JPWO2017168530A1 - 基板の配線経路の検査方法及び検査システム - Google Patents
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Abstract
基板1上に形成された複数の配線経路31〜34の端部に接触させられるプローブセット2と、配線経路31〜34を前記端部以外で短絡させる可撓性導電体9と、可撓性導電体9によって短絡させた配線31〜34から選択された配線対の間の抵抗値が所定値よりも低いか否かを判定する判定部8が設けられた検査装置4とを備える構成である。
Description
また、上述した特許文献1に記載された布線検査機、及び特許文献2に記載された回路基板検査装置においても、プローブ類が実際に電気的に接続されているか否かを確認していない。
上記複数の配線経路の各々の一端が形成された接続端子領域にプローブセットを配置するステップと、上記複数の配線経路の上記接続端子領域を除く領域で該複数の配線経路の任意の一対を短絡させるステップと、上記一対を短絡させた条件下にて該一対の間で測定した第1抵抗値が所定値よりも低いか否かを判定するステップとを含むことを特徴としている。
さらに、本発明に係る検査システムによれば、電気的に互いに独立した複数の配線経路が形成された表面を有する基板の配線経路の電気的検査を簡便に行うことができる。
また、本明細書中において、基板の配線経路の電気的検査(例えば、絶縁検査、導通検査等)を行う場合にコンタクトプローブの電極を接触させる配線経路の一端(接続端子)が形成されている接続端子領域を第1領域と称し、コンタクトプローブの電極を接触させない他端が形成されている接続端子領域を第2領域と称する。
以下に、本発明を図面に基づいて、複数の配線から構成された複数の配線経路の各々が異なる信号を伝播する態様を用いて説明する。
図1は、液晶パネルのTFT基板(アレイ基板)に形成された配線経路の電気的検査を行うための、本実施形態に係る検査システムの構成を概略的に示すブロック図である。本実施形態が適用されるTFT基板として、対向基板(CF基板)との貼合せの前の基板が用いられても、貼合せ及び液晶封入の後の液晶パネルが用いられてもよい。
本実施形態に係る検査システム100は、プローブセット2、検査装置4及び導電ゴム(可撓性導電体)9を備えており、プローブセット2は、スイッチ回路3を介して配線コードによって検査装置4と接続されている。
本実施形態に係る検査システム100は、図1に示されるようなTFT基板(基板)1に対して実行される。基板1の表面上には、第1信号を伝播する配線経路31、第2信号を伝播する配線経路32、第3信号を伝播する配線経路33、第4信号を伝播する配線経路34が、電気的に互いに独立した複数の配線経路として形成されている。
図1に示すように、プローブセット2における電極A,B,C,Dを、TFT基板1の表面上に形成された4本の配線経路31,32,33,34の端部と接続端子領域(第1領域)にて接触させる。このような接続端子領域は、基板外部との電気的接続を容易にするために、TFT基板1の表面の縁部に形成されていることが好ましい。
このようなプローブヘッドを用いれば、検査者は、カメラの撮影画像を見ながら手動で、電極A,B,C,Dを、複数の配線経路31,32,33,34の端部と同一のXY位置に電極A,B,C,Dを移動させた後に、Z方向に沿ってゴム等の押圧部を用いてプローブセット2を押圧することにより、プローブセット2と複数の配線経路31,32,33,34との接触を補助することができる。
すなわち、本実施形態に係る検査システム100が適用される上記基板1は、液晶パネルのTFT基板1であり、上記配線経路31,32,33,34は、補助容量を制御する信号を供給する補助容量の配線経路である。
スイッチ回路3は、プローブセット2の電極A,B,C,Dの各々と配線コードを介して接続されており、検査装置4からの指示信号に従って、電極A,B,C,Dに対応する4本の配線コードから選択した2本を検査装置4の入力端子へ接続する。
表示画面5は、検査者に必要な検査装置4の操作情報及び検査結果等を表示する。
操作部6は、検査者から検査装置4への操作入力を受け付ける。
抵抗測定部7は、選択された配線コードへ低電流を通電するとともに該配線コードに対応する配線経路の間の抵抗値を測定する。
導電ゴム9は、複数の配線経路を短絡させる治具であり、複数の配線経路31,32,33,34の第1領域を除く任意の箇所(第2領域の接続端子を含む。)にて上記複数の配線経路の全てに接するように配置されることにより、複数の配線経路31,32,33,34の間を一括で短絡させる。複数の配線経路を一括で短絡することができるので、配線コードの選択に応じた導電ゴム9の位置変更を必要としない。
本明細書中において、抵抗値が測定されるべき1本と1本との間の関係、あるいは1本と一群との間の関係を「一対」または「対」と称する。例えば、4本の配線コードから選択される「一対」または「配線コード対」は、2本の配線コードの場合もあれば、1本の配線コードと一群(3本の配線コード)との対の場合もある。
先ず、検査対象である液晶パネルのTFT基板1が検査ラインにセットされる(S1)。なお、検査対象であるTFT基板1は、対向基板(CF基板)と貼り合わせられかつ液晶が封入されている液晶パネルとして提供されてもよい。
次に、プローブセット2の電極A,B,C,Dが第1領域の各接続端子に接触するように、プローブセット2を備えるプローブヘッドが第1領域に配置される(S3)。
この状態で、操作部6が、予備検査の開始操作を受け付けると(S7)、スイッチ回路3が、電極A,B,C,Dに接続された4本の配線コードから一対(2本)を選択し、この対の配線コードを検査装置4の入力端子へ接続する(S9)。
制御部8は、次に、全ての配線コード対の間の抵抗値Rを測定し終えたか否かを判定し(S17)、測定し終えていなければ、スイッチ回路3が、未測定の配線コード対を選択し、この配線コード対を検査装置4の入力端子へ接続する(S9)。
予備検査に引き続いて本検査を行う場合、導電ゴム9が取り除かれて、補助容量の配線経路31,32,33,34の間の一括ショートが解除される(S23)。
次に、抵抗測定部7は、入力端子へ接続された(S31)配線コード対の間の抵抗値を測定し(S33)、制御部8は、抵抗測定部7が測定した抵抗値が絶縁抵抗値に相当するか否かを判定する(S35)。すなわち、制御部8は、上記一対を短絡させていない条件下にて該一対の間で測定した抵抗値(第2抵抗値)が絶縁抵抗値(所定値)よりも低いか否かを判定する判定部8でもある。
制御部8は、次に、全ての配線コード対の間の抵抗値を測定し終えたか否かを判定し(S39)、測定し終えていなければ、スイッチ回路3が、未測定の配線コード対を選択し、この配線コード対を検査装置4の入力端子へ接続する(S31)。
この状態で、操作部6が、検査の終了操作を受け付けると(S43)、全ての検査を終了する。
また、本検査における絶縁抵抗値に相当しない上記抵抗値が測定された配線コード対において、プローブセット及び導電ゴムの少なくとも一方の配置を変更した上で得られた抵抗値が絶縁抵抗値に相当するか否かの判定を再度実行し、その結果を表示画面5に表示してもよい。
本実施形態に係る検査システム100が適用される上記基板1が液晶パネルのTFT基板1である場合、基板1の表面上に形成されている複数の配線経路には、補助容量を制御する信号を供給する配線経路(補助容量の配線経路)だけでなく、共通電極の基準電位を生成する信号を供給する配線経路(共通電極の配線経路)が含まれていてもよい。
本実施形態に係る検査システム100は、図4に示されるようなTFT基板(基板)1aに対して実行される。基板1aの表面上には、第1実施形態と同様に補助容量の配線経路31,32,33,34が形成されており、さらに、共通電極の配線経路35が電気的に互いに独立した複数の配線経路の1つとして形成されている。
共通電極の配線経路35は、TFT基板1aの第1領域の接続端子から接続部Tを経て対向基板上の共通電極に至るまでの経路が意図されるが、図中では便宜上、上記接続端子から接続部Tまでを共通電極の配線経路35として示す。
その他の構成及び動作は、上述した第1実施形態1と同じであるので、説明を省略する。
本実施形態を実行することにより、トランジスタを駆動することなく液晶パネルを疑似的に点灯する際に配線が焼ける危険性を低減することができる。
図5は、液晶パネルのTFT基板に形成された配線経路の電気的検査を行うための、本実施形態に係る検査システムの構成を概略的に示すブロック図である。図5には、対向基板に設けられた共通電極に所定の電位を与えるための対向基板との複数の接続部T、…が基板辺縁部に形成されているTFT基板が示されているが、本実施形態が適用されるTFT基板として、対向基板(CF基板)との貼合せの前の基板でなく、貼合せ及び液晶封入の後の液晶パネルが用いられる。
また、本実施形態においても、共通電極の配線経路35は、TFT基板1aの第1領域の接続端子から接続部Tを経て対向基板上の共通電極に至るまでの経路が意図されるが、図中では便宜上、上記接続端子から接続部Tまでを共通電極の配線経路35として示す。
電圧印加部7aは、スイッチ回路3aと接続された配線コードの全てを介して、補助容量の配線経路31,32,33,34及び共通電極の配線経路35に対して一斉に所定電圧を印加して、液晶パネルのTFT基板1aの表面上に形成されている全ての画素を点灯させる。
また、液晶パネルのTFT基板に形成された補助容量の配線経路及び共通電極の配線経路に電圧を印加すると、トランジスタを駆動することなく液晶パネルを疑似的に点灯することができる。
その他の構成及び動作は、上述した第2実施形態と同じであるので、説明を省略する。
このような液晶パネルにおける点灯検査及びセル厚ムラ検査は、プローブセット2a,2bがTFT基板上の配線経路と正常に接続していることを確認した上で行われるので、配線を焼くリスクが低減する。
以上のように、液晶パネルのTFT基板に形成された配線経路の電気的検査を行うための検査システムとして本発明の一実施形態を説明してきたが、この検査システムを実行する検査方法(基板の配線経路の電気的検査を行う検査方法)もまた、本発明の一態様である。すなわち、上記システムのプローブセットを配置するステップと、上記システムの導電ゴム(可撓性導電体)を配置するステップと、上記システムにおける判定を実行するステップとを含む検査方法は、本発明の一実施形態といえる。
2,2a,2b プローブセット
3,3a スイッチ回路
4,4a 検査装置
5 表示画面
6 操作部
7 抵抗測定部
7a 電圧印加部
8 制御部(判定部)
9 導電ゴム(可撓性導電体)
31,32,33,34 補助容量の配線経路(配線経路)
35 共通電極の配線経路(配線経路)
Claims (8)
- 電気的に互いに独立した複数の配線経路が形成された表面を有する基板の配線経路の電気的検査を行う検査方法であって、
前記複数の配線経路の各々の一端が形成された接続端子領域にプローブセットを配置するステップと、
前記複数の配線経路の前記接続端子領域を除く領域で該複数の配線経路の任意の一対を短絡させるステップと、
前記一対を短絡させた条件下にて該一対の間で測定した第1抵抗値が所定値よりも低いか否かを判定するステップと
を含むことを特徴とする基板の配線経路の検査方法。 - 前記基板が、液晶パネルのTFT基板であり、前記配線経路が、補助容量を制御する信号を供給する配線経路、又は共通電極の基準電位を生成する信号を供給する配線経路である、請求項1に記載の基板の配線経路の検査方法。
- 前記一対を短絡させていない条件下にて該一対の間で測定した第2抵抗値が所定値よりも低いか否かを判定するステップをさらに含む、請求項1又は2に記載の基板の配線経路の検査方法。
- 第1抵抗値についての判定結果及び第2抵抗値についての判定結果によって複数の配線経路の間で短絡が形成されているか否かを判定するステップをさらに含む、請求項3に記載の基板の配線経路の検査方法。
- 電気的に互いに独立した複数の配線経路が形成された表面を有する基板の配線経路の電気的検査を行う検査システムであって、
前記複数の配線経路の各々の一端が形成された接続端子領域に配置するプローブセットと、
前記複数の配線経路の前記接続端子領域を除く領域に配置して該複数の配線経路の任意の一対を短絡させる可撓性導電体と、
前記一端を短絡させた条件下にて該一対の間で測定した第1抵抗値が所定値よりも低いか否かを判定する判定部が設けられた検査装置と
を備えることを特徴とする検査システム。 - 前記基板が、液晶パネルのTFT基板であり、前記配線経路が、補助容量を制御する信号を供給する配線経路、又は共通電極の基準電位を生成する信号を供給する配線経路である、請求項5に記載の検査システム。
- 前記判定部が、前記一対を短絡させていない条件下にて該一対の間で測定した第2抵抗値が所定値よりも低いか否かをさらに判定する、請求項5又は6に記載の検査システム。
- 前記判定部が、第1抵抗値についての判定結果及び第2抵抗値についての判定結果によって複数の配線経路の間で短絡が形成されているか否かをさらに判定する、請求項7に記載の検査システム。
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