WO2010070733A1

WO2010070733A1 - 液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法、液晶アレイ検査装置システム、および液晶アレイ検査装置

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Publication number: WO2010070733A1
Application number: PCT/JP2008/072854
Authority: WO
Inventors: 忠幸藤原; 浩新井
Original assignee: 株式会社島津製作所
Priority date: 2008-12-16
Filing date: 2008-12-16
Publication date: 2010-06-24
Also published as: JPWO2010070733A1; JP5163749B2; CN102165325B; CN102165325A

Abstract

複数の液晶アレイ検査装置が同時に検査状態となったときに、その液晶アレイ検査装置で検査する液晶基板の機種の検査時間と、同時に検査状態となった液晶アレイ検査装置で検査する液晶基板の機種の検査時間とを比較し、また、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、検査時間が短い液晶アレイ検査装置が備えるロードロック室の真空引きを優先させることによって、検査時間が短い液晶基板の機種の検査を、検査時間が長い液晶基板の機種の検査に影響されることなく、検査時間が長い液晶基板の機種の検査を追い越して先に行うことを可能とする。　

Description

液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法、液晶アレイ検査装置システム、および液晶アレイ検査装置

　本発明は、液晶基板のアレイ検査に関し、真空状態で液晶アレイ検査を行う検査装置、および検査方法に関する。

　液晶アレイ検査装置として、検査室とこの検査室に対して液晶基板を導出入するロードロック室とを備え、真空状態の検査室内で液晶基板のアレイ検査を行う装置が知られている。この検査室では、例えば、検査対象の液晶基板のアレイに検査信号を印加し、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査し、ビーム走査で得られる走査画像に基づいて基板検査を行う。ＴＦＴディスプレイ装置に用いるＴＦＴアレイ基板の製造工程では、製造されたＴＦＴアレイ基板が正しく駆動するかの検査が行われるが、このＴＦＴアレイ基板検査では、荷電粒子ビームとして例えば電子ビームを用いて、ＴＦＴアレイ基板を走査することで走査画像を取得し、この走査画像に基づいて検査を行っている。（特許文献１，２）

　液晶アレイ検査装置は、検査室と共にロードロック室を備え、ロードロック室を介して未検査の液晶基板を大気側から検査室内に導入し、また、検査済みの液晶基板を検査室内から大気側に導出している。このロードロック室は、一方では大気側との間で液晶基板の導出入を行い、他方では検査室との間で液晶基板の導出入を行う。検査室内の真空状態を保持した状態で、大気側との間で液晶基板を導出入するために、検査室とロードロック室との間、およびロードロック室と大気側との間にゲートを備えている。

　両ゲートを閉じた状態でロードロック室を真空ポンプによって排気することによって、ロードロック室内を真空引きする。このロードロック室の真空引きには、検査室に求められる真空度と比較して低い真空度でよいため、通常、粗引き用ポンプと呼ばれる真空度の比較的低い真空ポンプが用いられる。
特開２００４－２７１５１６号公報特開２００４－３０９４８８号公報

　このような液晶アレイ検査において、検査効率を高める一構成として複数の液晶アレイ検査装置を用いる構成が考えられる。

　図１１は、２台の液晶アレイ検査装置を備える構成例を示している。図１１では、２台の液晶アレイ検査装置を備える構成を示しているが、２台に限らず３台以上の構成としてもよい。

　各液晶アレイ検査装置１２Ａ，１２Ｂは、それぞれロードロック室１５Ａ，１５Ｂを備える。各ロードロック室１５Ａ，１５Ｂを真空引きする構成として、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂのそれぞれにロードロック粗引き用真空ポンプ１７を接続し、各ロードロック室１５Ａ，１５Ｂを個別に真空引きする構成が考えられる。この構成では、液晶アレイ検査装置と同じの台数分のロードロック粗引き用真空ポンプが必要となり、コストやスペースの増加を招くという問題がある。

　この問題を解消する構成として、各液晶アレイ検査装置１２Ａ，１２Ｂにロードロック室粗引き用真空ポンプ１７を共用させる構成が提案されている。図１１はこのロードロック室粗引き用真空ポンプ１７を共有させる構成を示し、接続切替装置１６によって接続状態を切り替えることで、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂの何れか一方を真空引きする。

　このような２台の液晶アレイ検査装置が一台のロードロック粗引き用真空ポンプを共用する構成では、時間的に先に真空引きの実行を求めたロードロック室に対してロードロック粗引き用真空ポンプ１７を接続して真空引きを行っている。

　このように、先に真空引きを開始するロードロック室がロードロック室粗引き用真空ポンプを占用する構成では、２台の液晶アレイ検査装置の内で、真空引きの開始が遅れた方のロードロック室は、先に開始したロードロック室の真空引きが終了するまで待機状態となり、先に開始したロードロック室の真空引きが終了した後に真空引きを行うことになる。

　上記したように、ロードロック室の真空引きを行う際に待機状態が発生することは、２つの液晶アレイ検査装置によって同一機種の液晶基板を検査するような検査時間が同一となる場合には問題とならない。一方、２つの液晶アレイ検査装置の検査時間が異なる場合には、検査時間が短い機種の液晶基板の検査は、検査時間が長い機種の液晶基板の検査の影響を受けるため、検査時間が長い機種の液晶基板の検査が先に開始された場合には、検査時間が短いにもかかわらず検査時間が長い機種の液晶基板の検査が終了するまで待機する必要がある。そのため、結果的には、２つの液晶アレイ検査装置を合わせた全体の検査時間が長時間化するという問題がある。

　図１２は、検査時間が短い機種と長い機種の液晶基板を検査する際の検査時間の関係を説明するための図である。この検査時間の関係は、２つの検査時間（Ｔ1，Ｔ2）の差分と真空引きに要する真空引き時間Ｔvとの関係によって３つの場合に分けられる。図１２（ａ）～図１２（ｃ）は、真空引き時間Ｔvと２つの検査時間（Ｔ1，Ｔ2）の差分｜Ｔ1－Ｔ2｜との関係が、それぞれＴv＝｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合、Ｔv＞｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合、およびＴv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合を示している。なお、ここでは、検査時間Ｔ1は検査時間Ｔ2より長い場合を示し、また、検査時間Ｔ1の液晶アレイ検査装置が検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置よりも先に真空引きを開始する場合を示している。

　Ｔv＝｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には、図１２（ａ）に示すように、検査時間Ｔ1の終了と検査時間Ｔ2の終了が同時となり、一方の液晶アレイ検査装置が真空引き時間Ｔvの時間間隔で真空引きを行っている間は、他方の液晶アレイ検査装置は待ち時間Ｔw（＝Ｔv）の時間幅で待機状態となる。そのため、検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置は、検査時間が短いにもかかわらず検査時間がＴ1の長い機種の液晶アレイ検査装置を追い越して先に検査を進めることができない。

　また、Ｔv＞｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には、図１２（ｂ）に示すように、検査時間Ｔ1が終了した後に検査時間Ｔ2が終了し、先に終了した一方の液晶アレイ検査装置が真空引き時間Ｔvの時間間隔で真空引きを行っている間は、他方の液晶アレイ検査装置は待ち時間Ｔw（＜Ｔv）の時間幅で待機状態となる。そのため、検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置は、検査時間が短いにもかかわらず検査時間がＴ1の長い機種の液晶アレイ検査装置追い越して先に検査を進めることができない。

　一方、Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には、図１２（ｃ）に示すように、検査時間Ｔ1が終了する前に検査時間Ｔ2が終了し、真空引き時間Ｔvの時間幅で真空引きを行った後、次の検査に進めることができるため、検査時間がＴ2の短い機種の液晶アレイ検査装置は、検査時間がＴ1の長い機種の液晶アレイ検査装置を追い越して先に検査を進めることができる。

　上記したように、２つの検査時間（Ｔ1，Ｔ2）の差分｜Ｔ1－Ｔ2｜と真空引き時間Ｔvとの関係においてＴv≧｜Ｔ1－Ｔ2｜の関係にある場合には、検査時間がＴ2の短い機種の液晶アレイ検査装置の検査サイクルは、検査時間がＴ1の長い機種の液晶アレイ検査装置の検査サイクルを追い越して先に検査を進めることができないという問題が生じる。

　そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、複数の液晶アレイ検査装置を少ないロードロック粗引き用真空ポンプで真空引きする際において、検査時間が短い液晶基板の機種の検査を、検査時間が長い液晶基板の機種の検査により影響を無くし、検査時間が短い液晶アレイ検査装置の検査サイクルが、検査時間が長い液晶アレイ検査装置の検査サイクルを追い越すことを可能とすることを目的とする。

　本発明は、複数の液晶アレイ検査装置が同時に検査状態となったときに、その液晶アレイ検査装置で検査する液晶基板の機種の検査時間と、同時に検査状態となった液晶アレイ検査装置で検査する液晶基板の機種の検査時間とを比較し、また、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、検査時間が短い液晶アレイ検査装置が備えるロードロック室の真空引きを優先させることによって、検査時間が短い液晶基板の機種の検査を、検査時間が長い液晶基板の機種の検査に影響されることなく、検査時間が長い液晶基板の機種の検査を追い越して先に行うことを可能とする。

　上記の真空引きを同時に行う競合状態の有無、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の比較、真空引き時間と競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間との比較は、優先判定を行う判定条件であり、この優先判定によって選択された液晶アレイ検査装置が備えるロードロック室の真空引きを優先し、真空引きが競合する他の液晶アレイ検査装置が備えるロードロック室の真空引きは待ち状態とする。

　本発明は、上記構成を含む態様において、液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法、液晶アレイ検査装置システム、および液晶アレイ検査装置の複数の態様とすることができる。

　液晶アレイ検査装置は、液晶基板のアレイ検査を行う単体の検査装置である。液晶アレイ検査装置システムは、複数の液晶アレイ検査装置と１台あるいは複数台のロードロック粗引き用真空ポンプとを含むシステムの構成であり、同時に複数台の液晶アレイ検査装置で検査を行うことができるものである。液晶アレイ検査装置システムにおいて、ロードロック粗引き用真空ポンプの台数は液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない構成とし、各ロードロック粗引き用真空ポンプは、何れかの液晶アレイ検査装置のロードロック室に接続して真空引きを行う。

　本発明は、このロードロック粗引き用真空ポンプによるロードロック室の真空引きにおいて、ロードロック粗引き用真空ポンプの台数を液晶アレイ検査装置の台数よりも少なくすることによってロードロック粗引き用真空ポンプによるコストおよびスペースの増大を抑制する。

　また、前記した、真空引きを同時に行う競合状態の有無、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の比較、真空引き時間と競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間との比較等の優先判定を行う判定条件を満たす場合に、その液晶アレイ検査装置のロードロック室を優先して真空引きすることによって、検査時間が短い液晶アレイ検査装置の検査サイクルが、検査時間が長い液晶アレイ検査装置の検査サイクルを追い越すことを可能とし、液晶アレイ検査装置の全体の検査時間を短縮する。

　本発明の液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法の態様は、液晶基板を真空状態で検査する検査室と液晶基板を前記検査室に対して導出入するロードロック室とをそれぞれに備える複数台の液晶アレイ検査装置と、各ロードロック室を粗い真空度で真空引きする液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプとを備えた液晶アレイ検査装置システムにおいて、粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置で競合するとき、各液晶アレイ検査装置は、当該液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較し、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させる。

　液晶アレイ検査装置システムが、ロードロック室と粗引き用真空ポンプとの間の接続関係を切替え、各粗引き用真空ポンプをロードロック室の何れか一室に切り替え自在とする接続切替装置を備える構成では、真空引き方法の態様において、粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置で競合するとき、各液晶アレイ検査装置は、この液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、接続切替装置の切り替えを制御して検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させる。

　また、本発明の真空引き方法の態様において、競合する液晶アレイ検査装置の内、優先されない液晶アレイ検査装置が真空引き動作中であるときは、その液晶アレイ検査装置の真空引き動作を中断し、優先された液晶アレイ検査装置の真空引きが終了した後に、中断した液晶アレイ検査装置の真空引き動作を再開する。

　次に、本発明の液晶アレイ検査装置システムの態様は、液晶基板を真空状態で検査する検査室と液晶基板を検査室内に導出入するロードロック室をそれぞれに備える複数台の液晶アレイ検査装置と、各ロードロック室を粗い真空度で真空引きする液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプと、ロードロック室と粗引き用真空ポンプとの間の接続関係を切替え、各粗引き用真空ポンプをロードロック室の何れか一室に切り替え自在とする接続切替装置とを備える。

　液晶アレイ検査装置システムを構成する各液晶アレイ検査装置は、粗引き用真空ポンプによるロードロック室の真空引きが競合するときに、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、接続切替装置の切替を制御して検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させる。

　この液晶アレイ検査装置システムにおいて、各液晶アレイ検査装置はネットワークを介して接続し、ネットワークを介して競合する液晶アレイ検査装置の検査時間、および真空引きの駆動情報を取得する。これによって、優先判定に用いる各液晶アレイ検査装置の検査時間や、各液晶アレイ検査装置のロードロック室が真空引きの動作中あるいは動作予定である等の駆動情報を、ネットワークによって互いに接続関係にある液晶アレイ検査装置間で共有することができ、優先判定時に取り込むことができる。

　各液晶アレイ検査装置は、取得した検査時間とその液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較し、取得した真空引きの駆動情報に基づいて競合状態を判定し、優先判定を行う。

　本発明の液晶アレイ検査装置は、液晶基板を真空状態で検査する検査室と、液晶基板を検査室内に導出入するロードロック室とを備える液晶アレイ検査装置であり、ロードロック室は、そのロードロック室を粗い真空度で真空引きする液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプと、他の液晶アレイ検査装置のロードロック室の何れか一室に切り替え自在とし、粗引き用真空ポンプによるロードロック室の真空引きが競合するときに、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、真空引き時間が差分時間以下のときに、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させる。

　本発明によれば、複数の液晶アレイ検査装置を１台のロードロック粗引き用真空ポンプで真空引きする際において、検査時間が短い液晶基板の機種の検査を、検査時間が長い液晶基板の機種の検査により影響を無くし、検査時間が短い液晶アレイ検査装置の検査サイクルが、検査時間が長い液晶アレイ検査装置の検査サイクルを追い越すことを可能とすることができる。

本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。本発明の液晶アレイ検査装置の他の構成例を説明するための概略ブロック図である。本発明によるロードロック室の真空引きの優先動作を説明するための図である。本発明の優先動作による作用効果を説明するための図である。Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合の優先動作を説明するための図である。本発明の液晶アレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。本発明の液晶アレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。各液晶アレイ検査装置が備えるタクト時間情報およびステータス情報を説明する図である。ネットワークを介して接続される液晶アレイ検査装置との間で行う優先判定を説明するためのフローチャートである。本発明の液晶アレイ検査装置の一構成例を示すブロック図である。２台の液晶アレイ検査装置を備える構成例を示す図である。検査時間が短い機種と長い機種の液晶基板を検査する際の検査時間の関係を説明するための図である。

符号の説明

　１…液晶アレイ検査装置システム、２…液晶アレイ検査装置、３…制御回路部、３ａ…制御部、３ｂ…検査制御部、３ｃ…ロードロック制御部、３ｄ…接続制御部、３ｅ…記憶部、３e1…タクトテーブル、３e2…ステータスファイル、３ｆ…優先判定部、３ｇ…問い合わせ部、３ｈ…送受信部、４…検査室、５…ロードロック室、６…接続切替装置、７…ロードロック粗びき用真空ポンプ、８…ネットワーク、１２Ａ，１２Ｂ…液晶アレイ検査装置、１５Ａ，１５Ｂ…ロードロック室、１６…接続切替装置、Ｔ1，Ｔ2，Ｔa，Ｔb…検査時間、Ｔv…真空引き時間。

　以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。

　図１、２は、本発明の液晶アレイ検査装置システム１の概略構成を説明するための図である。図１は複数台の液晶アレイ検査装置を一台のロードロック粗引き用真空ポンプで真空引きする構成例を示し、図２は複数台の液晶アレイ検査装置を、液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない複数台のロードロック粗引き用真空ポンプで真空引きする構成例を示している。図２では、ロードロック粗引き用真空ポンプが２台の例を示している。

　図１に示す構成では、本発明の液晶アレイ検査装置システム１は、複数台の液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）と、一台のロードロック粗引き用真空ポンプ７と、このロードロック粗引き用真空ポンプ７と各液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）との間を切り替え自在に接続する接続切替装置６（６Ａ、６Ｂ、…、６Ｎ）を備える。

　また、図２に示す構成では、本発明の液晶アレイ検査装置システム１は、複数台の液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）と、液晶アレイ検査装置２の台数よりも少ない台数のロードロック粗引き用真空ポンプ７（７Ａ、７Ｂ）と、このロードロック粗引き用真空ポンプ７（７Ａ、７Ｂ）と各液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）との間を切り替え自在に接続する接続切替装置６（６Ａ、６Ｂ、…、６Ｎ）を備える。

　各液晶アレイ検査装置２は、液晶基板のアレイ検査を行う検査室４、検査室４と大気側との間で液晶基板の導入および導出を行うロードロック室５を備え、また、検査動作を制御する制御部の構成の他、ロードロック室の真空引きを優先処理するための構成を備えた制御回路部３を備える。

　検査室４、ロードロック室５、および検査動作を制御する制御部は、通常の液晶アレイ検査装置が備える構成と同様とすることができるため、ここでの詳細な説明は省略する。

　複数台の液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）の各制御回路部３は、ネットワーク８によって接続され、各液晶アレイ検査装置２が保持するデータを共有する構成としている。

　各液晶アレイ検査装置２（２Ａ、２Ｂ、…、２Ｎ）は、液晶基板のアレイ検査を行う際には、各ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）はゲートを開けて内部に液晶基板（図示していない）を導入し、ゲートを閉じた後、ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）内をロードロック粗引き用真空ポンプ７によって真空引きして、ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）内を真空状態とする。ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）内に導入した液晶基板は、ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）と対応する検査室４（４Ａ、４Ｂ、…、４Ｎ）との間のゲートを開放して、検査室４（４Ａ、４Ｂ、…、４Ｎ）内に導入する。

　検査室４（４Ａ、４Ｂ、…、４Ｎ）において、液晶基板のアレイ検査を行った後、検査済みの液晶基板をロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）に戻し、ロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）の大気側のゲートを開いて導出する。

　このロードロック室５（５Ａ、５Ｂ、…、５Ｎ）内を真空引きする動作において、図１の構成では、ロードロック粗引き用真空ポンプ７は１台であるため、真空引きを行うロードロック室５が複数室ある場合には何れか一室のロードロック室５のみしか真空引きを行うことができない。また、図２の構成では、ロードロック粗引き用真空ポンプ７は２台であるため、真空引きを行うロードロック室５が３室以上ある場合には何れか２室のロードロック室５のみしか真空引きを行うことができない。

　本発明は、複数の真空引きを行うロードロック室の内で、優先して真空引きを行うロードロック室を選択し、他のロードロック室については待機状態とすることで、液晶アレイ検査装置システムの全体の検査時間を短縮する。

　次に、本発明のロードロック室の真空引き動作を優先して行う優先判定条件について説明する。

　各液晶アレイ検査装置は、ネットワークを介して互いに接続される他の液晶アレイ検査装置との間において、その液晶アレイ検査装置のロードロック室に真空引き動作を優先して行うか否かの判定を行い、以下の優先判定条件を満たす場合に、その液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引き動作を優先させ、ロードロック室にロードロック粗引き用真空ポンプを切り替えて接続する。

　ロードロック室の真空引きが競合する場合に、液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、他方の液晶アレイ検査装置の真空引きを待機させる優先判定条件は、
　第１の条件：粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置の間で競合状態にある。
　第２の条件：液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する他の液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較したとき、優先する液晶アレイ検査装置の検査時間は最も短い。
　第３の条件：ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、優先する液晶アレイ検査装置と競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較したときに、真空引き時間が差分時間以下である。
　の３つの条件である。

　液晶アレイ検査装置が上記の優先判定条件を満たした場合に、その液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、その液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する他の液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させる。

　一方、ロードロック室の真空引きが競合する場合に、液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させ、他方の液晶アレイ検査装置の真空引きを優先させる待機判定条件は、
　第１の条件：粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置の間で競合状態にある。
　第２の条件：液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する他の液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較したとき、待機する液晶アレイ検査装置の検査時間は他の液晶アレイ検査装置の検査時間よりも長い。
　第３の条件：ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、待機する液晶アレイ検査装置と競合する液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較したときに、真空引き時間が差分時間よりも長い。
　の３つの条件であり、第２の条件および第３の条件は優先判定条件の第２の条件および第３の条件と排他的な関係にある。

　以下では、優先判定条件に基づいて説明する。
　図３は、本発明によるロードロック室の真空引きの優先動作を説明するための図であり、前記した図１２と同様に、検査時間が短い機種と長い機種の液晶基板を検査する際の検査時間の関係を説明するための図である。

　この検査時間の関係は、ロードロック室の真空引きが競合する２つの検査時間（Ｔ1，Ｔ2）の差分と、真空引きに要する真空引き時間Ｔvとの関係によって３つの場合に分けられる。図３（ａ）～図３（ｃ）は、真空引き時間Ｔvと真空引きが競合する２つの検査時間（Ｔ1，Ｔ2）の差分｜Ｔ1－Ｔ2｜との関係が、それぞれＴv＝｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合、Ｔv＞｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合、およびＴv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合を示している。なお、ここでは、検査時間Ｔ1は検査時間Ｔ2より長い場合を示し、また、検査時間Ｔ1の液晶アレイ検査装置が検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置よりも先に真空引きを開始する場合を示している。

　なお、各図３（ａ）～図３（ｃ）は、２つの液晶アレイ検査装置において、真空引き時間Ｔv、検査時間Ｔ1（液晶アレイ検査装置Ａの検査時間）、検査時間Ｔ2（液晶アレイ検査装置Ｂの検査時間）、待ち時間Ｔwを示している。ここで、検査時間は液晶アレイ検査装置の動作時間において真空引き時間Ｔvを除く時間を表し、液晶基板の検査に要する時間以外の時間も含むものとして示している。

　図３（ａ）において、Ｔv＝｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合は第３の条件を満たしている。taおよびtbで示す時点は、液晶アレイ検査装置Ａと液晶アレイ検査装置Ｂの両検査が終了し、優先判定条件の第１の条件を満たす。このとき、第２の条件から検査時間が短い検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置Ａを優先させ、検査時間が長い検査時間Ｔ1の液晶アレイ検査装置Ｂを待機させる。

　液晶アレイ検査装置Ａを優先させて真空引きを行っている真空引き時間Ｔvの間は、液晶アレイ検査装置Ｂの真空引きは待機状態となる。これによって、検査時間が短い液晶アレイ検査装置Ａは、検査時間が長い液晶アレイ検査装置Ｂを追い越して先に検査を進めることが可能となる。

　次に、図３（ｂ）において、Ｔv＞｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合は第３の条件を満たしている。tcおよびtgで示す時点において、液晶アレイ検査装置Ｂの検査時間Ｔ1が終了している。この時点では優先判定条件の第１の条件を満たしていない。そこで、液晶アレイ検査装置Ｂは真空引き動作を開始する。その後、tdおよびthで示す時点において、液晶アレイ検査装置Ａの検査時間Ｔ2が終了すると、２つの液晶アレイ検査装置Ａ，Ｂの真空引きの動作が競合する状態となり、優先判定条件の第１の条件を満たす状態となる。このとき、第２の条件から検査時間が短い検査時間Ｔ2の液晶アレイ検査装置Ａを優先させ、検査時間が長い検査時間Ｔ1の液晶アレイ検査装置Ｂの真空引き動作を中断させる。

　teおよびtiで示す時点において、液晶アレイ検査装置Ａの真空引き時間Ｔvが経過すると、中断していた液晶アレイ検査装置Ｂの真空引きを再開する。液晶アレイ検査装置Ｂは、tfおよびtjで示す時点で真空引きが終了すると、検査時間を開始する。一方、液晶アレイ検査装置Ａは検査時間Ｔ2が経過した後に真空引きを開始する。

　液晶アレイ検査装置Ａを優先させて真空引きを行っている真空引き時間Ｔvの間は、液晶アレイ検査装置Ｂは真空引きを中断して待機状態とする。これによって、検査時間が短い液晶アレイ検査装置Ａは、検査時間が長い液晶アレイ検査装置Ｂを追い越して先に検査を進めることが可能となる。

　図４を用いて、本発明の優先動作による作用効果について説明する。本発明は、検査時間が短い機種の液晶アレイ検査装置を検査時間が長い機種の液晶アレイ検査装置よりもロードロック室の真空引き動作を優先的に実行させることにより、検査時間が短い液晶アレイ検査装置が、検査時間が長い液晶アレイ検査装置を追い越して先に真空引きを行って検査を進めることが可能となる。

　ここで、液晶アレイ検査装置による真空引きの追い越しとは、真空引き動作および検査動作のサイクルにおいて、先に進んでいる液晶アレイ検査装置の検査サイクルを、遅れていた他方の液晶アレイ検査装置の検査サイクルが追いついて、後から開始した検査サイクルが先に開始した検査サイクルを追い越すことを意味し、通常、一回の検査サイクルが行われる度に、遅れている検査サイクルは、検査時間の差分時間だけ遅れ分を取り戻して先行する検査サイクルに近づく。

　検査時間が短い液晶アレイ検査装置が、検査時間が長い液晶アレイ検査装置を追い越すに要する検査サイクルの回数は、例えば、max（Ｔ1、Ｔ2）／｜Ｔ1－Ｔ2｜の式で求めることができる。なお、max（Ｔ1、Ｔ2）は検査時間Ｔ1と検査時間Ｔ2の何れか長い検査時間を表し、｜Ｔ1－Ｔ2｜は検査時間Ｔ1と検査時間Ｔ2の差分の正の値を表している。

　図４（ａ）は、上記式の値が“２”の場合を示している。図４（ａ）に示しているように、液晶アレイ検査装置Ｂの検査が終了した後に、液晶アレイ検査装置Ａの検査を開始する場合、検査時間Ｔ2と真空引き時間Ｔvと待ち時間Ｔwからなる液晶アレイ検査装置Ｂの検査サイクルを１回行う間に、検査時間Ｔ1と真空引き時間Ｔvからなる液晶アレイ検査装置Ａの検査サイクルを２回行うことによって、毎検査サイクルについてほぼ｜Ｔ1－Ｔ2｜に相当する時間分だけ、液晶アレイ検査装置Ａの検査サイクルは液晶アレイ検査装置Ｂの検査サイクルに近づき、次回の検査サイクルでは先行する液晶アレイ検査装置Ｂ検査サイクルでは追いつくことになる。

　また、図４（ｂ）は、上記式の値が“４”の場合を示している。図４（ｂ）に示しているように、液晶アレイ検査装置Ｂの検査が終了した後に、液晶アレイ検査装置Ａの検査を開始する場合、検査時間Ｔ2と真空引き時間Ｔvと待ち時間Ｔwからなる液晶アレイ検査装置Ｂの検査サイクルを１回行う間に、検査時間Ｔ1と真空引き時間Ｔvからなる液晶アレイ検査装置Ａの検査サイクルを２回行うことによって、毎検査サイクルについてほぼ｜Ｔ1－Ｔ2｜に相当する時間分だけ、液晶アレイ検査装置Ａの検査サイクルは液晶アレイ検査装置Ｂの検査サイクルに近づき、４回目で先行する液晶アレイ検査装置Ｂ検査サイクルでは追いつくことになる。

　一方、Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には、優先判定の第３の条件を満たさないため、優先動作を適用しない。

　Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には、図３（ｃ）に示すように、検査時間Ｔ1が終了する前に検査時間Ｔ2が終了し、真空引き時間Ｔvの時間幅で真空引きを行った後、次回の検査サイクルに進むことができるため、検査時間がＴ2の短い機種の液晶アレイ検査装置Ａは、検査時間がＴ1の長い機種の液晶アレイ検査装置Ｂを追い越して先に検査を進めることができる。

　図５は、Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合の優先動作を説明するための図である。図５（ａ）はＴv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合に優先動作を行わない場合の例を示し、図５（ｂ）はＴv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合に優先動作を行った場合の例を示している。

　図５（ａ）の場合と図５（ｂ）の場合とを比較すると、図５（ｂ）に示すように優先動作を行った場合には、時点ｔkで液晶アレイ検査装置Ａを優先させ、液晶アレイ検査装置Ｂを待機状態とすることで、液晶アレイ検査装置Ｂの検査時間開始が時点ｔlに時点で図５（ａ）の場合よりも遅れ、全体の検査時間が長くなる場合が生じる。

　そこで、Ｔv＜｜Ｔ1－Ｔ2｜の場合には条件３から優先動作を行わないことでこのような不都合を回避する。

　次に、図６，７のフローチャートに基づいて、本発明の動作について説明する。なお、図６，７に示すフローチャートは図１に示す構成例において液晶アレイ検査装置Ａの動作例を示している。

　液晶アレイ検査装置Ａが液晶基板の検査において、ロードロック室の真空引きを開始する場合には(S1)、ネットワークを介して接続される他の液晶アレイ検査装置に問い合わせ信号を送信する。ネットワークに接続される液晶アレイ検査装置が２つの場合には、真空引きを開始する液晶アレイ検査装置は他方の液晶アレイ検査装置に対して問い合わせ信号を送信し、以下S2～S18の工程によってロードロック室の真空引きについて優先動作あるいは待機動作を行う。

　また、ネットワークに接続される液晶アレイ検査装置が３つの場合には、真空引きを開始する液晶アレイ検査装置は残りの液晶アレイ検査装置に対して問い合わせ信号を送信し(S2)、問い合わせ信号を送信した各液晶アレイ検査装置との間で、以下S3～S18の工程によってロードロック室の真空引きについて優先動作あるいは待機動作を行う。

　各液晶アレイ検査装置との間で優先動作を行うかあるいは待機動作を行うかの判定は同様であるため、以下では液晶アレイ検査装置Ａから液晶アレイ検査装置Ｂに対して問い合わせを行う場合を例として説明する。

　液晶アレイ検査装置Ａは液晶アレイ検査装置Ｂから回答信号を受信し、回答信号から液晶アレイ検査装置Ｂが液晶基板を検査する際に要する検査時間Ｔbのタクト時間情報、および、液晶アレイ検査装置Ｂが真空引きを動作中であるか、真空引き動作の動作予定があるか、あるいは真空引きの動作中でもなく動作予定もないか等のステータス情報を取得する。

　図８は各液晶アレイ検査装置が備えるタクト時間情報およびステータス情報を説明する図である。各液晶アレイ検査装置は、制御回路内の記録部にタクトテーブルおよびステータスファイルを記憶する記憶部を有する。

　タクトテーブルには、その液晶アレイ検査装置のタクト時間情報および回答信号が得られた他の液晶アレイ検査装置のタクト時間情報を記憶する。例えば、検査時間（液晶アレイ検査装置Ａの場合には検査時間Ｔa）を記録し、回答信号から取得した他の液晶アレイ検査装置の検査時間（液晶アレイ検査装置Ｂから回答信号を受信した場合には検査時間Ｔb）を記録する。

　ステータスファイルには、その液晶アレイ検査装置のステータス情報および回答信号が得られた液晶アレイ検査装置のステータス情報を記憶する。例えば、真空引きの動作中あるいは真空引き動作の予定がある場合には、“１”を設定し、真空引き動作の動作中でもなく動作予定もない場合には“０”を設定する。

　図８（ａ）はタクトテーブルおよびステータスファイルの一例を示している。図８（ｂ）において、液晶アレイ検査装置Ａおよび液晶アレイ検査装置Ｂの何れも真空引き動作の動作中でもなく動作予定もない場合には、両液晶アレイ検査装置のステータス情報として“０”を設定している。図８（ｃ）において、液晶アレイ検査装置Ａは空引き動作の動作中あるいは動作予定があり、液晶アレイ検査装置Ｂは真空引き動作の動作中でもなく動作予定もない場合には、液晶アレイ検査装置Ａのステータス情報として“１”を設定し、液晶アレイ検査装置Ｂのステータス情報として“０”を設定している。図８（ｃ）において、液晶アレイ検査装置Ａは真空引き動作の動作中でもなく動作予定もなく、液晶アレイ検査装置Ｂは空引き動作の動作中あるいは動作予定がある場合には、液晶アレイ検査装置Ａのステータス情報として“０”を設定し、液晶アレイ検査装置Ｂのステータス情報として“１”を設定している(S3)。

　取得した液晶アレイ検査装置Ｂのステータス情報に基づいて、液晶アレイ検査装置Ｂはロードロック室を真空引き中あるいは真空引きの予定があるいか、あるいは真空引き中でもなく真空引きの予定もないかを判定する。この工程は、前記した優先判定の第１の条件に対応する動作であり、液晶アレイ検査装置Ａと液晶アレイ検査装置Ｂとの間で、粗引き用真空ポンプによる真空引き動作が競合状態にあるかを判定する(S4)。

　S4の判定工程において、粗引き用真空ポンプによる真空引き動作が競合状態にないと判定された場合には、S12の工程において、ネットワークに接続される他の全ての液晶アレイ検査装置において、真空引き動作が競合状態にないと判定されるまでS2～S4の工程を繰り返す。なお、この繰り返し工程では、前記した液晶アレイ検査装置Ｂに代えて、ネットワークに接続される液晶アレイ検査装置について順に行う（S12）。液晶アレイ検査装置Ａ以外の全ての液晶アレイ検査装置との間で真空引き動作が競合状態にないと判定された場合には、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを開始する(S10)。

　S4の判定工程において、粗引き用真空ポンプによる真空引き動作が競合状態にあると判定された場合には、液晶アレイ検査装置Ａの真空引き時間Ｔvと、液晶アレイ検査装置Ａの検査時間Ｔaと液晶アレイ検査装置Ｂの検査時間Ｔbとの差分の絶対値｜Ｔa－Ｔb｜とを比較する。この比較工程は、前記した優先判定の第３の条件に対応する動作である(S5)。

　S5の判定工程において、真空引き時間Ｔvが検査時間の差分｜Ｔa－Ｔb｜よりも小さい場合には、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを開始する(S10)。

　S5の判定工程において、真空引き時間Ｔvが検査時間の差分｜Ｔa－Ｔb｜以上である場合には、液晶アレイ検査装置Ａの検査時間Ｔaと液晶アレイ検査装置Ｂの検査時間Ｔbとを比較する。この比較工程は、前記した優先判定の第２の条件に対応する動作である(S6)。

　S6の判定工程において、検査時間Ｔaが検査時間Ｔbよりも短い場合には、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置Ｂに真空引き動作を中断させる指示を行い(S11)、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを開始する(S10)。

　S6の判定工程において、検査時間Ｔaが検査時間Ｔb以上である場合には、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きの開始を待機状態とし（S7）、液晶アレイ検査装置Ｂに問い合わせ信号を送信して回答信号を受信し、液晶アレイ検査装置Ｂのステータス情報から真空引き動作を監視し（S8）、競合する液晶アレイ検査装置Ｂの真空引き動作が完了するまで待機し(S9)、競合する液晶アレイ検査装置Ｂの真空引き動作が完了した後、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを開始する(S10)。

　液晶アレイ検査装置Ａは真空引き動作を開始した後、他の液晶アレイ検査装置から中断信号を受信した場合には(S13)、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを中断する(S14)。

　中断信号を送信した液晶アレイ検査装置に問い合わせ信号を送信して回答信号を受信し(S15)、液晶アレイ検査装置のステータス情報から真空引き動作を監視し、その液晶アレイ検査装置の真空引き動作が完了するまで待機し(S16)、その液晶アレイ検査装置の真空引き動作が完了した後、液晶アレイ検査装置Ａの真空引きを再開する(S17)。液晶アレイ検査装置Ａの真空引き動作が完了した後(S18)、液晶アレイ検査装置Ａのステータスファイル中の液晶アレイ検査装置Ａのステータス情報を、真空引き動作中の状態に書き換える(S19)。

　図６，７のフローチャートは、液晶アレイ検査装置Ａが液晶アレイ検査装置Ｂとの間で行う優先判定である。

　ネットワークに３つ以上の液晶アレイ検査装置が接続されている場合には、液晶アレイ検査装置Ａは液晶アレイ検査装置Ｂとの間で優先判定を行った後、ネットワークを介して接続される他の液晶アレイ検査装置との間で同様に優先判定を行う。

　図９は、ネットワークを介して接続される液晶アレイ検査装置との間で行う優先判定を説明するためのフローチャートである。液晶アレイ検査装置Ａは液晶アレイ検査装置Ｂとの間で優先判定を行い(S21)、次に、液晶アレイ検査装置Ａは液晶アレイ検査装置Ｃとの間で優先判定を行い(S22)、以下順に他の液晶アレイ検査装置との間で優先判定を行い(S23)、この優先判定を順に繰り返す。

　図１０は、本発明の液晶アレイ検査装置の一構成例を示すブロック図である。なお、この構成例は一例であってこの構成に限られるものではなく、ＣＰＵとメモリに記録されたプログラムとによってソフトウエアによって実現する他、ハードウエアによって実現することもできる。

　液晶アレイ検査装置２は、検査室４、ロードロック室５、液晶アレイ検査装置を制御する制御回路部３とを備える。検査室４は、真空状態において液晶基板のアレイ検査を行うチャンバである。ロードロック室５は大気側から検査室４側に未検査の液晶基板を導入し、また、検査室４側から大気側に検査済みの液晶基板を導出するチャンバであり、ロードロック室５は、接続切替装置６を介してロードロック粗引き用真空ポンプ１７（図示していない）と接続切替自在としている。

　以下では、液晶アレイ検査装置２Ａが液晶アレイ検査装置２Ｂとの間で優先判定を行う場合を例として示している。

　制御回路部３は、液晶アレイ検査を行うために液晶アレイ検査装置が通常に備える制御部分の他に、本発明に特徴的な真空引きの優先判定を行って優先動作を行う制御部分を備える。

　制御回路部３は、液晶アレイ検査装置全体の制御、および優先判定並びに優先動作の制御を行う制御部３ａを備える。制御部３ａは、検査制御部３ｂを制御して検査室４で行う液晶基板のアレイ検査を制御する。また、制御部３ａは、ロードロック制御部３ｃを制御してロードロック室５で行うゲートの開閉を制御する。この検査制御部３ｂおよびロードロック制御部３ｃの制御は、液晶アレイ検査装置において通常に行う制御である。

　制御回路部３は、本発明に特徴的な真空引きの優先判定を行って優先動作を行う制御部分として、接続制御部３ｄ、記憶部３ｅ、優先判定部３ｆ、問い合わせ部３ｇ、送受信部３ｈを備える。

　接続制御部３ｄは、接続切替装置６を制御して、ロードロック室５とロードロック粗引き用真空ポンプ１７（図示していない）との接続切替を制御して、ロードロック室５の真空引きおよび大気導入を制御する。

　記憶部３ｅは、タクトテーブル３e1およびステータスファイル３e2の記憶領域を有する。タクトテーブル３e1は、液晶アレイ検査装置２Ａが液晶基板のアレイ検査に要する検査時間Ｔaの他、優先判定を行う際にネットワーク８を介して接続される他の液晶アレイ検査装置２Ｂから取得した検査時間Ｔbをタクト時間情報として記憶する。また、タクトテーブル３e1はロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間Ｔvをタクト時間情報として記憶する。

　ステータスファイル３e2は、液晶アレイ検査装置２Ａのロードロック室が真空引き動作中であるか、真空引きが予定されているか、あるいは真空引き動作中でも真空引きも予定されていないかの真空引き状態を記憶する他、優先判定を行う際にネットワーク８を介して接続される他の液晶アレイ検査装置２Ｂから取得した真空引き状態を記憶する。

　優先判定部３ｆは、真空引きを行う際に、記憶部３ｅのタクトテーブル３e1およびステータスファイル３e2に記憶されるタクト時間情報およびステータス情報を読み込んで優先判定を行う。判定結果は制御部３ａに送られ、検査制御部３ｂによる検査制御、および接続制御部３ｄによる接続切替装置６の切替制御が行われる。

　また、判定結果に基づいて、他の液晶アレイ検査装置２Ｂによる真空引きを中断させる場合には、問い合わせ部３ｇに対して中断信号の送信を制御する。

　問い合わせ部３ｇは、制御部３ａは出力する真空引き指令を受けると、ネットワーク８を介して接続される液晶アレイ検査装置に対する問い合わせ信号に送信を指示する。また、送受信部３ｈで受信した回答信号からタクト時間情報およびステータス情報を記憶部３ｅに送る。

　また、問い合わせ部３ｇは、優先判定部３ｆから中断信号の送信が指示されたときには、送受信部３ｈに対して中断信号の送信を指示する。

　送受信部３ｈは、ネットワーク８を介して問い合わせ部３ｇからの問い合わせ信号や中断信号を送信し、また、ネットワーク８を介して受信した回答信号を問い合わせ部３ｇに送る。

　本発明の液晶アレイ検査装置が備える真空引きの優先判定は、液晶基板に限らず他の半導体基板の検査装置に適用することができる。

Claims

　液晶基板を真空状態で検査する検査室と液晶基板を前記検査室に対して導出入するロードロック室とをそれぞれに備える複数台の液晶アレイ検査装置と、
　前記各ロードロック室を粗い真空度で真空引きする前記液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプとを備えた液晶アレイ検査装置システムにおいて、
　前記粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置で競合するとき、各液晶アレイ検査装置は、当該液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較し、
　前記ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、
　前記真空引き時間が前記差分時間以下のときに、前記検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させることを特徴とする液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法。
　前記液晶アレイ検査装置システムは、前記ロードロック室と前記粗引き用真空ポンプとの間の接続関係を切替え、前記各粗引き用真空ポンプを前記ロードロック室の何れか一室に切り替え自在とする接続切替装置を備え、
　前記粗引き用真空ポンプによる真空引きが複数の液晶アレイ検査装置で競合するとき、各液晶アレイ検査装置は、当該液晶アレイ検査装置の検査時間と、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、
　前記ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、
　前記真空引き時間が前記差分時間以下のときに、前記接続切替装置の切り替えを制御して検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させることを特徴とする請求項１に記載の液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法。
　前記競合する液晶アレイ検査装置の内、優先されない液晶アレイ検査装置が真空引き動作中であるときは、当該液晶アレイ検査装置の真空引き動作を中断し、
　前記優先された液晶アレイ検査装置の真空引きが終了した後、前記中断した液晶アレイ検査装置の真空引き動作を再開することを特徴とする請求項１又は２に記載の液晶アレイ検査装置システムの真空引き方法。
　液晶基板を真空状態で検査する検査室と液晶基板を前記検査室内に導出入するロードロック室をそれぞれに備える複数台の液晶アレイ検査装置と、
　前記各ロードロック室を粗い真空度で真空引きする前記液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプと、
　前記ロードロック室と前記粗引き用真空ポンプとの間の接続関係を切替え、前記各粗引き用真空ポンプを前記ロードロック室の何れか一室に切り替え自在とする接続切替装置とを備え、
　前記各液晶アレイ検査装置は、前記粗引き用真空ポンプによるロードロック室の真空引きが競合するときに、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、前記ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、
　前記真空引き時間が前記差分時間以下のときに、前記接続切替装置の切替を制御して検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させることを特徴とする液晶アレイ検査装置システム。
　前記各液晶アレイ検査装置はネットワークを介して接続し、当該ネットワークを介して競合する液晶アレイ検査装置の検査時間、および真空引きの駆動情報を取得し、
　取得した検査時間と当該液晶アレイ検査装置の検査時間とを比較し、
　取得した真空引きの駆動情報に基づいて競合状態を判定することを特徴とする請求項４に記載の液晶アレイ検査装置システム。
　液晶基板を真空状態で検査する検査室と、液晶基板を前記検査室内に導出入するロードロック室とを備える液晶アレイ検査装置において、
　前記ロードロック室は、当該ロードロック室を粗い真空度で真空引きする前記液晶アレイ検査装置の台数よりも少ない台数の粗引き用真空ポンプと、他の液晶アレイ検査装置のロードロック室の何れか一室に切り替え自在とし、
　前記粗引き用真空ポンプによるロードロック室の真空引きが競合するときに、競合する液晶アレイ検査装置の検査時間を比較し、前記ロードロック室を真空引きするに要する真空引き時間と、競合する両液晶アレイ検査装置の検査時間の差分時間とを比較し、前記真空引き時間が前記差分時間以下のときに、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室に前記粗引き用真空ポンプを接続して、検査時間が最も短い液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを優先させる優先させ、競合する液晶アレイ検査装置のロードロック室の真空引きを待機させることを特徴とする液晶アレイ検査装置。