KR100774016B1 - 액정패널용 검사장치 - Google Patents

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니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
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Abstract

복수개의 프로브 블럭(1)을 액정패널(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿게 하여 검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서, 프로브 블럭(1)의 각각에 설치되는 각 플렉시블 기판(5)마다에 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)을 중계기판(6) 내의 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)의 설치위치에 따라 서로 나누어 그 각 접속단부(5A, 5B)를 각각 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)에 점차로 근접시켜 접속한다. 이에 의하여 플렉시블 기판(5)의 각 접속단부(5A, 5B)와 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)의 접속배선(15)을 적극 짧게 설정할 수 있음과 동시에 접속배선(15)의 교차상태의 출현을 피하여 간소화를 도모할 수 있다.

Description

액정패널용 검사장치{EXAMINING INSTRUMENT FOR LIQUID CRYSTAL PANEL}
본 발명은 액정패널용 어레이 유리에 프린트된 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 관한 것이다.
종래의 액정패널용 검사장치는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 프로브 블럭(1)의 프로브(2)를 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿게 함과 동시에, 단자용 도전패턴(4)으로부터의 신호를 프로브(2), 프로브(2)에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판(5) 및 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에서 판독함으로써 단자용 도전패턴(4)의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하도록 대략 구성되어 있다.
이때 프로브 블럭(1)은 공시(供試; 실험이나 시험에 제공하는 것) 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿는 복수의 프로브(2)를 구비하고 있고, 단자용 도전패턴(4)의 블럭수에 대응시켜 복수개 설치된다(도 4 참조). 복수개의 프로브 블럭(1)의 각각에는 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째 및 짝수번째의 배선에 각각 맞닿는 프로브(2)와 한쪽 끝측을 전기적으로 접속하는 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)으로 이루어지는 플렉시블 기판(5)이 설치되어 있다.
그리고 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측은 프로브 블럭(1)마다 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)의 각 다른쪽 끝측을 어드레스 변환기능이 구비된 중계기판(6)내의 홀수대응 어드레스부(6a) 및 짝수대응 어드레스부(6b)에 각각 접속시킴으로써 중계기판(6)에 접속하고 있다.
테스터 본체(7)는, 복수의 프로브 핀(P)이 설치되어 있고(예를 들면, 1200∼2000개), 이 프로브 핀(P)이 중계기판(6)에 설치된 같은 수의 랜드(L)에 맞닿아 중계기판(6)과의 전기적 접속이 도모되어 있다. 또한 도 3에 있어서 부호 21은 프로브 블럭(1)을 지지하는 지지 프레임이다.
액정패널을 구성하는 TFT 어레이 기판의 특성검사의 경우에는, 패널 점등 구동용 LSI로서의 TAB 및 PCB(실장 프린트기판)를 결합하는 전공정에서 액정패널용 어레이 유리(3)의 화소신호 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 전압을 인가하여 특성검사를 행하고 있다.
이 검사는, 화소신호 단자용 도전패턴수와 같은 수의 프로브(2)를 사용하기 때문에, 복수의 프로브(2)를 가지는 프로브 블럭(1)을 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)이 설치된 변을 따라 복수개 나열하여 세트한다. 그리고 검사에서는 홀수번째 화소단자와 짝수번째 화소단자로 나누어 화소검사 신호를 보내도록 하고 있다.
이와 같은 프로브 블럭으로서 도 5에 나타내는 프로브 블럭(1)이 제안되어 있다[예를 들면, 일본국 특개평8-222299호공보(제 3 페이지, 제 4 페이지, 도 1)참 조].
이 프로브 블럭(1)은 액정패널용 어레이 유리(3)의 화소에 설치된 복수의 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 접촉시키기 위한 복수의 프로브(2)를 판형상의 절연체를 적층한 본체(20)에 의하여 지지함으로써 대략 구성되어 있다.
이때 프로브(2)는 도 5에 나타내는 바와 같이 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째와 짝수번째에 각각 대응하는 2 라인(L1, L2)으로 나뉘어지고(도 6 참조), 다시 각 라인(L1, L2)마다 갈짓자형상으로 설치되어 있다. 또한 프로브(2)는 윗쪽으로 돌출하는 복수의 도전성 바늘형상체의 홀수번째의 도전성 바늘형상체(11a)를 짝수번째의 도전성 바늘형상체(11b)보다도 윗쪽으로 돌출하도록 길게 하고 있어, 양자 사이에서 돌출방향으로 현격한 차가 나게 되어 있다. 프로브(2)는 윗쪽의 도전성 바늘형상체(11a, 11b)의 각각과 아래쪽의 도전성 바늘형상체(10)를 도전성 코일스프링(14)을 거쳐 연결함으로써 구성되어 있다. 검사시에는 도전성 바늘형상체(10)의 각각이, 액정패널(3)의 화소에 설치된 복수의 단자용 도전패턴(4)의 1개씩에 접촉하게 된다.
그리고 긴 쪽인 홀수번째의 도전성 바늘형상체(11a)가, 윗쪽 절연판(12)의 하면에 접착된 홀수대응 플렉시블 기판(5a)의 홀수번째용 신호 전송용 도전패턴(8)에 접촉하고, 짧은 쪽인 짝수번째의 도전성 바늘형상체(11b)가 아래쪽 절연판(13)의 하면에 접착된 짝수대응 플렉시블 기판(5b)의 짝수번째용 신호 전송용 도전패턴(9)에 접촉하도록 아래쪽 절연판(13)의 위에 윗쪽 절연판(12)이 겹쳐진다.
이와 같이 하여 구성된 프로브 블럭(1)를 사용하여 액정패널용 검사장치를 구성하기 위해서는, 프로브(2)를 단자용 도전패턴(4)과 같은 수가 되게 설치하도록, 예를 들면 TAB와 대략 동일폭의 크기(1 블럭)로 소유닛화된 프로브 블럭(1)을 지지 프레임(21)(도 3 참조)에 병렬로 필요수 나열하여 세트하고, 또한 각 프로브 블럭(1)에 연결된 플렉시블 기판(5a 및 5b)을 홀수번째와 짝수번째로 나누도록 중계기판(6)의 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)에 각각 접속함과 동시에, 이 중계기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에 접속함으로써 전체 구성된다.
이와 같이 구성된 종래의 액정패널용 검사장치에 있어서는 프로브(2)를 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째와 짝수번째에 각각 대응하는 2라인(L1, L2)으로 나누고, 다시 각 라인(L1, L2)마다 갈짓자형상으로 설치하였기 때문에, 단자용 도전패턴(4)의 협 피치화에 충분히 대응할 수 있으나, 플렉시블 기판(5)과 중계기판(6)의 접속에 있어서의 홀수와 짝수의 나눔이, 도 4에 나타내는 바와 같이 중계기판(6)을 구성하는 프린트기판상의 배선(15)에 의하여 행하는 것이기 때문에, 배선(15) 끼리의 교차상태가 출현하는 단자용 도전패턴(4)의 블럭수의 증가, 또는 상기 패턴(4)의 1 블럭당의 배선 갯수의 증가에 충분히 대응할 수 없다는 과제를 가지고 있다.
또, 상기한 배선(15)끼리의 교차상태는, 중계기판(6)을 구성하는 프린트기판의 층수를 증가하고, 또한 스루홀을 설치하는 등으로 하여 각 층마다 배선(15)을 정리함으로써 해소할 수 있으나, 프린트기판의 층수의 증가는 제조의 곤란화, 고비용 및 중량 증가를 초래한다는 과제를 가지고 있다.
이와 관련하여, 종래의 장치에서는 6∼8층의 다층 프린트기판에 의하여 중계기판(6)을 구성하고 있다.
따라서 본 발명은 중계기판을 구성하는 다층 프린트기판의 적층 매수의 증가를 수반하지 않고 단자용 도전패턴의 블럭수의 증가, 또는 상기 패턴의 1 블럭당의 배선 갯수의 증가에 충분히 대응할 수 있는 액정패널용 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 목적은 적어도 상기한 과제를 해결하는 것이다.
본 발명의 액정패널용 검사장치는, 공시(실험이나 시험에 공급한다) 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴에 맞닿는 복수의 프로브를 구비한 프로브 블럭이, 상기 단자용 도전패턴의 블럭수에 대응시켜 복수개 설치되어 있고, 상기 복수개의 프로브 블럭의 각각에는 상기 단자용 도전패턴의 홀수번째 및 짝수번째의 배선에 각각 맞닿는 프로브와 한쪽 끝측을 전기적으로 접속하는 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판으로 이루어지는 플렉시블 기판이 설치되어 있고, 상기 플렉시블 기판의 다른쪽 끝측이, 상기 프로브 블럭마다 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판의 각 다른쪽 끝측을 어드레스 변환기능이 구비된 중계기판 내의 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부에 각각 접속시킴으로써 상기 중계기판에 접속되어 있고, 상기 단자용 도전패턴으로부터의 신호를 상기 프로브, 플렉시블 기판 및 중계기판을 거쳐 테스터 본체에서 판독함으로써 상기 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서, 상기 플렉시블 기판은 상기 프로브 블럭마다 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판을, 상기 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부의 설치위치에 따라 서로 나눔과 동시에, 그 각 접속단부를 각각 상기 홀수 및 짝수대응 어드레스부에 점차 접근시켜 접속함으로써 상기 중계기판에 접속하고 있는 것을 특징으로 한다.
이 때문에 본 발명에서는 플렉시블 기판은, 각 프로브 블럭마다 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판을, 중계기판 내의 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부의 설치위치에 따라 서로 나누고, 그 각 접속단부를 각각 홀수 및 짝수대응 어드레스부에 점차로 근접시켜 접속하도록 하였기 때문에, 상기 중계기판의 층수를 저감함과 동시에, 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판의 각 접속단부와 상기 홀수 및 짝수대응 어드레스부와의 접속배선을 적극 짧게 설정할 수 있다. 또 홀수(짝수)대응 플렉시블 기판은, 피접속 프로브 블럭과 피접속 홀수(짝수)대응 어드레스부의 사이를 접속할 만한 충분한 길이를 가지고 있고, 그 중간부의 구부림에 의하여 상기 나눔을 용이하게 행할 수 있으며, 이에 의하여 목적으로 하는 피접속 홀수(짝수)대응 어드레스부에 점차로 근접할 수 있다.
이상 설명한 것과, 본 발명의 그 밖의 목적, 특징, 이점을 이하의 발명의 상세한 설명으로부터 분명하게 한다.
도 1은 본 발명의 액정패널용 검사장치에 있어서의 복수의 프로브 블럭을 사이에 둔 액정패널용 어레이 유리와 중계기판과의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,
도 2(a)는 본 발명의 일 실시형태로서의 중계기판의 평면도,
도 2(b)는 본 발명의 일 실시형태로서의 중계기판의 측면도,
도 3은 액정패널용 검사장치의 전체의 전기접속계통을 설명하기 위한 개략 설명도,
도 4는 종래의 액정패널용 검사장치에 있어서의 복수의 프로브 블럭을 사이에 둔 액정패널용 어레이 유리와 중계기판과의 전기적 접속상태를 설명하는 모식도,
도 5는 종래의 액정패널용 검사장치의 주요부 단면도,
도 6은 종래의 액정패널용 검사장치의 단자용 도전패턴에의 프로브의 맞닿음상태를 설명하기 위한 설명도이다.
이하에, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한 이 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것이 아니다.
본 발명의 액정패널용 검사장치를 첨부하는 도면과 함께 나타내는 이하의 실시형태에 의거하여 설명한다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다. 또한 상기한 도 3 내지 도 6에 나타내는 것과 동일부재 및 동일기능을 가지는 부재는, 동일부호를 붙이고 있다.
본 발명에 관한 액정패널용 검사장치는, 플렉시블 기판과 중계기판과의 접속구조를 달리하는 것 뿐이고, 전체의 접속계통은 종래장치와 동일하게 구성되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태로서의 플렉시블 기판과 중계기판과의 접속구조를 나타낸다.
본 발명에 관한 액정패널용 검사장치의 전체의 접속계통은, 도 3에 나타내는 바와 같이 프로브 블럭(1)의 프로브(2)를 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전 패턴(4)에 맞닿게 함과 동시에, 단자용 도전패턴(4)으로부터의 신호를 프로브(2), 프로브(2)에 한쪽 끝측을 접속하는 플렉시블 기판(5) 및 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측에 접속하는 중계기판(6)을 거쳐 테스터 본체(7)에서 판독함으로써 단자용 도전패턴(4)의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하도록 구성되어 있다.
이때 프로브 블럭(1)은, 공시 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)에 맞닿는 복수의 프로브(2)를 구비하고 있고, 단자용 도전패턴(4)의 블럭수(예를 들면, 8 블럭)에 대응시켜 복수개(8 블럭일 때는 8개) 설치된다(도 1 참조). 복수개의 프로브 블럭(1)은 지지 프레임[도 3에 있어서 지지 프레임(21) 참조]에 설치되어 검사장치내에 조립된다.
복수개의 프로브 블럭(1)의 각각에는, 단자용 도전패턴(4)의 홀수번째 및 짝수번째의 배선에 각각 맞닿는 프로브(2)와 한쪽 끝측을 전기적으로 접속하는 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)으로 이루어지는 플렉시블 기판(5)이 설치되어 있다.
그리고 플렉시블 기판(5)의 다른쪽 끝측은, 프로브 블럭(1)마다 홀수대응 플렉시블 기판(5a) 및 짝수대응 플렉시블 기판(5b)을 중계기판(6)내의 홀수대응 어드 레스부(6a) 및 짝수대응 어드레스부(6b)의 설치위치에 따라 서로 나눔과 동시에, 그 각 접속단부(5A, 5B)를 각각 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)에 점차로 근접시켜 접속함으로써 중계기판(6)에 접속하고 있다.
이때 플렉시블 기판(5)을 구성하는 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)은, 피접속 프로브 블럭(1)과 피접속 홀수(짝수)대응 어드레스부(6a)(6b)와의 사이를 접속할 만한 충분한 길이를 가지고 구성된다. 상기 플렉시블 기판의 나눔은 플렉시블 기판을 교차시킴으로써 가능하게 되나, 본 실시형태와 같이 그 중간부의 구부림부(5c)에 의하여 방향을 전환할 수 있고, 이 방향전환에 의하여 상기한 나눔을 더욱 용이하게 행할 수 있다. 또한 구부림부(5c)는 피접속 프로브 블럭(1)과 피접속 홀수(짝수)대응 어드레스부(6a)(6b)와의 위치관계에 의하여 결정되는 것으로, 직선 접속이 가능한 경우에는 불필요하나, 다른 경우에는 2개 이상 형성함으로써 나눔을 용이하게 한다.
또, 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)의 각 접속단부(5A, 5B)는 중계기판(6)상에 설치된 배선(15)에 의하여 각각 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a 및 6b)에 접속되어 있다.
구체적으로는 도 2에 나타내는 바와 같이 접속단부(5A, 5B)가 각각 접속되는 커넥터가 중계기판(6)상에 설치되어 있다. 도 2에서는 설명을 간단하게 하기 위하여 2개의 프로브 블럭(1)에 각각 대응하는 4개의 커넥터(C1, C2, C3, C4)가 설치되어 있음과 동시에, 중계기판(6)은 1매의 양면 프린트기판으로 구성되어 있다. 커넥터(C1, C3)는 각 프로브 블럭(1)의 홀수대응 플렉시블 기판(5a)이 접속하는 홀수 대응 커넥터 이고, 커넥터(C2, C4)는 각 프로브 블럭(1)의 짝수대응 플렉시블 기판(5b)이 접속하는 짝수대응 커넥터이다.
또한 도 2(a)에 있어서, 실선은 중계기판(6)의 표면에 설치된 배선(15)을 나타내고 있고, 파선은 중계기판(6)의 이면에 설치된 배선(15)을 나타내고 있으며, 숫자 「1」∼「24」는 어드레스를 나타내고 있고, 도 2(b)에 있어서 중계기판(6)의 두께방향의 실선은 표, 이면에 각각 설치된 배선(15)끼리를 전기적으로 접속하는 스루홀(h)이며, 도 2(a), 도 2(b)에 있어서 부호 L은 중계기판(6)의 이면에 형성되는 각 배선(15)의 랜드이다. 예를 들면 어드레스 「13」의 표면측의 배선(15)은, 스루홀(h)을 거쳐 이면측의 배선(15)에 접속되어 있고, 어드레스 「7」의 표면측의 배선(15)은, 스루홀(h)을 거쳐 이면측의 배선(15)에 접속되어 있으며, 양자는 평면적으로는 파선과 실선이 교차하는 것처럼 보이나 중계기판(6)의 배선면의 차이에 의하여 실제의 교차를 피할 수 있다.
이와 같이 구성된 중계기판(6)에 있어서는, 2개의 프로브 블럭(1)중, 한쪽의 프로브 블럭(1)에 설치된 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)은 각각 커넥터 (C1 및 C2)에 접속되게 되어 있고, 다른쪽의 프로브 블럭(1)에 설치된 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판(5a 및 5b)은 각각 커넥터(C3 및 C4)에 접속되게 되어 있다. 커넥터(C1 및 C3)의 배선(15)은 홀수대응 어드레스부(6a)의 랜드(L)에 접속되어 있고, 커넥터(C2 및 C4)의 배선(15)은 짝수대응 어드레스부(6b)의 랜드(L)에 접속되어 있다. 그리고 이 랜드(L)가 테스터 본체(7)에 구비된 프로브 핀[도 3에 있어서의 프로브 핀(P)참조]에 맞닿음으로써 중계기판(6)과 테스터 본체(7)가 전기적 으로 접속되어 있다.
실제로는 중계기판(6)은 배선(15) 및 스루홀(h)을 적절히 설치한 복수매의 다층 프린트기판을 사용함과 동시에, 최상면에 커넥터(C1, C2, …)를 설치하고, 또한 최하면에 랜드(L)를 가지는 어드레스부(6a, 6b)를 설치하여 구성된다.
이와 같이 구성된 액정패널용 검사장치에 있어서는, 플렉시블 기판(5)(5a, 5b) 끼리를 나누는 것이기 때문에, 플렉시블 기판(5)(5a, 5b) 끼리의 교차가 생기나, 상기 교차에 기인하는 불편은 생기지 않을 뿐만 아니라, 그 접속단부(5A, 5B)와 홀수 및 짝수대응 어드레스부(6a, 6b)를 점차로 근접시켜 그 접속배선(15)을 적극 짧게 설정할 수 있고, 나아가서는 배선(15)의 간소화를 도모할 수 있다.
이 때문에 중계기판(6)은 단자용 도전패턴(4)의 블럭수의 증가, 또는 상기 패턴(4)의 1 블럭당의 배선 갯수의 증가에 충분히 대응할 수 있다.
또한, 중계기판(6)은, 플렉시블 기판(5) 끼리를 교차시키도록 하였기 때문에, 종래 행하여지고 있던 각 층의 배선(15)의 정리를 간소화하는 것이 가능해지고, 이에 의하여 적극 적은 층수의 프린트기판에 의하여 구성할 수 있다. 예를 들면 액정패널용 어레이 유리(3)의 단자용 도전패턴(4)의 블럭수가 8 블럭인 경우, 종래의 장치에서는 6∼8매의 유리기판의 적층이 필요하였던 것에 대하여, 본 장치에서는 2∼4매의 유리기판의 적층에 의하여 중계기판(6)을 구성할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 각 프로브 블럭마다 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판을, 중계기판내의 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부의 설치위치에 따라 서로 나눔으로써 홀수 및 짝수대응 플렉시 블 기판의 각 접속단부와 홀수 및 짝수대응 어드레스부와의 접속배선을 적극 짧게 설정할수 있음과 동시에, 상기 접속배선의 교차상태의 출현을 피하여 간소화를 도모할 수 있고, 이에 의하여 중계기판을 구성하는 다층 프린트기판의 적층매수를 줄일 수 있으며, 나아가서는 제조의 용이화, 장치의 경량화 및 비용절감을 도모할 수 있다.
또한, 중계기판을 구성하는 다층 프린트기판의 적층매수가 적은 만큼, 단자용 도전패턴의 블럭수의 증가, 또는 상기 패턴의 1 블럭당의 배선 갯수의 증가에도 충분히 대응할 수 있다, 라는 장점이 있다.
또한 상기 각 플렉시블 기판을 구부려 나눔으로써, 나눔을 용이하게 행할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 관한 액정패널용 검사장치는, 플렉시블 기판이 각각의 프로브 블럭마다, 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판을 중계기판 내의 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부의 설치위치에 따라 서로 나누어, 그 각 접속단부를 각각 홀수 및 짝수대응 어드레스부에 점차로 근접시켜 접속하도록 하였기 때문에, 상기 중계기판의 층수를 저감함과 동시에, 홀수 및 짝수대응 플렉시블 기판의 각 접속단부와 상기 홀수 및 짝수대응 어드레스부와의 접속배선을 적극 짧게 설정할 수 있고, 예를 들면 액정패널용 어레이 유리에 프린트된 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널을 검사하는 것에 사용하기 적합하다.

Claims (1)

  1. 공시 액정패널용 어레이 유리의 단자용 도전패턴에 맞닿는 복수의 프로브를 구비한 프로브 블럭이, 상기 단자용 도전패턴의 블럭수에 대응시켜 복수개 설치되어 있고, 상기 복수개의 프로브 블럭의 각각에는 상기 단자용 도전패턴의 홀수번째 및 짝수번째의 배선에 각각 맞닿는 프로브와 한쪽 끝측을 전기적으로 접속하는 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판으로 이루어지는 플렉시블 기판이 설치되어 있고, 상기 플렉시블 기판의 다른쪽 끝측이, 상기 프로브 블럭마다 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판의 각 다른쪽 끝측을 중계기판 내의 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부마다 각각 정렬하여 접속시킴으로써 상기 중계기판에 접속되어 있고, 상기 단자용 도전패턴으로부터의 신호를 상기 프로브, 플렉시블 기판 및 중계기판을 거쳐 테스터 본체에서 판독함으로써 상기 단자용 도전패턴의 단락상태, 개방상태, TFT의 특성 및 화소의 특성검사를 행하는 액정패널용 검사장치에 있어서,
    상기 플렉시블 기판은, 상기 프로브 블럭마다 상기 홀수대응 플렉시블 기판 및 짝수대응 플렉시블 기판을, 상기 홀수대응 어드레스부 및 짝수대응 어드레스부의 설치위치에 따라 서로 나눔과 동시에, 그 각 접속단부를 각각 상기 홀수 및 짝수대응 어드레스부에 점차로 근접시켜 접속함으로써 상기 중계기판에 접속하고 있는 것을 특징으로 하는 액정패널용 검사장치.
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