JP2023161405A - 経路設定システム、経路設定方法及びソフトウエア - Google Patents

Abstract

【課題】磁力によって移動する複数の搬送体を備える基板搬送装置に用いられる搬送体の経路設定システムにおいて、作業者の設定の負担を軽減させる。
【解決手段】本開示の経路設定システムは、基板搬送領域と、基板を支持する支持部を備えると共に前記基板搬送領域を形成する床から磁力によって各々浮上して移動する複数の搬送体と、を備える基板搬送装置に用いられる前記各搬送体の経路設定システムにおいて、前記基板搬送領域に対応する仮想領域を設定する仮想領域設定部と、前記仮想領域にて、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路を前記搬送体毎に生成する経路生成部と、前記移動経路の干渉に関する判定を行う干渉判定部と、を備える。
【選択図】図１４

Description

本開示は、経路設定システム、経路設定方法及びソフトウエアに関する。

半導体デバイスの製造工程において、基板である半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）が装置内を搬送されて処理される。特許文献１では、真空搬送モジュール（真空搬送室）を備える基板処理装置が示されている。この真空搬送モジュールでは、床から磁力によって浮上する搬送体（搬送ユニット）が複数設けられ、各搬送体によってウエハが搬送される。

特開２０２１－８６９８７号公報

本開示は、磁力によって移動する複数の搬送体を備える基板搬送装置に用いられる搬送体の経路設定システムにおいて、作業者の設定の負担を軽減させることができる技術を提供する。

本開示の経路設定システムは、基板搬送領域と、基板を支持する支持部を備えると共に前記基板搬送領域を形成する床から磁力によって各々浮上して移動する複数の搬送体と、を備える基板搬送装置に用いられる前記各搬送体の経路設定システムにおいて、
前記基板搬送領域に対応する仮想領域を設定する仮想領域設定部と、
前記仮想領域にて、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路を前記搬送体毎に生成する経路生成部と、
前記移動経路の干渉に関する判定を行う干渉判定部と、
を備える。

本開示によれば、磁力によって移動する複数の搬送体を備える基板搬送装置に用いられる搬送体の経路設定システムにおいて、作業者の設定の負担を軽減させることができる。

本開示の一実施形態である経路設定システムによる設定が適用される基板搬送装置を含む基板処理装置の平面図である。 基板搬送装置に設けられる搬送体及び床の斜視図である。 前記経路設定システムの構成を示すブロック図である。 前記経路設定システムで設定される仮想の基板搬送領域を示す斜視図である。 前記仮想の基板搬送領域をなすキューブと前記搬送体との対応例を示す斜視図である。 基板搬送領域にて設定される移動開始キューブ、移動終了キューブを示す斜視図である。 前記移動開始キューブ、前記移動終了キューブ間に設定される搬送体３の移動経路を模式的に示す斜視図である。 前記搬送体間の干渉が起きる干渉キューブを示す斜視図である。 搬送体間で優先度に差が有る場合の干渉回避例を示す前記キューブの斜視図である。 搬送体間で優先度に差が無い場合の干渉回避例を示す前記キューブの斜視図である。 前記搬送体の減速による干渉回避例を示すための模式図である。 減速後の前記搬送体の移動を示す模式図である。 前記キューブと前記搬送体との他の対応例を示す斜視図である。 前記経路設定システムによる設定手順を示すフロー図である。 傾斜することで干渉を回避する搬送体の斜視図である。 排他キューブを示す斜視図である。 干渉キューブの発生例を示す模式図である。

〔基板処理装置の説明〕
本開示の一実施形態である経路設定システム４について述べる前に、当該経路設定システム４が適用される装置の一例である基板処理装置１について、図１の平面図を参照して説明する。基板処理装置１は、ローダーモジュール１１、アライメントモジュール１２、ロードロックモジュール１３、１４、真空搬送モジュール２及び処理モジュール２０Ａ～２０Ｆを備えており、処理モジュール２０Ａ～２０Ｆで、円形の基板であるウエハＷが真空雰囲気で処理される。

ローダーモジュール１１はＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれるモジュールであり、ウエハＷを格納するＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）と呼ばれる搬送容器Ｃに対して当該ウエハＷの搬入、搬出を行う。ローダーモジュール１１の前方側には、搬送容器Ｃを各々載置する容器載置部１５が複数、左右に並んで設けられている。ローダーモジュール１１内には多関節アームである搬送機構１６が設けられている。

ローダーモジュール１１には前方から後方見て左側に、アライメントモジュール１２が接続されている。アライメントモジュール１２はウエハＷの中心を検出する。その検出結果に基づいて搬送機構１６がアライメントモジュール１２からウエハＷを受け取ることで、アライメントモジュール１２以降のウエハＷの搬送先で、ウエハＷが適正な位置に載置される。

ローダーモジュール１１の後方に、ロードロックモジュール１３、１４が接続されており、ロードロックモジュール１３、１４は、左右に互いに離れて設けられている。ロードロックモジュール１３、１４内は、窒素ガス雰囲気である常圧雰囲気と真空雰囲気との間で切り替え可能である。ロードロックモジュール１３、１４と、ローダーモジュール１１との間には、ドアバルブＧ１が介在している。

ロードロックモジュール１３、１４の後方に、ゲートバルブＧ２を介して真空搬送モジュール２が接続されている。真空搬送モジュール２は基板搬送装置であり、角型の筐体２０を備えている。この筐体２０内に設けられる床２１上の空間が、直方体状の基板搬送領域２２として構成されている。従って、床２１は基板搬送領域２２の底部をなす。図２に概略斜視図として示すように、床２１には多数のコイル２３が横方向に分散して埋設されている。各コイル２３には個別に電力が供給され、コイル２３は供給された電力に応じた強度で磁場を周囲に発生させる。即ち、各コイル２３は電磁石として作用する。

基板搬送領域２２には、ウエハＷを各々支持して搬送するための搬送体３が複数設けられており、基板搬送領域２２は搬送体３の稼働領域である。上記した床２１上の磁場によって、これら搬送体３は床２１から浮上して移動する。それによって、基板搬送領域２２においては、高い清浄度が担保されている。この搬送体３の動作は、互いに独立して制御される。本例では搬送体３は２つ設けられており、互いに３Ａ、３Ｂとして区別して示す場合が有る。

以下、搬送体３についてさらに詳しく説明する。搬送体３は、内部に永久磁石を含む移動本体３１と、ウエハＷを下方から支持する支持部３２と、を備えている。本例では、支持部３２は移動本体３１の側方に接続されており、移動本体３１が床２１上に位置した状態で、ロードロックモジュール１３、１４及び処理モジュール２０Ａ～２０Ｆに進入し、これらのモジュールに対してウエハＷを受け渡すことが可能である。移動本体３１の磁石と通電されたコイル２３とが磁力により反発し、搬送体３Ａは床２１から浮上する。電力が供給されるコイル２３の切り替えや、供給する電力量の調整によって床２１上の磁界が制御されることで、搬送体３については浮上したままで、任意の方向への移動、向きの変更、静止、及びその傾きについての変更が可能である。上記の任意の方向への移動には、横方向の移動の他に縦方向の移動が含まれる。

真空搬送モジュール２の異なる各位置に、ゲートバルブＧ３を介して処理モジュール２０Ａ～２０Ｆが接続されている。処理モジュール２０Ａ～２０Ｆは、内部が真空雰囲気とされる処理容器と、処理容器内でウエハＷを載置すると共に載置されたウエハＷの温度調整を行うステージと、ステージに載置されたウエハＷに処理ガスを供給して処理を行うガス供給部と、を各々備えている。ステージには、搬送体３Ａ、３Ｂとの間でウエハＷを受け渡すための昇降ピンが設けられている。処理モジュール２０Ａ～２０Ｆにおいて、ウエハＷは、処理ガスに応じた処理がなされる。この処理としては、例えばエッチング処理、成膜処理あるいはアニール処理などである。なお、処理ガスがプラズマ化されて処理が行われるように、プラズマ形成機構が設けられていてもよい。

なお、上記したロードロックモジュール１３、１４内にも、処理モジュール２０Ａ～２０Ｆと同様に昇降ピンを備えたステージが設けられ、搬送機構１６と、各搬送体３と、当該ステージとの間でウエハＷの受け渡しが可能である。基板処理装置１におけるウエハＷの搬送経路について述べると、搬送容器Ｃからローダーモジュール１１に取り込まれたウエハＷは、アライメントモジュール１２→ローダーモジュール１１→ロードロックモジュール１３→真空搬送モジュール２の順で搬送される。そして当該ウエハＷは処理モジュール２０Ａ～２０Ｆで処理された後、真空搬送モジュール２→ロードロックモジュール１４→ローダーモジュール１１→搬送容器Ｃの順で搬送される。なお、ドアバルブＧ１及びゲートバルブＧ２、Ｇ３は、このようにモジュール間でウエハＷを搬送するために必要な場合を除いて閉じられ、モジュール間の雰囲気が分離される。

真空搬送モジュール２と処理モジュール２０Ａ～２０Ｆとの間の搬送についてさらに詳しく述べると、６つのうちの１つの処理モジュール２０Ａ～２０Ｆにのみ搬送されて処理が行われる装置構成であってもよいし、６つのうちの複数の処理モジュール２０Ａ～２０Ｆを順番に搬送されて処理される装置構成であってもよい。真空搬送モジュール２と、処理モジュール２０Ａ～２０Ｆと、ロードロックモジュール１３、１４との間の搬送については、後述のシミュレーションを用いた設定によって、搬送体３Ａ、３Ｂのうちの任意の搬送体を用いることができる。

また、基板処理装置１は制御部１０を備えている。制御部１０はコンピュータによって構成されている。従って、制御部１０は、プログラム、メモリ、ＣＰＵなどを含む。この制御部１０のプログラムについては、上記したウエハＷの搬送及び処理が行われるように、基板処理装置１の各部に制御信号を出力して、当該各部の動作を制御することができるようにステップ群が組まれている。当該プログラムについては、例えばハードディスク、コンパクトディスク、ＤＶＤ、メモリーカード等の記憶媒体に格納された状態で、制御部１０に格納される。

〔搬送体の経路設定に関する背景〕
真空搬送モジュール２における搬送体３については、上記したように複数設けられ、搬送体３Ａ、３Ｂの２つに限られず、より多い数の搬送体を設けてもよい。そのように複数設けられる搬送体３については、既述したように互いに独立した移動が可能である。また、横方向及び縦方向の移動が可能であることから、移動の自由度が高い。

基板処理装置１の運用前において、モジュール間における搬送体３の移動経路を設定するにあたり、搬送体３同士の干渉が防止されつつ、モジュール間でのウエハＷの搬送が速やかに行われるように各搬送体３の移動経路を設定することが求められる。しかし、上記したように搬送体３は各々独立して移動することができ、且つ移動の自由度が高いことから、そのように搬送体の移動経路を設定するにあたり、作業者にとっての手間や負担が大きくなってしまうおそれが有る。

また基板処理装置１の運用中において、任意の位置から任意のモジュールへとウエハＷの受け渡しのために、予め設定されていない移動経路を搬送体３が移動する場合が有る。その場合においても、上記した搬送体３同士の干渉が発生せず、且つウエハＷの搬送を速やかに行い得る移動経路を、各搬送体３が移動することが求められる。本技術は、以上の要請に対応できるようになされたものである。

〔経路設定システム４の概要〕
本技術の一実施形態である経路設定システム４についてのブロック図を、図３に示している。経路設定システム４はコンピュータである。この経路設定システム４の概要を述べると、経路設定システム４は、作業者が入力したパラメータに基づいて搬送体３Ａ、３Ｂの各々の移動経路を生成するシミュレーションを行い、この移動経路上で搬送体３Ａ、３Ｂが互いに干渉するか否かの判定を行う。そして、干渉すると判定した場合には、搬送体３Ａ、３Ｂが移動開始位置から移動終了位置へ至るまでに要する移動時間が長くなり過ぎることが防止されつつ、搬送体３Ａ、３Ｂ間での干渉が回避できるように、当該搬送体３Ａ及び／または３Ｂの動作設定を変更するシミュレーションを行う。

上記の動作設定の変更は、本例では移動経路の変更あるいは移動経路における搬送体３の速度の低減であり、これらのうち適正なものが選択される。上記の移動時間が長くならないように、移動経路を変更するにあたっては複数の候補から適正な経路が選択され、速度を低減するにあたっては適正な減速度合となるように調整される。

そして、そのようなシミュレーションにより得られたデータ、及びシミュレーションを実行するために作業者が入力したデータが保存され、制御部１０による搬送体３Ａ、３Ｂの動作制御に用いられる。そして、シミュレーションにより決定されたとおりの移動経路、移動速度をもって、各搬送体３が動作する。

〔経路設定システム４の構成〕
本例の経路設定システム４は、基板処理装置１の制御部１０とは別個のコンピュータであるものとして説明する。また、基板処理装置１の運用前の搬送体３の移動経路の設定を行うものとする。なお、上記したように搬送体については３つ以上設けられてもよいが、以下の説明では図１で述べたとおり搬送体３Ａ、３Ｂの２つが設けられ、これら搬送体３Ａ、３Ｂの移動経路が生成されるものとする。

経路設定システム４は、上記した処理を行うためのソフトウエア４１を備えている。ソフトウエア４１は後述する各種のプログラムによって構成され、記憶媒体４２に格納されて、経路設定システム４にインストールされる。記憶媒体４２は、制御部１０のプログラムが格納されるとして挙げた、ハードディスク等の記憶媒体によって構成される。図中４３はバスであり、記憶媒体４２の他に、入力部４４、出力部４５、メモリ４６、ＣＰＵ４７が当該バス４３に接続されている。

入力部４４は、移動経路の設定に必要な各種のパラメータを入力するために用いられ、例えばマウスやキーボードやタッチパネルなどによって構成される。出力部４５は例えばディスプレイを備えている。後述する仮想領域、仮想領域を構成する各種のキューブ、作業者が各種パラメータを入力して設定を行うためのウインドウ等が、当該ディスプレイに画面表示される。

〔経路設定システム４による処理〕
以降はシミュレーション上での仮想領域の全体または一部を模式的に示す図４～図１３を参照して、経路設定システム４が行うシミュレーションについて詳しく述べる。なお図７以降で、経路設定システム４により生成する移動経路が示されている。この移動経路としては、任意の一のモジュールに対して搬送体３がウエハＷを受け渡す位置から、任意の他のモジュールに対して当該搬送体３がウエハＷを受け渡す位置へ向うものであるが、図７以降の移動経路は、図１のモジュール配置から生成されるべき移動経路から図示の便宜上、ずれたものとしている。

大きさや形状などのパラメータを作業者が入力することで、図４に示すように仮想領域である基板搬送領域５１が設定される。基板搬送領域５１は、真空搬送モジュール２の基板搬送領域２２に対応する領域であり、それ故に本例では、基板搬送領域２２と同様に、直方体形状の領域として設定されるものとする。

そして基板搬送領域５１は、前後方向、左右方向、上下方向の各々において分割されることで直方体、より具体的にはキューブ５２の集合体として取り扱われる。複数のキューブ５２が横方向（前後方向及び左右方向）と、縦方向と、に各々隣接して並ぶことによって、基板搬送領域５１が形成されていると見ることもできる。このキューブ５２について、図５に示すように、ウエハＷを支持した状態の搬送体３を包含する大きさであるものとして説明する。

一つの移動経路を生成するにあたり、作業者は基板搬送領域５１中における、任意の一つのキューブ５２を移動開始キューブ５３、他の任意の一つのキューブ５２を移動終了キューブ５４として夫々指定する。移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４は、移動経路が接続される移動開始位置、移動終了位置に夫々相当し、図６をはじめとする各図中では、斜線、網目模様を夫々付すことで、他のキューブ５２と区別する。なお、基板搬送領域５１中の任意のキューブ５２として移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４を指定するので、移動開始位置及び移動終了位置は、基板搬送領域５１に中の横方向及び縦方向についての任意の位置から設定されていることになる。

このように移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４を指定すると、経路設定システム４により、移動開始キューブ５３から移動終了キューブ５４に至るまでの移動経路５５が自動で生成される。図７に示すように、この移動経路５５は、移動開始キューブ５３と移動終了キューブ５４との間の距離が最短となるキューブ５２の列である。従って、移動経路５５をなすキューブ５２はその面あるいは角をもってして、移動経路５５をなす他のキューブ５２、移動開始キューブ５３、あるいは移動終了キューブ５４に接続されている。図中では移動経路５５をなすキューブ５２について、多数のドットを付して示している。なお上記したように説明の便宜上、１つのキューブ５２の大きさが当該搬送体３の大きさに対応するものとしている。従って、移動キューブ５３、移動終了キューブ５４及び後述の干渉キューブ５６について、１つのキューブ５２によって構成されるものとして示すが、後述するようにそのような対応となることには限られない。

搬送体３Ａの移動経路５５の生成を説明したが、搬送体３Ｂの移動経路５５についても同様に、移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４を指定することで移動経路５５が生成される。以降は、移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４、移動経路５５について、搬送体３Ａに関するものには数字の後にＡを付して示し、搬送体３Ｂに関するものには数字の後にＢを付けて示す場合が有る。具体的には例えば、搬送体３Ａ、３Ｂの移動経路について夫々５５Ａ、５５Ｂとして示す場合が有る。なお、図中に移動経路５５Ａ、５５Ｂの両方を表す場合、５５Ｂのドットを密に付すことで互いを区別して表す。

〔搬送体３同士の干渉をチェックするためのパラメータの説明〕
上記のように移動経路５５Ａ、５５Ｂを生成するにあたり、上記した移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４の指定の他に、作業者によって各種のパラメータの入力が行われる。そのパラメータは、搬送体３が移動開始キューブ５３から移動を開始してから、何秒後に移動経路５５のどのキューブ５２に位置するか、何秒後に移動終了キューブ５４に位置するかを算出可能とするための、速度に関するパラメータを含む。即ち、経路設定システム４においては、移動経路５５をなすキューブ５２の移動終了キューブ５４の各々について、搬送体３が移動開始してからの当該搬送体３が位置するタイミングについて、速度に関するパラメータに従って算出可能である。

上記の速度に関するパラメータとしては、例えば搬送体３の最高速度と、搬送体３の移動開始から最高速度に到達するまでの時間と、が含まれ、これらは搬送体３毎に設定される。ここで言う最高速度、最高速度に到達するまでの時間とは、移動経路５５が直線であるとした場合の最高速度、最高速度に到達するまでの時間である。なお、最高速度及び最高速度に到達するまでの時間を規定することは、移動開始キューブ５３から移動を開始して最高速度に到達するまでの正の加速度を規定していることになるが、例えば移動終了キューブ５４付近ではこの正の加速度とは値が同じの負の加速度をもって搬送体３が減速するものとする。故に本例では、最高速度及び最高速度に到達するまでの時間を規定することで、この負の加速度（減速度）についても規定している。

搬送体３の移動に関して補足する。移動経路５５に屈曲部が存在する場合、例えばその屈曲部では最高速度に対する所定の割合の速度をもって搬送体３が移動する。つまり、所定のルールによって最高速度から減じられる速度をもってして、搬送体３は屈曲部を移動するものとする。より具体的には屈曲部で搬送体３がそのような速度となるように、上記の減速度をもって搬送体３が減速する。つまり、最高速度をもって移動する搬送体３が、屈曲部をなすキューブ５２の手前のキューブ５２に到達すると減速を開始し、屈曲部では最高速度に対する所定の割合の速度で移動する。そして、屈曲部を通過した後は上記の正の加速度をもって搬送体３が加速し、最高速度に復帰する。以上のような所定のルール（移動ルールとする）をもって、搬送体３が移動経路５５の直線部及び屈曲部を移動するものとする。故にこの移動ルールと、上記の速度に関するパラメータとから、経路設定システム４は、上記したように搬送体３が移動を開始してからの移動経路５５をなす各キューブ５２に位置するタイミング、及び移動終了キューブ５４に到着するタイミングを演算することが可能である。

また、作業者によって入力されるパラメータとしては、任意の基準時点から見た搬送体３Ａ、３Ｂが移動開始キューブ５３から各々移動開始するまでの時間が含まれる。このパラメータは、搬送体３Ａ、３Ｂ間での移動開始キューブ５３から移動を開始するタイミングの時間差に相当するものである。

さらに作業者によって入力されるパラメータとしては、生成される移動経路５５においては搬送体３がウエハＷを支持するか否かという情報（ウエハ支持情報とする）が含まれる。速度に関するパラメータとして、移動経路５５での搬送体３の最高速度、最高速度への到達時間を設定することを述べたが、そのように作業者によって設定される最高速度、最高速度への到達時間とは、ウエハＷを支持しない場合の最高速度、最高速度への到達時間である。ウエハ支持情報によって搬送体３がウエハＷを支持しているとされた移動経路５５については、例えばそのように作業者によって設定された最高速度、最高速度への到達時間に対して所定のルールをもって減じられた速度、時間が夫々、実際の最高速度、実際の最高速度への到達時間として取り扱われる。

説明の便宜上、このようにウエハＷが支持される場合の搬送体３の最高速度、最高速度への到達時間を、支持中最高速度、支持中最高速度への到達時間と記載し、一方でウエハＷが支持されない場合の搬送体３の最高速度、最高速度への到達時間を、支持前最高速度、支持前最高速度への到達時間と記載して互いに区別する場合が有る。即ち上記の移動ルールを用いた、搬送体３がキューブ５２、移動終了キューブ５４に位置するタイミングの演算は、搬送体３がウエハＷを支持しない場合は、支持前最高速度、支持前最高速度への到達時間が用いられ、搬送体３がウエハＷを支持する場合は、支持中最高速度、支持中最高速度への到達時間が用いられる。

例えば作業者が設定する支持前最高速度に対する所定の割合の速度が、支持中最高速度とされる。つまり当該割合が０．８ならば、設定された支持前最高速度×０．８が支持中最高速度とされる。例えば同様に、作業者が設定する支持前最高速度への到達時間に対する所定の割合の時間が、支持前最高速度への到達時間とされる。以上のように、ウエハ支持情報によってウエハＷを支持する場合の搬送体３の速度は、ウエハＷを支持しない場合の搬送体の速度に比べて抑えられ、搬送体３の移動中にウエハＷが落下することが防止される。

ここまでに述べた各種の搬送体３の移動に関するパラメータに基づき、経路設定システム４は、移動開始キューブ５３、移動経路５５をなす各キューブ５２、移動終了キューブ５４について、任意の基準時点から見ての搬送体３の位置の時間情報を取得可能である。具体的に、基準時点からどれだけの時間が経過したら、搬送体３は移動経路５５のどのキューブ５２に位置するか、あるいは移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４に位置するかという情報を、搬送体３の位置の時間情報として取得可能である。即ち、任意の基準時点からの経過時間と、基板搬送領域５１中の搬送体３が位置するキューブ５２（移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４を含む）との対応について取得することができる。

搬送体３Ａ、３Ｂの各々についての上記した位置の時間情報が取得されることで、移動経路５５のいずれかのキューブ５２において、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉が起きるか否かが判定される。これは、より具体的に述べると、搬送体３Ａ、３Ｂのうちの一方がキューブ５２に位置している期間に、搬送体３Ａ、３Ｂのうちの他方が当該キューブ５２に位置することになるキューブ５２が有るか否かの判定がなされることである。つまり、搬送体３Ａ、３Ｂ同士での干渉の発生が推定されるキューブ５２の検出がなされる。以降は、このような干渉が発生すると見込まれるキューブ５２を、干渉直方体である干渉キューブ５６として、図８に示すように横縞模様を付して示す。なお、図中では干渉発生位置として表される干渉キューブ５６は１つであるものとして示しているが、生成する移動経路５５次第で、複数のキューブ５２が干渉キューブ５６となる場合が有る。

以上のように各キューブ５２からなる基板搬送領域５１は、出力部４５に画面表示され、当該基板搬送領域５１中の移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４、移動経路５５、干渉キューブ５６についても画面表示される。また、移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４、移動経路５５をなすキューブ５２、干渉キューブ５６、これらのいずれにも該当しないキューブ５２は、出力部４５の画面上で例えば互いに異なるカラーで表示することが可能であって、作業者が互いに区別することができる。従って、作業者は干渉キューブ５６を見て、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉が見込まれることを認識することができる。後述の各対処によって当該干渉が回避されれば、干渉キューブ５６の表示は解消される。

〔搬送体同士の干渉の回避〕
生成した移動経路５５における干渉キューブ５６の有無が判定され、干渉キューブ５６が無いと判定された場合には、その判定時における移動経路５５、及びその判定時における移動経路５５の各部での速度をもって、各搬送体３が移動するように決定がなされる。一方、干渉キューブ５６が発生する場合、既述したように経路設定システム４は、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉を回避する対処として、搬送体３Ａ及び／または３Ｂの動作設定（移動経路５５または速度）を変更するシミュレーションを行う。

この動作設定の変更としては、その干渉が発生した移動経路５５Ａ、５５Ｂについて、搬送体３Ａ、３Ｂのうちのいずれの移動を優先させるかという、作業者が設定するパラメータである優先度に基づいて行われる。搬送体３Ａ、３Ｂ間で優先度が異なる場合には、優先度の高い方の搬送体３の動作設定は変更せず、優先度が低い方の搬送体３の動作設定を変更する。搬送体３Ａ、３Ｂの間で優先度が同じ場合には、搬送体３Ａ、３Ｂの両方の動作設定を変更する。

〔移動経路の変更による対処〕
上記の動作設定の変更としては具体的には、干渉キューブ５６を避けるように搬送体３の移動経路５５の変更を行うこと、あるいは干渉キューブ５６に位置するタイミングがずれるように、搬送体３の移動経路５５での減速が行われることである。既に述べたようにこれらのうち、適切な対処となるように選択が行われるが、先に移動経路５５の変更が行われるものとして説明する。なお、上記したように移動経路５５はキューブ５２の列として表されるものであるが、変更される移動経路５５についても、キューブ５２の列として表される。

先ず、移動の優先度が搬送体３Ａ、３Ｂの間で異なっている場合について説明する。この場合は、上記したように搬送体３Ａ、３Ｂのうち、当該優先度が低い方について、移動経路５５の変更が行われる。この移動経路５５の変更については、干渉キューブ５６に隣接するキューブ５２を通過することで当該干渉キューブ５６を迂回し、且つ移動開始キューブ５３から移動終了キューブ５４への搬送体３の移動時間が、より短くなるように行われる。

図９において、搬送体３Ａの優先度の方が低いことによって行われる移動経路５５Ａの変更の様子を模式的に示しており、変更前の移動経路５５をなすキューブ５２について、図８と同様にドットを付して示している。変更後の移動経路５５Ａの候補としては３つ存在するものとして、これらの経路の候補のうち変更前の移動経路５５Ａから変化した部分を点線または実線の矢印で示している。さらに詳しく述べると、変更後の移動経路５５Ａとしては干渉キューブ５６を迂回することで、当該干渉キューブ５６に対して上側に隣接するキューブ５２を移動する経路、側方に隣接するキューブ５２を移動する経路、下側に隣接するキューブ５２を移動する経路の３つが取り得るものとしている。

経路設定システム４は、これらの変更後の移動経路５５Ａの各候補について、搬送体３Ａが移動開始キューブ５３Ａから移動終了キューブ５４Ｂへの移動に要する搬送体３Ａの移動時間を算出し、各移動時間について比較する。その比較の結果、移動時間が最も短い候補を、変更後の移動経路５５Ａとして決定する。例えば、図９で示す変更後の移動経路５５Ａの候補のうち干渉キューブ５６の側方を通過するもの（点線の矢印で示すもの）について、移動開始キューブ５３Ａから移動終了キューブ５４Ｂへの搬送体３Ａの移動時間が最も短い場合には、当該候補が変更後の移動経路５５Ａとして決定される。

続いて、優先度が搬送体３Ａ、３Ｂの間で同じである場合について説明する。この場合は、例えば移動経路５５Ａ、５５Ｂの両方の変更が行われる。より具体的には、干渉キューブ５６に隣接するキューブ５２を通過することで各移動経路５５が干渉キューブ５６を迂回するように変更される。さらに移動開始キューブ５３Ａから移動終了キューブ５４Ａへの移動に要する搬送体３Ａの移動時間と、移動開始キューブ５３Ｂから移動終了キューブ５４Ｂへの移動に要する搬送体３Ｂの移動時間と、の合計時間が、最も短くなるように変更がなされる。

図１０では、この移動経路５５Ａ、５５Ｂの変更の様子を模式的に示しており、変更前の移動経路５５をなすキューブ５２に、ドットを付している。経路設定システム４は、移動経路５５Ａについて、図９で述べたように変更後の移動経路５５Ａの候補を複数生成し、その候補について移動開始キューブ５３Ａから移動終了キューブ５４Ａへの搬送体３Ａの移動に要する移動時間を算出する。移動経路５５Ｂについても移動経路５５Ａと同様にして変更後の移動経路５５Ｂの候補を複数生成し、その候補について移動開始キューブ５３Ｂから移動終了キューブ５４Ｂへの移動に要する搬送体３Ｂの移動時間を算出する。

そして、複数の変更後の移動経路５５Ａの候補、複数の変更後の移動経路５５Ｂの候補の中から干渉キューブ５６が発生しない組み合わせが抽出される。この組み合わせが複数有る場合には、上記した搬送体３Ａの移動時間と搬送体３Ｂの移動時間との合計時間が、最も短いものが選択される。そのように抽出された候補の組み合わせ、あるいは抽出された上でさらに選択された候補の組み合わせが、変更後の移動経路５５Ａ、５５Ｂとして決定される。図１０では、そのように決定された移動経路５５Ａ、５５Ｂのうち、元の移動経路５５から変更されると共に干渉キューブ５６に隣接する部位を、実線の矢印、点線の矢印で夫々示している。

〔搬送体の減速による対処〕
続いて、搬送体３の減速による搬送体３Ａ、３Ｂの干渉の回避について説明する。搬送体３Ａ、３Ｂを共に減速させてしまうと、各々の減速を解除した際に干渉する場合が有るため、この減速による対処は、上記の優先度について搬送体３Ａ、３Ｂ間に差が有る場合に用いられる。従って、この減速による対処としては、優先度が低い方の搬送体３について、干渉キューブ５６が発生するものとされた際に設定されている速度よりも低い速度で干渉キューブ５６へと移動させるようにすることになる。それにより、干渉キューブ５６へと移動するタイミングを搬送体３Ａ、３Ｂ間でずらし、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉を防止するものである。なお、上記したように搬送体３については、移動経路５５の屈曲部を通過する際の減速、移動終了キューブ５４に到達直前での減速が行われるが、以降、特に説明が無い限り、減速と記載する場合には、この干渉を回避するための減速であるものとする。

図１１、図１２を用いて、減速による対処をさらに具体的に説明する。図１１、図１２では、搬送体３Ａの方が優先度について低く設定された場合に、減速による対処が行われる例を示している。搬送体３Ｂについては、干渉キューブ５６が発生していると判定された際の速度で、移動経路５５Ｂの各部を移動する。搬送体３Ａについては、干渉キューブ５６が発生していると判定された際の移動開始キューブ５３から干渉キューブ５６に至るまでの経路の速度に対して減速がなされる。それにより、干渉キューブ５６を先に搬送体３Ｂが通過し（図１１）、搬送体３Ａはその後に干渉キューブ５６を通過する（図１２）。なお、減速によって干渉が回避されることによって、図１１、図１２中の干渉キューブ５６については正しくは干渉キューブ５６ではなくなっているが、便宜上、依然として干渉キューブ５６であるものとして示している。

上記の減速のルールについては、例えば干渉キューブ５６から所定の距離を離れた地点から所定の減速度で減速が開始され、所定の期間この減速が続けられるというように予め決めておく。また、そのように予め決めておく減速のルールには、減速の終了後の速度の回復も含まれるものとする。例えば、上記のように所定期間だけ減速が行われた後に、所定の加速度をもって加速が開始されて、干渉キューブ５６が存在しなくて減速が行われなかったとする場合の本来の速度に復帰するようにする。

ところで例えば上記の減速のルールにおいて、上記の減速を行う期間については当初は比較的短い期間として設定しておく。その設定で干渉が解消されるかを判定し、解消されないと判定された場合に、この期間を所定時間だけ延ばして再度、判定を行う。このような期間の延長と、干渉の判定とを繰り返し行い、干渉が解消されたと判定された際の期間の長さとなるように、当該減速を行う期間の長さを決定する。減速を行う期間が比較的長くなれば、その期間中に搬送体３の速度が０になる（即ち一時停止状態になる）が、その場合は当該減速期間の経過後に、搬送体３の加速が開始される（即ち再度、動き出す）ものとする。以上のように減速の度合については適宜調整され、且つ必要に応じて搬送体３の一時停止がなされる。

〔対処の選択、決定〕
以上のように搬送体３Ａ、３Ｂ間で優先度に差が有る場合、図９に例示した移動経路５５の変更、図１１、図１２に例示した搬送体３の減速のうちのいずれかの対処が取られ得る。いずれの対処が取られるかは、移動開始キューブ５３から移動終了キューブ５４への搬送体３の移動に要する移動時間が、より短くなる方となるように、経路設定システム４により決定される。具体的に、搬送体３Ａの優先度の方が低いものとして説明する。その場合、変更された移動経路５５Ａを経由する移動開始キューブ５３Ａから移動終了キューブ５４Ｂへの搬送体３Ａの移動時間と、減速がなされるとされた元の移動経路５５Ａを経由する当該移動時間と、が比較されることになる。そして比較の結果、移動時間が短い方の対処が取られるように決定され、干渉キューブ５６については解消したものとされる。そして例えば、移動経路５５Ａの変更が行われるように決定された場合は、元々の移動経路５５Ａの代わりに新しい移動経路５５Ａが画面表示され、減速が行われる場合には、その旨が画面表示される。

以上のシミュレーションで決定されたり、シミュレーションの実行のために設定されたりする各データが、例えばソフトウエア４１が記憶される記憶媒体４２などの経路設定システム４を構成するストレージ、あるいは経路設定システム４の外部のストレージに記憶される。具体的には、作業者によって入力されるとして述べた各パラメータ、移動開始キューブ５３Ａ及び移動終了キューブ５４Ｂの位置、決定された移動経路５５Ａ、５５Ｂ、移動経路５５Ａ、５５Ｂ上の各部での搬送体３の速度に関する情報が当該ストレージに記憶される。従って、シミュレーション実行後には、搬送体３Ａ、３Ｂについて互いに干渉しないように、任意の基準時点から見ていつ、移動領域５１のどのキューブ５２（移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４を含む）に位置するかを特定するデータが、ストレージに格納されることになる。なお、このデータは基準時点から見て、各搬送体３がどのような速度変化をした上で、移動開始キューブ５３から移動終了キューブ５４に決定された移動経路５５を介して到達するかを特定しているとも言える。

制御部１０は、このようにストレージに記憶されたデータを利用する。当該データを含んだ記憶媒体が制御部１０に接続されたり、ネットワークからダウンロードされたりすることで、当該データが制御部１０に取り込まれる。そして、制御部１０は当該データに基づいて制御信号を出力して搬送体３Ａ、３Ｂの動作を制御し、搬送体３Ａ、３Ｂはシミュレーションと同様に動作する。つまり、シミュレーション上で決定されたものと同様の移動経路５５、同様の速度をもって、基板搬送領域２２を搬送体３Ａ、３Ｂが移動することになる。

ところで上記したシミュレーションにて、移動経路５５が変更されるか搬送体３が減速するかの対処の決定について、経路設定システム４が自動で決定するように述べたが、例えばこの決定を行うのが作業者であるように設定変更が可能である。作業者が決定するように設定された場合は、例えば画面上に搬送体３の変更前後の経路や、経路を変更した場合の移動終了キューブ５４への搬送体３の到達時間と減速した場合の搬送体３の移動終了キューブ５４への到達時間との時間差など、作業者が決定するにあたって利用可能な情報が画面表示されるものとする。作業者はその画面表示を見て対処を決定すればよい。

〔キューブの大きさについて〕
図示及び説明の煩雑化を防ぐために、１つのキューブ５２がウエハＷを支持する搬送体３を包含する大きさであるものとして述べてきたが、キューブ５２は任意の大きさとなるように設定することが可能である。図１３には１つのキューブ５２の大きさが搬送体３の大きさよりも小さく、８個のキューブ５２によって、ウエハＷを支持する搬送体３が包含されるように設定された場合を示している。

このようにキューブ５２の大きさの設定に応じて、移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４として指定されるべきキューブ５２の数、干渉キューブ５６とされるキューブの数は変化することになる。言い換えれば、複数のキューブ５２がひとまとまりのキューブとなることで、移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４、干渉キューブ５６を夫々形成する場合が有る。その他に、キューブ５２の大きさの設定に応じて、移動経路５５における縦幅のキューブ５２の数及び横幅のキューブ５２の数も変化することになる。

以上のことから、上記のシミュレーションにおいては、作業者によってキューブ５２の大きさに関するパラメータが設定されることになる。そして、このパラメータには、シミュレーション上、搬送体３を、当該搬送体３を包含するキューブとして表すとして、そのキューブが何個のキューブ５２により表されるかを指定するパラメータが含まれる。キューブ５２の大きさに関するパラメータについても、他のパラメータと同様にストレージに記憶される。

〔経路設定システム４のソフトウエア構成〕
図３に戻って、経路設定システム４のソフトウエア４１の構成例について説明する。ソフトウエア４１は上記した各処理が行えるように構成されており、大別するとロジック部６Ａ、ＧＵＩ（graphical user interface）部６Ｂ、ＤＢ（data base）部６Ｃからなる。

ロジック部６Ａは、経路生成エンジン６１及び干渉チェックエンジン６２を含む。経路生成エンジン６１は、仮想の基板搬送領域５１を設定し、上記した自動の移動経路５５の生成を行う。干渉チェックエンジン６２は、生成した移動経路５５における搬送体３同士の干渉の有無のチェックを行う。つまり、干渉キューブ５６の有無の判定を行う。

ＧＵＩ部６Ｂは、経路設定／表示部６３、パラメータ設定部６４を含む。経路設定／表示部６３は、基板搬送領域５１をなす各キューブ５２、移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４、移動経路５５、干渉キューブ５６の画面表示を行う。パラメータ設定部６４は、作業者が既述した各パラメータを設定するための画面表示を行う。具体的には例えば、パラメータ入力用のウインドウの表示を行い、作業者の入力部４４からのパラメータの入力を可能とする。

ＤＢ部６Ｃは、パラメータデータベース６５及び経路データベース６６を含む。パラメータデータベース６５は、作業者が入力、設定するこれまでに述べた各種のパラメータを記憶する。経路データベース６６は、基板搬送領域５１に関する各事項や、各種のパラメータから決定された各事項が記憶される。指定された移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４の位置、決定された移動経路５５、移動経路５５上の各部における搬送体３の速度といった、パラメータデータベース６５に記憶されるパラメータ以外の基板搬送領域５１に関するデータが記憶される。ＤＢ部６Ｃを構成するデータが、制御部１０による搬送体３Ａ、３Ｂの制御に用いられることになる。

ソフトウエア４１及び各種の演算を実行するＣＰＵ４７は、時間情報取得部、仮想領域設定部、経路生成部、干渉判定部及び対処部に相当する。また、各種のパラメータを記憶するものとして上記したストレージは支持情報記憶部、優先度記憶部に相当する。

〔移動経路に関する設定の手順〕
続いて、これまでに述べた経路設定システム４によるシミュレーションの手順の一例について、図１４のフローを参照して説明する。先ず作業者は、大きさや形状に関するパラメータを入力することで、基板搬送領域５１の設定を行う（ステップＳ１）。続いて、作業者はキューブ５２の大きさに関するパラメータ入力し、当該大きさについて設定する（ステップＳ２）。

そして作業者は、搬送体３Ａについての移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４の位置を指定し（ステップＳ３）、搬送体３Ａについてのパラメータを設定する（ステップＳ４）。当該パラメータとしては、移動経路５５Ａにおける最高速度（支持前最高速度）、移動開始から最高速度に到達するまでの到達時間（支持前最高速度への到達時間）、基準時点から搬送体３Ａが移動開始するまでの時間、及び生成させようとする移動経路５５Ａでのウエハ支持情報である。これらのパラメータに基づき、経路設定システム４によって移動経路５５Ａが生成され、画面表示される（ステップＳ５）。

続いて、作業者は搬送体３Ｂについての移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４の位置を指定し（ステップＳ６）、さらに搬送体３Ｂについてのパラメータを設定する（ステップＳ７）。当該パラメータとしては、移動経路５５Ｂにおける最高速度（支持前最高速度）、移動開始から最高速度に到達するまでの到達時間（支持前最高速度への到達時間）、基準時点から搬送体３Ｂが移動開始するまでの時間、及び生成させようとする移動経路５５Ｂでのウエハ支持情報である。このパラメータに基づき、経路設定システム４によって移動経路５５Ｂが生成され、画面表示される（ステップＳ８）。

搬送体３Ａ、３Ｂの位置の時間情報が取得され、移動経路５５Ａ、５５Ｂをなす各キューブ５２について、搬送体３Ａ、３Ｂのうち一方が位置する間に、他方も位置することになるキューブ５２が有るか（即ち、干渉キューブ５６が有るか）否かが判定される（ステップＳ９）。このステップＳ９で干渉キューブ５６が無いと判定された場合は、この判定時の移動経路５５Ａ、５５Ｂを搬送体３Ａ、３Ｂは夫々移動するように決定され、また、この判定時における速度で移動経路５５Ａ、５５Ｂの各部を移動するように決定される。

ステップＳ９で干渉キューブ５６が発生していると判定された場合は、その干渉キューブ５６と、当該干渉キューブ５６を含む移動経路５５Ａ、５５Ｂにおいて、搬送体３Ａ、３Ｂのいずれの移動を優先させるかの優先度の入力を求めるウインドウと、が画面表示される。作業者が、当該優先度について設定する（ステップＳ１０）。

入力された優先度に差が有る場合は経路設定システム４により、上記したように優先度が低い方の搬送体３の動作設定が変更される（ステップＳ１１）。つまり優先度が低い搬送体３について、図９で例示したように移動経路５５の変更がなされるか、図１１、１２で例示したように移動経路５５での減速がなされる。優先度が同一である場合は経路設定システム４により、各搬送体３の動作設定が変更される。具体的には図１０で例示したように、各搬送体３の移動経路が変更される（ステップＳ１２）。ステップＳ１１、Ｓ１２の搬送体３Ａ及び３Ｂのうちの一方、あるいは両方の動作設定の変更が行われた後、この動作設定を変更したことによって、干渉キューブ５６が発生するか否か（即ち、干渉キューブ５６を解消できたか否か）が判定される（ステップＳ１３）。

ステップＳ１３で干渉キューブ５６が発生すると判定された場合は、例えばその旨が表示されると共に、優先度の再設定が可能であるように、優先度の入力を求めるウインドウが表示される。つまり、ステップＳ１０以降の各ステップが再度実行可能となる。ステップＳ１３で干渉キューブ５６が発生していないと判定された場合は、この判定時の移動経路５５Ａ、５５Ｂを搬送体３Ａ、３Ｂは夫々移動するように決定され、また、この判定時における速度で移動経路５５Ａ、５５Ｂの各部を移動するように決定される。

〔経路設定システム４の効果のまとめ〕
以上に述べた経路設定システム４によれば、仮想の基板搬送領域５１において移動開始位置（移動開始キューブ５３）及び移動終了位置（移動終了キューブ５４）を設定することによって、各搬送体３の移動経路５５がキューブ５２の列として自動で生成される。そして、この移動経路５５をなすキューブ５２毎に、搬送体３の位置の時間情報によって搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉の有無が判定され、その判定結果が干渉キューブ５６の有無として表される。従って、作業者にすれば、搬送体３同士の干渉の有無を容易に把握することができる。また、当該干渉が発生すると判定された場合の対処について、経路設定システム４が自動で決定する、あるいは選択し得るように画面表示による作業者への提示がなされるため、作業者は移動経路５５の設定を容易に行うことができる。

そして上記のように搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉の判定がなされるため、移動経路５５Ａ、５５Ｂに重なりが生じていても、その重なりをなすキューブ５２において、搬送体３Ａ、３Ｂが位置するタイミングがずれる場合には干渉しないと判定される。従って、不要な移動経路５５の変更あるいは搬送体３の減速という各種の対処を取らなくて済むので、基板処理装置１においてウエハＷの搬送効率が低下することが防止される。

また経路設定システム４は、上記したように任意の基準時点からの経過時間と、各搬送体３が位置するキューブ５２との対応を取得することができるが、他方の搬送体３は、一方の搬送体３が位置するキューブ５２から外れるように位置させればよい。つまり、上記の対応を取得することは、基板搬送領域５１において他方の搬送体３を位置させることが可能なキューブ５２を検出することである。そのキューブ５２の検出により、他方の搬送体３について、干渉を回避できる移動パターンを複数取得することができる。従って、干渉を回避した上で移動終了キューブ５４への搬送体３の到着の遅れが抑制できるように、経路変更、減速という複数の対処の中から実行する対処を適正に決定することができる。さらに、既述したように経路変更するにあたっては候補の中から適正なものが選択され、減速を行うにあたってはその度合が適正に調整されることで、移動終了キューブ５４への到着の遅れが大きくなることが、より確実に抑制される。以上に述べたことから、経路設定システム４によれば、任意の基準時点からの経過時間と、各搬送体３が位置するキューブ５２との対応を取得することによって、各搬送体３によるウエハＷの搬送効率の低下を防止できるように、移動経路５５の設定及び移動経路５５における搬送体３の速度の設定が可能である。なお、任意の時点における搬送体３が位置するキューブ５２とは、ウエハ支持情報に基づいて決まるものである。それ故に、ウエハＷの安定した支持が図られつつ、そのウエハＷの搬送効率の低下の防止効果が得られることになる。

なお、任意の時点におけるキューブ５２に搬送体３が位置するかを検出し、干渉を回避できる搬送体３の移動パターンを複数取得できるということは、作業者が対処の選択を行う場合においても有効である。具体的には、上記したように対処毎に、移動終了キューブ５４への到着時間の画面表示などを行い、作業者に選択の基準となる情報を提示し得るので、作業者の経路設定を容易にすること寄与することになる。

〔フロー、対処の補足〕
上記のフローのステップの順番について、移動経路の生成及び干渉の判定を阻害しない限り、適宜変更されてもよい。例えば優先度については、搬送体３Ａ、３Ｂについての最高速度等のパラメータの設定時に共に設定してもよい。

またウエハ支持情報より、搬送体３がウエハＷを支持する移動経路５５については、作業者が設定した最高速度（支持前最高速度）から所定のルールに従って自動で速度が減じられたものが最高速度（支持中最高速度）として設定されるものとした。そのように自動で支持最高速度が決まることには限られず、搬送体３Ａ、３Ｂについての最高速度等のパラメータを設定する際に、作業者が設定してもよい。そのように作業者自身が設定する場合には、支持中最高速度として設定可能な上限値としては、設定可能な支持前最高速度の上限値よりも低くなるようにすればよい。つまり、搬送体３がウエハＷを支持しているか否かのパラメータであるウエハ支持情報に応じて、作業者が設定可能な最高速度の上限値が変化するという態様であってもよい。

既述した各対処については一例にすぎず、異なる対処を行ってもよい。例えば、優先度が同じ場合に移動経路５５Ａ、５５Ｂを両方変更するものとしたが、一方のみ変更するようにしてもよい。より具体的に述べると、上記したように変更にあたっては、移動終了キューブ５４Ａ、５５Ｂへの搬送体３Ａ、３Ｂ夫々の移動時間の合計に基づいて決定するが、移動経路５５の一方のみを変更した場合の合計時間が、移動経路５５の両方を変更した場合の合計時間より短ければ、移動経路５５の一方のみを変更すればよい。また、優先度が同じ場合に搬送体３Ａ、３Ｂの両方の減速は行われないように示したが、搬送体３Ａ、３Ｂ間で減速の度合を変えることで干渉キューブ５６への到達時間をずらすなどして、行うことにしてもよい。つまり、搬送体３Ａ、３Ｂの両方の減速の対処を禁止するものではない。なお、対処として示した移動経路の変更や減速の態様は、経路設定システム４の概要、効果を述べるためにごく簡単な例を示したが、任意の態様を設定することができる。

〔搬送体の傾斜による干渉回避〕
干渉の回避の動作としては移動経路５５の変更あるいは移動経路５５上での減速に限られず、以下に他の動作を示す。既述のように搬送体３は傾斜させることが可能である。より詳しくは、搬送体３の支持部３２のウエハＷの支持面は水平であるが、この支持面が水平面に対して傾くように、搬送体３の姿勢を変更することができる。各搬送体３を傾斜させることで、図１５に示すように干渉キューブ５６において、搬送体３Ａ、３Ｂの各々が占有する平面視での面積を低減させることが可能であり、その結果、当該干渉キューブ５６での干渉を回避することができる。

搬送体３Ａ、３ＢからウエハＷが落下しないように、各搬送体３を傾ける対処は干渉キューブ５６が発生した移動経路５５Ａ、５５Ｂの各々で、搬送体３Ａ、３Ｂが共にウエハＷを支持していない場合における対処とされる。従って、この搬送体３Ａ、３Ｂを傾斜させることは、ウエハ支持情報に基づいて実施されるか否かが決定される。

このように搬送体３Ａ、３Ｂを共に傾斜させる対処とすれば、移動経路５５の変更や減速を行うよりも速やかに搬送体３Ａ、３Ｂを移動終了キューブ５４に到達させることができる。そのため、このように搬送体３Ａ、３Ｂを傾ける対処が可能である場合には、このように搬送体３Ａ、３Ｂを傾けるように自動で決定されてもよい。ただし、搬送体３を傾斜させること、移動経路の変更、減速の対処の中から作業者が選択して決定するようにしてもよい。このように傾斜させる対処を取るとして決定された場合には、その決定についての情報が例えば経路データベース６６に記憶され、決定されたとおりに基板処理装置１において搬送体３の動作制御がなされるものとする。

〔干渉回避領域の拡大〕
ところで、一方の搬送体３が任意のキューブ５２に位置する間、他方の搬送体３は、そのキューブ５２に位置することがなければよく、一方の搬送体３が位置するキューブ５２に隣接するキューブ５２には位置してよいものとして述べてきた。ただし、当該隣接するキューブ５２へ位置することも不可となるように各搬送体３の動作を設定することができる。

図１６を参照して具体的に説明する。移動経路５５を移動する搬送体３について移動キューブ５７として表されるものとする。この移動キューブ５７は、１つのキューブ５２により構成されるか、あるいは複数のキューブ５２が集合したキューブであるものとする。上記したように、キューブ５２の大きさは任意に設定することができ、搬送体３を包含する大きさを有する１つのキューブ５２の数がパラメータによって指定されることを述べたが、そのパラメータで指定される数のキューブ５２によって移動キューブ５７が構成される。従って、この移動キューブ５７は搬送体３の大きさに対応し、当該搬送体３を包含するキューブであって、図１６では８個のキューブ５２により構成されるように示している。この移動キューブ５７を包含するように排他キューブ５８が設定され、移動キューブ５７の中心と排他キューブ５８の中心とは互いに一致する。シミュレーション上、排他直方体である排他キューブ５８は搬送体３の移動に伴って（即ち移動キューブ５７の移動に伴って）、移動するものとする。

この排他キューブ５８を設定した場合は、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉の有無を判定するにあたり、一方の搬送体３の排他キューブ５８に重なる各キューブ５２に、他方の搬送体３が位置するか否かの判定が行われる。他方の搬送体３が位置しないと判定された場合には、干渉のおそれが無いものとして、各搬送体３の移動経路５５及び移動経路５５上の速度の決定がなされる。他方の搬送体３が位置すると判定された場合には、搬送体３同士の干渉のおそれが有るとして、排他キューブ５８に重なるキューブ５２のうち他方の搬送体が位置するとされたキューブ５２が干渉キューブ５６とされる。

以上のことから、搬送体３Ａ、３Ｂが共に位置するキューブ５２ではなくても、搬送体３Ａ、３Ｂが各々位置するキューブ５２が近接していれば、そのキューブ５２は干渉キューブ５６となる場合が有る。即ち、排他キューブ５８を設けることで、干渉キューブ５６と成り得る領域が拡大することになる。このように排他キューブ５８を設定して干渉キューブ５６が発生した場合には、排他キューブ５８を設けない場合と同様に、これまでに述べた移動経路５５の変更、減速または各搬送体３の傾斜の対処を取ることができる。上記の排他キューブ５８を設定することで、搬送体３同士の干渉をより確実に防止することができる。排他キューブ５８の大きさは例えば作業者が任意に設定可能であり、この大きさ等の排他キューブ５８に関するパラメータも、例えばパラメータデータベース６５に記憶される。

〔基板処理装置の制御部へのソフトウエアの組み込み〕
ソフトウエア４１について、基板処理装置１の制御部１０とは別のコンピュータに組み込まれたものとして示したが、制御部１０に組み込まれていてもよい。従って、当該制御部１０が経路設定システムとして構成されていてもよい。また、これまでは基板処理装置１の運用前における、搬送体３同士の干渉を回避する移動経路５５の設定がなされるものとして述べてきた。制御部１０にソフトウエア４１が組み込まれた場合には、運用前の当該設定に加えて、基板処理装置１の運用中における当該設定と、この設定による搬送体３の動作制御が可能である。

以下、具体例を挙げる。基板処理装置１の運用時において制御部１０により、一のモジュールにて搬送体３ＡによるウエハＷの受け渡しが行われるようにするために、任意の位置から当該一のモジュールの手前へ当該搬送体３Ａが移動するように移動指示が出される。続いて、他のモジュールにて搬送体３ＢによるウエハＷの受け渡しが行われるようにするために、任意の位置から他のモジュールの手前へ当該搬送体３Ｂが移動するように移動指示が出される。この場合における各移動経路５５の設定について説明する。

先ず、搬送体３Ａへの移動指示が出されたことで、その移動指示が出された時点の搬送体３Ａの位置が移動開始キューブ５３Ａ、一のモジュールの手前が移動終了キューブ５４Ａとされ、移動経路５５Ａが生成されて、その移動経路５５Ａを搬送体３Ａが移動する。続いて、搬送体３Ｂへの移動指示が出されることで、その移動指示が出された時点の搬送体３Ｂの位置が移動開始キューブ５３Ｂ、他のモジュールの手前が移動終了キューブ５４Ｂとされ、移動経路５５Ｂが生成される。そして、基板処理装置１の運用前と同様に各種のパラメータを用いて干渉キューブ５６が発生するか否かが判定される。

基板処理装置１の運用前の干渉キューブ５６が発生するか否かの判定では、任意の基準時点から搬送体３Ａ、３Ｂが移動開始するタイミングをパラメータとして入力しておき、搬送体３Ａ、３Ｂ間での移動開始キューブ５３から移動を開始するタイミングの時間差として用いるものとした。この基板処理装置１の運用中の判定では、搬送体３Ａについての移動指示が出された時刻と搬送体３Ｂについての移動指示が出された時刻との時間差を、搬送体３Ａ、３Ｂ間での移動開始キューブ５３から移動を開始するタイミングの時間差として、干渉キューブ５６が発生するか否かが判定される。

干渉キューブ５６が発生すると判定されたら、これまでに述べたように移動経路５５Ａの変更かあるいは搬送体３Ａの減速がなされるように設定された上で搬送体３Ａが移動開始することで、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉が回避される。従って、この例によればシミュレーションによって一方の搬送体３の経路生成及び搬送体３同士の干渉回避の設定を行った直後にそれを反映した動作制御を行うことになる。なお、制御部１０による各種の演算、判定は速やかに実行され、搬送体３Ａ、３Ｂの各々については移動指示が出されたタイミングと略同時に移動開始するものとする。

以上のようにソフトウエア４１が組み込まれた制御部１０によれば、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉を発生させず、且つ搬送体３Ａのモジュールの手前（移動終了キューブ５４Ａ）への到達が必要以上に遅れることが防止されるように、各搬送体３Ａ、３Ｂを移動させることができる。なお、以上の例から明らかなように、移動経路５５を設定するにあたり、移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４については作業者が設定することには限られない。

〔補足事項〕
生成された移動経路５５Ａ、５５Ｂに重なりが生じていても、搬送体３Ａ、３Ｂ同士の干渉が発生しない限り、移動経路５５Ａ、５５Ｂの変更はなされないとして述べてきた。しかし、搬送体３Ａ、３Ｂ間での干渉をより確実に防止するために、移動経路５５Ａ、５５Ｂ同士の重なりが生じたら、その重なりをなすキューブ５２を干渉キューブ５６として扱い、移動経路５５Ａ及び／または５５Ｂの変更がなされてもよい。

また、一方の搬送体３について設定された排他キューブ５８の軌跡と他方の搬送体３の軌跡との重なりの有無を判定して、重なりが生じている場合には、当該重なりをなすキューブ５２を干渉キューブ５６として扱い、移動経路５５Ａ及び／または５５Ｂの変更がなされてもよい。つまり図１６を用いて説明したような、一方の搬送体３について設定された排他キューブ５８に重なるキューブ５２に対して他方の搬送体３が位置することが無くても、軌跡同士の重なりが有る場合には、干渉が発生するものと推定して、対処を行ってもよい。このように移動経路５５の干渉に関する判定とは、搬送体３同士の干渉の判定であることには限られず、移動経路５５同士の重なりの判定であったり、一方の移動経路５５及びその周辺領域と、他方の移動経路５５との重なりの判定であったりしてもよい。

また移動経路５５に関する干渉の判定が行われ、その結果が画面表示されるのみであっても、作業者のその判定に要する手間を省くことができるため、作業者の負担は低減される。従って干渉の判定の結果、対処の自動での決定や、対処の作業者への提示がなされるものとして述べてきたが、そのような決定や提示がなされなくてもよい。

基板搬送領域５１は、多数のキューブ（立方体）５２に分割されるものとして述べたが、立方体以外の直方体に分割されてもよい。また、搬送体３の移動開始位置、移動終了位置、搬送体同士の干渉が起きる位置についても１つのキューブ５２あるいは複数のキューブの集合体であるキューブとして表されるように述べてきたが、立方体ではない直方体として表されることになってもよい。

上記したように搬送体３の数としては２つには限られず、３つ以上の搬送体を設けてもよい。そのように３つ以上の搬送体３が設けられる場合についても、同様の手法で搬送体３同士の干渉を防ぐことができる。例えば搬送体３Ａ、３Ｂの他に搬送体３Ｃが設けられるとする。その場合、搬送体３Ａについて見れば、既述したように搬送体３Ｂとの間で干渉キューブ５６が発生するか否か判定し、既述した対処を行うことで移動経路、速度を決定する。続いて、その移動経路、速度で移動させるとして、搬送体３Ｃとの間で干渉キューブ５６が発生するか否かを判定し、干渉キューブ５６が発生すると判定される場合には、その決定した移動経路、速度について既述した対処を行うことで、さらに変更すればよい。
ところで干渉キューブ５６について補足しておくが、キューブ５２の大きさについては任意の設定とすることができるため、図１３で示したように１つの搬送体３が複数のキューブ５２に跨がる大きさとなるように１つのキューブ５２の大きさが設定される場合が有る。つまり、１つのキューブ５２に一の搬送体３の一部分のみが存在することになり、搬送体３はキューブ５２の集合として表される場合が有る。そのようにキューブ５２の集合として表される場合について、図１３では８つのキューブ５２からなるキューブとして表されるように示したが、図１７に示すようにキューブではない搬送体３の形状に対応させた任意の形状として表すように設定することができる。そして、キューブ５２の集合として搬送体３を表す場合には、その集合をなす一のキューブ５２には、搬送体３の一部分のみが存在することになるが、そのように搬送体３の一部分が存在するキューブ５２に対して、他の搬送体３が進入するとなった場合には、そのキューブ５２が干渉キューブ５６となる。例えば図１７に示すキューブ５２の集合として表されるように設定がなされたものとする。このキューブ５２の集合が移動経路５５を移動するにあたって、当該図１７に示すように、その集合のうちの一つのキューブ５２に他の搬送体３が進入するとすれば、当該一つのキューブ５２が干渉キューブ５６となり、既述した干渉回避の対応が取られることになる。

また、搬送体３の移動開始キューブ５３、移動終了キューブ５４は、基板搬送領域５１に中の横方向及び縦方向についての任意の位置から選択される構成とすることには限られず、横方向のみの位置から選択されるようにしてもよい。つまり移動経路５５を生成するにあたり、当該移動経路５５の縦方向の位置は固定されていてもよい。

本技術は真空雰囲気での基板の搬送に適用されることに限られず、大気雰囲気での基板の搬送にも適用することができる。また、基板搬送領域２２の形状としては任意であり、上記した直方体形状であることには限られない。仮想の基板搬送領域５１としては、基板搬送領域２２の形状に合わせたものを設定すればよく、従ってこれまでに述べた直方体形状に限られない。

そして、例えば搬送体３が通過することができない支柱などの構造物が基板搬送領域２２に設けられる構成であってもよい。その場合には例えば上記したフローのステップＳ１、Ｓ２で仮想の基板搬送領域５１及びキューブ５２の大きさに関する設定を行うにあたり、基板搬送領域５１のその構造物に該当する位置のキューブ５２を構造物キューブとして指定する。当該構造物キューブについては、以降の移動経路５５の生成や変更を行うにあたり、搬送体３が通過し得ないものとして取り扱われる。従って、移動開始キューブ５３及び移動終了キューブ５４を指定することで移動距離が最短となるように移動経路５５が生成するとして述べたが、構造物キューブが設定された場合は、移動経路５５はこの構造物キューブを避けた上で最短距離となるように生成する。なお構造物キューブは、例えば他のキューブとは異なるカラーで画面表示がなされる。

今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更及び／または組み合わせがなされてもよい。

Ｗ ウエハ
２ 真空搬送モジュール
３Ａ、３Ｂ 搬送体
４ 経路設定システム
４１ ソフトウエア
５３ 移動開始キューブ
５４ 移動終了キューブ
５５ 移動経路

Claims (12)

1. 基板搬送領域と、基板を支持する支持部を備えると共に前記基板搬送領域を形成する床から磁力によって各々浮上して移動する複数の搬送体と、を備える基板搬送装置に用いられる前記各搬送体の経路設定システムにおいて、
   前記基板搬送領域に対応する仮想領域を設定する仮想領域設定部と、
   前記仮想領域にて、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路を前記搬送体毎に生成する経路生成部と、
   前記移動経路の干渉に関する判定を行う干渉判定部と、
   を備える経路設定システム。
2. 前記移動経路の互いに異なる位置において前記搬送体が位置する時間情報を取得する時間情報取得部が設けられ、
   前記干渉判定部は前記時間情報に基づいて、前記移動経路の干渉に関する判定として、前記搬送体同士の干渉に関する判定を行う請求項１記載の経路設定システム。
3. 前記移動経路において前記搬送体が前記基板を支持しているか否かについての支持情報が記憶される支持情報記憶部が設けられ、
   前記干渉判定部は、前記支持情報に基づいて前記搬送体同士の干渉に関する判定を行う請求項２記載の経路設定システム。
4. 前記干渉判定部の判定結果に応じて、前記搬送体同士の干渉を回避するための対処部が設けられる請求項３記載の経路設定システム。
5. 前記対処部は、
   前記搬送体同士の干渉が起きると推定される干渉発生位置を避けるように少なくとも一つの前記移動経路を変更すること、
   前記干渉発生位置へ移動するタイミングを前記各搬送体間でずらすこと、
   及び、前記干渉発生位置における前記各搬送体を傾斜させること、
   のうちのいずれかの対処がなされるように設定するか、提示する請求項４記載の経路設定システム。
6. 前記搬送体の移動の優先度が記憶される優先度記憶部が設けられ、
   前記対処部は、前記優先度に基づき、
   前記搬送体同士の干渉が起きると推定される干渉発生位置を避けるように前記移動経路を変更すること、
   及び、前記干渉発生位置へ移動するタイミングを前記各搬送体間でずらすこと、
   のうちのいずれかの対処がなされるように設定するか、提示する請求項４記載の経路設定システム。
7. 前記対処部は、前記搬送体間で前記優先度が同一である場合に、少なくとも一つの前記移動経路を変更し、
   当該変更は、干渉が起きると推定された各搬送体の移動開始位置から移動終了位置に至るまでの移動時間の合計に基づいて行われる請求項６記載の経路設定システム。
8. 前記仮想領域は、前記基板搬送領域が前後方向、左右方向、上下方向に夫々分割されるとみなされることで直方体の集合として設定され、
   前記経路生成部は前記仮想領域における、一の直方体、他の直方体を夫々移動開始位置、移動終了位置とし、前記仮想領域において、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路を、前記直方体の列として設定する請求項１記載の経路設定システム。
9. 前記移動経路をなす各直方体において前記搬送体が位置する時間情報を取得する時間情報取得部と、
   前記干渉判定部の判定結果に応じて、前記搬送体同士の干渉を回避するための対処部と、
   が設けられ、
   前記干渉判定部は前記時間情報に基づいて、前記各移動経路に関する干渉の有無として、前記搬送体同士が干渉すると推定される干渉直方体を検出し、
   前記干渉直方体を避けるように少なくとも一つの前記移動経路を変更すること、
   前記干渉直方体へ移動するタイミングを前記各搬送体間でずらすこと、
   及び、前記干渉直方体における前記各搬送体を傾斜させること、
   のうちのいずれかの対処がなされるように設定するか、提示する請求項８記載の経路設定システム。
10. 前記対処部は、前記移動経路を移動する一の前記搬送体に対応する大きさよりも大きく設定された排他直方体と重なる前記直方体のうち、他の前記搬送体が位置するとされた直方体を前記干渉直方体とする請求項９記載の経路設定システム。
11. 基板搬送領域と、基板を支持する支持部を備えると共に前記基板搬送領域を形成する床から磁力によって各々浮上して移動する複数の搬送体と、を備える基板搬送装置に用いられる、前記各搬送体の経路設定方法において、
    仮想領域設定部により、前記基板搬送領域に対応する仮想領域を設定する工程と、
    経路生成部により、前記仮想領域にて、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路を前記搬送体毎に設定する工程と、
    前記移動経路の干渉に関する判定を行う工程と、
    を備える経路設定方法。
12. 基板搬送領域と、基板を支持する支持部を備えると共に前記基板搬送領域を形成する床から磁力によって各々浮上して移動する複数の搬送体と、を備える基板搬送装置についての前記基板搬送領域に対応する仮想領域にて、前記移動開始位置から前記移動終了位置に至る移動経路についての前記搬送体毎の設定と、
    前記移動経路の干渉に関する判定と、
    を行うことができるようにステップ群が組まれたソフトウエア。

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