CN109073695A - 基板的配线路径的检查方法及检查系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板配线路径的检查系统，在对基板的配线路径进行电气检查时，通过低成本设备就能够简单地确认探针是否切实地与配线路径电连接，其中，基板的表面上形成彼此电气独立的若干条配线路径。检查系统具备：探针组(2)，与形成于基板(1)上的若干条配线路径(31)～(34)的端部接触；柔性导电体(9)，在所述端部以外使配线路径发生短路；以及检查装置(4)，设置有判定部(8)，该判定部(8)判断从被柔性导电体(9)短路的配线(31)～(34)中选择的配线对之间的电阻值是否低于规定值。

Description

基板的配线路径的检查方法及检查系统
技术领域
本发明涉及基板的配线路径的检查方法及检查系统，用触针接触基板上形成的彼此电气独立的若干条配线路径，来检查触针所接触的配线路径的缺陷。
背景技术
检查基板上形成的若干条配线的缺陷时，用触针接触配线的端部，通过探针来检查短路或绝缘电阻等。
专利文献1中公开了一种配线检查设备，用于检查印刷线路板及各种半导体封装用基板的配线的电气不良。具备第一检查阶段和第二检查阶段，第一检查阶段用导电橡胶检查开路、短路，第二检查阶段使用不需要检查夹具的飞针测试机。
专利文献2中记载了一种具备触针和短路板的电路基板检查装置，触针可以分别接触电路基板上形成的若干个导体图案，短路板用于使电路基板上的若干个导体图案短路。该电路基板检查装置可根据检查项目来选择使用触针及短路板。
〔专利文献〕
专利文献1:日本特开2004-132861号公报
专利文献2:日本特开2000-193705号公报
发明内容
检查基板表面形成的若干条配线路径之间有无短路的情况下，通过目视仅能够确认所配置的探针是否与配线路径接触，而不能确认配线路径和探针实际上是否已电连接。因此，不能判断是由于错位、按压不足、测试仪故障或缆线断线等接触不良引起的绝缘，还是正常的配线路径之间的绝缘，从而可能将接触不良引起的绝缘误判断为正常的配线路径之间的绝缘。
为了避免这样的失误，有一种应对方法是用2个检查探头，确认同一配线路径的不同端部之间的导通。但这种方法却需要2倍的设备成本及操作量。
并且，上述专利文献1记载的配线检查设备及专利文献2记载的电路基板检查装置中，也没有确认那些探针实际是否已电连接。
本发明鉴于上述技术问题，目的在于提供一种技术，在检查基板上形成的若干条配线时，以低成本设备就能够简便地确认探针是否实际已与配线电连接。
本发明的一实施方式所涉及的检查方法是对基板的配线路径进行电气检查的方法，该基板的表面形成彼此电气独立的若干条配线路径。
上述检查方法的特征在于包含以下步骤：上述若干条配线路径中，各自的一端形成在连接端子区域，在所述连接端子区域配置探针组的步骤；上述若干条配线路径中，在上述连接端子区域以外的区域，使上述若干条配线路径的任意一对发生短路的步骤；在使上述一对发生短路的条件下，判断在该一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值的步骤。
本发明的一实施方式所涉及的检查系统是对基板的配线路径进行电气检查的检查系统，该基板的表面形成彼此电气独立的若干条配线路径，上述检查系统的特征在于具备探针组、柔性导电体及检查装置。上述若干条配线路径中，各自的一端形成在连接端子区域，上述探针组配置在上述连接端子区域。上述若干个配线路径中，上述柔性导电体配置在上述连接端子区域以外的区域，上述柔性导电体使上述若干条配线路径的任意一对发生短路。上述检查装置中设置判定部，在使上述一对发生短路的条件下，上述判定部判断在上述一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值。
〔发明效果〕
根据本发明，能够实现一种基板的配线路径的检查方法，在检查基板上形成的彼此电气独立的若干条配线路径时，以低成本设备就能够简单地确认探针是否实际已与配线电连接。
并且，根据本发明涉及的检查系统，能够简便地进行基板的配线路径的电气检查，该基板的表面形成彼此电气独立的若干条配线路径。
附图说明
图1是一实施方式所涉及的基板配线路径检查系统的示意性结构框图。
图2是一实施方式所涉及的基板配线路径检查系统的动作流程图。
图3是一实施方式所涉及的基板配线路径检查系统的动作流程图。
图4是一实施方式所涉及的基板配线路径检查系统的示意性结构框图。
图5是一实施方式所涉及的液晶面板的检查系统的示意性结构框图。
具体实施方式
本发明所适用的基板中，只要若干条配线路径彼此电气独立，各条配线路径可以由单一的配线构成，也可以由若干条配线构成，通过彼此电气独立的若干条配线路径传播的各个信号可以全部相同，也可以彼此不同。
此外，本说明书中，进行基板的配线路径的电气检查(例如，绝缘检查、导通检查等)的情况下，配线路径中，形成有一端(连接端子)的连接端子区域称为第一区域，该一端(连接端子)用于与触针的电极进行接触，形成有另一端的连接端子区域称为第二区域，该另一端不与触针的电极进行接触。
以下基于附图，以由若干条配线构成的若干条配线路径分别传播不同信号的方式为例，来对本发明进行说明。
〔第一实施方式〕
图1是本实施方式所涉及的检查系统的示意性结构框图，检查系统用于进行液晶面板的TFT基板(阵列基板)上所形成的配线路径的电气检查。本实施方式所适用的TFT基板可以是与对置基板(CF基板)贴合以前的基板，也可以是贴合后及封入液晶后的液晶面板。
本实施方式所涉及的检查系统100具备探针组2、检查装置4及导电橡胶(柔性导电体)9，探针组2经由开关电路3通过配线软线与检查装置4连接。
本实施方式所涉及的检查系统100对图1所示那样的TFT基板(基板)1执行检查。基板1的表面上形成传播第一信号的配线路径31、传播第二信号的配线路径32、传播第三信号的配线路径33及传播第四信号的配线路径34，它们彼此电气独立。
图1所示的探针组2是若干个用于配线路径的电气检查的探针(电极)并排的结构。下述用聚酰亚胺薄膜上排列形成4个电极A、B、C、D的FPC(Flexible Printed Circuits)作为简便地执行本实施方式的探针组2进行说明，但执行本实施方式的探针组可以使用该领域中周知的各种探针组，只要探针组仅通过触针的接触就能够实现电气检查所需的导通即可。此外，FPC上搭载芯片(驱动IC)的COF(Chip On Film)也可以用作本实施方式的探针组。
如图1所示，使探针组2中的电极A、B、C、D在连接端子区域(第一区域)与TFT基板1的表面上所形成的4条配线路径31、32、33、34的端部接触。为了容易实现与基板外部的电连接，上述的连接端子区域优选为形成在TFT基板1的表面的缘部。
具备探针组2的探头(未图示)具备X轴移动引导部、位置调整用摄像头、XY轴移动引导部及Z轴移动引导部，从而在作为检查对象的基板的尺寸较大的情况下，也容易进行基板的更换，X轴移动引导部能够使探头本身进行较大地移动，在观察摄像头的拍摄图像的同时，能够使用XY轴移动引导部对探头位置进行微调，Z轴移动引导部用于进行摄像头的调焦。
使用这样的探头，检查者一边看摄像头的拍摄图像，一边通过手动，将电极A、B、C、D移动到与若干条配线路径31、32、33、34的端部相同的XY位置后，沿Z方向用橡胶等的按压部按压探针组2，由此，能够辅助探针组2与若干条配线路径31、32、33、34的接触。
TFT基板由有源区域和边缘区域构成，有源区域上，多条配线和多个像素呈矩阵状配置，边缘区域围绕有源区域。这样的TFT基板中，辅助容量的配线路径具备辅助容量总线和第一、第二辅助容量干线，辅助容量总线是在行方向上横贯有源区域而形成的多条行方向配线，第一、第二辅助容量干线是边缘区域在列方向延伸的列方向配线，辅助容量总线的两端分别与第一辅助容量干线和第二辅助容量干线连接。
具有辅助容量的配线路径的液晶面板中，控制辅助容量的控制信号从辅助容量控制部被提供至辅助容量干线，接着，经由与该干线连接的辅助容量总线，被发送至与该辅助容量总线连接的辅助容量。尤其是，本实施方式优选适用在实现面积灰阶方式显示的大型液晶面板的制造中，这是由于形成有多条辅助容量总线的缘故，该多条辅助容量总线与配置为矩阵状的各个像素(子像素)中的辅助容量连接。具体地，检查上述液晶面板的缺陷时，使探针接触若干个辅助容量的配线路径的一端，来检查配线路径之间有无短路。
也就是说，本实施方式所涉及的检查系统100所检查的上述基板1是液晶面板的TFT基板1，上述配线路径31、32、33、34是辅助容量的配线路径，辅助容量的配线路径提供对辅助容量进行控制的信号。
图1中示出4条配线路径，但TFT基板中的第一辅助容量干线(图中左侧的沿上下方向延伸的配线)或第二辅助容量干线(图中右侧的沿上下方向延伸的配线)的不限于4条，也可以是2条、6条、12条等。只要辅助容量总线(图中左右方向延伸的配线)的数量与第一辅助容量干线或第二辅助容量干线的数量不同，各个辅助容量总线的一端与第一辅助容量干线的任意1条连接，各个辅助容量总线的另一端与第二辅助容量干线的任意1条连接即可。
此外，也可以根据辅助容量干线的数量，来改变薄膜探针上形成的电极的数量。例如，辅助容量干线形成为端子宽度0.05mm、端子间距0.072mm的情况下，通过使探针组的电极的端子及端子间距的宽度总计为2mm以下，能够简易地实现辅助容量干线的连接端子与探针组的电极的接触。
开关电路3经由配线软线分别与探针组2的电极A、B、C、D的各个连接，按照来自检查装置4的指示信号，将从与电极A、B、C、D对应的4条配线软线中选择的2条连接至检查装置4的输入端子。
检查装置4由个人电脑构成，设有显示画面5、操作部6、电阻测量部7及控制部8。
显示画面5显示检查者所需的检查装置4的操作信息及检查结果等。
操作部6受理检查者对检查装置4的操作输入。
电阻测量部7使低电流通电至所选择的配线软线的同时，测量与该配线软线对应的配线路径之间的电阻值。
控制部8不仅发挥判定部的功能，来判断电阻测量部7所测量的电阻值的大小，而且对探针组2的配置、导电橡胶9的配置、配线软线的选择、电阻测量部7的测定进行控制，并进行检查装置4的动作所需的信息处理。
导电橡胶9是使若干条配线路径短路的治具，配置为在若干条配线路径31、32、33、34中除了第一区域以外的任意位置(含第二区域的连接端子)与上述若干条配线路径全部接触，从而使若干条配线路径31、32、33、34之间一并短路。因能够使若干条配线路径一并短路，所以不用根据配线软线的选择来改变导电橡胶9的位置。
通过使探针组2的电极A、B、C、D在第一区域与连接端子接触，并且，使若干条配线路径31、32、33、34在第二区域的连接端子短路，或者在配线路径中除了第一区域及第二区域以外的任意位置使若干条配线路径31、32、33、34短路，能够对具有图1的结构的TFT基板1执行本实施方式。
此外，本实施方式中，配线路径之间的电阻值的测量可以在2条配线路径之间进行，为了减少工序，优选为在1条配线路径与除此以外的配线路径构成的一群(配线路径群)之间进行。也就是说，本实施方式中，例如，优选为测量配线路径31与配线路径群32、33、34之间的电阻值、配线路径32与配线路径群31、33、34之间的电阻值、配线路径33与配线路径群31、32、34之间的电阻值或配线路径34与配线路径群31、32、33之间的电阻值。该情况下，开关电路3使与探针组2的电极A、B、C、D对应的4条配线软线全部连接至检查装置4的输入端子，控制部8选择与要被测量电阻值的1条配线路径对应的配线软线，以及选择与由除此以外的配线路径构成的配线路径群对应的配线软线群。
例如，在配线路径31与配线路径群32、33、34之间进行预备检查时，若所测量的电阻值R为规定值以上，则可以得知配线路径31或探针组发生故障。此外，在配线路径31与配线路径群32、33、34之间进行正式检查时，若所测量的电阻值R低于规定值，则可以得知配线路径31中发生短路。
本说明书中，要测量电阻值的1条与1条之间的关系或者1条与一群之间的关系称为“一对”或“对”。例如，从4条配线软线选择的“一对”或“配线软线对”可以是2条配线软线的情况，也可以是1条配线软线与一群(3条配线软线)成对的情况。
由此，本实施方式所涉及的检查系统100是对基板1进行电气检查的检查系统，基板1的表面形成有彼此电气独立的若干条配线路径31、32、33、34，检查系统100具备探针组2、柔性导电体9及检查装置4，上述若干条配线路径中，各自的一端形成在连接端子区域，探针组2配置在连接端子区域；上述若干条配线路径中，柔性导电体9配置于上述连接端子区域以外的区域，柔性导电体9使该配线路径的任意一对发生短路；检查装置4中设置有判定部8，在使上述一对发生短路的条件下，判定部8判断该一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值。
以下参照图2、图3的流程图，说明具有上述结构的检查系统的动作。并且，下述说明中的简称为“一对”指的是2条。
首先，将作为检查对象的液晶面板的TFT基板1放置到检测线(S1)。并且，作为检查对象的TFT基板1也可以是与对置基板(CF基板)贴合且被封入了液晶的液晶面板。
接下来，将具备探针组2的探头配置于第一区域，以使探针组2的电极A、B、C、D与第一区域的各个连接端子接触(S3)。
接下来，将导电橡胶9配置于第二区域，以使其与辅助容量的配线路径31、32、33、34一并接触，使辅助容量的配线路径31、32、33、34之间短路(S5)。
该状态下，当操作部6受理预备检查的开始操作时(S7)，开关电路3从与电极A、B、C、D连接的4条配线软线中选择一对(2条)，并将该一对配线软线连接至检查装置4的输入端子(S9)。
接下来，电阻测量部7测量连接至输入端子(S9)的配线软线对之间的电阻值R(S11)，控制部8判断电阻测量部7所测量的电阻值R是否小于规定值(例如，1kΩ、100kΩ等)(S13)。也就是说，控制部8也作为判定部8，在使上述一对发生短路的条件下，判断在该一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值。
当电阻值R小于规定值(S13)时，控制部8将电阻值R记录为正常(S15)，当电阻值R不小于规定值时(S13)，控制部8将电阻值R记录为出错(S24)。
接下来，控制部8判断所有配线软线对之间的电阻值R的测量是否结束(S17)，若测量未结束，则开关电路3选择未测量的配线软线对，并将该配线软线对连接至检查装置4的输入端子(S9)。
若所有配线软线对的电阻值R的测量结束(S17)，则控制部8结束预备检查，并将预备检查中记录的结果(S15，24)显示于显示画面5(S19)。
继预备检查后进行正式检查的情况下，导电橡胶9被取除，辅助容量的配线路径31、32、33、34之间的一并短路被解除(S23)。
在该状态下，当操作部6受理正式检查的开始操作时(图3的S29)，开关电路3从与电极A、B、C、D连接的4条配线软线中选择一对(2条)，并将该配线软线对连接至检查装置4的输入端子(S31)。
接下来，电阻测量部7测量连接至输入端子(S31)的配线软线对之间的电阻值(S33)，控制部8判断电阻测量部7所测量的电阻值是否与绝缘电阻值相当(S35)。也就是说，控制部8也是判定部8，在不使上述一对发生短路的条件下，判断在该一对之间所测量的电阻值(第二电阻值)是否低于绝缘电阻值(规定值)。
若电阻测量部7所测量的电阻值与绝缘电阻值相当(S35)，控制部8则将该电阻值记录为正常(S37)，若电阻测量部7所测量的电阻值不与绝缘电阻值相当(S35)，控制部8则将该电阻值记录为出错(S45)。
控制部8接着判断所有配线软线对之间的电阻值的测量是否结束(S39)，若测量未结束，开关电路3则选择未测量的配线软线对，并将该配线软线对连接至检查装置4的输入端子(S31)。
若所有配线软线对的电阻值的测量结束(S39)，控制部8则将在正式检查中记录的结果(S37，45)与预备检查的结果一起显示于显示画面5(S41)。也就是说，控制部8也是判定部8，根据有关第一电阻值的判定结果及有关第二电阻值的判定结果，进一步判断若干条配线路径之间是否形成了短路。
在该状态下，操作部6受理检查的结束操作(S43)时，结束所有检查。
此外，在预备检查中，上述电阻值R测量出为规定值以上的配线软线对(图2的S21)假设发生了导电橡胶的接触不良、探针组的接触不良、探针的破损或故障、电阻测量部的故障、配线软线的断线等。于是，也可以对该配线软线对改变探针组及导电橡胶的至少一方的配置后(S26，27)，再次判断所得到的电阻值R(S9，11)是否低于规定值(S13)，并将其结果显示于显示画面5(S19)。该情况下，若电阻值R(S9，11)不低于规定值(S13)，可以先暂时结束检查(S25)，进行探针组的更换等。
也就是说，本实施方式所涉及的检查系统100中，判定部8根据有关第一电阻值的判定结果及有关第二电阻值的判定结果，进一步判断若干条配线路径之间是否形成了短路。根据需要，在第一电阻值的测量值为上述规定值以上的情况下，改变上述探针组2的配置，以使该测量值低于该规定值，判定部8再进一步进行判断。
此外，在正式检查中，也可以针对所测量的上述电阻值与绝缘电阻值不相当的配线软线对，改变探针组及导电橡胶的至少一方的配置后，再次判断所得到的电阻值是否与绝缘电阻值相当，并将其结果显示于显示画面5。
按照本实施方式，因使用的是价格便宜的探针组及导电橡胶，所以能够降低设备成本，并缩短操作时间。并且，按照本实施方式，将进行导通检查所需的探针组的数量从2个减为1个，因此，通过现有技术的大约一半的费用，就能够对液晶面板的TFT基板检查配线路径。
此外，实施方式中说明了由检查者进行将TFT基板1安装至检测线、探针组2的拆装及导电橡胶9的拆装，除此以外的动作由控制部8按照来自操作部6的信息来进行控制，操作部6受理了检查者的指示，本实施方式的范围中也包含控制部8对将TFT基板1安装至检测线以外的所有动作进行控制的方式。
〔第二实施方式〕
本实施方式所涉及的检查系统100所适用的上述基板1是液晶面板的TFT基板1的情况下，基板1的表面上所形成的若干条配线路径不仅含有辅助容量的配线路径，也可以含有共同电极的配线路径，辅助容量的配线路径提供对辅助容量进行控制的信号，共同电极的配线路径提供用于生成共同电极的基准电位的信号。
图4是本实施方式所涉及的检查系统的示意性结构框图，该检查系统对液晶面板的TFT基板上所形成的配线路径进行电气检查。图4中示出的TFT基板是在基板边缘部形成了用于连接对置基板的若干个连接部T……，连接部T用于对设置于对置基板的共同电极提供规定的电位，但本实施方式所适用的TFT基板可以是进行了贴合及封入液晶后的液晶面板，而不是与对置基板(CF基板)贴合以前的基板。
本实施方式所涉及的检查系统100具备探针组2a、2b，还具备检查装置4及导电橡胶9，探针组2a、2b经由开关电路3a通过配线软线与检查装置4连接。
本实施方式所涉及的检查系统100对图4所示那样的TFT基板(基板)1a执行检查。基板1a的表面上与第一实施方式同样地形成辅助容量的配线路径31、32、33、34，并且，共同电极的配线路径35作为彼此电气独立的若干条配线路径中的1条。
共同电极的配线路径35是指从TFT基板1a的第一区域的连接端子经由连接部T到对置基板上的共同电极的路径，但图中为了便于理解，将共同电极的配线路径35示为从上述连接端子到连接部T。
本实施方式中的探针组2a、2b与第一实施方式与同样地，是在聚酰亚胺薄膜上形成电极的FPC(或COF)，使电极A、B、C、D与TFT基板1a的表面上所形成的4条辅助容量的配线路径31、32、33、34的端部接触，并使电极E与TFT基板1a的表面上所形成的共同电极的配线路径35的端部接触。
辅助容量的配线路径34与共同电极的配线路径35之间相隔2mm以上的情况下，通过第一实施方式中所用的探针组2a(探针组的电极的端子及端子间距的宽度总计为2mm以下)不能正确地使单个FPC(或COF)上的电极接触辅助容量的配线路径31、32、33、34及共同电极的配线路径35。
然而，通过使用2个探针组2a、2b，能够与第一实施方式同样地在辅助容量的配线路径34与共同电极的配线路径35之间进行电气检查。辅助容量的配线路径34与共同电极的配线路径35之间小于2mm的情况下，与第一实施方式一同样地，通过只使用单个探针组2a，就能够进行上述电气检查。
其他结构及动作因与上述第一实施方式一相同，所以省略其说明。
通过执行本实施方式，不用驱动晶体管，能够降低对液晶面板进行虚拟点亮时配线被烧的危险性。
〔第三实施方式〕
图5是本实施方式所涉及的检查系统的示意性结构框图，该检查系统对液晶面板的TFT基板上所形成的配线路径进行电气检查。图5中示出的TFT基板是在基板边缘部形成了用于连接对置基板的若干个连接部T……，连接部T用于对设置于对置基板的共同电极提供规定的电位，但本实施方式所适用的TFT基板可以是进行了贴合及封入液晶后的液晶面板，而不是与对置基板(CF基板)贴合以前的基板。
此外，本实施方式中，共同电极的配线路径35也是指从TFT基板1a的第一区域的连接端子经由连接部T到对置基板上的共同电极的路径，但图中为了便于理解，将共同电极的配线路径35示为从上述连接端子到连接部T。
检查装置4a由个人电脑构成，设置有显示画面5、操作部6、电阻测量部7、电压施加部7a及控制部8。电压施加部7a经由与开关电路3a连接的全部配线软线，对辅助容量的配线路径31、32、33、34及共同电极的配线路径35一并施加规定电压，使液晶面板的TFT基板1a的表面上所形成的所有像素点亮。
探针组与TFT基板上所形成的配线路径之间没有正确地连接的状态下，对辅助容量的配线路径及共同电极的配线路径施加电压时，配线会有被烧的危险。然而，通过执行第二实施方式，能够对上述连接是否已形成进行确认，因此能够大幅降低配线被烧的危险性。
此外，对液晶面板的TFT基板上形成的辅助容量的配线路径及共同电极的配线路径施加电压时，不用驱动晶体管就能够使液晶面板虚拟地点亮。
当液晶面板受到局部压力(按压、吸引等)时，对置基板(CF基板)与阵列基板(TFT基板)之间的距离局部发生变化而使得液晶单元厚度不均匀，从而面板点亮时会产生亮度不均匀。按照本实施方式，能够对液晶面板进行虚拟点亮，因此能够确认面板有无亮度不均匀。
其他结构及动作与上述的第二实施方式相同，因此省略其说明。
这样的液晶面板的点亮检查及液晶单元厚度不均匀检查是在确认了探针组2a、2b与TFT基板上的配线路径正常连接后进行，因此降低了配线被烧的危险。
此外，液晶面板中的点亮检查及液晶单元厚度不均匀检查也是配线路径的电气检查，属于本实施方式的范围。
如上所述，本发明的一实施方式中说明了对液晶面板的TFT基板上所形成的配线路径进行电气检查的检查系统，但该检查系统执行的检查方法(对基板的配线路径进行电气检查的检查方法)也是本发明的一种方式。也就是说，检查方法也可以说是本发明的一实施方式，所述检查方法包含配置上述系统的探针组的步骤、配置上述系统的导电橡胶(柔性导电体)的步骤及执行上述系统的判定的步骤。
〔产业可利用性〕
本发明可以用在电路基板及液晶面板的制造工序等，尤其适用于对液晶面板的辅助容量的配线路径或共同电极的配线路径进行绝缘检查，以及对液晶面板进行液晶单元厚度不均匀检查。
〔附图标记说明〕
1，1a TFT 基板(基板)
2，2a，2b 探针组
3，3a 开关电路
4，4a 检查装置
5 显示画面
6 操作部
7 电阻测量部
7a 电压施加部
8 控制部(判定部)
9 导电橡胶(柔性导电体)
31，32，33，34 辅助容量的配线路径(配线路径)
35 共同电极的配线路径(配线路径)

Claims (8)

1.一种基板的配线路径的检查方法，对基板的配线路径进行电气检查，该基板的表面上形成彼此电气独立的若干条配线路径，其特征在于包含：
所述若干条配线路径中，各自的一端形成在连接端子区域，在所述连接端子区域配置探针组的步骤；
所述若干条配线路径中，在所述连接端子区域以外的区域，使所述若干条配线路径的任意一对发生短路的步骤；及
在使所述一对发生短路的条件下，判断在该一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值的步骤。
2.根据权利要求1所述的基板的配线路径的检查方法，其特征在于，
所述基板是液晶面板的TFT基板，所述配线路径提供对辅助容量进行控制的信号，或者提供用于生成共同电极的基准电位的信号。
3.根据权利要求1或2所述的基板的配线路径的检查方法，其特征在于，还包含：
在不使所述一对发生短路的条件下，判断在该一对之间所测量的第二电阻值是否低于规定值的步骤。
4.根据权利要求3所述的基板的配线路径的检查方法，其特征在于，还包含：
根据有关第一电阻值的判定结果及有关第二电阻值的判定结果，判断在若干条配线路径之间是否形成了短路的步骤。
5.一种检查系统，对基板的配线路径进行电气检查，该基板的表面上形成彼此电气独立的若干条配线路径，其特征在于具备：
探针组，所述若干条配线路径中，各自的一端形成在连接端子区域，所述探针组配置在所述连接端子区域；
柔性导电体，所述若干条配线路径中，所述柔性导电体配置在所述连接端子区域以外的区域，所述柔性导电体使所述若干条配线路径的任意一对发生短路；以及
检查装置，所述检查装置中设置有判定部，在使所述一对发生短路的条件下，所述判定部判断在所述一对之间所测量的第一电阻值是否低于规定值。
6.根据权利要求5所述的检查系统，其特征在于，
所述基板是液晶面板的TFT基板，所述配线路径提供对辅助容量进行控制的信号，或者提供用于生成共同电极的基准电位的信号。
7.根据权利要求5或6所述的检查系统，其特征在于，
在不使所述一对发生短路的条件下，所述判定部进一步判断在所述一对之间所测量的第二电阻值是否低于规定值。
8.根据权利要求7所述的检查系统，其特征在于，
所述判定部根据有关第一电阻值的判定结果及有关第二电阻值的判定结果，进一步判断若干条配线路径之间是否形成了短路。
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