KR101011424B1

KR101011424B1 - 액정패널용 검사장치

Info

Publication number: KR101011424B1
Application number: KR20057017847A
Authority: KR
Inventors: 히로야스 소토마
Original assignee: 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2004-03-26
Publication date: 2011-01-28
Also published as: JPWO2004086132A1; WO2004086132A1; CN100541301C; TW200423481A; CN1764868A; KR20050113249A; JP4115484B2; TWI323054B

Abstract

프로브 블럭(1)의 프로브(2)를 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿게 하여 검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서, 프로브 블럭(1)은, 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선(F) 및 신호선(S)으로 기본단자용 도전패턴(4S)을 구성하였을 때에 전체의 각 배선에 대응하도록, 프로브(2)를 삽입하는 복수의 삽입구멍(16)을 형성함과 동시에, 복수의 삽입구멍(16) 중, 공시 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)을 구성하는 각 배선에 합치하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써 구성되어 있고, 한편, 상기 프로브(2)가 삽입되지 않은 삽입구멍(16)은 빈 구멍 그대로 남긴다.

Description

액정패널용 검사장치{LIQUID CRYSTAL PANEL TESTING DEVICE}

본 발명은 액정패널용 어레이 유리에 프린트된 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성을 검사하는 액정패널용 검사장치에 관한 것이다.

일반적인 액정패널용 검사장치는, 도 8에 나타내는 바와 같이 프로브 블럭(1)의 프로브(2)를 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿게 함과 동시에, 단자용 도전패턴(4)으로부터의 신호를 프로브(2), 프로브(2)에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판(5) 및 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계 기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에서 판독함으로써 TFT(Thin Film Transistor) 및 화소의 특성검사를 행하도록 구성되어 있다.

이때 플렉시블 기판(5)은, 단자용 도전패턴(4) 중, 홀수번째의 도전체에 대응하는 플렉시블 기판(5a)과, 짝수번째의 도전체에 대응하는 플렉시블 기판(5b)으로 구성되어 있다. 또 상기 중계 기판(6)은, 플렉시블 기판(5a)이 접속하는 홀수대응 기판(6a)과, 플렉시블 기판(5b)이 접속하는 짝수대응 기판(6b)으로 구성되어 있다. 또한 상기 테스터 본체(7)는, 홀수대응 기판(6a)으로부터의 신호가 입력하는 홀수 어드레스 테스터(7a)와, 짝수대응 기판(6b)으로부터의 신호가 입력하는 짝수 어드레스 테스터(7b)로 구성되어 있다.

또한 도 8에 있어서 부호 22 및 24는 홀수 및 짝수 어드레스 테스터(17a 및 7b)에 각각 접속하는 홀수측 및 짝수측 어드레스 변환 기판이며, 부호 21 및 23은 홀수대응 기판(6a)과 홀수측 어드레스 변환 기판(22) 및 짝수대응 기판(6b)과 짝수측 어드레스 변환 기판(24)을 각각 접속하는 플렉시블 기판이다. 또한 부호 25는, 프로브 블럭(1)을 지지하는 지지 프레임이다.

상기 액정패널용 어레이 유리(3)를 구성하는 TFT 어레이 기판의 특성검사의 경우에는, 패널 점등 구동용 LSI로서의 TAB(Tape Automated Bonding) 및 PCB(Print Circuit Board : 설치 프린트기판)를 결합하는 전공정(前工程)에서 액정패널용 어레이 유리(3)의 화소신호 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 전압을 인가하여 특성검사를 행하고 있다.

이 검사는, 화소신호 단자용 도전패턴수와 같은 수의 프로브(2)를 사용하기 때문에, 복수의 프로브(2)를 가지는 프로브 블럭(1)을, 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)이 설치된 변을 따라 나열하여 세트한다. 그리고 검사에서는 홀수번째 화소단자와 짝수번째 화소단자로 나누어 화소검사신호를 보내도록 하고 있다.

이와 같은 프로브 블럭으로서, 도 9에 나타내는 프로브 블럭(1)이 제안되어 있다[예를 들면, 일본국 특개평8-222299호 공보(제 3 페이지, 제 4 페이지, 도 1)참조]

이 프로브 블럭(1)은, 액정패널용 어레이 유리(3)의 화소에 설치된 복수의 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 접촉시키기 위한 복수의 프로브(2)를 판형상의 절연 체를 적층한 본체(20)에 의하여 지지함으로써 대략 구성되어 있다.

이때 프로브(2)는, 도 9에 나타내는 바와 같이 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째와 짝수번째에 각각 대응하는 2 라인(L1, L2)으로 나누어지고(도 10 참조), 또한 각 라인(L1, L2)마다 갈짓자형상으로 설치되어 있다. 또한 프로브(2)는 윗쪽으로 돌출하는 복수의 도전성 바늘형상체의 홀수번째의 도전성 바늘형상체(11a)를, 짝수번째의 도전성 바늘형상체(11b)보다도 윗쪽으로 돌출하도록 길게 하고 있어, 양자 사이에서 돌출방향으로 높이가 다르게 되어 있다. 프로브(2)는 윗쪽의 도전성 바늘형상체(11a, 11b)의 각각과 아래쪽의 도전성 바늘형상체(10)를 도전성 코일 스프링(14)을 거쳐 연결함으로써 구성되어 있다. 검사시에는 도전성 바늘형상체(10)의 각각이, 액정패널용 어레이 유리(3)의 화소에 설치된 복수의 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 접촉하게 된다.

그리고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 긴 쪽인 홀수번째의 도전성 바늘형상체(11a)가, 윗쪽 절연판(12)의 하면에 접착된 플렉시블 기판(5a)의 홀수번째용 신호전송용 도전패턴(8)에 접촉하고, 짧은 쪽인 짝수번째의 도전성 바늘형상체(11b)가, 아래쪽 절연판(13)의 하면에 접착된 플렉시블 기판(5b)의 짝수번째용 신호전송용 도전패턴(9)에 접촉하도록 아래쪽 절연판(13)의 위에 윗쪽 절연판(12)이 일체로 겹쳐진다.

또, 도 9에 나타내는 바와 같은 장단(長短)의 도전성 바늘형상체를 사용하는 대신에 도 13에 나타내는 바와 같이 프로브로서 본체(20)의 삽입구멍(도시 생략) 내에 삽입되는 동일 길이의 한 쌍의 도전성 바늘형상체(10, 11)와 그것을 탄발 가 세하는 도전성 코일 스프링이 동축적으로 수용되도록 하여도 좋다.

이와 같이 하여 구성된 프로브 블럭(1)을 사용하여 액정패널용 검사장치를 구성하기 위해서는, 프로브(2)를 단자용 도전패턴(4)과 같은 수가 되게 설치하도록, 예를 들면 TAB와 대략 동일 폭의 크기(1 블럭)로 소유닛화된 프로브 블럭(1)을 지지 프레임(25)(도 8참조)에 병렬로 필요수 나열하여 세트하고, 또한 각 프로브 블럭(1)에 연결된 플렉시블 기판(5a 및 5b)을, 홀수번째와 짝수번째로 나누도록 중계 기판(6)의 홀수 및 짝수대응 기판(6a 및 6b)에 각각 접속함과 동시에, 이 중계 기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에 접속함으로써 전체 구성된다.

이때 액정패널은, 품종이 다르면 단자용 도전패턴(4)도 다르기 때문에, 프로브 블럭(1)내의 프로브(2)의 배열이나, 플렉시블 기판(5)이나 중계 기판(6)의 배선갯수나 배선위치는, 피검사체로서의 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 합치하도록 설계된다.

즉, 도 11(a) 내지 도 11(d)는, 액정패널용 어레이 유리(3)에 프린트되는 1블럭당의 단자용 도전패턴을 나타내고 있다. 그리고 예를 들면 A 품종의 액정패널의 단자용 도전패턴(4A)은, 384개의 신호선(S)과, 이 신호선(S)의 양쪽부분에 설치된 4개의 기능선(F, F)으로 구성되어 있다[도 11(a) 참조]. 또 예를 들면 B 품종의 액정패널의 단자용 도전패턴(4B)은, 384개의 신호선(S)과, 이 신호선(S)의 양쪽 부분에 설치된 2개의 기능선(F, F)으로 구성되어 있다[도 11(b) 참조]. 또 예를 들면 C 품종의 액정패널의 단자용 도전패턴(4C)은, 384개의 신호선(S)과, 이 신호선(S)의 양쪽부분에 설치된 8개의 기능선(F, F)으로 구성되어 있다[도 11(c) 참조 ]. 또한 예를 들면 D 품종의 액정패널의 단자용 도전패턴(4D)은, 384개의 신호선(S)과, 이 신호선(S)의 양쪽부에 설치된 2개씩 이간시킨 4개의 기능선(F, F)으로 구성되어 있다[도 11(d) 참조].

또, 도 11에 있어서, 부호 L1, L2는 상기한 바와 같이 단자용 도전패턴(4A)(4B, 4C, 4D)의 홀수번째와 짝수번째에 각각 대응하는 프로브 블럭(1)내의 프로브(2)의 2 라인을 나타내고 있고, 각각 액정셀의 품종에 따라 2라인(L1, L2)을 구성하는 프로브(2)의 배치 및 갯수가 다른 전용 프로브 블럭이 적용되어 있다.

즉, A 품종[단자용 도전패턴(4A)]에 대해서는 프로브 블럭(1A)이, B 품종[단자용 도전패턴(4B)]에 대해서는 프로브 블럭(1B)이, C 품종[단자용 도전패턴(4C)]에 대해서는 프로브 블럭(1C)이, D 품종[단자용 도전패턴(4D)]에 대해서는 프로브 블럭(1D)이 각각 적용되어 있다.

또, 도 12(a), 도 12(b)는, 액정패널용 어레이 유리에 프린트되는 1 블럭당의 단자용 도전패턴(4)과, 프로브(2)와, 플렉시블 기판(5)과, 중계 기판(6)과의 접속상태를 나타내고 있다.

즉, 도 12(a)는 상기한 A 품종의 액정패널에 대한 접속상태를 나타내고 있고, 단자용 도전패턴(4A)에 대하여, 프로브(2) 및 플렉시블 기판(5)은 1 대 1로 접속됨과 동시에, 플렉시블 기판(5)과 중계 기판(6)도 1 대 1로 접속되어 있다.

또, 도 12(b)는 상기한 B 품종의 액정패널에 대한 접속상태를 나타내고 있고, 단자용 도전패턴(4B)에 대하여, 프로브(2) 및 플렉시블 기판(5)은 1 대 1로 접속됨과 동시에, 플렉시블 기판(5)과 중계 기판(6)도 1 대 1로 접속되어 있다. 또 한 도 12(a), 도 12(b)에 있어서, 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)의 부분에서 나타내고 있는 실선은, 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)의 각 배선을 나타내고 있다.

이와 같이 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)에 있어서도, 각각 액정패널의 품종에 따라 배선의 배치 및 갯수가 다른 전용 플렉시블 기판 및 중계 기판이 적용되어 있다. 즉, A 품종[단자용 도전패턴(4A)]에 대해서는 196개의 배선을 가지는 홀수(짝수) 대응 플렉시블 기판(5a)(5b) 및 홀수(짝수)대응 기판(6a)(6b)이, B 품종[단자용 도전패턴(4B)]에 대해서는 194개의 배선을 가지는 홀수(짝수)대응 플렉시블 기판(5a)(5b) 및 홀수(짝수)대응 기판(6a)(6b)이, 각각 적용되어 있다.

이와 같이 구성된 종래의 액정패널용 검사장치에 있어서는, 프로브(2)를, 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째와 짝수번째에 각각 대응하는 2라인(L1, L2)으로 나누고, 다시 각 라인(L1, L2)마다 갈짓자형상으로 설치하였기 때문에, 단자용 도전패턴의 좁은 피치화에 충분 히 대응할 수 있으나, 프로브 블럭(1) 내의 프로브(2)의 갯수나 배치위치 및 플렉시블 기판(5)이나 중계 기판(6)의 배선갯수나 배선위치는, 피검사체로서의 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 합치하도록 설계되는 것이기 때문에, 기설정된 품종의 액정패널용으로서 설계된 프로브 블럭, 플렉시블 기판 및 중계 기판은, 다른 품종의 액정패널에는 적용할 수 없다.

이 때문에 종래의 액정패널용 검사장치는, 프로브 블럭, 플렉시블 기판 및 중계 기판을 양산할 수 없어, 그 때마다 이들을 피검사체로서의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴에 합치시켜 신규로 제작할 필요가 있기 때문에, 고비용을 초래할 뿐만 아니라, 제작시간도 길게 걸려 납기 내의 제작과정의 번잡화를 초래하고 있다는 과제를 가지고 있다.

따라서, 본 발명은 품종이 상위하는 액정패널의 검사에 적용되는 검사장치 사이에서 프로브 블럭, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 공통화를 도모할 수 있고, 또 이들 부재의 양산화에 의하여 제작이 용이하고, 비용의 저감 및 납기 단축을 모두 도모할 수 있는 액정패널용 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 목적은, 적어도 상기한 과제를 해결하는 것이다.

본 발명의 액정패널용 검사장치는, 프로브 블럭의 프로브를, 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴에 맞닿게 함과 동시에, 상기 단자용 도전패턴으로부터의 신호를 상기 프로브, 상기 프로브에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판 및 상기 플렉시블 기판의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계 기판을 거쳐 테스터 본체에서 판독함으로써 상기 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서, 상기 프로브 블럭은, 상기 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선 및 신호선으로 기본단자용 도전패턴을 구성하였을 때에 전체의 각 배선에 대응하도록 상기 프로브를 삽입하는 복수의 삽입구멍을 형성함과 동시에, 상기 복수의 삽입구멍 중, 공시(供試; 성능이나 강도를 조사하기 위한 시험·실험에 제공하는 일) 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴을 구성하는 각 배선에 합치하는 삽입구멍에 상기 프로브를 삽입함으로써 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 때문에 본 발명에서는 프로브 블럭의 복수의 삽입구멍은, 기본단자용 도전패턴을 상정하여, 이 패턴의 각 배선에 대응하는 것으로서 형성된다. 이때 기본단자용 도전패턴은, 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선 및 신호선으로 구성되기 때문에, 프로브 블럭은 최대 갯수의 삽입구멍을 가지고 있고, 그 최대 갯수의 삽입구멍 중, 공시 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴을 구성하는 각 선에 합치하는 삽입구멍에만 프로브를 삽입함으로써 구성된다. 프로브가 삽입되지 않은 삽입구멍은, 빈 구멍 그대로 남겨진다. 이에 의하여 프로브 블럭은 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있다.

이상 설명한 것과, 본 발명의 그 밖의 목적, 특징, 이점을 이하의 발명의 상세한 설명으로부터 분명하게 한다.

도 1은 본 발명의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 2는 A 품종의 액정패널에 적용하였을 때의 본 발명의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 3은, B 품종의 액정패널에 적용하였을 때의 본 발명의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 4는 C 품종의 액정패널에 적용하였을 때의 본 발명의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 5는 D 품종의 액정패널에 적용하였을 때의 본 발명의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 6은 본 발명의 액정패널용 검사장치의 편면 기판으로 이루어지는 중계 기판 상의 전기적 접속상태를 설명하는 평면도,

도 7은 본 발명의 액정패널용 검사장치의 양면 기판 또는 다층 기판으로 이루어지는 중계 기판 상의 전기적 접속상태를 설명하는 평면도,

도 8은 액정패널용 검사장치의 전체의 전기접속계통을 설명하기 위한 개략 설명도,

도 9는 종래의 액정패널용 검사장치의 주요부 단면도,

도 10은 종래의 액정패널용 검사장치의 단자용 도전패턴에 대한 프로브의 맞닿음상태를 설명하기 위한 설명도,

도 11(a) ~ 도 11(d)는 품종이 다른 액정패널의 단자용 도전패턴의 1 블럭당 의 평면도,

도 12(a), 도 12(b)는 품종이 다른 액정패널에 적용하였을 때의 종래의 액정패널용 검사장치의 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 1 블럭당의 프로브 블럭, 프로브 블럭의 삽입구멍에 삽입된 프로브, 플렉시블 기판 및 중계 기판의 상호의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,

도 13은 다른 액정패널용 검사장치의 사시도이다.

이하에, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한 이 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 액정검사장치를 첨부하는 도면과 함께 나타내는 이하의 실시형태에 의거하여 설명한다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다. 또한 도 8∼도 13에 나타내는 것과 동일부재 및 동일기능을 가지는 부재는, 동일부호를 붙이고 있다.

본 발명에 관한 액정패널용 검사장치는, 구성부재의 구조를 다르게 할 뿐이고, 전체의 접속계통은 종래장치와 동일하게 구성되어 있다.

즉, 본 발명에 적용할 수 있는 일반적인 액정패널용 검사장치의 전체의 접속계통은, 도 8에 나타내는 바와 같이 프로브 블럭(1)의 프로브(2)를 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿게 함과 동시에, 단자용 도전패턴(4)으로부터의 신호를 프로브(2), 프로브(2)에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판(5) 및 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계 기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에서 판독함으로써 단자용 도전패턴(4)의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하도록 구성되어 있다.

이때 프로브(2)와 플렉시블 기판(5)과의 접속은, 플렉시블 기판(5)의 도전부에 프로브(2)의 선단을 직접 맞닿게 하는 직접 접속 외에, 프로브 블럭(1)에 고정 설치한 프린트 기판을 거쳐 접속하는 간접 접속도 채용되고 있다. 이 간접 접속은, 예를 들면 프린트 기판의 한쪽 끝측에 프로브(2)의 선단을 맞닿게 함과 동시에, 다른쪽 끝측에 예를 들면 커넥터, 이방성 접착제, 땜납 등에 의하여 플렉시블 기판(5)을 접속시킴으로써 행하여진다.

도 1은 본 발명에 관한 액정패널용 검사장치의, 프로브 블럭(1)으로부터 중계 기판(6)까지의, 단위 블럭당의 각 구성부재의 구조 및 구성부재 사이의 접속상태를 설명하는 모식도이다.

먼저, 프로브 블럭(1)은 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선(F) 및 신호선(S)으로 기본단자용 도전패턴(4S)을 구성하였을 때에 전체의 각 선에 대응하도록 프로브(2)를 삽입하는 복수의 삽입구멍(16)(도 9 참조)을 형성함과 동시에, 복수의 삽입구멍(16) 중, 공시 액정패널의 단자용 도전패턴을 구성하는 각 선에 합치하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써 구성되어 있다. 도 1에 있어서 기본단자용 도전패턴(4S)상의 ○은 프로브(2)가 삽입되어 있지 않은 삽입구멍(16)을 나타내고, ●는 프로브(2)가 삽입되어 있는 삽입구멍(16)을 나타내고 있다.

여기서 상기 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선(F)의 수는 20 미만이다.

이 기본단자용 도전패턴(4S)은, 액정패널을 구동하는 드라이버 IC의 아웃수에 의하여 결정되는 신호선(S)과, 각 사용자의 요구사양에 의해 다른 기능선(F)으로 이루어지는 경험칙으로부터 구해지는 가상 패턴으로, 예를 들면 중앙에 설치되는 신호선(S)을 240∼480개의 배선으로 구성함과 동시에, 이 신호선(S)의 양쪽부분에 설치되는 각 기능선(F)을 3∼20개의 배선으로 구성함으로써 전체 구성된다.

프로브 블럭(1)은 기본단자용 도전패턴(4S)의 각 선에 대응하는 복수의 삽입구멍(16)을 가지고 구성되는 것으로, 예를 들면 232∼520개의 삽입구멍(16)을 설치하여 구성된다. 이때 프로브 블럭(1) 내의 프로브(2)의 2 라인(L1, L2)에 각각 116∼260개의 삽입구멍(16)이 설치된다.

상기 삽입구멍(16)이 232개인 경우는, 신호선(S)이 192개를 상정하고, 기능선(F)의 수를 20개로 한 경우이다. 또 상기 삽입구멍(16)이 520개인 경우는, 신호선(S)이 480개를 상정하고, 기능선의 수를 20개로 한 경우이다.

이와 같이 프로브 블럭(1)의 복수의 삽입구멍(16)은 기본단자용 도전패턴(4) (S)을 상정하여, 이 패턴(4S)의 각 선에 대응하는 것으로서 형성된다. 이때 기본단자용 도전패턴(4S)은 경험칙에 의하여 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선(F) 및 신호선(S)으로 구성되기 때문에, 프로브 블럭(1)은 경험칙으로부터 구해지는 최대 갯수의 삽입구멍(16)을 가지고 있고, 그 최대 갯수의 삽입구멍(16) 중, 공시 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴을 구성하는 각 선에 합치하는 삽입구멍(16)에만 프로브(2)를 삽입함으로써 구성된다. 프로브(2)가 삽입되지 않은 삽입구멍(16)은, 빈 구멍 그대로 남겨진다. 이에 의하여 프로브 블럭(1)은 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있다.

이 결과, 통합하여 양산화할 수 있어, 사전에 재고관리를 할 수 있다. 그 결과, 납품에 시간을 요하는 일이 없기 때문에, 액정패널용 검사장치의 저비용화에 기여할 수 있다.

또, 바람직하게는 본 장치에 있어서의 플렉시블 기판(5)은, 기본단자용 도전패턴(4S)의 기능선(F) 및 신호선(S) 중, 홀수번째 및 짝수번째의 기능선(F) 및 신호선(S)에 각각 합치하는 갯수 및 배치의 도전체(17a 및 17b)를 가지고 각각 형성되는 홀수대응 기판(5a) 및 짝수대응 기판(5b)으로 구성된다. 홀수대응 기판(5a) 및 짝수대응 기판(5b)은 예를 들면 125∼260개의 도전체(17a 및 17b)로 각각 구성된다.

이 플렉시블 기판(5)은, 홀수대응 기판(5a) 및 짝수대응 기판(5b)을 각 1개씩 가지고 구성될 뿐만 아니라, 단자용 도전패턴의 배선수가 증가하여 좁은 피치화가 고도로 진행되는 경우는 홀수대응 기판(5a) 및 짝수대응 기판(5b)을 각 2개(또는 그 이상)씩 가지고 구성하는 경우도 있다.

이 구성에서는 플렉시블 기판(5), 기본단자용 도전패턴(4S)의 전 기능선(F) 및 신호선(S)이 대상으로, 홀수번째의 전 기능선(F) 및 신호선(S)에 합치하는 갯수 및 배치의 도전체(17a)를 가지는 홀수대응 플렉시블 기판(5a)과, 짝수번째의 전 기능선(F) 및 신호선(S)에 합치하는 갯수 및 배치의 도전체(17b)를 가지는 짝수대응 플렉시블 기판(5b)으로 구성되어 있기 때문에, 프로브(2)가 삽입된 삽입구멍(16)이 프로브 블럭(1)의 전 삽입구멍(16)의 어느 것이더라도 프로브(2)와의 접속이 도모된다. 이때 프로브(2)가 삽입되지 않은 삽입구멍(16)(도면 중, ○으로 나타낸다)에 대응하는 도전체(17a)(17b)는, 불접속 도전체로서 그대로 남는다. 이에 의하여 플렉시블 기판(5)은, 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있다.

더욱 바람직하게는 본 장치에 있어서의 중계 기판(6)은, 기본단자용 도전패턴(4S)을 구성하는 기능선(F) 및 신호선(S)에 각각 대응하는 기능부(18) 및 신호부(19)를 구비하고 있음과 동시에, 기능부(18)를 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)에 각각 대응하는 홀수대응 기능부(18a) 및 짝수대응 기능부(18b)로 구성하고, 신호부(19)를 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)에 각각 합치하는 갯수 및 배치의 도전체(26 및 27)를 가지고 각각 형성되는 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 신호부(19b)로 구성하고, 홀수대응 기능부(18a) 및 홀수대응 신호부(19a)로 홀수대응 기판(6a)을 구성함과 동시에 짝수대응 기능부(18b) 및 짝수대응 신호부(19b)로 짝수대응 기판(6b)을 구성함으로써 전체 구성되어 있다.

이때 홀수대응 플렉시블 기판(5a)과 홀수대응 기능부(18a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)과 짝수대응 기능부(18b)가 각각 점퍼선(28)을 거쳐 접속됨과 동시에, 홀수대응 플렉시블 기판(5a)과 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)과 짝수대응 신호부(19b)가, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체(26/17a 및 27/17b) 끼리의 접속에 의하여 접속된다. 이 도전체 끼리의 접속에는 통상 커넥터가 사용된다.

이 구성에서는 중계 기판(6)은, 기본단자용 도전패턴(4S)을 구성하는 기능선(F) 및 신호선(S)에 각각 대응하는 기능부(18) 및 신호부(19)를 구비하고 있기 때문에 기능부(18) 및 신호부(19)는, 액정패널용 어레이 유리(3)의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선(F) 및 신호선(S)에 대응할 수 있다. 이때 기능부(18)를 구성하는 홀수대응 기능부(18a) 및 짝수대응 기능부(18b)는, 각각 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)에 점퍼선(28)을 거쳐 접속하도록 하였기 때문에 필요부분을 적확하게 접속할 수 있음과 동시에, 접속에 관여하지 않는 다른 홀수대응 기능부(18a) 및 짝수대응 기능부(18b)는 불접속 기능부로서 그대로 남겨진다.

이 점퍼선(28)의한 접속은, 구체적으로는 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 중계 기판(6)은 적절히 격리시켜 고정 설치된 2개의 커넥터(C1, C2)와, 이 2개의 커넥터(C1, C2) 사이를 전기적으로 접속하여 배선되는 신호선(S)과, 2개의 커넥터(C1, C2)에 양쪽 끝을 전기적으로 접속함과 동시에 중간부분을 분단하여 배선되는 기능선(F)과, 이 기능선(F)의 상기 분단부분의 양쪽 끝에 각각 접속됨과 동시에 노출시켜 배치되는 한 쌍의 단자부(f1, f2)를 가지고 구성되어 있고, 한 쌍의 단자부(f1, f2) 사이를 점퍼선(28)으로 접속함으로써 행하여진다. 이 때 2개의 커넥터(C1, C2) 중, 한쪽의 커넥터(C1)에는 홀수(짝수)대응 플렉시블 기판(5a)(5b)이 접속되고, 다른쪽 커넥터(C2)에는 테스터 본체(7)에 접속하는 플렉시블 기판(21)(23)이 접속된다.

또한 도 6은 중계 기판(6)을 편면 기판으로 구성한 예이고, 도 7은 중계 기판(6)을 양면 기판 또는 다층 기판으로 구성한 예이다. 도 7에 있어서 부호 h는, 기판의 상면 및 하면에 각각 설치되는 배선 끼리를 전기적으로 접속하는 관통구멍이다.

또, 도 1에 나타내는 바와 같이, 신호부(19)를 구성하는 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 신호부(19b)는 각각 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)에, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체(26/17a 및 27/17b) 끼리의 접속에 의하여 접속됨과 동시에, 접속에 관여하지 않는 다른 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 신호부(19b)는, 불접속 신호부로서 그대로 남겨진다. 이에 의하여 중계 기판(6)은 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수있다.

구체적으로는 도전체(26)(27)는, 홀수(짝수)대응 플렉시블 기판(5a)(5b)에 접속되는 상기 한쪽의 커넥터와, 테스터 본체(7)에 접속되는 상기 다른쪽 커넥터와의 사이를 접속하도록 중계 기판(6)상에 배선되어 구성되어 있다.

이하, 도 2 내지 도 5에 나타내는 구체예에 대하여 설명한다. 도 2 내지 도 5에 있어서 2 라인(L1, L2)에 대응하는 ●은 프로브(2)가 삽입되어 있는 삽입구멍(16)을 나타내고, 2라인(L1, L2)에 대응하는 ○은 프로브(2)가 삽입되어 있지 않은 삽입구멍(16)을 나타내고 있다.

이 구체예에 적용되는 본 장치는, 2 라인(L1, L2)에 각각 200개의 삽입구멍 (16)을 설치한 프로브 블럭(1)과, 200개의 도전체(17a)를 구비하는 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 200개의 도전체(17b)를 구비하는 짝수대응 플렉시블 기판(5b)으로 이루어지는 플렉시블 기판(5)과, 홀수대응 기판(6a) 및 짝수대응 기판(6b)으로 이루어지는 중계 기판(6)을 구비하여 구성되어 있다.

더욱 상세하게는 중계 기판(6)은, 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 신호부(19b)의 각 도전체(26, 27)의 합계가 384개로 구성됨과 동시에, 이 홀수대응 신호부(19a)와 그 양쪽부분에 설치되는 3개의 단자(F1, F2, F3)로 이루어지는 홀수대응 기능부(18a, 18a)로 이루어지는 홀수대응 기판(6a)과, 상기 짝수대응 신호부(19b)와 그 양쪽부분에 설치되는 3개의 단자(F1, F2, F3)로 이루어지는 짝수대응 기능부(18b, 18b)로 이루어지는 짝수대응 기판(6b)으로 구성되어 있다. 이 홀수대응 기능부(18a) 및 짝수대응 기능부(18b)를 구성하는 3개의 단자(F1, F2, F3)는 테스터사양에 의한다.

도 2는 단자용 도전패턴(4A)을 가지는 A 품종의 액정패널에 대한 적용예로서, 본 장치는 단자용 도전패턴(4A)의 전 배선에 대응하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써, 단자용 도전패턴(4A)에 대응하는 프로브 블럭(1)을 구성할 수 있다. 프로브 블럭(1)의 모든 프로브(2)는, 대응하는 플렉시블 기판(5)의 도전체(17a, 17b)에 접속되어 있다. 단자용 도전패턴(4A)은, 384개의 신호선과, 이 신호선의 양쪽부분에 형성되는 4개의 기능선으로 구성되어 있다.

또한 중계 기판(6)은, 그 홀수대응 기판(6a)에 설치된 홀수대응 기능부(18a, 18a)의 각 단자(F1, F2)가 홀수대응 플렉시블 기판(5a)의 도전체(17a)에, 및 짝수 대응 기판(6b)에 설치된 짝수대응 기능부(18b, 18b)의 각 단자(F1, F2)가 짝수대응 플렉시블 기판(5b)의 도전체(17b)에 각각 점퍼선(28)을 거쳐 접속되어 있고, 또 홀수대응 플렉시블 기판(5a)과 홀수대응 신호부(19a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)과 짝수대응 신호부(19b)가, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체(26/17a 및 27/17b) 끼리의 접속에 의하여 접속되어 있다.

도 3은 단자용 도전패턴(4B)을 가지는 B 품종의 액정패널에 대한 적용예로서, 본 장치는, A 품종의 액정패널에 적용한 것과, 동일한 프로브 블럭(1), 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)을 사용하여 구성되어 있다. 단자용 도전패턴(4B)은, 384개의 신호선과, 이 신호선의 양쪽부분에 형성되는 2개의 기능선으로 구성되어 있다.

이때 프로브 블럭(1)은, 단자용 도전패턴(4B)의 전 배선에 대응하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써 구성되어 있다. 그리고 프로브 블럭(1) 내의 전 프로브(2)는, 플렉시블 기판(5)의 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b) 중 어느 한쪽 끝에 접속되어 있고, 또한 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)의 다른쪽 끝은, 각각 중계 기판(6)의 홀수 및 짝수대응 기판(6a 및 6b)에 접속되어 있다. 이때 기능부(18)는, 홀수 및 짝수대응 기능부(18a 및 18b)의 단자(F1)가 점퍼선(28)을 거쳐 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)에 각각 접속되어 있고, 신호부(19)는, 홀수 및 짝수대응 신호부(19a 및 19b)와 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)이, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체 끼리의 접속에 의하여 접속되어 있다.

도 4는 단자용 도전패턴(4C)을 가지는 C 품종의 액정패널에 대한 적용예로서, 본 장치는, A 품종의 액정패널에 적용한 것과 동일한 프로브 블럭(1), 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)을 사용하여 구성되어 있다. 단자용 도전패턴(4C)은, 384개의 신호선과, 이 신호선의 양쪽부분에 형성되는 8개의 기능선으로 구성되어 있다.

이때 프로브 블럭(1)은, 단자용 도전패턴(4C)의 전 배선에 대응하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써 구성되어 있다. 그리고 프로브 블럭(1) 내의 전 프로브(2)는, 플렉시블 기판(5)의 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b) 중 어느 한쪽 끝에 접속되어 있고, 또한 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)의 다른쪽 끝은 각각 중계 기판(6)의 홀수 및 짝수대응 기판(6a 및 6b)에 접속되어 있다. 이때 기능부(18)는, 홀수 및 짝수대응 기능부(18a 및 18b)의 단자(F1, F2, F3)가 점퍼선(28)을 거쳐 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)에 각각 접속되어 있고[이때 단자(F2)는 2개의 점퍼선(28)으로 접속되어 있다], 신호부(19)는, 홀수 및 짝수대응 신호부(19a 및 19b)와 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)이, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체 끼리의 접속에 의하여 접속되어 있다.

도 5는 단자용 도전패턴(4D)을 가지는 D 품종의 액정패널에 대한 적용예로서, 본 장치는, A 품종의 액정패널에 적용한 것과 동일한 프로브 블럭(1), 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)을 사용하여 구성되어 있다. 단자용 도전패턴(4D)은, 384개의 신호선과, 이 신호선의 양쪽부분에 형성되는 2개씩 격리시킨 4개의 기능선 으로 구성되어 있다.

이때 프로브 블럭(1)은, 단자용 도전패턴(4D)의 전 배선에 대응하는 삽입구멍(16)에 프로브(2)를 삽입함으로써 구성되어 있다. 그리고 프로브 블럭(1) 내의 전 프로브(2)는, 플렉시블 기판(5)의 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b) 중 어느 한쪽 끝에 접속되어 있고, 또한 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)의 다른쪽 끝은, 각각 중계 기판(6)의 홀수 및 짝수대응 기판(6a 및 6b)에 접속되어 있다. 이 때 기능부(18)는, 홀수 및 짝수대응 기능부(18a 및 18b)의 단자(F1, F2)가 교차하는 2개의 점퍼선(28)을 거쳐 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)에 각각 접속되어 있고, 신호부(19)는, 홀수 및 짝수대응 신호부(19a 및 19b)와 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)이, 삽입구멍(16)에 삽입된 프로브(2)에 대응하는 도전체 끼리의 접속에 의하여 접속되어 있다.
이와 같이, 도 2 내지 도 5에 각각 나타낸 A∼D 품종의 액정패널에 적용되는 액정패널용 검사장치는, 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴이 품종에 따라 다름에도 불구하고, 프로브(2)가 삽입되어 있지 않은 프로브 블럭(1), 플렉시블 기판(5) 및 중계 기판(6)을 공통으로 하여 구성할 수 있다.

삭제

이상의 구체적인 설명에 있어서는, 신호선으로서 구체적으로 384개의 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 420개, 480개 등의 신호선에 적용할 수 있는 것은 물론이다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 프로브를 삽입하는 삽입구멍은, 경험칙에 의하여 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선 및 신호선으로 구성되는 기본단자용 도전패턴을 상정하여, 이 패턴의 각 배선에 대응하는 것으로서 형성되기 때문에, 프로브 블럭은 각 품종의 공시 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 배선의 갯수를 충분히 상회하는 갯수의 상기 삽입구멍을 가지고 구성된다. 이 때문에 프로브 블럭은, 공시 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 각 배선에 합치하는 삽입구멍에만 프로브를 삽입하여 구성할 수 있기 때문에, 프로브가 삽입되어 있지 않은 프로브 블럭을, 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있고, 또 상기 프로브 블럭의 양산화에 의하여 제작이 용이하여, 비용의 저감 및 납기 단축을 모두 도모할 수 있는 액정패널용 검사장치를 제공할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면 플렉시블 기판은, 기본단자용 도전패턴의 전 기능선 및 신호선이 대상으로, 홀수번째의 전 기능선 및 신호선에 합치하는 갯수 및 배치의 도전체를 가지는 홀수대응 플렉시블 기판과, 짝수번째의 전 기능선 및 신호선에 합치하는 갯수 및 배치의 도전체를 가지는 짝수대응 플렉시블 기판으로 구성되어 있기 때문에, 프로브를 삽입하는 삽입구멍이 프로브 블럭의 전 삽입구멍의 어느 것이더라도 상기 프로브와의 접속을 도모할 수 있고, 이에 의하여 상기 발명의 효과에 더하여 플렉시블 기판을, 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있고, 또 플렉시블 기판의 양산화에 의하여 제작이 용이하여 비용의 저감 및 납기 단축을 모두 도모할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면 중계 기판은, 기본단자용 도전패턴을 구성하는 기능선 및 신호선에 각각 대응하는 기능부 및 신호부를 구비하고 있고, 상기 기능부를 구성하는 홀수대응 기능부 및 짝수대응 기능부가, 각각 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판에 점퍼선을 거쳐 접속됨과 동시에, 상기 신호부를 구성하는 홀수대응 신호부 및 짝수대응 신호부가, 각각 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판에, 삽입구멍에 삽입된 프로브에 대응하는 도전체 끼리의 접속에 의하여 접속할 수 있기 때문에, 상기 발명의 효과에 더하여 중계 기판을, 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있고, 또 중계 기판의 양산화에 의하여 제작이 용이하여 비용의 저감 및 납기 단축을 모두 도모할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 관한 액정검사장치는, 공시 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴의 각 배선에 합치하는 삽입구멍에만 프로브를 삽입하여 구성할 수 있기 때문에, 프로브가 삽입되어 있지 않은 프로브 블럭을, 품종이 상위하는 액정패널 사이에서 공통하여 적용할 수 있어, 비용의 저감 및 납기 단축을 모두 도모할 수 있고, 품종이 상위하는 액정패널의 검사에 적용되는 검사장치 사이에서 프로브 블럭의 공통화를 도모할 수 있으며, 액정패널용 어레이 유리에 프린트된 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성을 검사하는 것에 사용하기 적합하다.

Claims

프로브 블럭의 프로브를, 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴에 맞닿게 함과 동시에, 상기 단자용 도전패턴으로부터의 신호를 상기 프로브, 상기 프로브에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판 및 상기 플렉시블 기판의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계 기판을 거쳐 테스터 본체에서 판독함으로써 상기 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서,

상기 프로브 블럭은, 상기 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선 및 신호선으로 기본단자용 도전패턴을 구성하였을 때에 전체의 각 배선에 대응하도록, 상기 프로브를 삽입하는 복수의 삽입구멍을 형성함과 동시에, 상기 복수의 삽입구멍 중 공시(供試) 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴을 구성하는 각 배선에 합치하는 삽입구멍에 상기 프로브를 삽입함으로써 구성되고,

상기 플렉시블 기판은, 상기 기본단자용 도전패턴의 기능선 및 신호선 중, 홀수번째 및 짝수번째의 기능선 및 신호선에 각각 합치하는 갯수 및 배치의 도전체를 가지고 각각 형성되는 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판으로 구성되고,

상기 중계 기판은, 상기 기본단자용 도전패턴을 구성하는 기능선 및 신호선에 각각 대응하는 기능부 및 신호부를 구비하고 있음과 동시에, 상기 기능부를 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판에 각각 대응하는 홀수대응 기능부 및 짝수대응 기능부로 구성하고, 상기 신호부를 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판에 각각 합치하는 갯수 및 배치의 도전체를 가지고 각각 형성되는 홀수대응 신호부 및 짝수대응 신호부로 구성하고, 상기 홀수대응 기능부 및 홀수대응 신호부로 홀수대응 기판을 구성함과 동시에 상기 짝수대응 기능부 및 짝수대응 신호부로 짝수대응 기판을 구성함으로써 전체 구성되어 있고, 또한 상기 홀수대응 플렉시블 기판과 상기 홀수대응 기능부 및 상기 짝수대응 플렉시블 기판과 상기 짝수대응 기능부가 각각 점퍼선을 거쳐 접속됨과 동시에, 상기 홀수대응 플렉시블 기판과 상기 홀수대응 신호부 및 상기 짝수대응 플렉시블 기판과 상기 짝수대응 신호부가, 상기 삽입구멍에 삽입된 프로브에 대응하는 도전체 끼리의 접속에 의하여 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액정패널용 검사장치.
제 1항에 있어서,

상기 액정패널의 요구사양에 의거하는 최대 갯수의 기능선이 20개 이하인 것을 특징으로 하는 액정패널용 검사장치.
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