JP4147587B2 - 基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板検査装置に関するものである。

ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をアレイ状に配列した構成として例えば液晶基板があり、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等に用いられている。

ＴＦＴを用いて構成される液晶ディスプレイは、ＴＦＴ及びピクセル電極が形成された一方のガラス基板と対向電極が形成された他方のガラス基板との間に液晶を流しこんだ液晶パネルを基本構造としている。

ＴＦＴ及びピクセル電極が形成されたガラス基板（以下「ＴＦＴ基板」という。）の検査においては、電子線の電圧コントラスト技術を用いることによって、非接触で基板上の各ピクセルの状態を判定する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この電圧コントラスト技術を用いたＴＦＴ基板検査方法は、従来の機械的プローブを用いた検査方法に比べてコストが安く、また、光学的検査方法に比べて、検査速度が速いという利点を有する。

電圧コントラスト技術を用いたＴＦＴアレイ検査装置では、検査されるＴＦＴ基板は高真空室内に搬送され、ステージ上に配置された状態で検査される。

検査装置は、電子線発生源、二次電子検出器及びデータ処理手段を備える。電子線発生源は、ＴＦＴ基板の各ピクセルに電子線を照射し、二次電子検出器は電子線をＴＦＴ基板の各ピクセルに照射して発生した二次電子を検出する。また、二次電子検出器は、二次電子の検出量に基づいてピクセルの電圧波形に対応した波形を表わす信号をデータ処理手段（コンピュータシステム等）に出力する。データ処理手段は、二次電子検出器の出力信号を解析して、ピクセルの状態、特に、ピクセルの欠陥の有無や欠陥の内容を検査する。

検査されるＴＦＴ基板を高真空室内に搬送してステージ上に配置するために、ＴＦＴアレイ検査装置はロードロック室及び搬送室を備える。図４はＴＦＴアレイ検査装置の一構成例を説明するための図である。

ＴＦＴアレイ検査装置は、真空状態において基板検査を行う検査室と、大気側からＴＦＴ基板のロード及びアンロードを行うロードロック室とを備え、ロードロック室と検査室との間は搬送機構によりＴＦＴ基板の搬送を行う。搬送機構は、ロードロック室と検査室との間に設けた搬送室に設置する構成の他、ロードロック室内又は検査室内に設置する構成とすることもできる。

図４（ａ）は搬送室内に設置する構成例を示している。図４（ａ）に示す構成例では、大気側とロードロック室１３との間にゲートバルブ１５を備え、ロードロック室１３と搬送室１４との間にゲートバルブ１６を備え、搬送室１４と検査室１２との間にゲートバルブ１７を備える。なお、ロードロック室１３内には、基板支持部１３ａ，１３ｂが設けられ、検査室内にはステージ１２ａが設けられている（特許文献２）。

また、搬送機構をロードロック室内あるいは検査室内に設けることによりゲートバルブの個数を減らし、ゲートバルブの操作に伴う処理時間の長時間化を防ぐ構成も考えられる。

図４（ａ）に示すように、ロードロック室と検査室を同一平面上に配置する構成では、搬送機構の為に設置面積が大きくなるという問題がある。

そこで、ロードロック室と検査室を上下に設けることにより、設置面積を小さくする構成が提案されている。図４（ｂ），（ｃ）はロードロック室と検査室を上下に設ける構成例である。

図４（ｂ）に示す構成例は、２つのロードロック室により基板検査装置２１は、ロードロック室２３上に検査室２２を設ける。ロードロック室２３と大気側との間にはバルブ２５を設け、ロードロック室２３と搬送室２４との間にはバルブ２６が設けられる。また、ロードロック室２３内には基板支持部２３ａ，２３ｂが設けられ、検査室２２内にはステージ２２ａが設けられている。

また、図４（ｃ）に示す基板検査装置３１は、２つのロードロック室３３ａ，３３ｂの上方に検査室３２を設ける。ロードロック室３３ａ，３３ｂと大気側との間にはそれぞれバルブ３５ａ，３５ｂを設け、ロードロック室３３と搬送室３４との間にはバルブ３６ａ，３６ｂが設けられる。また、検査室２２内にはステージ３２ａが設けられている。

上記した各構成では、図４（ａ），（ｂ）に示すようにロードロック室内に基板の受け渡しを行う棚を２つ設けたり、図４（ｃ）に示すようにロードロック室を２つ設けることによって、搬送時間を短縮することが行われている。

ロードロック室に基板を保持する箇所を２カ所設ける構成による検査基板の移動状態を図５，６を用いて説明する。なお、以下では、前記図４（ｂ）の構成例の動作例である。

なお、一連の移動動作であるため、図５，６では（ａ）〜（ｕ）を用い、図５，６間において連続する符号で示している。

ゲートバルブ２５を開いて未検査の第１の検査基板２８をロードロック室２３内に導入し、導入した後ゲートバルブ２５を閉じてロードロック室２３内を排気する。図５（ａ）は、ロードロック室２３の第１基板支持部２３ａ上に配置する状態を示している。また、搬送室２４内の搬送機構２４ａは支持部を第１基板支持部２３ａの高さに合わせて上下動させる。

搬送機構２４ａは支持部を第１基板支持部２３ａ側に水平移動させ（図５（ｂ））、第１基板支持部２３ａに支持されている第１の検査基板２８を保持する（図５（ｃ））。保持した第１の検査基板２８を搬送室２４内に水平移動させ（図５（ｄ））、検査室２２の高さに合わせて上方に移動させる（図５（ｅ））。搬送機構２４ａは第１の検査基板２８を検査室２２側に水平移動させ（図５（ｆ））、ステージ２２ａ上に載置する（図５（ｇ））。

また、図５（ｆ），（ｇ）の間、ゲートバルブ２５を開いて未検査の第２の検査基板２９をロードロック室２３内に導入し、導入の後ゲートバルブ２５を閉じてロードロック室２３内を排気する。図５（ｇ）では、ロードロック室２３の第１基板支持部２３ａ上に配置する状態を示している。

検査室２２内において第１の検査基板２８を検査する（図５（ｈ））。検査が完了した後、搬送機構２４ａは支持部を検査室２２に水平移動させ（図５（ｉ））、ステージ２２ａに支持されている検査済みの第１の検査基板２８を保持する（図５（ｊ））。保持した第１の検査基板２８を搬送室２４内に水平移動させ（図５（ｋ））、ロードロック室２３の高さに合わせて下方に移動させ、ゲートバルブ２６を開く（図５（ｌ））。搬送機構２４ａは検査済みの第１の検査基板２８をロードロック室２３側に水平移動させ（図５（ｍ））、第２基板支持部２３ｂ上に載置する（図５（ｎ））。

搬送機構２４ａは支持部を搬送室２２側に水平移動させ（図６（ｏ））、ロードロック室２３の第２基板支持部２３ａの高さに合わせて下方に移動させ（図６（ｐ））、ロードロック室２３の第２基板支持部２３ａ側に水平移動させ（図６（ｑ））、支持部上に未検査の第２の検査基板２９を保持する（図６（ｒ））。保持した第２の検査基板２９を搬送室４内に水平移動させ（図３（ｓ））、検査室２の高さに合わせて上方に移動させる。第２の検査基板２９を搬送室２４内に水平移動させた後はゲートバルブ２６を閉じる（図６（ｔ））。搬送機構２４ａは第２の検査基板２９を検査室２２側に水平移動させ、ステージ２２ａ上に載置する（図６（ｕ））。

また、図６（ｕ）の間、ゲートバルブ２５を開いて検査済みの第１の検査基板２８をロードロック室２３から大気側に導出する。この後、図５（ａ）に戻って、次の検査基板をロードロック室２３内に導入する。

図７は、上記した各動作の時間経過を示す図である。図７では、図５（ｈ）〜図６（ｕ）の工程を経て検査室２〜検査済みの検査基板を導出する時間経過と、図６（ｐ）〜図６（ｕ）の工程を経てロードロック室内に保持されていた未検査の検査基板を検査室に導入する時間経過を示している。

この時間経過において、符号Ｔ２で示す期間は、前回のＴＦＴ基板の検査が完了した時点から、次回のＴＦＴ基板の検査の為のアライメント開始時点までの期間を示している。
米国特許第５，９８２，１９０号明細書 特開２００２−２５２１５５公報（段落００１７，００１８，図１）

上記した、２つのロードロック室を備える構成やロードロック室内に基板を受け渡す棚部分を２つ設ける構成によって搬送時間の短縮を図ることができる。

しかし、２つのロードロック室を備える構成では、基板検査装置全体が大型化するという問題がある。

また、ロードロック室内に基板を受け渡す棚部分を２つ設ける構成では、ロードロック室自体が大型となり、そのためロードロック室内を排気し真空引きするために要する時間が長くなるという問題がある。

そこで、本発明は上記課題を解決し、ロードロック室の容積を小さくすることを目的とし、また、ロードロック室内のベント、バキューム（排気や真空引き）に要する時間を短縮することを目的とする。

上記目的を解決するために、本発明は、電子銃から基板に電子線を照射し、当該電子線照射により基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによって基板検査を行う基板検査装置において、真空状態において基板を検査する検査室と、基板を大気側との間でロード及びアンロードを行うロードロック室と、検査室とロードロック室との間において基板を搬送する搬送室とを備え、搬送室は搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする２つの搬送手段を含む搬送機構を備える構成とする。

本発明は、搬送機構を搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする２つの搬送手段を含む構成とすることによって、従来ロードロック室内で行っていた搬入用基板と搬出用基板の受け渡しを搬送室内において行わせる。これによって、ロードロック室は、搬入用基板と搬出用基板の受け渡しを行うための２つの棚のためを収納するための大きな容積は不要となり、一つの基板を収納する容積であれば十分となり、ロードロック室内の容積を最小限とすることができる。また、ロードロック室内の容積を小さくすることによって、ベント、バキュームに要する時間を短縮することができる。

また、搬入用基板と搬出用基板との基板の入れ替え動作及びこの入れ替え動作に伴う基板の保持動作と、検査室とロードロック室との間において基板を移動させる動作とを、一つの搬送室内において行うことによって、搬送時間のロスを少なくして作業時間（タクトタイム）を短縮することができる。

２つの搬送手段は搬送室内において一体で移動自在とする。これにより、一つの移動機構によって２つの搬送手段を移動させることができ、移動機構の構成を簡略化することができ、また、これら搬送手段及び移動機構を収納する搬送室の容積を小さくすることができる。

また、搬送手段は搬送アームにより構成することができ、搬送機構は基板搬入用のアームと基板搬出用のアームの２本の搬送アームを備える。ここで、搬入は、未検査の検査基板をロードロック室から搬送室に導入し、さらに搬送室から検査室に導入する動作を含むものである。基板搬入用のアームは、この基板の搬入動作を行う搬送アームであって、大気側から導入されてロードロック室内に保持される検査基板を搬送室内に導入し、導入した検査基板を検査室内に導入する。

また、搬出は、検査済みの検査基板を検査室から搬送室に導出し、さらに搬送室からロードロック室に導出する動作を含むものである。基板搬出用のアームは、この基板の搬出動作を行う搬送アームであって、検査室内で検査が行われ検査が完了した検査済み基板を検査室から搬送室内に導出し、導出した検査基板をロードロック室内に導出する。ロードロック室に導出された検査済み基板は、大気側に設けた搬送手段によって大気側に導出される。

本発明の構成によれば、搬送室が備える２つの搬送手段は検査済みの基板と未検査の基板の２つの異なる状態の検査基板を同時に保持することができるため、未検査の基板を保持した状態のままで検査済みの基板を搬出する動作を行うことができ、また、検査済みの基板を保持した状態のままで未検査の基板を搬入する動作を行うことができる。さらに、搬送室と検査室との間で基板の搬入あるいは搬出を行っている間に、ロードロック室では搬送室と分離した状態で大気側との間で基板を移動させることができる。

また、本発明の構成によれば、それぞれ検査済みの状態と検査中の状態と未検査の状態にある３枚の検査基板、検査済み状態の２枚の検査基板と未検査の状態の１枚の検査基板、あるいは、検査済み状態の１枚の検査基板と未検査の状態の２枚の検査基板というように、３枚の検査基板を基板検査装置内に同時に収納し、それぞれ搬入あるいは搬出の移動動作を行う操作することができるため、検査のスループットを高めることができる。

本発明のＴＦＴ検査装置によれば、ＴＦＴアレイ検査装置の設置面積を小さくすることができる。また、ＴＦＴアレイ検査装置の設置面積を小さくすると共に、処理時間を短縮することができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。なお、以下では、基板検査装置として液晶基板等のＴＦＴ基板の検査装置を例として説明するが、検査基板は液晶のＴＦＴ基板に限られるものではなく、有機ＥＬの基板、半導体基板など各種の基板に適用することができる。

本発明の基板検査装置は、電子線発生源、二次電子検出器及びデータ処理手段を備える構成を検査室に備え、検査対象であるＴＦＴ基板を高真空の検査室内に搬送してステージ上に配置するために、ロードロック室及び搬送室を備える。

図１は本発明の基板検査装置の一構成例を説明するための図である。

基板検査装置は、真空状態において基板検査を行う検査室２と、大気側からＴＦＴ基板のロード及びアンロードを行うロードロック室３と、検査室２とロードロック室３との間に搬送室４を備える。搬送室４は搬送機構４ｄを備え、ロードロック室３と検査室２との間においてＴＦＴ基板の搬送を行う。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置１は、検査室２とロードロック室３とをそれぞれ異なる平面上において少なくとも一部を重ねて上下に配置する。また、搬送室４中の搬送機構４ｄは２つの搬送アームを備える。搬送アームの一つは検査基板を検査室２に搬入するための基板搬入用アーム４ａであり、他の一つは検査基板を検査室２から搬出するための基板搬入用アーム４ｂである。

基板搬入用アーム４ａは、ロードロック室３の基板支持部３ａ上に載置されている未検査の検査基板９を搬送室４内に導入する動作と、搬送室４内に導入した検査基板を検査室２内に導入する動作を行う。また、基板搬出用アーム４ｂは、検査室２のステージ２ａ上に載置されている検査済みの検査基板９を搬送室４内に導出する動作と、搬送室４内に導入した検査基板をロードロック室３内に導出する動作を行う。

また、搬送機構４ｄは、基板搬入用アーム４ａ及び基板搬出用アーム４ｂを搬送室４内で上下動させる上下動機構４ｃを備える。基板搬入用アーム４ａと基板搬出用アーム４ｂは上下動機構４ｃに固定され、上下動機構４ｃにより一体で同時に上方あるいは下方に移動する。上下動機構４ｃにより、基板搬入用アーム４ａ及び基板搬出用アーム４ｂは上層の検査室２と下層のロードロック室３との間を移動し、検査基板の搬入あるいは搬出ができるように、ステージ２ａあるいは基板支持部３ａとの高さ調整を行う。

これにより、搬送機構４ｄは、上下動機構４ｃの上下方向の移動及び搬送アーム４ａ，４ｂの水平方向に移動によって、ロードロック室３と搬送室４との間、及び搬送室４と検査室２との間でＴＦＴ基板の搬送を行う。

図１に示す各形態の構成において、検査室２は導入されたＴＦＴ基板を支持して検査を行うステージ２ａを備える。また、ロードロック室３は大気側との間に第１ゲートバルブ５を備え、搬送室４との間に第２ゲートバルブ６を備える。ロードロック室３は、２つのゲートバルブ５，６を備えることによりロードロック室３内のみを排気することができる。

ロードロック室３内には基板支持部３ａが設けられ、大気側から導入した未検査のＴＦＴ基板を一時的に保持する。ロードロック室３は、基板支持部３ａ上にＴＦＴ基板を載置した状態で第１ゲートバルブ５を閉じ、内部を排気して搬送室４側と同圧とする。その後、第２ゲートバルブ６を開いて、基板搬入用アーム４ａの水平移動によってＴＦＴ基板を搬送室４内に搬入する。

また、ＴＦＴ基板を搬送室４からロードロック室３に搬出する場合には、前記したようにＴＦＴ基板をロードロック室から搬送室側に搬入した後、基板搬出アーム４ｂに保持させておいた検査済みのＴＦＴ基板を、基板搬出アーム４ｂの水平移動によってロードロック室３の基板保持部３ａ上に移動させる。

上記してように、ロードロック室３と搬送室４との間の第２ゲートバルブ６の開放時において、ロードロック室側から搬送室側への未検査のＴＦＴ基板の搬入動作と、搬送室側からロードロック室側への検査済みのＴＦＴ基板の搬出動作を行うことができるため、ＴＦＴ基板の搬入動作及び搬出動作毎にゲートバルブの開閉を行うことなく、一回の開閉動作で搬入動作と搬出動作の２動作を行うことができ、ゲームバルブの開閉やロードロック室内の排気に要する時間を短縮することができる。

以下、図２を用いて本発明のＴＦＴアレイ検査装置におけるＴＦＴ基板の移動について説明する。なお、図２は、検査室２内のステージ２ａ上には検査中のＴＦＴ基板９が載置され、ロードロック室３の基板支持部３ａには未検査のＴＦＴ基板１０が載置され、搬送室４内の搬送機構４ｄでは基板搬出用アーム４ｂに検査済みのＴＦＴ基板８が保持された状態を初期状態として示している。

基板検査装置１は、この初期状態から、検査済みのＴＦＴ基板８を搬送室４からロードロック室３を介して搬出する搬送動作と、検査中のＴＦＴ基板９を検査室２から搬送室４及びロードロック室３を介して搬出する搬送動作と、未検査のＴＦＴ基板１０をロードロック室３から搬送室４を介して検査室２に搬入する搬送動作を順次同時に行う。

なお、図２（ａ）〜（ｌ）では、検査済みのＴＦＴ基板８の移動を丸数字１で示し、検査中のＴＦＴ基板９の移動を丸数字２で示し、未検査のＴＦＴ基板１０の移動を丸数字３で示している。

第１ゲートバルブ５を開いて未検査の第１の検査基板８をロードロック室３内に導入して基板支持部３ａ上に載置し、導入した後第１ゲートバルブ５を閉じてロードロック室３内を排気する。図２（ａ）では、ロードロック室３の第１基板支持部３ａ上に配置する状態を示している。このとき、検査室２内ではＴＦＴ基板８が検査中であり、搬送室４の基板搬出用アーム４ｂには検査済みのＴＦＴ基板８が保持されている。

搬送機構４ｄは、未検査のＴＦＴ基板１０を搬送室４内に搬入させるために、上下動機構４ｃを駆動して基板搬入用アーム４ａの高さを基板支持部３ａ上のＴＦＴ基板８に合わせる（図２（ａ））。

第２ゲートバルブ６を開いた後、搬送機構４ｄは基板搬入用アーム４ａをロードロック室３側に移動させて、ロードロック室３内の保持される未検査のＴＦＴ基板１０を保持する（図２（ｂ））。ＴＦＴ基板１０を保持した後、搬送機構４ｄは基板搬入用アーム４ａを搬送室４側に戻し、保持したＴＦＴ基板１０を搬送室４内に搬入させる（図２（ｃ））。

次に、搬送機構４ｄは、検査済みのＴＦＴ基板８をロードロック室３内に搬出させるために、上下動機構４ｃを駆動して基板搬出用アーム４ｂの高さを基板支持部３ａに合わせる。未検査のＴＦＴ基板１０は、前回の操作で基板搬入用アーム４ａに保持されているため、この段階では基板支持部３ａにはＴＦＴ基板は保持されておらず、検査済みのＴＦＴ基板８を載置する用意ができている（図２（ｄ））。

基板搬出用アーム４ｂの高さが基板支持部３ａの高さに位置合わせされた後、搬送機構４ｄは基板搬搬出アーム４ｂをロードロック室３側に移動させて、ロードロック室３の基板保持部３ａ上に検査済みのＴＦＴ基板８を載置する（図２（ｅ））。検査済みのＴＦＴ基板８をロードロック室３に搬出した後、搬送機構４ｄは基板搬出用アーム４ｂを搬送室４側に戻す（図２（ｆ））。

次に、第２ゲートバルブ６を閉じ、大気側において、次の検査対象となる未検査のＴＦＴ基板（図２で丸数字４で示す）を搬送手段によって用意する。一方、搬送室４内では、搬送機構４ｄは上下動機構４ｃによって基板搬入アーム４ａ及び基板搬搬出アーム４ｂを上方に移動させ、検査が完了したＴＦＴ基板９を搬送室４内に搬入させるために、基板搬出用アーム４ｂの高さを検査室２のステージ２ａ上のＴＦＴ基板９に合わせる（図２（ｇ））。

搬送機構４ｄは基板搬出用アーム４ｂを検査室２側に移動させて、検査室２内のステージ２ａに載置される検査が完了したＴＦＴ基板９を保持し（図２（ｈ））、基板搬出用アーム４ｂを搬送室４側に戻し、保持したＴＦＴ基板９を搬送室４内に搬出させる（図２（ｉ））。

一方、ロードロック室３は、検査済みのＴＦＴ基板の大気側への搬出と、新たな未検査のＴＦＴ基板の搬入を行うために第１ゲートバルブ５を開く。大気側の搬出手段は、ロードロック室３の基板支持部３ａ上に載置されている検査済みのＴＦＴ基板８を搬出した後（図２（ｈ））、未検査のＴＦＴ基板（図中の丸数字４で示す）をロードロック室３内に搬入（図２（ｉ））。

未検査のＴＦＴ基板（図中の丸数字４で示す）をロードロック室３内に搬入した後第１ゲートバルブ５を閉じる。一方、搬送室４において、搬送機構４ｄは上下動機構４ｃによって基板搬入アーム４ａ及び基板搬搬出アーム４ｂを下方に移動させ、未検査のＴＦＴ基板１０を検査室２内に搬入させるために、基板搬入用アーム４ａの高さを検査室２のステージ２ａに合わせる（図２（ｊ））。

搬送機構４ｄは基板搬入用アーム４ａを検査室２側に移動させて、検査室２内のステージ２ａ上に未検査のＴＦＴ基板１０を載置する（図２（ｋ））。検査室２内のステージ２ａ上に未検査のＴＦＴ基板１０を載置した後、搬送機構４ｄは基板搬入用アーム４ａを搬送室４側に戻し、さらに、上下動機構４ｃによって基板搬入アーム４ａ及び基板搬搬出アーム４ｂを下方に移動させて、基板搬搬出アーム４ｂがロードロック室２の基板支持部３ａの高さとなるよう高さ調整を行う（図２（ｋ））。これ以降は、図２（ａ）と同様の操作を繰り返す。

図３は、上記した各動作の時間経過を示す図である。図３では、図２（ａ）〜図２（ｊ）の工程を経て検査室２から検査済みの検査基板を導出する時間経過と、図２（ａ）〜図２（ｕ）の工程を経てロードロック室３内に保持されていた未検査の検査基板を検査室２に導入する時間経過を示している。

この時間経過において、符号Ｔ１で示す期間は、前回のＴＦＴ基板の検査が完了した時点から、次回のＴＦＴ基板の検査の為のアライメント開始時点までの期間を示している。この期間Ｔ１を図７に示した搬送アームが１本からなる搬送機構での期間Ｔ２と比較すると期間Ｔ１は期間Ｔ２よりも短くなり、処理時間を短縮することができる。

搬送アームの上下動に数十秒の時間を要する場合、本発明の構成とすることにより数十秒単位で時間短縮を行うことができる。

また、本発明の形態によれば、ロードロック室の容量を小さくすることができるため、ロードロック室の真空排気やベントに要する時間を短縮することができる。

本発明の基板検査装置は、液晶のＴＦＴ基板の検査に限らず真空下で行う検査装置に適用することができ、また、電子線やイオンビームを用いた露光装置、電子顕微鏡等の真空処理室及びロードロック室を利用する装置に適応することができる。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置の一構成例を説明するための図である。 本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例の動作を説明するための図である。 本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例の動作の時間経過を説明するための図である。 従来のＴＦＴアレイ検査装置の一構成例を説明するための図である。 ２つの基板保持部を持つロードロックによる検査基板の移動状態を説明するための図である。 ２つの基板保持部を持つロードロックによる検査基板の移動状態を説明するための図である。 従来のＴＦＴアレイ検査装置の構成例の動作の時間経過を説明するための図である。

符号の説明

１，１１、２１，３１…ＴＦＴアレイ検査装置、２，１２，２２，３２…検査室、２ａ，１２ａ，２２ａ…ステージ、３，１３，２３，３３…ロードロック室、３ａ…基板支持部、４，１４、２４，３４…搬送室、４ａ…基板搬入アーム，４ｂ…基板搬出アーム、４ｃ…上下動機構、４ｄ…搬送機構、５…第１ゲートバルブ、６…第２ゲートバルブ、１５，１６，１７，２５，２６，３５，３６…ゲートバルブ、８，９，１０…検査基板。

Claims (3)

1. 電子銃から基板に電子線を照射し、当該電子線照射により基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによって基板検査を行う基板検査装置において、
   真空状態において基板を検査する検査室と、
   基板を大気側との間でロード及びアンロードするロードロック室と、
   前記検査室との間、およびロードロック室との間において基板を搬出入する搬送室とを備え、
   前記検査室とロードロック室とそれぞれ異なる平面上において少なくとも一部を重ねて上下に配置するとともに、前記搬送室を前記検査室およびロードロック室と隣接して配置し、
   前記搬送室は、搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする上下に配置した２つの搬送手段を含む搬送機構を備え、
   前記搬送機構は、前記搬送室内において前記搬送手段を検査室およびロードロック室と対応する位置に上下に移動自在とし、
   前記２つの搬送手段は、
   検査室と対応する位置において、一方の搬送手段は搬送室から検査室に未検査の基板を移動し、他方の搬送手段は検査室から搬送室に検査済みの基板を移動する動作と、
   ロードロック室と対応する位置において、一方の搬送手段はロードロック室から搬送室に未検査の基板を移動し、他方の搬送手段は搬送室からロードロック室に検査済みの基板を移動する動作を行うことを特徴とする基板検査装置。
   
2. 前記２つの搬送手段は、搬送室内において一体で移動自在であることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記搬送手段は搬送アームであり、搬送機構は基板搬入用のアームと基板搬出用のアームの２本の搬送アームを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。

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