영향을 미친다. 그 때문에, GUI 단말로부터의 요구에서 동일한 항목은 한 번의 검색으로 데이터를 취득할 필요가 있다. 즉, 각 GUI 단말로부터의 표시 항목에 있어서 동일한 항목을 머지하고, 검색 건수를 삭감하여 검색시의 부담을 경감시킬 필요가 있다. 또한, 머지 후의 검색한 결과 데이터를 각 GUI 단말에 넘기는 경우에는, 해당하는 GUI 단말로부터의 요구순서(즉, 표시 항목 및 종별순서)에 결과 데이터를 전개할 필요가 있으며, 머지 데이터 관리 테이블은 그들 내용을 용이하게 전개하기 위한 관리 테이블이다.

도 7은 도 6에 나타내는 머지 데이터 관리 테이블의 전개 순서를 나타내는 개념도로서, 머지 데이터 관리 테이블은 도 7에 나타내는 항목에 의하여 구성되어 있어 도면의 화살표와 같이 전개된다. GUI 단말 표시 항목 정보에 대해 설명하자면, GUI 단말로부터 취득한 '표시 항목 격납 테이블'의 각종 정보는 번호로 관리된다. 예컨대, GUI 단말은 GUI 단말의 번호로써 지시되며, GUI 단말의 표시 항목은 표시 항목 격납 테이블의 표시 항목 번호로써 지시되며, GUI 단말의 검색 조건은 표시 항목 격납 테이블의 검색 조건 번호로써 지시되며, 또한, GUI 단말의 종별은 표시 항목 격납 테이블의 종별 번호로써 지시된다.

또한, 머지 테이블 정보에 대해 설명하자면, 장치 취득 데이터의 검색 건수를 삭감하기 위한 '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 각종 정보는 번호로 관리된다. 예를 들면, 검색 항목은 검색 항목 데이터 머지 테이블의 검색 항목 번호로써 지시되며, 검색 조건은 검색 항목 데이터 머지 테이블의 검색 조건 번호로써 지시되며, 종별은 검색 항목 데이터 머지 테이블의 종별 번호로써 지시된다.

도 8은, 도 6에 나타내는 머지 데이터 관리 테이블의 전개 순서를 나타내는 흐름도이다. 여기에서, 머지 데이터 관리 테이블에 정보를 설정하는 타이밍은 머지 데이터의 작성과 동시에 이행한다. 머지 데이터 관리 테이블에 대한 정보 설정 순서는 이하와 같다. 즉, 단계 S21에서, '머지 데이터 관리 테이블'의 'GUI 단말 표시 항목 정보'에 '표시 항목 격납 테이블'의 GUI 단말 번호, 표시 항목 번호, 검색 조건 번호, 종별 번호를 GUI 단말의 대수만큼 설정한다.

더욱이, 단계 S22에서, '표시 항목 격납 테이블'의 정보로부터 '검색 항목 데이터 머지 테이블'을 작성한다. 그 때의 순서는, 전술한 도 5에 있어서의 장치 데이터 검색 방식의 단계 S11~S16의 순서와 마찬가지이기 때문에, 중복 설명은 생략한다. 따라서, 단계 S23에서, S22에서 수행한 '검색 데이터 머지 테이블'의 설정시, 해당하는 정보를 머지 데이터 관리 테이블에 전개한다. 이와 같이 하여, 모든 GUI 단말(4)의 모든 표시 항목에 대하여 전술한 단계 S21~S23를 반복한다.

다음에, 데이터 검색 결과 격납 방식에 대하여 설명한다. 도 9는 도 1에 도시된 군 관리 장치(3)가 수행하는 데이터 검색 결과 격납 테이블에 대한 전개 모습을 나타내는 개념도이다. 즉, 도 9는, 검색 항목에 따른 장치 데이터 검색 수행시의 검색 결과를 격납하는 테이블에 대한 흐름을 나타내고, 좌도는 장치 단위의 검색 항목 데이터 머지 테이블, 우도는 데이터 검색 결과 격납 테이블을 나타내고 있다.

먼저, 작성된 머지 데이터를 사용하여, 검색 조건과 종별로부터 장치 정보의 데이터 검색을 수행한다. 다음으로, 검색 결과는 머지 데이터의 검색 항목 내의 종별에 대응하는 항목을 검색 결과 격납 테이블에 격납한다. 한편, 이 때의 검색 조건은 불필요하다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 검색 조건과 종별로부터 데이터를 검색하고, 예컨대, '장치(1)'의 데이터 축적 에리어에 격납한다. 그리하여, 검색 결과를 데이터 검색 결과 격납 테이블에 격납한다.

도 10은 도 9에 도시된 데이터 검색 결과 격납 테이블에 대한 전개의 구체적인 하나의 예를 나타내는 전개도이다. 먼저, 단계 S31에서, '검색 항목 데이터 머지 테이블'의 검색 조건 1에 일치하는 온도 그룹을 축적 데이터로부터 검색한다. 다음에, 단계 S32에서, 단계 S31에서 일치하는 온도 그룹이 있는 경우에는 '검색 항목 데이터 머지 테이블' 동일 그룹 내의 각 종별을 순서대로 검색한다. 그리고, 단계 S33에서, 단계 S32에서 검색한 결과를 '데이터 검색 결과 격납 테이블'에 설정한다.

다음에, 데이터 검색 결과 전개 방식에 대하여 설명한다. 도 11은 도 1에 도시된 군 관리 장치가 수행하는 데이터 검색 결과 전개 방식의 흐름을 나타내는 개념도로서, 장치 데이터의 검색 결과로부터, GUI 단말 검색 결과 격납 테이블에 대한 전개의 흐름을 나타내고 있다. 데이터 검색 결과 격납 테이블과 머지 데이터 관리 테이블로부터 각 GUI 단말에 전달하기 위한 GUI 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성하고, 그 내용을 해당하는 GUI 단말에 송신한다. 이 때, 검색 항목과 종별로부터 상기 GUI 단말의 어느 항목인가를 확인하여 검색 결과를 격납한다.

도 12는 도 11에 나타내는 데이터 검색 결과 전개 방식의 구체적인 흐름을 나타내는 흐름도이다. 도 12에서, 먼저, 단계 S41에서, 데이터 검색 결과 격납 테이블의 검색 항목 번호 및 종별 번호와 일치하는 GUI 단말 표시 항목 정보를 머지 데이터 관리 테이블로부터 취득한다. 다음에, 단계 S42에서, 단계 S41에서 취득한 정보(즉, GUI 단말 번호, 표시 항목, 종별)를 토대로 GUI 단말 검색 결과 격납 테이블의 해당하는 위치를 구한다. 더욱이, 단계 S43에서, 단계 S42에서 구한 위치에 대하여 장치로부터 취득한 데이터를 설정한다. 그리고, 단계 S44에서, 머지 데이터 관리 테이블에 격납되어 있는 행수(行數)만큼 단계 S41~S43의 처리를 반복한다.

다음에, 상술한 내용을 요약하기 위하여 군 관리 장치(3)의 데이터의 흐름의 구체적인 하나의 예를 설명한다. 도 13은, 본 발명의 기판 처리 시스템에 있어서 군 관리 장치(3)의 데이터 흐름을 나타내는 흐름도이다. 먼저, 단계 S51에서, 군 관리 장치(3)는 각 장치(2)로부터 최신의 장치 정보를 부정기적으로 수신하여 자기의 장치 데이터 축적 에리어에 축적한다. 이 때의 장치 정보에는, 장치의 상태, 웨이퍼의 상태, 온도 정보, 가스 유량 정보, 압력 정보, 센서 정보 등 다양한 정보가 존재한다.

단계 S52에 있어서, 군 관리 장치(3)는 GUI 단말로부터의 표시 데이터 취득 요구를 받아, 검색 항목을 장치 단위마다 나누어서 데이터 검색 테이블에 격납한다. 더욱이, 단계 S53에서, 군 관리 장치(3)는 GUI 단말의 데이터 검색 테이블에 격납된 검색 항목에 대하여, 대상 장치의 데이터 축적 에리어로부터 해당하는 데이터를 개개로 검색한다. 다음에, 단계 S54에서, 군 관리 장치(4)는 단계 S53에서 검색한 결과를 장치 단위로 검색 결과 격납 테이블에 격납한다. 단계 S55에서, 군 관리 장치(3)는 검색 결과 격납 테이블로부터 검색 결과 데이타를 꺼내 GUI 단말에 반환한다. 이에 의하여, GUI 단말은 군 관리 장치(3)로부터 취득한 검색 결과를 적절히 표시할 수 있다.

이상의 실시 형태에서는, 기판 처리 장치로서 반도체 제조장치를 적용한 경우에 대하여 설명했는데, 반도체 제조장치 뿐 아니라 LCD 장치와 같은 유리 기판을 처리하는 장치에서도 본 실시 형태를 적용할 수 있는 것은 말할 나위도 없다.

이하, 본 발명이 적용되는 기판 처리 장치의 구체적인 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 있어서, 기판 처리 장치는, 하나의 예로서, 반도체 장치(IC)의 제조 방법에 있어서의 처리 공정을 실시하는 반도체 제조장치로서 구성되어 있다. 한편, 이하의 설명에서는, 기판 처리 장치로서 기판에 산화, 확산 처리 또는 CVD 처리 등을 수행하는 종형의 장치(이하, 단순히 '처리 장치'라고 함)를 적용한 경우에 대하여 설명한다. 도 15는 본 발명에 적용되는 처리 장치의 평면 투시도이다. 또한, 도 16은 도 15에 나타내는 처리 장치의 측면 투시도이다.

도 15및 도 16에 나타나 있는 바와 같이, 실리콘 등으로 이루어지는 웨이퍼(기판)(200)를 수납한 웨이퍼 캐리어로서 후프[FOUP(Front Opening Unified Pod), 기판 수용기, 이하 포드라고 함](110)가 사용되고 있는 본 발명의 처리 장치(100)는, 광체(筐體)(111)를 구비하고 있다. 광체(111) 정면벽(111a)의 정면 전방부(前方部)에는, 유지 보수를 할 수 있도록 설치된 개구부로서의 정면 유지 보수구(103)가 개설되고, 이 정면 유지 보수구(103)를 개폐하는 정면 유지 보수문(104), (104)이 각각 설치되어 있다.

광체(111)의 정면벽(111a)에는 포드 반입 반출구(기판 수용기 반입 반출구) (112)가 광체(111) 내외를 연통(連通)하도록 개설되어 있고, 포드 반입 반출구(112)는 프런트 셔터(기판 수용기 반입 반출구 개폐 기구)(113)에 의하여 개폐되도록 되어 있다. 또한, 포드 반입 반출구(112)의 정면 전방(前方) 측에는 로드 포트(Load Port, 기판 수용기 수수대)(114)가 설치되어 있고, 로드 포트(114)는 포드(110)가 재치(載置)되어 위치 맞춤하도록 구성되어 있다. 포드(110)는 로드 포트(114) 상에 공정 내 반송 장치(도시하지 않음)에 의하여 반입되고, 또한, 로드 포트(114) 상으로부터 반출되도록 되어 있다.

광체(111) 내의 전후 방향의 대략 중앙부에 있어서의 상부에는 회전식 포드 선반(기판 수용기 재치 선반)(105)이 설치되어 있고, 회전식 포드 선반(105)은 복수개의 포드(110)를 보관하도록 구성되어 있다. 즉, 회전식 포드 선반(105)은, 수직으로 입설(立設)되어 수평면 내에서 간헐 회전되는 지주(116)와, 지주(116)에 상하 4단의 각 위치에 있어서 방사상으로 지지된 복수 개의 선반용 판자(기판 수용기 재치대)(117)을 구비하고 있으며, 복수 개의 선반용 판자(117)는 포드(110)를 복수 개에 대해 각각 재치한 상태로 보지하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내의 로드 포트(114)와 회전식 포드 선반(105)과의 사이에는, 포드 반송 장치(기판 수용기 반송 장치)(118)가 설치되어 있고, 포드 반송 장치(118)는, 포드(110)를 보지한 채 승강 가능한 포드 엘리베이터(기판 수용기 승강 기구)(118a)와, 반송 기구로서의 포드 반송 기구(기판 수용기 반송 기구)(118b)로 구성되어 있으며, 포드 엘리베이터(118a)와 포드 반송 기구(118b)와의 연속 동작에 의하여, 로드 포트(114), 회전식 포드 선반(105), 포드 오프너(기판 수용기 개체 개폐 기구)(121)와의 사이에서, 포드(110)를 반송하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내의 전후 방향의 대략 중앙부에 있어서의 하부에는, 서브 광체(119)가 후단에 걸쳐서 구축되어 있다. 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에는, 웨이퍼(200)를 서브 광체(119) 내에 대하여 반입 반출하기 위한 웨이퍼 반입 반출구(기판 반입 반출구)(120)가 한 쌍, 수직 방향으로 상하 2단으로 정렬되어 개설되어 있고, 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(120), (120)에는 한 쌍의 포드 오프너(121), (121)가 각각 설치되어 있다.

포드 오프너(121)는 포드(110)를 재치하는 재치대(122), (122)와, 포드(110)의 캡[개체(蓋體)]을 착탈하는 캡 착탈 기구(개체 착탈 기구)(123), (123)를 구비하고 있다. 포드 오프너(121)는, 재치대(122)에 재치된 포드(110)의 캡을 캡 착탈 기구(123)에 의하여 착탈함으로써, 포드(110)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성되어 있다.

서브 광체(119)는 포드 반송 장치(118) 또는 회전식 포드 선반(105)의 설치 공간으로부터 유체적으로 격절(隔絶)된 이재실(124)을 구성하고 있다. 이재실(124)의 전측(前側) 영역에는 웨이퍼 이재 기구(기판 이재 기구)(125)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 기구(125)는, 웨이퍼(200)를 수평방향으로 회전 내지 직동(直動)할 수 있는 웨이퍼 이재 장치(기판 이재 장치)(125a) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)를 승강시키기 위한 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(기판 이재 장치 승강기구)(125b)로 구성되어 있다. 이들, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)의 연속 동작에 의하여, 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(tweezer, 기판 보지체)(125c)를 웨이퍼(200)의 재치부로서, 보트(기판 보지구)(217)에 대하여 웨이퍼(200)를 장전(charging) 및 탈장(discharging)하도록 구성되어 있다.

도 15에 도시된 있는 바와 같이, 이재실(124)의 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)측과 반대측인 우측 단부에는, 청정화된 분위기 또는 불활성 가스인 클린 에어(133)를 공급하도록, 공급 팬(fan) 및 방진 필터로 구성된 클린 유니트(134)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 장치(125a)와 클린 유니트(134)와의 사이에는, 웨이퍼의 원주 방향의 위치를 정합시키는 기판 정합 장치로서의 노치 맞춤 장치(135)가 설치되어 있다.

클린 유니트(134)로부터 취출한 클린 에어(133)는, 노치 맞춤 장치(135) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)로 유통된 후, 도시하지 않은 덕트에 의하여 흡입되고, 광체(111)의 외부에 배기가 이루어지거나, 또는 클린 유니트(134)의 흡입측인 1차측(공급측)까지 순환되며, 다시 클린 유니트(134)에 의하여, 이재실(124) 내에 취출되도록 구성되고 있다.

이재실(124)의 후측 영역에는, 대기압 미만의 압력[이하, 부압(負壓)이라고 함을 유지할 수 있는 기밀 성능을 가지는 광체(이하, 내압 광체라고 함) (140)가 설치되어 있고, 이 내압 광체(140)에 의하여 보트(217)를 수용할 수 있는 용적을 가지는 로드록(loadlock) 방식의 대기실인 로드록 실(141)이 형성되어 있다.

내압 광체(140)의 정면벽(140a)에는 웨이퍼 반입 반출 개구(기판 반입 반출 개구)(142)가 개설되어 있고, 웨이퍼 반입 반출 개구(142)는 게이트 밸브(기판 반입 반출구 개폐 기구)(143)에 의하여 개폐되도록 되어 있다. 내압 광체(140)의 한 쌍의 측벽에는, 로드록 실(141)에 질소 가스를 급기(給氣)하기 위한 가스 공급관(144)과 로드록 실(141)을 부압으로 배기하기 위한 배기관(145)이 각각 접속되어 있다.

로드록 실(141) 상방에는, 처리로(202)가 설치되어 있다. 처리로(202)의 하단부는 노구 게이트 밸브(노구 개폐 기구)(147)에 의하여 개폐되도록 구성되어 있다. 내압 광체(140)의 정면벽(140a) 상단부에는, 노구 게이트 밸브(147)를 처리로(202)의 하단부가 개방 할 때 수용하는 노구 게이트 밸브 커버(149)가 장착되어 있다.

도 15에 도시된 바와 같이, 내압 광체(140)에는 보트(217)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(기판 보지구 승강 기구)(115)가 설치되어 있다. 보트 엘리베이터(115)에 연결된 연결 도구로서 암(arm)(128)에는 개체(蓋體)로서의 씰 캡(seal cap)(219)이 수평으로 고정되어 있고, 씰 캡(219)은 보트(217)를 수직으로 지지하며, 처리로(202)의 하단부를 폐색할 수 있도록 구성되어 있다.

보트(217)는 복수 개의 보지 부재를 구비하고 있고, 복수 매(예를 들면, 50매~125매 정도)의 웨이퍼(200)를 그 중심을 맞추어 수직 방향으로 정렬시킨 상태에서, 각각 수평으로 보지하도록 구성되어 있다.

다음에, 도 15 및 도 15에 나타내는 처리 장치의 동작에 대하여 설명한다. 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 포드(110)가 로드 포트(114)에 공급되면, 포드 반입 반출구(112)가 프런트 셔터(113)에 의하여 개방되고, 로드 포트(114) 위의 포드(110)는 포드 반송 장치(118)에 의하여 광체(111)의 내부에 포드 반입 반출구(112)로부터 반입된다.

반입된 포드(110)는, 회전식 포드 선반(105)의 지정된 선반용 판자(117)에 포드 반송 장치(118)에 의하여 자동적으로 반송되어 수도(受渡)되고, 일시적으로 보관된 후, 선반용 판자(117)로부터 한쪽의 포드 오프너(121)로 반송되어 재치대(122)에 이재되거나, 또는 직접 포드 오프너(121)로 반송되어 재치대(122)로 이재된다. 이 때, 포드 오프너(121)의 웨이퍼 반입 반출구(120)는 캡 착탈 기구(123)에 의하여 닫혀져 있고, 이재실(124)에는 클린 에어(133)가 유통되어, 충만되어 있다. 예를 들면, 이재실(124)에는 클린 에어(133)로서 질소 가스가 충만함으로써, 산소 농도가 20ppm 이하로, 광체(111) 내부[대기(大氣) 분위기]의 산소 농도보다 훨씬 낮게 설정되어 있다.

재치대(122)에 재치된 포드(110)는 그 개구측 단면이 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에 있어서의 웨이퍼 반입 반출구(120)의 개구 연변부(緣邊部)에 눌려림과 동시에, 그 캡이 캡 착탈 기구(123)에 의하여 떼어내지고, 포드(110)의 웨이퍼 출입구가 개방된다. 또한, 미리 내부가 대기압 상태로 되어 있던 로드록 실(141)의 웨이퍼 반입 반출 개구(142)가 게이트 밸브(143)의 동작에 의하여 개방되면, 웨이퍼(200)는 포드(110)로부터 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(125c)에 의하여 웨이퍼 출입구를 통하여 픽업(pickup)되고 노치 맞춤 장치(135)로 웨이퍼를 정합한 후, 웨이퍼 반입 반출 개구(142)를 통하여 로드록 실(141)에 반입되고, 보트(217)에 이재되어 장전(wafer charging)된다. 보트(217)에 웨이퍼(200)를 수도한 웨이퍼 이재 장치(125a)는 포드(110)로 되돌아오고, 다음의 웨이퍼(110)를 보트(217)에 장전한다.

이 한쪽(상단 또는 하단)의 포드 오프너(121)에 있어서의 웨이퍼 이재 장치(125)에 의하여 웨이퍼가 보트(217)로 장전 작업 중에, 다른 쪽(하단 또는 상단)의 포드 오프너(121)에는 회전식 포드 선반(105) 내지 로드 포트(114)로부터 별도의 포드(110)가 포드 반송 장치(118)에 의하여 반송되고, 포드 오프너(121)에 의한 포드(110)의 개방 작업이 동시에 진행된다.

미리 지정된 매수의 웨이퍼(200)가 보트(217)에 장전되면, 웨이퍼 반입 반출 개구(142)가 게이트 밸브(143)에 의하여 닫혀지고, 로드록 실(141)은 배기관(145)으로부터 진공상태로 됨으로써 감압된다.

로드록 실(141)이 처리로(202) 내의 압력과 동압(同壓)으로 감압되면, 처리로(202)의 하단부가 노구 게이트 밸브(147)에 의하여 개방된다. 이 때, 노구 게이트 밸브(147)는 노구 게이트 밸브 커버(149)의 내부에 반입되어 수용된다.

이어서, 씰 캡(219)이 보트 엘리베이터(115)의 승강대(161)에 의하여 상승되고, 씰 캡(219)에 지지된 보트(217)가 처리로(202) 내에 반입(loading)된다.

로딩 후에는, 처리로(202)에서 웨이퍼(200)에 임의의 처리가 실시된다. 그리고, 처리 후에는, 보트 엘리베이터(115)에 의하여 보트(217)가 인출되고, 다시, 로드록 실(140) 내부를 대기압으로 복압(復壓)시킨 후에 게이트 밸브(143)가 열린다. 그 후에는, 노치 맞춤 장치(135)에서의 웨이퍼의 정합 공정을 제외하고, 이미 전술한 반대의 순서로, 웨이퍼(200) 및 포드(110)는 광체(111)의 외부로 반출된다.

이상, 본 실시에 대하여 바람직한 형태에 있어서의 기판 처리 시스템은, 상기 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 상기 머지 테이블의 정보와 상기 조작 단말의 표시 항목 정보인 데이터 취득 요구 포맷을 정리하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성하는 군 관리 장치를 구비하고 있다.

또한, 본 실시예에 있어서의 기판 처리 시스템은, 상기 군 관리 장치가, 기판 처리 장치의 데이터를 축적하는 데이터 축적 에리어와, 상기 작성된 머지 테이블을 사용하여, 대상으로 하는 상기 데이터 축적 에리어를 상기 취득 요구 포맷으로부터 취득한 검색 조건과 종별에 따라 검색하고, 검색한 결과를 격납하는 데이터 검색 결과 격납 테이블을 구비하며, 상기 검색 결과 격납 테이블과 상기 머지 데이터 관리 테이블에 의하여, 상기 조작 단말의 각각에 데이터를 송신하기 위한 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성함과 함께, 그 내용을 해당하는 조작 단말에 송신하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 실시예 있어서의 기판 처리 시스템에서는, 상기 군 관리 장치는, 정기적으로 상기 데이터 축적 에리어를 검색하고, 상기 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성함과 함께, 그 내용을 해당하는 조작 단말로 송신하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 조작 단말로부터의 데이터 취득 요구는, 상기 조작 단말에 있어서의 조작 화면 변환 조작으로 발생하는 것을 특징으로 한다.

더욱이, 본 실시예의 하나의 형태에 있어서의 기판 처리 시스템은, 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치와, 전원을 넣었을 때에 상기 기판 처리 장치마다 데이터 취득 요구 포맷을 작성하는 복수의 조작 단말과, 상기 복수의 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 동일한 기판 처리 장치의 데이터 취득 요구 포맷을 추출하고, 동일한 검색 조건으로 검색되는 각 표시 항목을 머지하여 머지 테이블을 작성하는 군 관리 장치를 구비한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 군 관리 장치는, 상기 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 상기 머지 테이블의 정보와 상기 조작 단말의 표시 항목 정보를 정리하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 실시예의 하나의 형태에 있어서의 기판 처리 시스템은, 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치와, 데이터 취득 요구시에 기판 처리 장치마다 데이터 취득 요구 포맷을 작성하는 복수의 조작 단말과, 복수의 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중 동일한 기판 처리 장치의 데이터 취득 요구 포맷으로부터, 동일한 검색 조건의 각 표시 항목을 정리하여 머지 테이블에 격납하고, 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 그 머지 테이블의 정보와 조작 단말의 표시 항목 정보를 머지하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성하는 군 관리 장치를 구비하고, 군 관리 장치가, 작성된 머지 테이블을 사용하여, 대상으로 하는 기판 처리 장치의 데이터를 축적하는 데이터 축적 에리어를 검색 조건과 종별에 따라 검색하고, 검색한 결과를 데이터 검색 결과 격납 테이블에 격납하며, 검색 결과 격납 테이블과 머지 데이터 관리 테이블에 의하여, 조작 단말의 각각에 데이터를 송신하기 위한 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성하고, 그 내용을 해당하는 조작 단말에 송신하도록 구성되어 있다.

또한, 본 실시예의 하나의 형태에 있어서는, 복수의 기판 처리 장치의 정보를 일원화하여 관리하는 기판 처리 시스템에 있어서의 군 관리 장치로서, 복수의 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 동일한 기판 처리 장치의 데이터 취득 요구 포맷으로부터, 동일한 검색 조건의 각 표시 항목을 정리하여 머지 테이블에 격납하고, 상기 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 상기 머지 테이블의 정보와 상기 조작 단말의 표시 항목 정보를 머지하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성한다.

또한, 본 실시예의 하나의 형태에 있어서는, 기판 처리 시스템에 있어서의 기판 처리 방법을 제공하는 것도 가능하다. 즉, 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 복수의 기판 처리 장치를 관리하는 군 관리 장치와, 군 관리 장치에 접속된 복수의 조작 단말로 구성되는 기판 처리 시스템에 있어서의 기판 처리 방법으로서, 조작 단말이 데이터 취득 요구시에 기판 처리 장치마다 데이터 취득 요구 포맷을 작성하는 단계와, 군 관리 장치가, 각 조작 단말로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 동일한 기판 처리 장치의 데이터 취득 요구 포맷으로부터, 동일한 검색 조건인 각 표시 항목으로 정리하여 머지 테이블에 격납하여 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성하는 단계와, 머지 테이블의 정보와 조작 단말 표시 항목 정보를 머지하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성하는 단계와, 작성된 머지 테이블을 사용하여, 대상으로 하는 기판 처리 장치의 데이터를 축적하는 데이터 축적 에리어를 검색 조건과 종별에 따라 검색하고, 검색한 결과를 데이터 검색 결과 격납 테이블에 격납하는 단계와, 검색 결과 격납 테이블과 머지 데이터 관리 테이블에 의하여 각 조작 단말에 데이터를 송신하기 위한 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성하며, 그 내용을 해당하는 조작 단말로 송신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법을 제공하는 것도 가능하다.

<도면의 주요 부호 설명>
2 : 장치(반도체 제조 장치) 3 : 군 관리 장치
4 : GUI 단말

Claims (11)

1. 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치를 관리하는 군 관리 장치와의 접속 시에, 상기 기판 처리 장치마다 각각의 테이블로 분류된 표시 항목의 검색 조건과 종별을 규정한 데이터 취득 요구 포맷을 작성하고, 상기 군 관리 장치에 송신하는 복수의 조작 단말.
2. 조작 단말로부터의 데이터 취득 요구 시에, 상기 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 기판 처리 장치마다의 데이터 취득 요구 포맷을 상기 조작 단말마다 전개하고, 전개한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색되는 각 표시 항목을 머지(merge)하여, 상기 기판 처리 장치마다 머지 테이블을 작성하는 군 관리 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 기판 처리 장치의 데이터를 축적하는 데이터 축적 에리어(area)를 더 구비하고,
   상기 작성된 머지 테이블을 사용하여, 대상으로 하는 상기 데이터 축적 에리어를 검색하는 군 관리 장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 상기 머지 테이블의 정보와 상기 조작 단말의 표시 항목 정보인 데이터 취득 요구 포맷을 정리하여 머지 데이터 관리 테이블을 작성하는 군 관리 장치.
5. 제2항에 있어서, 검색한 결과를 격납하는 데이터 검색 결과 격납 테이블을 더 구비하고,
   상기 검색 결과 격납 테이블과 상기 머지 데이터 관리 테이블에 의해서, 상기 조작 단말의 각각에 데이터를 송신하기 위한 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성하는 군 관리 장치.
6. 제5항에 있어서, 정기적으로 상기 기판 처리 장치의 데이터를 축적하는 데이터 축적 에리어를 검색하고, 상기 조작 단말 검색 결과 격납 테이블을 작성하는 군 관리 장치.
7. 기판을 처리하는 복수의 기판 처리 장치마다 데이터 취득 요구 포맷을 작성하는 복수의 조작 단말과,
   상기 복수의 조작 단말의 각각으로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷 중, 기판 처리 장치마다의 데이터 취득 요구 포맷을 상기 조작 단말마다 전개하고, 전개한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목을 머지하여 상기 기판 처리 장치마다 머지 테이블을 작성하는 군 관리 장치
   를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
8. 조작 단말에서의 데이터 취득 요구 시에, 상기 조작 단말로부터 취득한 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목을 머지하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법.
9. 표시 대상의 조작 단말에 표시하는 표시 항목마다 검색 조건과 데이터 종별이 포맷화된 데이터 취득 요구 포맷을 송신하고, 상기 데이터 취득 요구 포맷에 규정된 검색 조건 중, 동일한 검색 조건으로 검색된 각 표시 항목에 있어서의 데이터 종별을 머지하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법.
10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 기판 처리 장치마다의 머지 테이블을 작성함과 함께, 상기 머지 테이블의 정보와 상기 조작 단말의 표시 항목 정보를 정리하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 머지 테이블을 사용해 검색 대상이 되는 데이터를 검색한 결과를 제1 검색 결과 격납 테이블에 격납하고,
    상기 제1 검색 결과 격납 테이블과 상기 데이터 취득 요구 포맷과 상기 머지 테이블을 머지한 머지 데이터 관리 테이블을 조회하여, 데이터를 송신하기 위한 제2 검색 결과 격납 테이블을 작성하고,
    상기 제2 검색 결과 격납 테이블의 내용을 해당하는 상기 조작 단말에 송신하는 기판 처리 장치의 데이터 처리 방법.

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