JPH0695143A - 電子映像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表示領域に配設した配線の断線や短絡の検査
のための検査用パッドの個数を減らすことができ、かつ
スイッチング素子の数を検査対象となる配線の総本数の
２倍より減らしても配線の断線及び短絡の全数検査を行
うことのできる液晶表示装置等の電子映像装置を提供す
ること。 【構成】 表示領域上に複数の配線（アドレス線，デー
タ線，補助容量線等）を配置した液晶表示装置等の電子
映像装置において、平行配置された配線のうちの隣接す
る２本（Ｌ１とＬ２，Ｌ３とＬ４，…，Ｌn-1 とＬｎ）
を１組とし、表示領域以外の領域で各配線に１つずつ検
査用の薄膜トランジスタＳＬ１，ＳＬ２，〜，ＳＬｎを
接続し、かつ薄膜トランジスタを同一組では画素領域を
挟んで反対側に接続したことを特徴する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置や固体撮
像装置等の電子映像装置に係わり、特に画素領域に配設
された配線の断線や配線間の短絡等の検査を容易化した
電子映像装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、フラットパネルディスプレイとし
ての液晶表示装置は、軽量，薄形化が可能で低消費電力
であることから、例えば携帯用ＴＶ，ラップトップパソ
コンのディスプレイなどに応用されており、さらに大型
化，高精細化の研究開発が盛んに進められている。

【０００３】液晶駆動用マトリクス基板として、互いに
交差する複数本ずつのアドレス配線及びデータ配線、ア
モルファスＳｉ或いはポリＳｉにより構成した薄膜トラ
ンジスタ（ＴＦＴ）又は金属膜−絶縁膜−金属膜構造の
ダイオード（ＭＩＭ）、及び画素電極を基板上に配列し
た構成が知られている。液晶表示装置は、この液晶駆動
用アクティブマトリクス基板と対向基板との間に液晶を
封入することによって構成される。

【０００４】液晶駆動用マトリクス基板の検査の一つと
して、配線の断線及び短絡の検査がある。図８は従来の
検査用パッドの接続例を示す図であり、この図を用いて
従来の検査方法について説明する。配線（Ｌ１〜Ｌｎ）
の検査用のパッドはそれぞれの配線の両端に或いはその
近傍に形成されている（Ａ１〜Ａｎ、Ｂ１〜Ｂｎ）。検
査用パッドに検査用のプローブをプロービングし、対向
するパッド間（例えばＡ１とＢ１）及び隣合う配線のパ
ッド間（例えばＡ１とＡ２）の電気的特性を測定するこ
とによって、断線及び短絡を検査する。検査パッドの大
きさは検査用のプローブをプロービングするために、１
００μｍ×１００μｍ程度の大きさが必要である。

【０００５】一方、液晶表示装置には高精細化の要求が
あり、配線のピッチを狭くする必要がある。上記に述べ
てきたように検査パッドの大きさは１００μｍ×１００
μｍ程度の大きさが必要なため、例えば配線ピッチが５
０μｍピッチになった場合には、検査パッドは一列に並
べることができない。このようなピッチの狭い配線の断
線及び短絡の全数検査を行うためには、図９に示すよう
に検査用のパッドをずらして配置しなければならない。

【０００６】しかし、図９のように検査パッドを配置す
ると、配線方向に検査パッドを形成する領域の占有する
幅が広くなるという問題がある。また、検査パッド近辺
の配線の密度が高くなるため、パターン間のスペースが
狭くなり配線パターンが短絡する確率が高くなってしま
い、検査の正確さが低下するばかりでなく、液晶表示装
置の線欠陥を増やしてしまうことにもなる。

【０００７】また、検査用のプローブは、通常複数本を
同時にパッドにプロービングした状態で検査を行ってい
るが、検査用のパッドの間隔が狭くなるため、同時にパ
ッドにプロービングすることができるプローブの本数が
少なくなってしまう。従って、同時に検査できる配線の
本数が少なくなってしまい、検査に要する時間が長くな
ってしまうという問題点がある。さらに、検査用パッド
の間隔によってはプロービング自体ができなくなってし
まい、配線の断線及び短絡の全数検査が事実上不可能と
なってしまう。

【０００８】そこで検査に必要なパッドの数を減らし、
検査を効率良く行うための配線と検査パッドの接続方法
として、図１０のように配線（Ｌ１〜Ｌｎ）の両端に薄
膜トランジスタ（ＳＬ１１〜ＳＬｎ１，ＳＬ１２〜ＳＬ
ｎ２）を接続し、パッドの数を減らす方法がある。両端
に接続した薄膜トランジスタのゲート電極を、例えば４
本毎に同一の配線（ＣＡＬ１〜ＣＡＬ４，ＣＢＬ１〜Ｃ
ＢＬ４）により駆動することで、検査用パッド対の個数
を４本に１対と減らすことができる。配線の検査方法と
しては、例えば検査用パッドＡ１とＢ１の間で、薄膜ト
ランジスタＳＬ１１とＳＬ１２を同時に駆動することで
配線Ｌ１の断線を、ＳＬ１１とＳＬ２２を同時に駆動す
ることで配線Ｌ１とＬ２間の短絡を検査することができ
る。

【０００９】しかし、このような配線構造では、配線の
両端に薄膜トランジスタを接続するため、薄膜トランジ
スタの数は検査の対象となる配線の総本数の２倍の個数
が必要であった。

【００１０】また、検査の対象となる配線１本につき１
個の薄膜トランジスタを接続して配線の検査パッドを減
らす接続方法として、図１１，図１２のように、表示領
域に対して片側に薄膜トランジスタを接続し、検査パッ
ドを数本毎に１対とする構造がある。図１１において
は、共通配線ＣＢＬ１〜ＣＢＬ４を順に走査し検査パッ
ドＡ１とＢ１間で電気的測定を行うことによって、配線
Ｌ１〜Ｌ４の断線を検査することができる。また、図１
２においては、ＳＬ１〜ＳＬ４を駆動したときにＣＢ
１，ＣＢ２，ＣＢ３，ＣＢ４，Ｂ１間の電気的測定を行
うことによって、配線Ｌ１〜Ｌ４の断線を検査すること
ができる。従って、この構造は液晶表示装置の片側にの
み検査用の薄膜トランジスタや、配線，検査用パッドを
形成する領域がある場合には有効な接続方法ではある。

【００１１】しかし、図１１，図１２のいずれの接続方
法においても、配線間の短絡は、発生する場所によって
検出されたり検出されなかったりするので、短絡検査を
正確に行うことは困難であるという欠点がある。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このように従来、液晶
表示装置が高精細となり配線のピッチが狭くなるにつれ
て、検査用パッドを形成する領域の幅が配線方向に広く
なったり、同時にプローブを使用しての検査ができる配
線の本数が少なくなったり、配線のピッチによってはプ
ロービング自体が不可能となり、配線の全数検査が不可
能となってしまうなどの問題点があった。また、薄膜ト
ランジスタを使用してパッドを少なくする配線構造もあ
るが、上記に述べた配線構造では、配線の断線及び短絡
の全数検査を行うためには、配線の両端に薄膜トランジ
スタを接続するため、薄膜トランジスタの数が検査の対
象となる配線の総本数の２倍となり、薄膜トランジスタ
の形成に要する面積が大きくなる。薄膜トランジスタの
数を減らすと、配線の断線の検査は可能でも、配線間の
短絡の検査を正確に行うことは困難となる。

【００１３】また、上記の問題点は液晶表示装置に限る
ものではなく、特定の領域（画素領域）を横断して複数
の配線を設けた構造、例えば固体撮像装置についても同
様に言えることである。

【００１４】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、画素領域に配設した配
線の断線や短絡の検査のための検査用パッドの個数を減
らすことができ、かつスイッチング素子の数を検査対象
となる配線の総本数の２倍より減らしても配線の断線及
び短絡の全数検査を行うことのできる電子映像装置を提
供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明では、基板基板上に複数の配線を平行に配置した
電子映像装置において、隣接する配線のｎ本（ｎ≧２）
を１組とし、各配線に１つずつ検査用のスイッチング素
子を接続し、かつスイッチング素子を同一組内では１本
おきに互い違いの配線の終端に接続したことを特徴とし
ている。ここで、スイッチング素子は配線の終端に接続
されるが、終端とは配線の末端及びその周辺を指し、配
線の末端から全長の１／１０程度内側に入った領域まで
のことである。

【００１６】また本発明は、表示又は撮像に供される画
素領域を横断して複数の配線を平行に配置した電子映像
装置において、隣接する配線のｎ本（ｎ≧２）を１組と
し、画素領域以外の領域で各配線に１つずつ検査用のス
イッチング素子を接続し、かつスイッチング素子を同一
組では画素領域を挟んで１本おきに互い違いに接続した
ことを特徴としている。

【００１７】より具体的には本発明は、複数のアドレス
配線と、このアドレス配線に絶縁膜を介して交差部を形
成する複数のデータ配線と、これら交差部近傍に配置さ
れた画素電極と、交差部に隣接して配置されており、ア
ドレス配線に電気的に接続されたゲート，データ配線に
電気的に接続されたドレイン，画素電極に電気的に接続
されたソースからなる薄膜トランジスタとを備えた液晶
表示装置において、画素電極に接続している薄膜トラン
ジスタ以外に、アドレス配線及びデータ配線の少なくと
も一方の表示領域以外の領域に、配線毎に１つずつ接続
する検査用のスイッチング素子を有し、そのスイッチン
グ素子が表示領域を挟んで、１本おきに互い違いに配置
されている構造を有することを特徴とする。

【００１８】

【作用】本発明によれば、配線の片側のみにスイッチン
グ素子を接続し、検査パッドの数を少なくする構造で、
かつ画素領域を挟んで交互にスイッチング素子を接続し
ているので、配線の断線及び短絡を全数検査することが
できる。そして、検査パッド数を減らすことができるた
め、配線のピッチが狭くなっても配線の断線及び短絡の
検査を容易に行うことができる。また、検査パッド数を
減らすために配線に接続するスイッチング素子は、配線
の片側のみに設けるため、スイッチング素子を形成する
ための領域の面積が両側に形成する場合に比べて約半分
でよい。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の詳細を図示の実施例によって
説明する。なお、以下の図では、検査に必要な配線，素
子を記載し、表示領域の等価回路及び信号入力に必要な
入力パッドや駆動回路，保護回路などは省略している。

【００２０】図１は、本発明の第１の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
検査用パッドＡ１，Ａ２，〜，Ａｎ及びＢ１，Ｂ２，
〜，Ｂｎは、検査の対象となっている配線の２本につき
１対ずつ形成されている。配線Ｌ１，Ｌ３，〜，Ｌ（２
ｍ−１）の左端近傍に、スイッチング素子としての薄膜
トランジスタＳＬ１，ＳＬ３，〜，ＳＬ（２ｍ−１）の
ソース・ドレイン電極の一方が接続され、配線Ｌ２，Ｌ
４，〜，Ｌ（２ｍ）の右端近傍に薄膜トランジスタＳＬ
２，ＳＬ４，〜，ＳＬ（２ｍ）のソース・ドレイン電極
の一方が接続されている。

【００２１】配線に接続している検査用薄膜トランジス
タのもう一方のソース・ドレイン電極は検査用パッドに
接続されており、また薄膜トランジスタが接続していな
い配線端も検査用パッドに接続されている。薄膜トラン
ジスタＳＬ１，ＳＬ２，〜，ＳＬｎのゲート電極は、検
査用共通パッドＣＡ１及びＣＢ１に接続されている検査
用共通配線ＣＡＬ１及びＣＢＬ１に接続されている。つ
まり、薄膜トランジスタは、図示しない表示領域の外に
表示領域を挟んで１本おきに互い違いに設けられてい
る。

【００２２】なお、この実施例においては、検査用の薄
膜トランジスタをｏｆｆ状態にすることによって、配線
は全て電気的に独立した状態になるので、液晶表示装置
が完成した後も検査用の薄膜トランジスタ及び検査用配
線を液晶駆動用マトリックス基板の回路から切り放す必
要はない。つまり、本検査のための検査用スイッチング
素子，検査用パッド，配線などは、配線端などの切り放
しが容易な場所に形成する必要はなく、表示領域以外の
任意の場所に形成することができる。また、切り放すた
めの、新たなパターニング及びエッチングの必要もな
い。

【００２３】次に、本実施例における配線の断線及び短
絡の検査方法について説明する。まず、検査用共通パッ
ドＣＡ１より電気信号を入れて、検査用共通配線ＣＡＬ
１に接続している薄膜トランジスタＳＬ１，ＳＬ３，
〜，ＳＬ（２ｍ＋１）をｏｎ状態にし、検査パッドＡ１
とＢ１，Ａ２とＢ２，〜，ＡｎとＢｎ間の電気的特性を
測定して、配線Ｌ１，Ｌ３，〜，Ｌ（２ｍ−１）の断線
を検査する。この時、検査用共通配線ＣＢＬ１に接続し
ている薄膜トランジスタＳＬ２，ＳＬ４，〜，ＳＬ（２
ｍ）はｏｆｆの状態である。

【００２４】次いで、検査用共通パッドＣＢ１より電気
信号を入れて、検査用共通配線ＣＢＬ１に接続している
薄膜トランジスタＳＬ２，ＳＬ４，〜，ＳＬ（２ｍ）を
ｏｎ状態にし、検査パッドＡ１とＢ１，Ａ２とＢ２，
〜，ＡｎとＢｎ間の電気的特性を測定して、配線Ｌ２，
Ｌ４，〜，Ｌ（２ｍ）の断線を検査する。この時検査用
共通配線ＣＡＬ１に接続している薄膜トランジスタＳＬ
１，ＳＬ３，〜，ＳＬ（２ｍ＋１）はｏｆｆの状態であ
る。

【００２５】最後に、検査用共通配線ＣＡＬ１，ＣＢＬ
２のいずれに接続している薄膜トランジスタもｏｆｆの
状態として、検査用パッドＡ１とＢ１，Ａ２とＢ２，
〜，ＡｎとＢｎ間、及びＡ１とＢ２，Ａ２とＢ３，〜，
Ａｎ−１とＢｎ間の電気的測定を行って、配線間の短絡
を検査する。

【００２６】このように本実施例によれば、配線Ｌ１，
Ｌ２，〜，Ｌｎの断線及び隣接する配線間の短絡を検査
することができ、しかもこれらの全数検査を行うことが
できる。そしてこの場合、配線の断線及び短絡の検査の
ためのパッドの数を従来のスイッチング素子を使用しな
い場合の約半分の数に減らすことができ、かつ図１０の
従来例に比較してスイッチング素子の数を半分にしても
全数検査を行うことができる。

【００２７】図２は、本発明の第２の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
検査パッドＡ１，Ａ２，〜，Ａｎ及びＢ１，Ｂ２，〜，
Ｂｎは第１の実施例と同様２本の配線に対して１対あ
る。検査用の薄膜トランジスタＳＬ１，ＳＬ２，〜，Ｓ
Ｌｎも第１の実施例と同様に配線の左端近傍と、右端近
傍に互い違いに配置されているが、検査の対象となる配
線に接続しているのは、薄膜トランジスタのゲート電極
である。薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極は、
検査用共通パッドＣＡ１，ＣＡ２及びＣＢ１，ＣＢ２に
接続している検査用共通配線ＣＡＬ１，ＣＡＬ２及びＣ
ＢＬ１，ＣＢＬ２にそれぞれ接続されている。

【００２８】なお、この実施例においても、配線は全て
電気的に独立しているので、液晶表示装置が完成した後
も検査用の薄膜トランジスタ及び検査用配線を液晶駆動
用マトリックス基板の回路から切り放す必要はない。

【００２９】次に、第２の実施例における検査方法につ
いて説明する。検査用パッドＡ１，Ａ２，〜Ａｎ及びＢ
１，Ｂ２，〜，Ｂｎを順に走査していくことにより薄膜
トランジスタＳＬ１，ＳＬ２，〜ＳＬｎを順番にｏｎ状
態にしていくことができ、そのときのＣＡ１とＣＡ２
間，ＣＢ１とＣＢ２間，…の電気的特性を測定すること
によって、配線Ｌ１，Ｌ２，〜，Ｌｎの断線を検査す
る。次いで、検査用パッドＡ１とＢ１及びＢ２間，Ａ２
とＢ２及びＢ３間の電気的特性を測定することによっ
て、配線間の短絡を検査する。

【００３０】このような実施例であっても、第１の実施
例と同様に、配線Ｌ１，Ｌ２，〜，Ｌｎの断線及び短絡
を全数検査することができ、これらの検査のためのパッ
ドの数を減らし、かつスイッチング素子の数を減らすこ
とができる。

【００３１】図３は、本発明の第３の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
この実施例は、基本的には第１の実施例の薄膜トランジ
スタと配線の接続方法と同じであるが、検査用のパッド
を４本毎に１対形成していることが異なる。検査用共通
配線はＣＡＬ１，ＣＡＬ２，ＣＢＬ１，ＣＢＬ２の４本
を形成しており、共通の検査用パッド対を使用している
配線に接続している検査用薄膜トランジスタのゲート電
極は、全て異なる検査用共通配線に接続している。さら
に、薄膜トランジスタはＳＬ１，ＳＬ３，〜，ＳＬ（２
ｍ＋１）が配線の左端近傍に、薄膜トランジスタはＳＬ
２，ＳＬ４，〜，ＳＬ２ｍが配線の右端近傍に接続され
ている。

【００３２】検査方法は、第１の実施例と同様である。
この実施例においては従来の素子を使用しない配線構造
の場合と比較すると、検査パッドの個数は約１／４とな
る。さらに、共通配線の本数を増やすことによって、１
対の検査パッドで測定できる配線の本数を増やすことが
可能なので、検査パッドの個数をさらに減らすことがで
きる。但し、このままだと配線Ｌ１とＬ３，Ｌ２とＬ４
が表示領域外部で接続されているので、検査後に検査用
の薄膜トランジスタ及び検査用配線を液晶駆動用マトリ
ックス基板の回路から切り放す必要がある。

【００３３】図４は、本発明の第４の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
この実施例は基本的には第２の実施例の薄膜トランジス
タと配線の接続方法と同じであるが、検査用のパッドを
４本毎に１対形成していることが異なる。検査用共通配
線はＣＡＬ１，ＣＡＬ２，ＣＡＬ３，ＣＢＬ１，ＣＢＬ
２，ＣＢＬ３の６本を形成しており、共通の検査用パッ
ド対を使用している配線に接続している検査用薄膜トラ
ンジスタの、ソース・ドレイン電極の接続している検査
用共通配線の組み合わせは、全て異なる組み合わせにな
っている。

【００３４】検査方法は、第２の実施例と同様である。
この実施例においては従来の素子を使用しない配線構造
の場合と比較すると、検査パッドの個数は約１／４とな
る。さらに、共通配線の本数を増やすことによって、１
対の検査パッドで測定できる配線の本数を増やすことが
可能なので検査パッドの個数をさらに減らすことができ
る。なお、この場合も第３の実施例と同様に、検査後に
検査用の薄膜トランジスタ及び検査用配線を液晶駆動用
マトリックス基板の回路から切り放す必要がある。

【００３５】図５は、本発明の第５の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
この実施例は、基本的には第３の実施例における薄膜ト
ランジスタと配線の接続方法と同じであるが、検査用の
共通配線はＣＡＬ１，ＣＢＬ１の２本で、左端近傍にあ
る薄膜トランジスタのゲート電極は全てＣＡＬ１に、右
端近傍にある薄膜トランジスタのゲート電極は全てＣＢ
Ｌ２に接続していることが異なる。この構造の場合には
断線した配線を特定することはできないが、より簡易的
な測定で検査の対象となる全配線の断線及び短絡の検査
を行うことができる。

【００３６】図６は、本発明の第６の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
この実施例は基本的には第４の実施例における薄膜トラ
ンジスタと配線の接続方法と同じである。この実施例に
おいては、検査用の薄膜トランジスタの接続していない
方の配線端と検査用のパッドの間に、抵抗（Ｒ１〜Ｒ
ｎ）が挿入されている。

【００３７】このような構成であれば、配線の断線や短
絡の検査は第４の実施例と全く同様にして行うことがで
きる。そして、抵抗を挿入したことにより、配線は全て
電気的に独立した状態になるので、液晶表示装置が完成
した後も検査用の薄膜トランジスタ及び検査用配線を液
晶駆動用基板の回路から切り放す必要はない。

【００３８】図７は、本発明の第７の実施例に係わる液
晶駆動用マトリックス基板の回路構成を示す図である。
第１〜第６の実施例においては、配線端に接続する検査
のためのスイッチング素子に薄膜トランジスタを使用し
ていたが、この実施例においてはダイオードを検査のた
めのスイッチング素子として使用したものである。

【００３９】このような構成であっても、検査パッドに
印加する電圧の極性を変えることにより、ダイオードを
スイッチング素子として使用することができ、第１の実
施例と同様に、少ないパッド数及び少ないスイッチング
素子数で配線の断線及び短絡を検査することができる。

【００４０】なお、本発明は上述した各実施例に限定さ
れるものではない。検査が必要な複数本の配線を有する
ならば、薄膜トランジスタを使用したアクティブマトリ
クス型の液晶表示装置に限らず、ＭＩＭ素子を使用した
アクティブマトリクス型の液晶表示装置、或いは単純マ
トリクス型の液晶表示装置にも適用できる。さらに、透
過型，反射型のいずれの液晶表示装置にも適用すること
ができる。液晶表示装置の液晶駆動用基板及び対向基板
上の配線、例えばアドレス配線，データ配線，補助容量
線などの配線にも適用することができ、それらの配線の
全て或いは一部で実施することが可能である。また、配
線の検査用のパッド対を配線毎に形成してもプロービン
グに支障をきたさないような配線ピッチの液晶表示装置
においても、本発明を適用することにより検査用パッド
数を減らすことができるため、検査が簡便になるという
メリットがある。

【００４１】また、液晶駆動用マトリックス基板は、基
板を静電気から保護するために、少なくとも工程中はシ
ョートリングを有する場合が多い。ショートリングがあ
っても、例えば図１３に示すように、配線Ｌ１〜Ｌ４が
抵抗ＧＲ１〜ＧＲ４を介してショートリングＧＲに接続
している構造とすれば、ショートリング付きの液晶駆動
用マトリックス基板でも本発明を適用することができ
る。また、本発明は液晶表示装置に限らず、特定の領域
に複数の配線を設置した構造に適用することができ、例
えば固体撮像装置や半導体メモリ等のＬＳＩにも適用す
ることも可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で、種々変形して実施することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、隣
接する配線のｎ本（ｎ≧２）を１組とし、画素領域を挟
んで互い違いに検査用のスイッチング素子を設けている
ので、配線の断線や短絡の検査のための検査用パッドの
個数を減らすことができ、かつスイッチング素子の数を
減らすことのできる電子映像装置を実現することが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図２】第２の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図３】第３の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図４】第４の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図５】第５の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図６】第６の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図７】第７の実施例に係わる液晶駆動用マトリックス
基板の回路構成を示す図。

【図８】従来の配線の検査用パッドの接続例を示す図。

【図９】検査用のパッドをずらして配置した従来例を示
す図。

【図１０】配線の両端に薄膜トランジスタを接続した従
来例を示す図。

【図１１】表示領域に対して片側に薄膜トランジスタを
接続した従来例を示す図。

【図１２】表示領域に対して片側に薄膜トランジスタを
接続した従来例を示す図。

【図１３】本発明の変形例を示す図。

【符号の説明】 Ｌ１，Ｌ２，〜，Ｌｎ…断線及び短絡の検査の対象とな
る配線 Ａ１，Ａ２，〜，Ａｎ…検査用パッド Ｂ１，Ｂ２，〜，Ｂｎ…検査用パッド ＣＡ１，ＣＡ２，〜，ＣＡｎ…検査用共通パッド ＣＢ１，ＣＢ２，〜，ＣＢｎ…検査用共通パッド ＣＡＬ１，ＣＡＬ２，〜，ＣＡＬｎ…検査用共通配線 ＣＢＬ１，ＣＢＬ２，〜，ＣＢＬｎ…検査用共通配線 ＳＬ１〜ＳＬｎ，ＳＬ１１〜ＳＬｎ１，ＳＬ２１〜ＳＬ
２ｎ…検査のためのスイッチング素子 Ｒ１，Ｒ２，〜，Ｒｎ…抵抗

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板と、この基板上に平行に配置された複
   数の配線と、隣接する配線のｎ本（ｎ≧２）を１組と
   し、各配線に１つずつ接続され、かつ同一組内では１本
   おきに互い違いの前記配線の終端に接続された検査用の
   スイッチング素子とを具備してなることを特徴とする電
   子映像装置。