JP2005265794A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子銃から基板に電子線を照射し、当該電子線照射により基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによって基板検査を行う基板検査装置において、真空状態において基板を検査する検査室2と、基板を大気側との間でロード及びアンロードを行うロードロック室3と、検査室とロードロック室との間において基板を搬送する搬送室4とを備え、搬送室4は搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする2つの搬送手段(基板搬入用アーム4a,基板搬出用アーム4b)を含む搬送機構4dを備える構成とする。搬送機構を搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする2つの搬送手段を含む構成とすることによって、従来ロードロック室内で行っていた搬入用基板と搬出用基板の受け渡しを搬送室内において行わせる。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 電子銃から基板に電子線を照射し、当該電子線照射により基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによって基板検査を行う基板検査装置において、
真空状態において基板を検査する検査室と、
基板を大気側との間でロード及びアンロードを行うロードロック室と、
前記検査室とロードロック室との間において基板を搬送する搬送室とを備え、
前記搬送室は、搬送室の内外の間で基板を独立して移動自在とする2つの搬送手段を含む搬送機構を備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記2つの搬送手段は、搬送室内において一体で移動自在であることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記搬送手段は搬送アームであり、搬送機構は基板搬入用のアームと基板搬出用のアームの2本の搬送アームを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査装置。
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