JP3119098U - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検物(ガラス基板3)を搬送する複数の搬送機構4a、4bと、選択された1つの搬送機構(例えば4a)を搬送経路10中に移動させ残りの搬送機構(例えば4b)を搬送経路10外に移動させる移動手段(昇降機構8)とをロードロックチャンバー2に備える。
このように構成することで、主チャンバー1内で1つの被検物を検査中にロードロックチャンバー2に次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバー1とロードロックチャンバー2の間で被検物を交換することにより、主チャンバー1ではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。
【選択図】 図1
Description
まず、図4(1)を利用して概略構成を説明する。
同図において、1は内部が真空に保たれた主チャンバー、2は主チャンバー1に隣接して設けられ、外部と主チャンバー1との間で被検物の搬出入を仲介するためのロードロックチャンバーであり、3は被検物であるガラス基板である。ガラス基板3は、外部のローダ(図示しない)等により、外部とロードロックチャンバー2との間のゲート弁6を介してロードロックチャンバー2に搬出入される。
ロードロックチャンバー2は、ゲート弁6および7を共に閉じた状態では内部気圧を大気圧から真空(主チャンバー1内とほぼ同じ真空圧)まで下げ、また大気圧に戻す、等の気圧調節が可能な構造であり、これにより大気圧下にあるガラス基板3を、主チャンバー1内の真空を破ることなく主チャンバー1内に持ち込み、或いはそこから取り出すことが可能となる。
(1)最初、ゲート弁6は開き、ゲート弁7は閉じた状態で、ロードロックチャンバー2の内部は大気圧、主チャンバー1内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板3が外部のローダ(図示しない)等によりロードロックチャンバー2内の搬送機構4上に移載され、その後、ゲート弁6を閉じ、ロードロックチャンバー2内を真空引きする。
(2)ロードロックチャンバー2の内部気圧が所定の真空圧に達すると、ゲート弁7を開き、ガラス基板3を主チャンバー1に搬送する。その後、ゲート弁7を閉じ、ガラス基板3を検査する。
(4)ロードロックチャンバー2の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁6を開いてガラス基板3を外部に搬出し、次工程に送る。
以上をくり返し、次々にガラス基板3を検査する。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたものであり、製造工程中で被検物を真空下で検査する検査装置において、被検物1点当たりの検査所要時間を短縮することを目的とする。
このように構成することで、主チャンバー内で1つの被検物を検査中にロードロックチャンバーに次の被検物を搬入して待機させておき、検査が終わった直後に主チャンバーとロードロックチャンバーの間で被検物を交換することにより、主チャンバーではほとんど間を空けずに次の検査を始めることが可能となる。
従って、最良の形態の基本的な構成は、被検物を搬送する2基の搬送機構をロードロックチャンバー内に有し、そのいずれか一方を選択して搬送経路中に、他方を搬送経路外に移動させる移動手段を備える検査装置である。
同図において、図4と同一の構成要素については同符号を付すことにより再度の説明を省く。本実施例装置は、ロードロックチャンバー2の内部に2基の搬送機構4a、4bを上下2段に配置し、これらを上下方向に移動させる昇降機構8を備えていることが従来例と異なる。2基の搬送機構4a、4bは同形、同性能で、いずれか一方が搬送経路10中にあるときは他方は搬送経路10から外れた位置にあるように昇降機構8により移動させられる。
なお、本考案では検査装置内に同時に2つの被検物が存在するので、以下、これらをガラス基板3aおよびガラス基板3bとして区別する。
以下、図2および図3に従って、上記のように構成された本実施例装置にガラス基板3a、3bを搬出入する過程を説明する。なお、図2および図3においては、図1で示したローダ9は省略されているが、同様のものが外部とロードロックチャンバー2との間の搬出入に用いられるものとする。
(1)最初、ゲート弁6は開き、ゲート弁7は閉じた状態で、搬送機構4aが搬送経路10中にあり、ロードロックチャンバー2の内部は大気圧、主チャンバー1内は所定の真空圧に保たれている状態にある。この状態で、検査を受けるガラス基板3aが外部のローダ(図示しない)によりロードロックチャンバー2内の搬送機構4a上に移載され、その後、ゲート弁6を閉じ、ロードロックチャンバー2内を真空引きし、内部気圧を所定の真空圧に調整する。
この検査中に、ロードロックチャンバー2の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁6を開く。
(3)次に検査すべきガラス基板3bを外部のローダ(図示しない)等から搬送機構4a上に移載し、ゲート弁6を閉じる。
(4)ロードロックチャンバー2内を真空引きし、その間に昇降機構8により搬送機構4a、4bを上昇させ、搬送機構4bと搬送機構5とのレベルを一致させる(搬送機構4bを搬送経路10中に位置させる)。
(5)主チャンバー1におけるガラス基板3aの検査が終わるとゲート弁7を開き、検査済みのガラス基板3aを搬送機構4bに移す。
(7)搬送機構4a上のガラス基板3bを搬送機構5に移す。その後、ゲート弁7を閉じ、ガラス基板3bを検査する。
(8)この検査中にロードロックチャンバー2の内部気圧を大気圧に戻し、ゲート弁6を開いてガラス基板3aを外部に搬出し、次工程に送る。
以降、上記の(3)〜(8)を繰り返し、次々に検査を行う。
また、実施例1における搬送機構4a、4bは2基に限定されるものでなく、3基以上装備するようにしてもよい。多数基装備することにより、一度に多数の被検物を装入してバッチ処理で検査を行う検査装置を提供することも可能となる。
2 ロードロックチャンバー
3 ガラス基板
3a ガラス基板
3b ガラス基板
4 搬送機構
4a 搬送機構
4b 搬送機構
5 搬送機構
6 ゲート弁
7 ゲート弁
8 昇降機構
9 ローダ
9a アーム
10 搬送経路
Claims (1)
- 内部が真空に維持される主チャンバーと前記主チャンバーに隣接するロードロックチャンバーとを有し、前記主チャンバーと前記ロードロックチャンバーとの間でTFTアレイ基板を搬出入する搬送経路が形成されているTFTアレイ検査装置において、前記基板を搬送するための複数の搬送機構を前記ロードロックチャンバー内に並設し、前記搬送機構のうち1つを前記搬送経路中に移動させると共に残りの前記搬送機構を前記搬送経路外に相互に移動させる移動手段を備えたことを特徴とするTFTアレイ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005009819U JP3119098U (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Tftアレイ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005009819U JP3119098U (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Tftアレイ検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3119098U true JP3119098U (ja) | 2006-02-16 |
Family
ID=43469347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005009819U Expired - Fee Related JP3119098U (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | Tftアレイ検査装置 |
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JP (1) | JP3119098U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016121982A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 日東電工株式会社 | 目視検査装置 |
-
2005
- 2005-11-22 JP JP2005009819U patent/JP3119098U/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016121982A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 日東電工株式会社 | 目視検査装置 |
TWI655420B (zh) * | 2014-12-25 | 2019-04-01 | 日商日東電工股份有限公司 | 目視檢查裝置 |
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