JP2016207767A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】システム内部で複数のダミー基板を時間的に並行して模擬的搬送させることが可能であり、かつ、処理室内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能とする基板処理システムを提供する。【解決手段】コンディションテーブル122は、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から、実行するものの選定と、それらの実行条件を設定するメンテナンスマクロ設定部として機能する。コンディションテーブル122によって設定されたメンテナンスマクロ135は、レシピ実行部121による制御信号によって、システムレシピ130と一緒に制御される。レシピ実行部121は、システムレシピ130と、コンディションテーブル122で設定されたメンテナンスマクロ135とを協働させて基板処理システム100内で模擬的動作を実行させる。【選択図】図3
Description
本発明は、半導体ウエハなどの基板に対し、所定の処理を行う基板処理システムに関する。
半導体装置の製造過程では、半導体ウエハなどの基板に対し、例えば、成膜やエッチングなどの種々の処理が繰り返し行われる。これらの処理を行う半導体製造装置には、複数の処理室を備えた基板処理システムが使用されている。このような基板処理システムは、さらに、外部からの基板の搬入出を行う搬入出部と、複数の処理室間を含むシステム内の基板の搬送及び外部との基板の受け渡しを行うために、一つないし複数の搬送装置を備えている。
ところで、基板処理システムにおいて、成膜等の処理が行われる処理室の内壁や部品には、処理が繰り返されるごとに反応生成物が付着して堆積していく。このような付着物は、剥離するとパーティクルとなって基板に付着し、製品の品質を低下させる原因となる。また、基板処理システムは、基板の搬送や受け渡しを行うために、複数の可動部品を備えており、それら可動部品の動作によって、パーティクルが発生することもある。
上記のとおり、基板処理システムでは、様々な原因でパーティクルが発生する。従来の基板処理システムは、実際の処理を行わないダミー基板を処理室内に持ち込み、実際の処理と同様の手順、経路でシステム内を模擬的に搬送させることによって、パーティクル発生原因を特定していた。例えば、複数のダミー基板を準備し、ロードポートから、複数の処理室へ、1枚ずつダミー基板を搬送したのち、再びロードポートに戻し、各ダミー基板に付着したパーティクル数を検出することによって、どの処理室がパーティクル発生源であるか、を特定することができる。このような方法でのパーティクル源の特定は、基板に対して実際の処理を行うためのシステムレシピと呼ばれるプログラムを利用して実行できる。しかし、システムレシピを利用する模擬的搬送は、処理室内へのダミー基板の搬送を必須とするシーケンシャルな動作であるため、いずれかの処理室にパーティクル発生源があれば、その事実を特定できるが、例えば、ロードポートから各処理室に至るまでの搬送経路上でのパーティクル発生源を特定することは困難であった。
一方、基板処理システムでは、上記システムレシピとは別に、システム内で行われる種々の単動作を予め登録しておき、登録された複数の単動作を組み合わせることによって、シーケンス動作又はパラレル動作として実行できるようにすることが提案されている(例えば、特許文献1)。この機能は、メンテナンスマクロと呼ばれている。
特許文献1のメンテナンスマクロ機能は、基板処理システム内で行われる多数の単動作を、単独または任意に組み合わせて実行できる自由度が高い機能であるため、模擬的搬送の内容も自由に設定でき、パーティクル発生源の特定に有効である。しかし、メンテナンスマクロ機能では、基板処理システム内で、ダミー基板の模擬的搬送を同時に1枚しか行うことができなかった。そのため、メンテナンスマクロ機能により、パーティクル発生源を特定する目的で、多種類の模擬的搬送を実行すると、終了までに数十時間を要し、基板処理システムのダウンタイムが長期化するという問題があった。
また、メンテナンスマクロ機能は製品となる基板への処理が目的で実装された機能ではないため、上記システムレシピを利用した模擬的搬送とは異なり、模擬的搬送の履歴が残らない、という不都合もあった。
従って、本発明は、システム内部で複数のダミー基板を時間的に並行して模擬的搬送させることが可能であり、かつ、処理室内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能とする基板処理システムを提供することを目的とする。
本発明の基板処理システムは、基板を載置する載置台を有し、前記基板に対して所定の処理を行う一つ以上の処理室を有する処理部と、
外部の搬送機構との間で、複数枚の前記基板を収容した基板容器の搬入出を行う搬入出部と、
前記搬入出部と前記処理室との間で、基板を搬送する一つ以上の搬送装置と、
前記の各構成部を制御する制御部と、
を有する基板処理システムである。
この基板処理システムにおいて、前記制御部は、
前記処理室における前記所定の処理を伴わない模擬的動作を、複数枚のダミー基板に対して、時間的に並行して実行するように制御するものであり、
前記模擬的動作が、前記ダミー基板の模擬的搬送動作であって、前記搬入出部から前記処理室内に至るまでの搬送を行わない動作を含むことを特徴とする。
外部の搬送機構との間で、複数枚の前記基板を収容した基板容器の搬入出を行う搬入出部と、
前記搬入出部と前記処理室との間で、基板を搬送する一つ以上の搬送装置と、
前記の各構成部を制御する制御部と、
を有する基板処理システムである。
この基板処理システムにおいて、前記制御部は、
前記処理室における前記所定の処理を伴わない模擬的動作を、複数枚のダミー基板に対して、時間的に並行して実行するように制御するものであり、
前記模擬的動作が、前記ダミー基板の模擬的搬送動作であって、前記搬入出部から前記処理室内に至るまでの搬送を行わない動作を含むことを特徴とする。
本発明の基板処理システムは、さらに、前記処理部と前記搬入出部との間に介在する基板受渡部を含んでいてもよく、
前記搬送装置は、前記搬入出部内、及び前記搬入出部と前記基板受渡部との間で、前記基板の搬送を行う第1の搬送装置と、
前記基板受渡部と前記処理室との間で前記基板の搬送を行う第2の搬送装置と、
を含んでいてもよく、
前記模擬的動作が、前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部とを介して前記第2の搬送装置までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記第2の搬送装置から、前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含んでいてもよい。
前記搬送装置は、前記搬入出部内、及び前記搬入出部と前記基板受渡部との間で、前記基板の搬送を行う第1の搬送装置と、
前記基板受渡部と前記処理室との間で前記基板の搬送を行う第2の搬送装置と、
を含んでいてもよく、
前記模擬的動作が、前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部とを介して前記第2の搬送装置までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記第2の搬送装置から、前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムは、前記模擬的動作が、
前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部と前記第2の搬送装置とを介して、前記処理室内までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記処理室内から、前記第2の搬送装置と前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して、前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含んでいてもよい。
前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部と前記第2の搬送装置とを介して、前記処理室内までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記処理室内から、前記第2の搬送装置と前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して、前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムは、前記模擬的動作が、
前記搬入出部内での前記基板の模擬的搬送動作を含んでいてもよい。
前記搬入出部内での前記基板の模擬的搬送動作を含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムにおいて、前記模擬的搬送動作は、シーケンシャルな動作の全部又は一部分を繰り返し実行することを含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムにおいて、前記載置台は、前記搬送装置との間で前記基板の受け渡しを行うための複数のリフタピンを備えていてもよく、
前記模擬的動作が、前記基板の受け渡しを伴わない状態での前記リフタピンの模擬的昇降動作を含んでいてもよい。
前記模擬的動作が、前記基板の受け渡しを伴わない状態での前記リフタピンの模擬的昇降動作を含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムにおいて、前記処理室は、前記基板を搬入出するための開口部と、該開口部を封止して該処理室内を真空に維持するためのゲートバルブ装置を備えていてもよく、
前記模擬的動作が、前記開口部への前記基板の通過を伴わない状態での前記ゲートバルブ装置の模擬的開閉動作を含んでいてもよい。
前記模擬的動作が、前記開口部への前記基板の通過を伴わない状態での前記ゲートバルブ装置の模擬的開閉動作を含んでいてもよい。
本発明の基板処理システムにおいて、前記制御部は、
前記処理室において前記所定の処理を行うためのシステムレシピ、及び、予め登録された複数の単動作を組み合わせて実行するためのメンテナンスマクロが保存された記憶部と、
前記システムレシピを読み出して実行するレシピ実行部と、
前記システムレシピとともに前記レシピ実行部により制御されるメンテナンスマクロを設定するメンテナンスマクロ設定部と、
前記模擬的動作の履歴を記録する履歴記録部と、
を備えていてもよく、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピを読み出すステップと、
前記メンテナンスマクロ設定部によって、メンテナンスマクロを設定するステップと、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピと、前記メンテナンスマクロ設定部によって設定された前記メンテナンスマクロとを協働させて、前記模擬的動作を実行させるステップと、
を行うように制御するものであってもよい。
前記処理室において前記所定の処理を行うためのシステムレシピ、及び、予め登録された複数の単動作を組み合わせて実行するためのメンテナンスマクロが保存された記憶部と、
前記システムレシピを読み出して実行するレシピ実行部と、
前記システムレシピとともに前記レシピ実行部により制御されるメンテナンスマクロを設定するメンテナンスマクロ設定部と、
前記模擬的動作の履歴を記録する履歴記録部と、
を備えていてもよく、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピを読み出すステップと、
前記メンテナンスマクロ設定部によって、メンテナンスマクロを設定するステップと、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピと、前記メンテナンスマクロ設定部によって設定された前記メンテナンスマクロとを協働させて、前記模擬的動作を実行させるステップと、
を行うように制御するものであってもよい。
本発明の基板処理システムは、パーティクル検出の目的で前記模擬的動作を行うものであってもよい。
本発明の基板処理システムによれば、システム内部で複数のダミー基板を時間的に並行して模擬的搬送させることが可能であり、かつ、処理室内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能である。そのため、本発明の基板処理システムは、例えばパーティクル発生源を特定する目的でダミー基板の模擬的動作を行う場合に、発生源の特定が容易であり、かつ、模擬的動作を終了するまでの時間を大幅に短縮できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
[基板処理システムの概要]
図1を参照して本発明の実施の形態に係る基板処理システムの概要について説明を行う。図1は、例えば基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記す)Wに対し、例えば成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行なうように構成された基板処理システム100を示す概略構成図である。
図1を参照して本発明の実施の形態に係る基板処理システムの概要について説明を行う。図1は、例えば基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記す)Wに対し、例えば成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行なうように構成された基板処理システム100を示す概略構成図である。
この基板処理システム100は、マルチチャンバ構造のクラスタツールとして構成されている。基板処理システム100は、主要な構成として、ウエハWに対して各種の処理を行う4つの処理室1A,1B,1C,1Dと、これらの処理室1A〜1Dに対して、それぞれゲートバルブGV1,GV1,GV1,GV1を介して接続された真空側の搬送室3と、この真空側の搬送室3にゲートバルブGV2,G2,GV2を介して接続された3つのロードロック室5A,5B,5Cと、これら3つのロードロック室5A,5B,5Cに対してゲートバルブGV3,GV3,GV3を介して接続されたローダーユニット7とを備えている。ここで、処理室1A〜1Dは「処理部」を構成し、ロードロック室5A,5B,5Cは、「基板受渡部」を構成し、ローダーユニット7は「搬入出部」を構成する。
4つの処理室1A〜1D(以下、区別しない場合は「処理室1」と記すことがある)は、ウエハWに対して、例えばCVD処理、エッチング処理、アッシング処理、改質処理、酸化処理、拡散処理などの処理を行う処理装置である。処理室1A〜1Dは、ウエハWに対して同じ内容の処理を行うものであってもよいし、あるいはそれぞれ異なる内容の処理を行うものであってもよい。各処理室1A〜1D内には、ウエハWを水平に支持するための載置台としての処理ステージ2A,2B,2C,2D(以下、区別しない場合は「処理ステージ2」と記すことがある)が配備されている。
また、図示は省略するが、処理ステージ2には、ウエハWを支持して昇降させるための複数の支持ピンが処理ステージ2の載置面に対して突没可能に設けられている。これらの支持ピンは任意の昇降機構により上下に変位し、上昇位置で真空側搬送装置11(後述)との間でウエハWの受け渡しを行えるように構成されている。
なお、各処理室1には、処理ガス、クリーニングガス、クーリングガスなどを導入するための図示しないガス導入部と、真空排気を行うための図示しない排気部が設けられている。
真空引き可能に構成された真空側の搬送室3には、処理室1A〜1Dやロードロック室5A,5B,5Cに対してウエハWの受け渡しを行う真空側搬送装置11が設けられている。真空側搬送装置11は、フォーク13上にウエハWを載置した状態で、処理室1A〜1D間、あるいは処理室1A〜1Dとロードロック室5A,5B,5Cとの間でウエハWの搬送を行う。また、真空側の搬送室3の側部には、周囲の処理室1A〜1Dおよびロードロック室5A,5B,5Cに対応する位置にそれぞれ搬入出口(図示省略)が形成されている。ゲートバルブGV1,GV2を開放した状態で、各搬入出口を介してウエハWの搬入出が行なわれる。
ロードロック室5A,5B,5Cは、真空側の搬送室3と大気側の搬送室21(後述)との間でウエハWの受け渡しを行う際の真空予備室である。従って、ロードロック室5A,5B,5Cは、真空状態と大気圧状態を切り替えられるように構成されている。ロードロック室5A,5B,5C内には、それぞれウエハWを載置する待機ステージ6A,6B,6Cが設けられている。これらの待機ステージ6A,6B,6Cを介して、真空側の搬送室3と大気側の搬送室21との間でウエハWの受け渡しが行われる。
ローダーユニット7は、大気圧に開放された搬送室21と、この搬送室21に隣接配備された3つのロードポートLPと、搬送室21の他の側面に隣接配備され、ウエハWの位置測定を行なう位置測定装置としてのオリエンタ23とを有している。搬送室21には、ウエハWの搬送を行う大気側搬送装置25が設けられている。ロードポートLPは、ウエハカセットCRを載置できるようになっている。ウエハカセットCRは、複数枚のウエハWを同じ間隔で多段に載置して収容できるように構成されている。
大気圧に開放された搬送室21は、平面視矩形形状をなしており、大気側搬送装置25は図示しない駆動機構により、図1中矢印で示す方向へ移動可能に構成されている。大気側搬送装置25は、フォーク27上にウエハWを載置した状態で、ロードポートLPのウエハカセットCRと、ロードロック室5A,5B,5Cと、オリエンタ23との間でウエハWの搬送を行う。
基板処理システム100の各構成部は、制御部30に接続されて制御される構成となっている。ここで、図2を参照して、制御部30のハードウェア構成、すなわちコンピュータのハードウェア構成の一例について説明する。制御部30は、主制御部101と、キーボード、マウス等の入力装置102と、プリンタ等の出力装置103と、表示装置104と、記憶装置105と、外部インターフェース106と、これらを互いに接続するバス107とを備えている。主制御部101は、CPU(中央処理装置)111、RAM(ランダムアクセスメモリ)112およびROM(リードオンリメモリ)113を有している。記憶装置105は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置105は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体115に対して情報を記録し、また記録媒体115より情報を読み取るようになっている。記録媒体115は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスクまたは光ディスクである。記録媒体115は、本実施の形態に係る模擬的動作のプログラムを記録した記録媒体であってもよい。
制御部30では、CPU111が、RAM112を作業領域として用いて、ROM113または記憶装置105に格納された模擬的動作制御プログラムを実行することにより、模擬的動作制御装置としての機能を実現するようになっている。
図3は、制御部30を模擬的動作制御装置として機能させるための機能構成を示す機能ブロック図である。図3に示したように、制御部30における機能構成は、レシピ実行部121と、メンテナンスマクロ設定部としてのコンディションテーブル122と、入出力制御部123と、履歴記録部としてのログ記録部124とを備えている。これらは、CPU111が、RAM112を作業領域として用いて、ROM113または記憶装置105に格納された模擬的動作制御プログラムを実行することによって実現される。
レシピ実行部121は、予め記憶装置105に保存されている各種のレシピを読み出し、該レシピに基づいて制御信号を送信することにより、基板処理システム100でレシピが実行されるように制御する。図3では、記憶装置105に保存されているレシピとして、搬送経路レシピ131、プロセスレシピ132、コンディションレシピ133及びロードロックレシピ134を挙げている。搬送経路レシピ131は、ウエハWの搬送経路を設定するレシピである。プロセスレシピ132は、各処理室1A〜1Dでの各種のパラメータ(例えば、圧力、ガス流量、時間、シーケンス等)を設定するレシピである。コンディションレシピ133は、各処理室1A〜1Dや、真空側搬送装置11、大気側搬送装置25を含む搬送系のコンディションを整える処理に関するレシピである。ロードロックレシピ134は、各処理室1A〜1Dでの処理後のウエハWに対するロードロック室5A,5B,5Cでの後処理に関するレシピである。これらのレシピを総称して、「システムレシピ130」と呼ぶことがある。なお、図示しないが、基板処理システム100は、上記のレシピ以外のレシピを実行する機能も有している。
また、レシピ実行部121は、上記システムレシピ130と、コンディションテーブル122で設定されたメンテナンスマクロ135とを協働させて基板処理システム100内で模擬的動作を実行させるように制御信号を送信する。
また、記憶装置105には、メンテナンスマクロ135も保存されている。メンテナンスマクロ135は、各処理室1A〜1Dや真空側搬送装置11、大気側搬送装置25を含む搬送系をメンテナンスするために制御系のコマンドを、設定した順番でシーケンシャル又はパラレルに実行させる機能である。つまり、メンテナンスマクロ135は、基板処理システム100内で行われる種々の単動作を予め登録しておき、登録された複数の単動作を組み合わせて1つのマクロとして保存されたものである(特許文献1参照)。
コンディションテーブル122は、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から、実行するものの選定と、それらの実行条件を設定するメンテナンスマクロ設定部として機能する。実行条件には大きく分けてタイミングと条件の2つがあり、タイミングとは例えば、基板がどの処理システムのどの部分にいるときに実行するか指定するものであり、条件とは例えば、一定時間、該当処理室が放置されたときに実行する、および/または、温度が変更されたとき実行する等、各処理室の状態によって設定するものである。コンディションテーブル122によって設定されたメンテナンスマクロ135は、レシピ実行部121による制御信号によって、システムレシピ130と一緒に制御される。このように、本実施の形態の基板処理システム100では、コンディションテーブル122の機能によって、メンテナンスマクロ135をシステムレシピ130と統合して実行することが可能になっている。
入出力制御部123は、入力装置102からの入力の制御や、出力装置103に対する出力の制御や、表示装置104における表示の制御や、外部インターフェース106を介して行う外部とのデータ等の入出力の制御を行う。
ログ記録部124は、システムレシピ130及びメンテナンスマクロ135に基づいて実行された模擬的動作の履歴を記録する。ログ記録部124で記録された履歴は、ログ141として記憶装置105に保存される。
図4は、制御部30が、模擬的動作制御プログラムに基づき基板処理システム100の各構成部において模擬的動作を実行させるための手順を示すフロー図である。この手順は、ステップS1〜ステップS3の処理を含んでいる。
(ステップS1)
まず、例えば入力装置102から、模擬的動作を実行するように指令が入力されると、上記模擬的動作制御プログラムが起動する。そして、ステップS1では、レシピ実行部121が、記憶装置105に保存されたシステムレシピ130を読み出す。
まず、例えば入力装置102から、模擬的動作を実行するように指令が入力されると、上記模擬的動作制御プログラムが起動する。そして、ステップS1では、レシピ実行部121が、記憶装置105に保存されたシステムレシピ130を読み出す。
(ステップS2)
次にステップS2では、コンディションテーブル122によって、メンテナンスマクロ135を設定する。すなわち、コンディションテーブル122が、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から、実行するものを選定し、それらの実行条件を設定する。なお、ステップS2において実行されるメンテナンスマクロ135の種類は、例えば基板処理システム100の管理者が入力装置102から入力することによって指定してもよい。この場合、コンディションテーブル122は、入力装置102からの入力信号を受けて、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から実行するものを選定し、例えば表示装置104のモニタ画面にリストアップして表示できるように構成されている。
次にステップS2では、コンディションテーブル122によって、メンテナンスマクロ135を設定する。すなわち、コンディションテーブル122が、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から、実行するものを選定し、それらの実行条件を設定する。なお、ステップS2において実行されるメンテナンスマクロ135の種類は、例えば基板処理システム100の管理者が入力装置102から入力することによって指定してもよい。この場合、コンディションテーブル122は、入力装置102からの入力信号を受けて、記憶装置105に保存された種々のメンテナンスマクロ135から実行するものを選定し、例えば表示装置104のモニタ画面にリストアップして表示できるように構成されている。
(ステップS3)
ステップS3では、レシピ実行部121が、システムレシピ130と、コンディションテーブル122によって設定されたメンテナンスマクロ135とを協働させて、基板処理システム100において模擬的動作を実行させる。すなわち、レシピ実行部121は、システムレシピ130と、設定されたメンテナンスマクロ135とに基づいて制御信号を送信することにより、基板処理システム100でシステムレシピ130及びメンテナンスマクロ135に基づくダミー基板の模擬的動作が実行されるように制御する。
ステップS3では、レシピ実行部121が、システムレシピ130と、コンディションテーブル122によって設定されたメンテナンスマクロ135とを協働させて、基板処理システム100において模擬的動作を実行させる。すなわち、レシピ実行部121は、システムレシピ130と、設定されたメンテナンスマクロ135とに基づいて制御信号を送信することにより、基板処理システム100でシステムレシピ130及びメンテナンスマクロ135に基づくダミー基板の模擬的動作が実行されるように制御する。
本手順は、さらに次のステップS4を含むことができる。
(ステップS4)
ステップS4では、ステップS3でシステムレシピ130及びメンテナンスマクロ135に基づいて実行された模擬的動作の履歴を、ログ記録部124が記録し、ログ141として記憶装置105に保存する。
ステップS4では、ステップS3でシステムレシピ130及びメンテナンスマクロ135に基づいて実行された模擬的動作の履歴を、ログ記録部124が記録し、ログ141として記憶装置105に保存する。
以上のような制御部30の構成と手順によって、システムレシピ130とメンテナンスマクロ135とを協働させて、ダミー基板に対する模擬的動作を行うことが可能になる。また、システムレシピ130の本来の機能により、複数枚のダミー基板に対して、システムレシピ130やメンテナンスマクロ135に基づく模擬的動作を時間的に並行して実行することができる。さらに、システムレシピ130の本来の機能により、システムレシピ130及びメンテナンスマクロ135によって実行された模擬的動作の履歴をログ141として記憶装置105に保存することが可能になる。
[システムレシピによる通常処理]
基板処理システム100では、システムレシピ130に基づき、以下に例示する手順で通常処理が行われる。まず、大気側搬送装置25によってウエハカセットCRからウエハWを1枚取り出し、オリエンタ23で位置合わせを行った後、ロードロック室5A,5B,5Cのいずれかに搬入し、待機ステージ6A,6B,6Cのいずれかに移載する。次に、真空側搬送装置11を用い、ロードロック室5A,5B,5Cのいずれかの中のウエハWを、処理室1A,1B,1C,1Dのいずれかへ搬送し、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのいずれかへ移載して所定の処理を行う。処理後は、前記と逆の手順で、ウエハWをウエハカセットCRへ戻すことにより、1枚のウエハWに対する処理が終了する。
基板処理システム100では、システムレシピ130に基づき、以下に例示する手順で通常処理が行われる。まず、大気側搬送装置25によってウエハカセットCRからウエハWを1枚取り出し、オリエンタ23で位置合わせを行った後、ロードロック室5A,5B,5Cのいずれかに搬入し、待機ステージ6A,6B,6Cのいずれかに移載する。次に、真空側搬送装置11を用い、ロードロック室5A,5B,5Cのいずれかの中のウエハWを、処理室1A,1B,1C,1Dのいずれかへ搬送し、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのいずれかへ移載して所定の処理を行う。処理後は、前記と逆の手順で、ウエハWをウエハカセットCRへ戻すことにより、1枚のウエハWに対する処理が終了する。
[模擬的動作]
次に、本実施の形態の基板処理システム100における模擬的動作について説明する。上記のとおり、基板処理システム100では、模擬的動作制御プログラムに基づき、制御部30の制御の下で模擬的動作が実行される。模擬的動作には、例えば、真空側搬送装置11及び/大気側搬送装置25による模擬的搬送動作、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのリフタピン(図示省略)の模擬的昇降動作、ゲートバルブGV1,GV2,GV3による模擬的開閉動作などが含まれる。ここでは、模擬的動作の代表例として、真空側搬送装置11及び/大気側搬送装置25による模擬的搬送動作について、複数の例を挙げて詳細に説明する。なお、模擬的動作は、以下に説明するものに限定されるものではない。
次に、本実施の形態の基板処理システム100における模擬的動作について説明する。上記のとおり、基板処理システム100では、模擬的動作制御プログラムに基づき、制御部30の制御の下で模擬的動作が実行される。模擬的動作には、例えば、真空側搬送装置11及び/大気側搬送装置25による模擬的搬送動作、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのリフタピン(図示省略)の模擬的昇降動作、ゲートバルブGV1,GV2,GV3による模擬的開閉動作などが含まれる。ここでは、模擬的動作の代表例として、真空側搬送装置11及び/大気側搬送装置25による模擬的搬送動作について、複数の例を挙げて詳細に説明する。なお、模擬的動作は、以下に説明するものに限定されるものではない。
<模擬的搬送動作>
まず、図5を参照して、模擬的搬送動作について説明する。図5は、ダミー基板を用いる模擬的搬送動作における搬送経路の典型例の説明図である。
まず、図5を参照して、模擬的搬送動作について説明する。図5は、ダミー基板を用いる模擬的搬送動作における搬送経路の典型例の説明図である。
(模擬的搬送動作の例1)
経路P1〜P10は、ウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出し、処理室1Bへ搬送した後、再びウエハカセットCRへ戻すまでのシーケンシャルな模擬的搬送動作を示している。
経路P1〜P10は、ウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出し、処理室1Bへ搬送した後、再びウエハカセットCRへ戻すまでのシーケンシャルな模擬的搬送動作を示している。
経路P1は、大気側搬送装置25によりウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P2は、大気側搬送装置25からオリエンタ23にダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作を示している。
経路P3は、大気側搬送装置25によりオリエンタ23からダミー基板を取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P4は、大気側搬送装置25により、例えばロードロック室5Aの待機ステージ6Aにダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作を示している。
経路P5は、真空側搬送装置11により待機ステージ6Aからダミー基板を取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P6は、真空側搬送装置11により、処理室1Bの処理ステージ2Bへダミー基板を受け渡すまでの模擬的搬送動作を示している。
経路P7は、経路P6の逆であり、処理室1Bの処理ステージ2Bから、真空側搬送装置11がダミー基板を受け取る模擬的搬送動作を示している。経路P8は、経路P5の逆であり、真空側搬送装置11から、ロードロック室5Aの待機ステージ6Aへダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作を示している。
経路P9は、大気側搬送装置25により待機ステージ6Aからダミー基板を受け取る模擬的搬送動作を示している。経路P10は、大気側搬送装置25により、ウエハカセットCRにダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作を示している。
(模擬的搬送動作の例2)
経路P11〜P14は、ウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出し、ロードロック室5Cへ搬送した後、再びウエハカセットCRへ戻すまでのシーケンシャルな模擬的搬送動作を示している。経路P11〜P14に示すように、基板処理システム100では、処理室1A〜1D内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能である。
経路P11〜P14は、ウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出し、ロードロック室5Cへ搬送した後、再びウエハカセットCRへ戻すまでのシーケンシャルな模擬的搬送動作を示している。経路P11〜P14に示すように、基板処理システム100では、処理室1A〜1D内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能である。
まず、経路P11は、大気側搬送装置25によりウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P12は、大気側搬送装置25から、例えばロードロック室5Cの待機ステージ6Cに受け渡す模擬的搬送動作を示している。
経路P13は、経路P12の逆であり、大気側搬送装置25により待機ステージ6Cからダミー基板を受け取る模擬的搬送動作を示している。経路P14は、経路P11の逆であり、大気側搬送装置25によりウエハカセットCRにダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作を示している。
本実施の形態の基板処理システム100では、システムレシピ130とメンテナンスマクロ135とを協働させて、ダミー基板に対する模擬的動作を行うため、模擬的動作の自由度が高く、経路P11〜P14で示すように、ウエハカセットCRから取り出したダミー基板を処理室1A〜1Dのいずれかに搬入しない模擬的搬送動作が可能になる。
(模擬的搬送動作の例3)
経路P21〜P22は、ローダーユニット7内での模擬的搬送動作の例である。まず、経路P21は、大気側搬送装置25によりウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P22は、大気側搬送装置25により、そのまま、ダミー基板をウエハカセットCRに収容する模擬的搬送動作を示している。
経路P21〜P22は、ローダーユニット7内での模擬的搬送動作の例である。まず、経路P21は、大気側搬送装置25によりウエハカセットCRからダミー基板を1枚取り出す模擬的搬送動作を示している。経路P22は、大気側搬送装置25により、そのまま、ダミー基板をウエハカセットCRに収容する模擬的搬送動作を示している。
基板処理システム100では、複数の種類の模擬的搬送動作を時間的に並行して行うことができる。ここで、「時間的に並行して」とは、基板処理システム100内で、1枚の先発のダミー基板をウエハカセットCRから取り出し、再びウエハカセットCRに収容するまでの間に、後発の1枚ないし複数枚のダミー基板をウエハカセットCRから取り出し、搬送経路に乗せることを意味する。例えば、3枚のダミー基板を同時に使用し、上記の経路P1〜P10、経路P11〜P14、経路P21〜P22で示す模擬的搬送動作を並行して実施できる。つまり、本実施の形態の基板処理システム100では、処理室1A〜1D、ロードロック室5A,5B,5C、真空側搬送装置11及び大気側搬送装置25のいずれかで、ダミー基板どうしの衝突が生じない限り、複数枚のダミー基板に対して、システム内で同時に模擬的搬送動作を行うことができる。この場合、異なるダミー基板についての模擬的搬送動作の経路が重なる場合でも、ダミー基板どうしの衝突が起きないように時間管理ができればよい。
また、模擬的搬送動作は、その全体又は一部分について、複数回を繰り返し行うこともできる。例えば、経路P1〜P10で示す模擬的搬送動作は、一連のシーケンシャルな動作であり、その全体を複数回繰り返すことができる。また、例えば経路P1〜P10で示す模擬的搬送動作の中で、経路P6で表される、真空側搬送装置11により処理室1Bの処理ステージ2Bへダミー基板を受け渡す模擬的搬送動作と、経路P7で表される、処理室1Bの処理ステージ2Bから、真空側搬送装置11がダミー基板を受け取るまでの模擬的搬送動作について、複数回を繰り返すことも可能である。また、上記の例3では、ローダーユニット7内での模擬的搬送動作について説明したが、例えば、処理室1A〜1D間、又は、ロードロック室5A〜5C間でのダミー基板の搬送動作を主要部分として含む模擬的搬送動作を実施することも可能である。
(他の模擬的動作)
本実施の形態の基板処理システム100では、上記模擬的搬送動作以外に、例えば、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのリフタピン(図示省略)の模擬的昇降動作、ゲートバルブGV1,GV2,GV3による模擬的開閉動作についても、メンテナンスマクロ135の機能として、1回ないし複数回を繰り返し実行することができる。これらの模擬的昇降動作、模擬的開閉動作は、ダミー基板の有無にかかわらず実施できる。例えば、リフタピンにダミー基板を支持しない状態や、ゲートバルブGV1,GV2,GV3にダミー基板を通過させない状態でも、模擬的昇降動作や模擬的開閉動作を実施できる。また、これらの模擬的昇降動作や模擬的開閉動作は、上記模擬的搬送動作と組み合わせて行うことが出来るし、模擬的搬送動作と時間的に並行して行うこともできる。なお、模擬的動作の種類は、基板処理システムの構成に応じて他種多様であり、上記例示の模擬的動作に限定されるものではない。
本実施の形態の基板処理システム100では、上記模擬的搬送動作以外に、例えば、処理ステージ2A,2B,2C,2Dのリフタピン(図示省略)の模擬的昇降動作、ゲートバルブGV1,GV2,GV3による模擬的開閉動作についても、メンテナンスマクロ135の機能として、1回ないし複数回を繰り返し実行することができる。これらの模擬的昇降動作、模擬的開閉動作は、ダミー基板の有無にかかわらず実施できる。例えば、リフタピンにダミー基板を支持しない状態や、ゲートバルブGV1,GV2,GV3にダミー基板を通過させない状態でも、模擬的昇降動作や模擬的開閉動作を実施できる。また、これらの模擬的昇降動作や模擬的開閉動作は、上記模擬的搬送動作と組み合わせて行うことが出来るし、模擬的搬送動作と時間的に並行して行うこともできる。なお、模擬的動作の種類は、基板処理システムの構成に応じて他種多様であり、上記例示の模擬的動作に限定されるものではない。
[パーティクル発生源の検出方法]
次に、図6を参照しながら、基板処理システム100におけるパーティクル発生源の検出方法について説明する。図6は、パーティクル発生源の検出方法の工程例を示すフロー図である。
次に、図6を参照しながら、基板処理システム100におけるパーティクル発生源の検出方法について説明する。図6は、パーティクル発生源の検出方法の工程例を示すフロー図である。
まず、ステップS11では、ダミー基板に代えてパーティクル検出用基板を用い、複数枚のパーティクル検出用基板について、任意の複数種類の模擬的動作を実施する。また、複数種類の模擬的昇降動作や模擬的開閉動作を実施した後、パーティクル検出用基板を用いて模擬的搬送動作を行ってもよい。基板処理システム100では、上記のとおり、複数枚のパーティクル検出用基板に対し、時間的に並行して模擬的搬送動作を行うことが可能であるため、メンテナンスマクロのみを用いる従来の方法に比べて、ステップS11の所要時間を大幅に短縮できる。
次に、ステップS12では、模擬的動作を行った各パーティクル検出用基板のパーティクル数をカウントすることによって、パーティクル発生源を推定する。基板処理システム100では、上記のとおり、ダミー基板を処理室1A〜1Dのいずれかに搬入しない模擬的搬送動作が可能であり、特定の経路だけの搬送を繰り返したり、模擬的昇降動作や模擬的開閉動作を繰り返したりできる。従って、システムレシピのみによるシーケンシャルな模擬的搬送動作を行う場合に比べて、パーティクル発生源の推定が容易である。また、パーティクル発生源の推定においては、ログ記録部124によって記録されたログ141を参照することによって、どの模擬的動作のどの段階でパーティクルが付着したのか、の検証が容易になる。
以上のように、基板処理システム100によれば、システムレシピ130とメンテナンスマクロ135とを協働させて、ダミー基板に対する模擬的動作を行うことによって、システム内部で複数のダミー基板を時間的に並行して模擬的搬送させることが可能であり、かつ、処理室1A〜1D内へのダミー基板の搬送を行わない模擬的搬送も可能である。さらに、模擬的動作に関する履歴をログ141として保存できる。従って、基板処理システム100は、例えばパーティクル発生源を特定する目的でダミー基板の模擬的動作を行う場合に、発生源の特定が容易であり、かつ、模擬的動作を終了するまでの時間を大幅に短縮できる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明は、図1に示した構成の基板処理システム100に限らず、種々の構成の基板処理システムに適用することができる。また、基板処理システムで処理対象とする基板としては、半導体デバイス製造用のウエハWに限らず、例えばフラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板、太陽電池パネル製造用の基板等でもよい。
また、基板処理システム100における模擬的動作は、上述のパーティクル発生源の特定以外に、例えば信頼性評価のための装置ランニングなどの用途にも利用できる。
30…制御部、100…基板処理システム、105…記憶装置、121…レシピ実行部、122…コンディションテーブル、123…入出力制御部、124…ログ記録部、130…システムレシピ、131…搬送経路レシピ、132…プロセスレシピ、133…コンディションレシピ、134…ロードロックレシピ、135…メンテナンスマクロ、141…ログ、W…ウエハ
Claims (9)
- 基板を載置する載置台を有し、前記基板に対して所定の処理を行う一つ以上の処理室を有する処理部と、
外部の搬送機構との間で、複数枚の前記基板を収容した基板容器の搬入出を行う搬入出部と、
前記搬入出部と前記処理室との間で、基板を搬送する一つ以上の搬送装置と、
前記の各構成部を制御する制御部と、
を有する基板処理システムであって、
前記制御部は、
前記処理室における前記所定の処理を伴わない模擬的動作を、複数枚のダミー基板に対して、時間的に並行して実行するように制御するものであり、
前記模擬的動作が、前記ダミー基板の模擬的搬送動作であって、前記搬入出部から前記処理室内に至るまでの搬送を行わない動作を含むことを特徴とする基板処理システム。 - さらに、前記処理部と前記搬入出部との間に介在する基板受渡部を含み、
前記搬送装置は、
前記搬入出部内、及び前記搬入出部と前記基板受渡部との間で、前記基板の搬送を行う第1の搬送装置と、
前記基板受渡部と前記処理室との間で前記基板の搬送を行う第2の搬送装置と、
を含み、
前記模擬的動作が、
前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部とを介して前記第2の搬送装置までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記第2の搬送装置から、前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含む請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記模擬的動作が、
前記搬入出部から、前記第1の搬送装置と前記基板受渡部と前記第2の搬送装置とを介して、前記処理室内までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
前記処理室内から、前記第2の搬送装置と前記基板受渡部と前記第1の搬送装置とを介して、前記搬入出部までへの前記ダミー基板の模擬的搬送動作と、
を含む請求項2に記載の基板処理システム。 - 前記模擬的動作が、
前記搬入出部内での前記基板の模擬的搬送動作を含む請求項1から3のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 前記模擬的搬送動作は、シーケンシャルな動作の全部又は一部分を繰り返し実行することを含む請求項1から4のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記載置台は、前記搬送装置との間で前記基板の受け渡しを行うための複数のリフタピンを備えており、
前記模擬的動作が、前記基板の受け渡しを伴わない状態での前記リフタピンの模擬的昇降動作を含む請求項1から5のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 前記処理室は、前記基板を搬入出するための開口部と、該開口部を封止して該処理室内を真空に維持するためのゲートバルブ装置を備えており、
前記模擬的動作が、前記開口部への前記基板の通過を伴わない状態での前記ゲートバルブ装置の模擬的開閉動作を含む請求項1から6のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、
前記処理室において前記所定の処理を行うためのシステムレシピ、及び、予め登録された複数の単動作を組み合わせて実行するためのメンテナンスマクロが保存された記憶部と、
前記システムレシピを読み出して実行するレシピ実行部と、
前記システムレシピとともに前記レシピ実行部により制御されるメンテナンスマクロを設定するメンテナンスマクロ設定部と、
前記模擬的動作の履歴を記録する履歴記録部と、
を備え、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピを読み出すステップと、
前記メンテナンスマクロ設定部によって、メンテナンスマクロを設定するステップと、
前記レシピ実行部が、前記システムレシピと、前記メンテナンスマクロ設定部によって設定された前記メンテナンスマクロとを協働させて、前記模擬的動作を実行させるステップと、
を行うように制御するものである請求項1から7のいずれか1項に記載の基板処理システム。 - パーティクル検出の目的で前記模擬的動作を行う請求項1から8のいずれか1項に記載の基板処理システム。
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