JPH0961458A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents
液晶表示パネルの検査装置Info
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- JPH0961458A JPH0961458A JP21340195A JP21340195A JPH0961458A JP H0961458 A JPH0961458 A JP H0961458A JP 21340195 A JP21340195 A JP 21340195A JP 21340195 A JP21340195 A JP 21340195A JP H0961458 A JPH0961458 A JP H0961458A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 今後さらに駆動信号入力端子長の縮小化及び
その端子ピッチの微細化される液晶表示パネルの点灯検
査を行うことができない。また、このような液晶表示パ
ネルにはバンプ方式が適しているが、点灯信号入力が困
難になる。 【課題解決手段】 液晶表示パネル１の各駆動信号入力
端子２と検査信号を入力するための各プローブピン７の
一端とを接触させて表示検査を行う液晶表示パネルの検
査装置において、各駆動信号入力端子２と同ピッチの導
電パターン１２を有し、各導電パターン１２の先端の裏
面にスルーホールにより設けられたバンプ１３を有する
プレート９を形成し、すべての隣り合うプローブピン７
が導電パターン１２に対して直行する直線上に位置しな
いように、各導電パターン１２と各プローブピン７の一
端とを接続し、各駆動信号入力端子２と各バンプ１３と
を接触させて表示検査を行うものである。
その端子ピッチの微細化される液晶表示パネルの点灯検
査を行うことができない。また、このような液晶表示パ
ネルにはバンプ方式が適しているが、点灯信号入力が困
難になる。 【課題解決手段】 液晶表示パネル１の各駆動信号入力
端子２と検査信号を入力するための各プローブピン７の
一端とを接触させて表示検査を行う液晶表示パネルの検
査装置において、各駆動信号入力端子２と同ピッチの導
電パターン１２を有し、各導電パターン１２の先端の裏
面にスルーホールにより設けられたバンプ１３を有する
プレート９を形成し、すべての隣り合うプローブピン７
が導電パターン１２に対して直行する直線上に位置しな
いように、各導電パターン１２と各プローブピン７の一
端とを接続し、各駆動信号入力端子２と各バンプ１３と
を接触させて表示検査を行うものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
パネル点灯表示検査工程において、液晶表示パネルの不
良検査・修正に用いる液晶表示パネルの検査装置に関す
るものである。
パネル点灯表示検査工程において、液晶表示パネルの不
良検査・修正に用いる液晶表示パネルの検査装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶の電気光学効果をテレビ画像に利用
した表示素子として、液晶表示パネルが提供されてい
る。この液晶表示パネルは、行列状に配列された多数の
絵素電極とそれに印加された電圧に応じて光を変調する
液晶層とを備えている。近年、このような液晶表示パネ
ルの高品位化に伴い、各絵素電極にスイッチング素子を
付加し、このスイッチング素子を介して絵素電極に映像
信号を印加する方法が用いられている。
した表示素子として、液晶表示パネルが提供されてい
る。この液晶表示パネルは、行列状に配列された多数の
絵素電極とそれに印加された電圧に応じて光を変調する
液晶層とを備えている。近年、このような液晶表示パネ
ルの高品位化に伴い、各絵素電極にスイッチング素子を
付加し、このスイッチング素子を介して絵素電極に映像
信号を印加する方法が用いられている。
【０００３】ところが、スイッチング素子の製造工程は
複雑であるため、絵素の不良や、走査線及び信号線の断
線或いはショート、さらにスイッチング素子の不良等の
各種の不良が発生し易く、この種の不良状態の検査及び
解析が、最終製品の表示品位向上を目指す上で特に重要
となってくる。
複雑であるため、絵素の不良や、走査線及び信号線の断
線或いはショート、さらにスイッチング素子の不良等の
各種の不良が発生し易く、この種の不良状態の検査及び
解析が、最終製品の表示品位向上を目指す上で特に重要
となってくる。
【０００４】不良検査の方法としては、被検査体である
液晶表示パネルの複数の駆動信号入力端子に、検査用の
電気信号、つまり検査信号を、プローブピンを接触させ
て印加させる方法が主流となっている。
液晶表示パネルの複数の駆動信号入力端子に、検査用の
電気信号、つまり検査信号を、プローブピンを接触させ
て印加させる方法が主流となっている。
【０００５】以下、図９及び図１０を参照しながら、液
晶表示パネルの検査装置を用いて検査方法を説明する。
図９及び図１０において、液晶表示パネル２１の各駆動
信号入力端子２２と各プローブピン２７の一端とが直接
接触させた状態を示しており、従来の各駆動信号入力端
子２２の端子長Ｌ０、その端子ピッチＰ０ならば、プロ
ーブピン２７を多段（図中では５段）の千鳥配列するこ
とで、各駆動信号入力端子２２と直接接触させることが
できた。現在、１０インチクラスの大型液晶表示パネル
は、表示画面以外の縮小化が要望されているため、外周
占有率の削減が必要となる。
晶表示パネルの検査装置を用いて検査方法を説明する。
図９及び図１０において、液晶表示パネル２１の各駆動
信号入力端子２２と各プローブピン２７の一端とが直接
接触させた状態を示しており、従来の各駆動信号入力端
子２２の端子長Ｌ０、その端子ピッチＰ０ならば、プロ
ーブピン２７を多段（図中では５段）の千鳥配列するこ
とで、各駆動信号入力端子２２と直接接触させることが
できた。現在、１０インチクラスの大型液晶表示パネル
は、表示画面以外の縮小化が要望されているため、外周
占有率の削減が必要となる。
【０００６】また、表示画面の高精細化の要望により、
ＶＧＡ（Video Grahics Array）方式から、Ｓ−ＶＧＡ
（Super-Video Grahics Array）、ＸＧＡ（Extended Gr
ahics Array）方式の採用が高まっている。
ＶＧＡ（Video Grahics Array）方式から、Ｓ−ＶＧＡ
（Super-Video Grahics Array）、ＸＧＡ（Extended Gr
ahics Array）方式の採用が高まっている。
【０００７】その結果、駆動入力信号端子２２の端子長
の縮小化（Ｌ＜Ｌ０）、微細ピッチ化（Ｐ＜Ｐ０）が必
要となる。つまり、プローブピン２７の千鳥配列を行う
ための十分のエリアを確保できなくなったりして、プロ
ーブピン２７による駆動信号入力端子２２への直接接触
は難しくなる。具体的な例を示すと、従来の液晶表示パ
ネル２１では、端子長Ｌ０は３ｍｍ、端子ピッチＰ０は
１００μｍとなっており、プローブピン２７を５段の千
鳥配列であると、プローブピン２７のピッチは約７５７
μｍ、また、プローブピン２７の最短ピッチは５００μ
ｍとなり、現状のプローブピン２７の加工技術でも対応
できる。
の縮小化（Ｌ＜Ｌ０）、微細ピッチ化（Ｐ＜Ｐ０）が必
要となる。つまり、プローブピン２７の千鳥配列を行う
ための十分のエリアを確保できなくなったりして、プロ
ーブピン２７による駆動信号入力端子２２への直接接触
は難しくなる。具体的な例を示すと、従来の液晶表示パ
ネル２１では、端子長Ｌ０は３ｍｍ、端子ピッチＰ０は
１００μｍとなっており、プローブピン２７を５段の千
鳥配列であると、プローブピン２７のピッチは約７５７
μｍ、また、プローブピン２７の最短ピッチは５００μ
ｍとなり、現状のプローブピン２７の加工技術でも対応
できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ような液晶表示パネルの検査装置では、図１０及び図１
１に示すように、例えば、縮小化が進んだ端子長Ｌは
１．５ｍｍ、微細化が進んだ端子ピッチＰを６０μｍと
すると、プローブピン２７を５段の千鳥配列した場合、
プローブピン２７のピッチは約３８０μｍ、また、プロ
ーブピン２７の最短ピッチは３００μｍとなる。
ような液晶表示パネルの検査装置では、図１０及び図１
１に示すように、例えば、縮小化が進んだ端子長Ｌは
１．５ｍｍ、微細化が進んだ端子ピッチＰを６０μｍと
すると、プローブピン２７を５段の千鳥配列した場合、
プローブピン２７のピッチは約３８０μｍ、また、プロ
ーブピン２７の最短ピッチは３００μｍとなる。
【０００９】また、５段の千鳥配列を減らし、端子長Ｌ
に対応するために３段の千鳥配列をしたとしても、プロ
ーブピン２７のピッチは約５００μｍとなるが、プロー
ブピン２７の最短ピッチは１８０μｍとなり、現状のプ
ローブピン２７の加工技術では、駆動信号入力端子２２
にプローブピン２７を配列することが困難である。
に対応するために３段の千鳥配列をしたとしても、プロ
ーブピン２７のピッチは約５００μｍとなるが、プロー
ブピン２７の最短ピッチは１８０μｍとなり、現状のプ
ローブピン２７の加工技術では、駆動信号入力端子２２
にプローブピン２７を配列することが困難である。
【００１０】このような微細化が進んだピッチの駆動信
号入力端子２２への接触にはバンプ方式が適している
が、バンプ３３の加工が施されたプレート２９は、駆動
信号入力端子２２と同ピッチの導電パターン３２を有し
ているため、液晶表示パネル２１の点灯用信号の入力が
困難になる。
号入力端子２２への接触にはバンプ方式が適している
が、バンプ３３の加工が施されたプレート２９は、駆動
信号入力端子２２と同ピッチの導電パターン３２を有し
ているため、液晶表示パネル２１の点灯用信号の入力が
困難になる。
【００１１】本発明の液晶表示パネルの検査装置は上記
のような問題点を解決したもので、液晶表示パネルの生
産工程であるパネル点灯表示検査工程において、今後さ
らに駆動信号入力端子長の縮小化及びその端子ピッチの
微細化される液晶表示パネルの表示検査を行うことがで
きる液晶表示パネルの検査装置を提供することを目的と
するものである。
のような問題点を解決したもので、液晶表示パネルの生
産工程であるパネル点灯表示検査工程において、今後さ
らに駆動信号入力端子長の縮小化及びその端子ピッチの
微細化される液晶表示パネルの表示検査を行うことがで
きる液晶表示パネルの検査装置を提供することを目的と
するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明は、液晶表示パネルの各駆動信号
入力端子と検査信号を入力するための各プローブピンの
一端とを接触させて表示検査を行う液晶表示パネルの検
査装置において、上記各駆動信号入力端子と同ピッチの
導電パターンを有し、該各導電パターン先端の裏面にス
ルーホールにより設けられたバンプを有するプレートを
形成し、すべての少なくとも隣り合う上記プローブピン
が上記導電パターンに対して直行する直線上に位置しな
いように、上記各導電パターンと上記各プローブピンの
一端とを接続し、上記各駆動信号入力端子と上記各バン
プとを接触させて表示検査を行うものである。
に請求項１記載の発明は、液晶表示パネルの各駆動信号
入力端子と検査信号を入力するための各プローブピンの
一端とを接触させて表示検査を行う液晶表示パネルの検
査装置において、上記各駆動信号入力端子と同ピッチの
導電パターンを有し、該各導電パターン先端の裏面にス
ルーホールにより設けられたバンプを有するプレートを
形成し、すべての少なくとも隣り合う上記プローブピン
が上記導電パターンに対して直行する直線上に位置しな
いように、上記各導電パターンと上記各プローブピンの
一端とを接続し、上記各駆動信号入力端子と上記各バン
プとを接触させて表示検査を行うものである。
【００１３】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、上記検査信号が色の三原色（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）毎に入力可能なパターンを有する基板と上記各プロ
ーブピンの他端とを接続するものである。
の発明において、上記検査信号が色の三原色（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）毎に入力可能なパターンを有する基板と上記各プロ
ーブピンの他端とを接続するものである。
【００１４】以上の構成のように、請求項１記載の発明
は、液晶表示パネルの生産工程であるパネル点灯表示検
査工程において、従来のように各駆動信号入力端子と各
プローブピンの一端とを直接接触させずに、プレートを
介在して接触させることにより、駆動信号入力端子長よ
りプレートを長く取ることができ、プローブピンの配列
エリアを十分に取ることができる。
は、液晶表示パネルの生産工程であるパネル点灯表示検
査工程において、従来のように各駆動信号入力端子と各
プローブピンの一端とを直接接触させずに、プレートを
介在して接触させることにより、駆動信号入力端子長よ
りプレートを長く取ることができ、プローブピンの配列
エリアを十分に取ることができる。
【００１５】請求項２記載の発明は、検査信号が色の三
原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）毎に入力可能なパターンを有する基
板と各プローブピンの他端とを接続することにより、駆
動信号入力端子間のリーク検査、各種単色点灯検査等の
表示検査を行うことができる。
原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）毎に入力可能なパターンを有する基
板と各プローブピンの他端とを接続することにより、駆
動信号入力端子間のリーク検査、各種単色点灯検査等の
表示検査を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶表示パネルの
検査装置の実施形態を図１乃至図８と共に説明する。本
実施形態の液晶表示パネルの検査装置は図１乃至図５に
示すように構成するものであり、図１において、まず液
晶表示パネル１は、その隣接する二辺端部に複数の駆動
信号入力端子２が配列されており、液晶表示パネル１の
対角線上の二辺端部に８０μｍ角の位置合わせマーク３
が設けられている。
検査装置の実施形態を図１乃至図８と共に説明する。本
実施形態の液晶表示パネルの検査装置は図１乃至図５に
示すように構成するものであり、図１において、まず液
晶表示パネル１は、その隣接する二辺端部に複数の駆動
信号入力端子２が配列されており、液晶表示パネル１の
対角線上の二辺端部に８０μｍ角の位置合わせマーク３
が設けられている。
【００１７】次に、本実施形態の液晶表示パネルの検査
装置は、液晶表示パネル１を載置する載置台４を有する
下部ステージ５が備えられている。載置台４は図１に示
す矢印Ｘ、Ｙ、θ方向に移動可能となっている。下部ス
テージ５の上方にはそれと対向するように上部ステージ
６が備えられている。
装置は、液晶表示パネル１を載置する載置台４を有する
下部ステージ５が備えられている。載置台４は図１に示
す矢印Ｘ、Ｙ、θ方向に移動可能となっている。下部ス
テージ５の上方にはそれと対向するように上部ステージ
６が備えられている。
【００１８】上記上部ステージ６には、その裏面に、複
数のプローブピン７を有するフレキシブル基板８と、プ
レート９とが配設され、また、その表面には２つの位置
合わせカメラ１０が配設されており、その位置合わせカ
メラ１０により上部ステージ６の開口６ａから位置合わ
せマーク３を取り込んで、画像処理することができる。
数のプローブピン７を有するフレキシブル基板８と、プ
レート９とが配設され、また、その表面には２つの位置
合わせカメラ１０が配設されており、その位置合わせカ
メラ１０により上部ステージ６の開口６ａから位置合わ
せマーク３を取り込んで、画像処理することができる。
【００１９】また、検査信号を各駆動信号入力端子２に
入力するための電気的な接続関係は、図２に示すよう
に、まず、フレキシブル基板８と検査用点灯信号生成回
路１１とが電気的に接続されている。プレート９の表面
には駆動信号入力端子２と同ピッチの導電パターン１２
を有し、それと各プローブピン７とが電気的に接続され
ている。
入力するための電気的な接続関係は、図２に示すよう
に、まず、フレキシブル基板８と検査用点灯信号生成回
路１１とが電気的に接続されている。プレート９の表面
には駆動信号入力端子２と同ピッチの導電パターン１２
を有し、それと各プローブピン７とが電気的に接続され
ている。
【００２０】また、駆動信号入力端子２とプレート９と
の接続関係は、特に図３に示すように、プレート９の各
導電パターン１２の一端の裏面にはスルホールにより金
メッキを施した凸状のバンプ１３が設けられ、それと各
駆動信号入力端子２とが電気的に接触させている。
の接続関係は、特に図３に示すように、プレート９の各
導電パターン１２の一端の裏面にはスルホールにより金
メッキを施した凸状のバンプ１３が設けられ、それと各
駆動信号入力端子２とが電気的に接触させている。
【００２１】次に、各導電パターン１２と接続されるプ
ローブピン７の配列は、特に図４に示すように、プレー
ト９の表面にプローブピン７を６段の千鳥状に配列し、
各プローブピン７の一端と各導電パターン１２とを電気
的に接続している。
ローブピン７の配列は、特に図４に示すように、プレー
ト９の表面にプローブピン７を６段の千鳥状に配列し、
各プローブピン７の一端と各導電パターン１２とを電気
的に接続している。
【００２２】また、各プローブピン７の他端には、フレ
キシブル基板８の６列のストレートパターン１４が導電
パターン１２に対して直行するように電気的に接続され
ている。そして、このようにプローブピン７を接続させ
ることで、プローブピン７を、赤色点灯用端子の偶数番
（１４ａ）、その奇数番（１４ｂ）、緑色点灯用端子の
偶数番（１４ｃ）、その奇数番（１４ｄ）、青色点灯用
端子の偶数番（１４ｅ）、その奇数番（１４ｆ）のよう
に、各ストレートパターン１４ａ〜ｆ毎に６つのグルー
プに分けることができる。
キシブル基板８の６列のストレートパターン１４が導電
パターン１２に対して直行するように電気的に接続され
ている。そして、このようにプローブピン７を接続させ
ることで、プローブピン７を、赤色点灯用端子の偶数番
（１４ａ）、その奇数番（１４ｂ）、緑色点灯用端子の
偶数番（１４ｃ）、その奇数番（１４ｄ）、青色点灯用
端子の偶数番（１４ｅ）、その奇数番（１４ｆ）のよう
に、各ストレートパターン１４ａ〜ｆ毎に６つのグルー
プに分けることができる。
【００２３】次に、各ストレートパターン１４ａ〜ｆと
リレー回路１５とを接続し、リレー回路１５を用いて、
各ストレートパターン１４ａ〜ｆを、１４ａと１４ｂ、
１４ｃと１４ｄ、１４ｅと１４ｆのように組み合わせ、
その組み合わせパターンに検査用点灯信号を入力するこ
とで、単色点灯による複数並列の電極間の短絡を容易に
目視して検出することができ、また、複数並列の端子を
偶数番端子（１４ａと１４ｃと１４ｅとの組み合わせ）
と奇数番端子（１４ｂと１４ｄと１４ｆとの組み合わ
せ）とに区別することで、電極間短絡の検出のための両
者間の抵抗値の測定が行える。
リレー回路１５とを接続し、リレー回路１５を用いて、
各ストレートパターン１４ａ〜ｆを、１４ａと１４ｂ、
１４ｃと１４ｄ、１４ｅと１４ｆのように組み合わせ、
その組み合わせパターンに検査用点灯信号を入力するこ
とで、単色点灯による複数並列の電極間の短絡を容易に
目視して検出することができ、また、複数並列の端子を
偶数番端子（１４ａと１４ｃと１４ｅとの組み合わせ）
と奇数番端子（１４ｂと１４ｄと１４ｆとの組み合わ
せ）とに区別することで、電極間短絡の検出のための両
者間の抵抗値の測定が行える。
【００２４】次に、本実施形態の検査装置を用いて液晶
表示パネルを検査方法について図１及び図６乃至図８と
共に詳細に説明する。
表示パネルを検査方法について図１及び図６乃至図８と
共に詳細に説明する。
【００２５】まず、位置合わせカメラ１０に位置合わせ
マーク３の画像を取り込み、その取り込んだ画像を位置
合わせカメラ１０により演算処理を行い、基準値との差
を下部ステージ５を図１に示す矢印Ｘ、Ｙ、θ方向に微
動させることにより、液晶表示パネル１の各駆動信号入
力端子２とプレート９の各バンプ１３とが電気的に接触
される。尚、本実施形態では、駆動信号入力端子２とバ
ンプ１３との相対位置精度は±１０μｍである。
マーク３の画像を取り込み、その取り込んだ画像を位置
合わせカメラ１０により演算処理を行い、基準値との差
を下部ステージ５を図１に示す矢印Ｘ、Ｙ、θ方向に微
動させることにより、液晶表示パネル１の各駆動信号入
力端子２とプレート９の各バンプ１３とが電気的に接触
される。尚、本実施形態では、駆動信号入力端子２とバ
ンプ１３との相対位置精度は±１０μｍである。
【００２６】各駆動信号入力端子２とプローブピン７と
の接続は、従来のように各駆動信号入力端子２と各プロ
ーブピン７を直接接触させずに、プローブピン７とプレ
ート９の導電パターン１２とを接続し、その接続したプ
レート９の各バンプ１３と駆動信号入力端子２とを接触
させる構成であるため、プローブピン７の千鳥配列用エ
リアを十分取ることができる。従って、多様なプローブ
ピン７の配列が可能となり、検査目的にあったプローブ
ピン７の配列を行うことができて、液晶表示パネル１の
駆動信号入力端子２に検査信号を入力して表示検査を行
うことができる。
の接続は、従来のように各駆動信号入力端子２と各プロ
ーブピン７を直接接触させずに、プローブピン７とプレ
ート９の導電パターン１２とを接続し、その接続したプ
レート９の各バンプ１３と駆動信号入力端子２とを接触
させる構成であるため、プローブピン７の千鳥配列用エ
リアを十分取ることができる。従って、多様なプローブ
ピン７の配列が可能となり、検査目的にあったプローブ
ピン７の配列を行うことができて、液晶表示パネル１の
駆動信号入力端子２に検査信号を入力して表示検査を行
うことができる。
【００２７】尚、本実施形態では、プローブピン７を６
段の千鳥配列して説明したが、今後一層パネルの高精細
化が進んだ場合、９段又は１２段の千鳥配列も可能であ
る。
段の千鳥配列して説明したが、今後一層パネルの高精細
化が進んだ場合、９段又は１２段の千鳥配列も可能であ
る。
【００２８】
【発明の効果】以上のような構成であるから、請求項１
記載の発明は、液晶表示パネルの生産工程であるパネル
点灯表示検査工程において、従来のように各駆動信号入
力端子と各プローブピンの一端とを直接接触させずに、
プレートを介在して接触させることにより、駆動信号入
力端子長よりプレートを長く取ることができ、プローブ
ピンの配列エリアを十分に取ることができるため、今後
さらに駆動信号入力端子長の縮小化及びその端子ピッチ
の微細化される液晶表示パネルの点灯検査が可能とな
る。また、多様なプローブピンの配列が可能となり、検
査目的にあわせたプローブピンの配列ができる。
記載の発明は、液晶表示パネルの生産工程であるパネル
点灯表示検査工程において、従来のように各駆動信号入
力端子と各プローブピンの一端とを直接接触させずに、
プレートを介在して接触させることにより、駆動信号入
力端子長よりプレートを長く取ることができ、プローブ
ピンの配列エリアを十分に取ることができるため、今後
さらに駆動信号入力端子長の縮小化及びその端子ピッチ
の微細化される液晶表示パネルの点灯検査が可能とな
る。また、多様なプローブピンの配列が可能となり、検
査目的にあわせたプローブピンの配列ができる。
【００２９】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の効果に加えて、検査信号が色の三原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
毎に入力可能なパターンを有する基板と各プローブピン
の他端とを接続することにより、駆動信号入力端子間の
リーク検査、各種単色点灯検査等の表示検査を行うこと
ができる。
の効果に加えて、検査信号が色の三原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）
毎に入力可能なパターンを有する基板と各プローブピン
の他端とを接続することにより、駆動信号入力端子間の
リーク検査、各種単色点灯検査等の表示検査を行うこと
ができる。
【図１】本発明の液晶表示パネルの検査装置の実施形態
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
【図２】本実施形態を示す液晶表示パネルと検査装置と
の接続関係の概略斜視図である。
の接続関係の概略斜視図である。
【図３】図２に示すＡ部の拡大側面図である。
【図４】本実施形態を示すプレートとプローブピンとの
接続関係の平面図である。
接続関係の平面図である。
【図５】本実施形態を示すフレキシブル基板とプローブ
ピンとの接続関係の平面図である。
ピンとの接続関係の平面図である。
【図６】本実施形態を示す液晶表示パネルとプローブピ
ンに接続されたプレートとの接続状態の平面図である。
ンに接続されたプレートとの接続状態の平面図である。
【図７】図６に示す側面図である。
【図８】図７に示すＢ部の拡大図である。
【図９】従来の液晶表示パネルの駆動信号入力端子とプ
ローブピンとの接続関係を示す平面図である。
ローブピンとの接続関係を示す平面図である。
【図１０】図９に示す側面図である。
【図１１】液晶表示パネルの駆動信号入力端子とプロー
ブピンとの接続関係を示す平面図である。
ブピンとの接続関係を示す平面図である。
【図１２】図１１の側面図である。
１、２１ 液晶表示パネル ２、２２ 駆動信号入力端子 ３ 位置合わせマーク ４ 載置台 ５ 下部ステージ ６ 上部ステージ ７、２７ プローブピン ８ フレキシブル基板 ９、２９ プレート １０ 位置合わせカメラ １１ 検査用点灯信号発生回路 １２、３２ 導電パターン １３、３３ バンプ １４ ストレートパターン １５ リレー回路
Claims (2)
- 【請求項１】 液晶表示パネルの各駆動信号入力端子と
検査信号を入力するための各プローブピンの一端とを接
触させて表示検査を行う液晶表示パネルの検査装置にお
いて、 上記各駆動信号入力端子と同ピッチの導電パターンを有
し、該各導電パターン先端の裏面にスルーホールにより
設けられたバンプを有するプレートを形成し、 すべての少なくとも隣り合う上記プローブピンが上記導
電パターンに対して直行する直線上に位置しないよう
に、上記各導電パターンと上記各プローブピンの一端と
を接続し、 上記各駆動信号入力端子と上記各バンプとを接触させて
表示検査を行うことを特徴とする液晶表示パネルの検査
装置。 - 【請求項２】 上記検査信号が色の三原色（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）毎に入力可能なパターンを有する基板と上記各プロ
ーブピンの他端とを接続することを特徴とする請求項１
記載の液晶表示パネルの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21340195A JPH0961458A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21340195A JPH0961458A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961458A true JPH0961458A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16638614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21340195A Pending JPH0961458A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961458A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097435A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Nhk Spring Co., Ltd. | 液晶パネル用検査装置 |
| KR100767913B1 (ko) * | 2005-02-02 | 2007-10-17 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 검사 프로브 |
| CN100422748C (zh) * | 2006-02-10 | 2008-10-01 | 友达光电股份有限公司 | 电子组件测试系统的万用型探针装置 |
| CN108828809A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-16 | 中电装备山东电子有限公司 | 一种检测液晶显示的装置及方法 |
| US11138931B2 (en) | 2018-03-30 | 2021-10-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device and manufacturing method therefor |
| US11250789B2 (en) | 2018-03-30 | 2022-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device and manufacturing method therefor |
| US11328637B2 (en) * | 2018-10-26 | 2022-05-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Inspecting device of display panel and inspecting method of display panel using the same |
-
1995
- 1995-08-22 JP JP21340195A patent/JPH0961458A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097435A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Nhk Spring Co., Ltd. | 液晶パネル用検査装置 |
| CN100434925C (zh) * | 2003-04-25 | 2008-11-19 | 日本发条株式会社 | 液晶面板用检查装置 |
| KR100767913B1 (ko) * | 2005-02-02 | 2007-10-17 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 검사 프로브 |
| CN100422748C (zh) * | 2006-02-10 | 2008-10-01 | 友达光电股份有限公司 | 电子组件测试系统的万用型探针装置 |
| US11138931B2 (en) | 2018-03-30 | 2021-10-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device and manufacturing method therefor |
| US11250789B2 (en) | 2018-03-30 | 2022-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device and manufacturing method therefor |
| CN108828809A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-16 | 中电装备山东电子有限公司 | 一种检测液晶显示的装置及方法 |
| US11328637B2 (en) * | 2018-10-26 | 2022-05-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Inspecting device of display panel and inspecting method of display panel using the same |
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