KR100671342B1 - 전기구동소자 검사 장치 및 방법 - Google Patents

전기구동소자 검사 장치 및 방법 Download PDF

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KR100671342B1
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Abstract

전기구동소자 검사 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치는 피검사체인 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들과, 이러한 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 포함한다. 본 발명에 의한 전기구동소자 검사 장치에 따르면, 전원인가용 패드와 도전성 접촉자 사이의 정밀한 정렬을 위한 장치가 필요없을뿐만 아니라, 피검사체의 모델 변경에 대하여 호환성을 가진다. 이러한 전기구동소자 검사 장치를 이용한 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 방법에 의하면, 종래와 같이 전원인가용 패드와 도전성 접촉자를 정밀하게 정렬할 필요가 없어 완전 자동화가 가능해진다.

Description

전기구동소자 검사 장치 및 방법{Apparatus and method for inspecting electricity-driven device}
도 1a와 도 1b는 통상의 전기구동소자를 검사하기 위한 도전성 접촉자를 보이는 도면들이다.
도 2a와 도 2b는 도 1a와 도 1b에 도시된 전기구동소자의 전기인가용 패드와 검사 장치의 도전성 접촉자간의 정렬 불량으로 인하여 접촉이 불량한 상태를 도시한 도면들이다.
도 3a와 도 3b는 전기구동소자의 전기인가용 패드에 있는 이물로 인하여 검사 장치의 도전성 접촉자와의 접촉이 불량한 상태를 도시한 도면이다.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치의 일 실시예를 도시한 도면들이다.
도 5는 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 방법을 보이는 순서도이다.
도 6은 전기구동소자의 한 개의 패드 위에 검사 장치로부터 다수 개의 도전성 접촉자가 접촉된 상태를 예시한 도면이다.
도 7은 전기구동소자의 패드 간격보다 조밀한 간격을 갖는 도전성 접촉자의 배치 구조의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 8은 전기구동소자의 패드 위에 다수개의 도전성 접촉자를 접촉시키기 위 한 도전성 접촉자의 배치 구조의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
도 9a는 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 발광 피검사체의 자동 화상 검사를 위하여 카메라 및 영상처리기를 부가적으로 구비하는 본 발명에 따른 검사 장치의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 9b는 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 비발광 피검사체의 자동 화상 검사를 위하여 카메라, 조명 및 영상처리기를 부가적으로 구비하는 본 발명에 따른 검사 장치의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 9c는 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 비발광 피검사체의 자동 화상 검사를 위하여 카메라, 조명 및 영상처리기를 부가적으로 구비하는 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 전기인가용 패드 150 : 카메라 160 : 영상처리기
170, 172 : 조명 200, 201, 202, 203, 204 : 도전성 접촉자
210, 220, 230, 240, 250, 260 : 도전성 접촉자들의 어레이
300 : 전기인가장치
본 발명은 전기구동소자의 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 두 개 라인 이상의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하여 구동되는 전기전자부품 및 광학부품의 결함을 검출하기 위한 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
전기구동소자에는 LCD(Liquid Crystal Display)용 백라이트 유닛(BLU, Backlight Unit), LCD용 박막트랜지스터(TFT, Thin-Film Transistor) 기판, LCD 액정패널 상의 TFT, LCD 액정패널에 연결된 OLB(Outer Lead Board)와 PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL(Electro Luminescence) 소자 등을 포함하는 평판디스플레이소자(FPD, Flat Panel Display) 및 기타 반도체 등이 포함된다. 이러한 전기구동소자에 대한 제조 공정을 완료한 후에는 전기구동소자의 전기인가용 패드에 전원 또는 전기신호패턴을 인가한 상태에서 전기적으로 또는 광학적으로 소자의 결함을 검출하는 검사 과정을 수행하는데, 이 과정에서 프로우브 등의 도전성 부품으로 구성된 도전성 접촉자를 이용하여 각각의 패드에 전원 또는 전기신호패턴을 인가한다.
통상의 전기구동소자를 검사하기 위한 도전성 접촉자의 사시도와 상면도가 도 1a와 도 1b에 각각 도시되어 있다.
도 1a와 도 1b로부터 볼 수 있듯이, 기존에는 검사 장치로부터의 도전성 접촉자(20)가 전기구동소자의 전기인가용 패드(10) 각각에 정확히 일대일의 정합을 이루는 방식으로 검사 장치를 구성하였다. 이렇게 일대일의 정합을 이루는 방식은 검사를 위한 전원 또는 전기신호패턴을 인가하기 전에 도전성 접촉자(20)와 패드(10)간의 정렬을 위한 작업을 필요로 하며, 이러한 정렬 작업으로 인해 기존의 검사 장치에는 패드(10)와 도전성 접촉자(20)의 상대적 위치를 인식하는 화상 처리 장치뿐만 아니라 상호간의 위치를 재조정하는 구동 장치까지 부가적으로 구비되어 야만 한다.
그런데, 피검사체인 전기구동소자는 대용량화와 고정세화가 진행되면서 단위면적당 용량이 점점 커지고 패드(10)간 피치(pitch)가 더욱 더 작아지기 때문에 도전성 접촉자(20)와 패드(10)간의 정렬을 이루기가 점점 더 힘들어진다. 도 2a와 도 2b는 패드(10)와 도전성 접촉자(20)간의 정렬 불량으로 인하여 전기적 접촉이 불량한 상태의 사시도와 상면도를 극단적으로 보여주고 있다. (전기적 접촉자의 중심이 패드 사이에 위치할 경우의 접촉 불량을 도시한 것으로, 실제 전기적 접촉자들은 두 개의 패드를 공유할 정도로 넓은 면적을 가지고 있지는 않다.)
전기구동소자 중 하나인 LCD 액정패널의 화상 검사 공정에서는 이러한 정렬 불량 때문에 완전 자동 검사가 이루어지지 못하고, 일단 자동 정렬을 수행한 후에 전기신호패턴을 인가하면서 목시 검사를 수행하고 있다. 그리고, 화면 상의 표시 불량이 있는 경우 소자의 불량인지 정렬 불량으로 인한 것인지 여부를 판단하기 위해 작업자가 수작업으로 도전성 접촉자와 패드간의 정합 접촉을 접촉 부위별로 재시도하면서 검사를 진행하고 있어, 효율이 떨어지고 부정확하다는 문제가 있다.
그리고, 도전성 접촉자와 패드가 일대일로 대응되기 때문에, 도 3a의 사시도 및 도 3b의 상면도에 나타낸 바와 같이, 접촉이 이루어지는 패드(10) 상에 이물(12) 등이 있는 경우 도전성 접촉자(20)와 패드(10)간의 도전성이 현저히 떨어지거나 전기 도통이 불가능하여 검사의 정확성이 떨어지게 된다.
한편, 피검사체의 모델별로 접촉되어야 할 전원인가용 패드의 위치나 두께 및 패드간의 피치가 다르므로, 특정한 모델에 대해 고정된 도전성 접촉자 세트를 다수 개 비치하여 모델별로 바꿔서 설치하거나, 개별 단위 또는 묶음 단위로 도전성 접촉자의 배치 변경이 가능하도록 복잡한 구조나 형태를 갖는 도전성 접촉자 세트가 필요하게 되어, 검사해야 할 모델의 개수가 늘어남에 따라 검사 비용이 가중된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 피검사체인 전기구동소자의 불량 검사를 함에 있어서 전원인가용 패드와 도전성 접촉자 사이의 정밀한 정렬을 위한 장치가 필요없을뿐만 아니라, 피검사체의 모델 변경에 대하여 호환성을 가지도록 한 전기구동소자 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 종래와 같이 전원인가용 패드와 도전성 접촉자를 정렬할 필요가 없어 완전 자동화가 가능한 전기구동소자 검사 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치는, 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들과 이러한 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 도전성 접촉자들은 상기 패드에 최소한 2개가 접촉되도록 배치된다. 이 때, 상기 도전성 접촉자들 사이의 간격은 상기 패드들의 간격보다 좁게 한다. 상기 도전성 접촉자들은 상기 패드들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이를 적어도 하나 구성하는 것일 수 있다.
상기 도전성 접촉자들은 상기 패드들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이를 적어도 두 개 구성하는 것일 수도 있다. 이 때, 상기 패드 위에 상기 도전성 접촉자들이 사선 배열되도록 상기 어레이는 서로에 대해 어긋나게 배치되어 있거나, 상기 패드 위에 상기 도전성 접촉자들이 일렬 배열되도록 상기 어레이는 서로에 대해 평행하게 배치되어 있을 수 있다.
상기 패드에 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 상기 전기구동소자의 자동 화상 검사를 위하여, 상기 전기구동소자의 상부에 한 개 이상의 카메라 및 영상처리기를 더 포함할 수 있으며, 여기에 추가하여 상기 전기구동소자의 상부 또는 하부 혹은 상부 및 하부에 한 개 이상의 조명을 더 포함할 수도 있다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 방법은, 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며, 상기 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들 및 상기 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 제공하는 단계, 상기 패드들에 상기 도전성 접촉자들을 접촉시킨 상태에서 상기 도전성 접촉자와 패드와의 실제 접촉여부를 판독하는 전기도통 테스트를 실시하여 상기 패드와 실제로 접촉된 도전성 접촉자를 식별하는 단계, 및 모든 패드들에 상기 도전성 접촉자들이 접촉된 것으로 확인되면 상기 패드와 실제로 접촉된 것으로 식별된 도전성 접촉자를 통하여 각각의 패드에 순차적으로 전원 또는 전기신호패턴을 인가하여 전기구동소자의 불량 검사를 수행하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 방법에 있어서, 상기 전기도통 테스트는 두 개를 선택하여 이루어질 수 있는 도전성 접촉자 쌍에 대하여 순차적으로 전기를 흘려서, 전기가 도통하는 경우 동일한 한 개의 패드 위에 있는 두 개의 도전성 접촉자가 정확히 패드와 접촉되어 있는 상태로 정합 판독하여 전원 또는 전기신호패턴을 인가할 패드로 인식하는 단계, 및 전기가 도통하지 않는 경우 불량 검사 단계에서 전원 또는 전기신호패턴을 인가할 패드로 인식하지 않고 무시하는 단계를 포함한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치의 일 실시예를 보여주는 사시도 및 상면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치는 도전성 접촉자(200)들 및 전기인가장치(300)를 구비한다.
도전성 접촉자(200)들은 피검사체인 전기구동소자(미도시)의 전기인가용 패드(100)들에 접촉하며, 도전성 접촉자(200)의 수는 접촉하고자 하는 패드(100)의 수보다 많다. 도전성 접촉자(200)의 수는 패드(100)의 수보다 최소한 한 개 이상 많으며, 통상적으로 2배 이상으로 고르게 분포하도록 구성하여, 도전성 접촉자(200)들이 패드(100)에 최소한 2개가 접촉되도록 배치함이 바람직하다. 이 때, 패 드(100)의 간격보다 도전성 접촉자(200)간의 간격을 좁게 구성하는 것이 바람직하다. 도시된 예에서, 도전성 접촉자(200)들은 패드(100)들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이(array)를 구성한다.
전기인가장치(300)는 도전성 접촉자(200)에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 기능을 한다. 먼저 도전성 접촉자(200)와 패드(100)간에 접촉을 시도하고, 도전성 접촉자(200)와 패드(100)와의 실제 접촉 여부를 판독(즉, 정합 판독)하여 전원 또는 전기신호패턴을 인가할 패드(100)를 인식한다. 다음으로 전기인가장치(300)로부터 도전성 접촉자(200)를 통하여 각각의 패드(100)에 검사를 위한 전원 또는 실제 검사 신호를 인가하여 불량 검사를 수행한다.
이와 같은 전기구동소자 검사 장치에 의하면, 정렬 불량이 발생하더라도 패드당 최소한 한 개의 도전성 접촉자는 접촉되도록 할 수 있어, 전기구동소자의 불량 검사를 함에 있어서 정밀한 정렬을 위한 부가 장치가 필요하지 아니하고, 피검사체의 모델 변경 등에 호환성을 갖도록 검사 장치를 구성할 수 있으므로 검사 비용이 절감된다.
도 5는 이러한 검사 장치를 가지고 수행할 수 있는 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 방법의 순서도이다.
도 5를 참조하여, 단계 s1에서 검사 장치의 도전성 접촉자(200)와 전기구동소자의 전기인가용 패드(100)와의 접촉을 시도한다. 이 과정을 거쳐 패드(100)와 실제로 접촉된 도전성 접촉자(200)를 식별하기 위하여, 단계 s2에서 각각의 도전성 접촉자(200)간에 전기가 도통하는지 여부를 테스트한다. 전기도통 테스트(s2)는 두 개를 선택하여 이루어질 수 있는 도전성 접촉자 쌍에 대하여 순차적으로 전기를 흘려봄으로써 판단할 수 있다.
도 6은 전기구동소자의 한 개의 패드(100) 위에 검사 장치로부터 다수 개의 도전성 접촉자가 접촉된 상태를 예시한 도면이다. 도 6을 참조하여 각각의 도전성 접촉자에 대하여 두 개씩 선택하여 쌍을 이루어 전기도통 테스트를 수행하는 예를 간략히 설명하기로 한다.
먼저, 도전성 접촉자(201)와 도전성 접촉자(202)간에는 도전성 접촉자(202)만 패드(100) 상에 있으므로 패드 합치 여부 테스트 신호(도전성 접촉자와 패드간의 정합 여부 판독을 위한 전기적 신호)를 인가하면 결과는'불통'이다. 그러나, 도전성 접촉자(202)와 도전성 접촉자(203)간에는 둘 다 동일한 패드(100) 상에 접촉되어 있으므로 결과는'도통'이며 두 도전성 접촉자(202, 203)가 패드(100)에 접촉되었다고 판단한다. 마찬가지로 도전성 접촉자(203)와 도전성 접촉자(204)간에는 도전성 접촉자(203)만 패드(100) 상에 있으므로 결과는'불통'이다. 만일 동일한 패드 상에 2개 이상의 도전성 접촉자가 접촉되어 있는 경우에는 그 모든 도전성 접촉자를 하나의 패드에 합치되어 있는 것으로 인식한다.
이렇게 전기도통 테스트 신호를 인가하여 전기가 도통하지 않는다면 불량 검사 단계에서 불필요한 것이므로 무시하여 신호를 인가하지 않게 된다(도 5의 s4). 전기도통 테스트 신호를 인가하여 전기가 도통한다면 동일한 한 개의 패드 위에 있는 두 개의 도전성 접촉자로서 정확히 패드와 접촉되어 있는 상태로 판독한다. 모든 또는 필요한 일부의 도전성 접촉자의 쌍에 대하여 전기도통 테스트와 판독 과정 을 거치고 나면, 도전성 접촉자의 배치 구조 정보를 이용하여 접촉되어 있는 패드의 순서를 판독하게 된다(단계 s5). 이후 순서가 판독된 개개의 패드별로 불량 검사를 위한 검사 신호 즉, 소자구동용 전원 또는 전기신호패턴을 인가하여(단계 s6) 검사를 수행하게 된다(단계 s7).
전기도통 테스트를 통해 모든 패드에 적어도 두 개 이상의 도전성 접촉자가 접촉되어 있는 것으로 확인되는 경우에는 모든 도전성 접촉자에 전기신호패턴을 인가하여도 되고, 하나의 패드에 접촉된 복수개의 도전성 접촉자 중에서 하나의 도전성 접촉자에만 전기신호패턴을 인가하여도 된다. 모든 도전성 접촉자들은 전기인가장치(300), 즉 신호를 인가하는 입력부를 공유하는 접촉자이기 때문에 신호레벨에서의 문제는 일어나지 않을 것이고, 두 도전성 접촉자간의 간격이 사실상 매우 좁기 때문에 임피던스 등의 문제가 크지 않다.
이와 같은 검사 방법에 의하면, 정렬 불량으로 인해 불가능하던 완전 자동 검사를 실현할 수 있어 기존의 생산 라인보다 효율적인 검사 공정을 실시할 수 있게 된다.
도 7과 도 8은 도전성 접촉자의 바람직한 배치 구조의 실시예를 도시한 도면들이다.
먼저 도 7은 전기구동소자의 패드 간격보다 조밀한 간격을 갖도록 도전성 접촉자를 다수 개의 어레이(적어도 두 개의 어레이)로 구성하여 조금씩 어긋나게 배치하여 사선 배열함으로써, 결과적으로 패드 간격 1 단위에 대해 도전성 접촉자를 훨씬 조밀한 간격으로 배치한 실시예를 도시한 도면이다. 도 7을 참조하면, 도전성 접촉자(200)들은 패드(100)들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이(210, 220, 230, 240)를 구성하며, 어레이(210, 220, 230, 240)는 패드(100) 위에 도전성 접촉자(200)들이 사선 배열되도록 서로에 대해 어긋나게 배치되어 있다.
또한 도 8은 전기인가용 패드 상에 두 개 이상의 도전성 접촉자가 접촉되지 않을 가능성, 즉 전기도통 테스트의 실패 가능성을 줄이기 위한 실시예로서, 도 8을 참조하면, 도전성 접촉자(200)들은 패드(100)들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이(250, 260)를 구성하며, 패드(100) 위에 도전성 접촉자(200)들이 일렬 배열되도록 어레이(250, 260)가 서로에 대해 평행하게 배치되어 있다. 이러한 도전성 접촉자의 배치 구조는 상술한 바에 그치지 않고, 이의 다양한 조합이 가능하다.
전기구동소자는 그 피검사체의 특성에 따라 전기적 검사뿐만 아니라 광학적 검사를 실시하기도 하는데, 도 9a 내지 도 9c는 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 피검사체의 자동 화상 검사를 위한 검사 장치의 바람직한 실시예를 도시한 도면들이다.
먼저 도 9a는 피검사체가 자기발광을 하는 경우, 예를 들어 LCD백라이트(이하 BLU)(140)를 화상 검사대상으로 하여 자동점등검사와 같은 자동 화상 검사를 수행하는 경우, 전기인가장치(300)로부터 도전성 접촉자(200)를 통해 BLU(140)의 전기인가용 패드(100), 이를테면 전원패드에 전원을 인가하여 BLU(140)를 점등시키고 BLU(140)의 상부에 설치된 카메라(150)로 화상을 취득하여 영상처리기(160)에서 화 상을 처리하여 불량을 검출하도록 구성한 검사 장치이다. 그밖에 자기발광을 하는 CRT, PDP, EL, FED, LED 등의 피검사체의 불량 검출에 이러한 검사 장치를 사용할 수 있다.
그리고, 도 9b는 피검사체가 발광을 하지 않는 경우, 예를 들어 투과형 LCD 액정패널(142)을 화상 검사대상으로 하여 자동패턴검사를 수행하는 경우, 전기인가장치(300)로부터 도전성 접촉자(200)를 통해 액정패널(142)의 전기인가용 패드(100), 이를테면 데이터 패드 및 게이트 패드에 전기신호패턴을 인가하여 액정패널(142)의 하층에 있는 TFT를 구동시키고, 피검사체의 하부로부터 한 개 이상의 투과조명(170)을 조사하여 카메라(150)로 화상을 취득하고 이를 영상처리기(160)에서 처리하여 불량을 검출하도록 구성한 검사 장치이다.
도 9c도 피검사체가 발광을 하지 않는 경우의 불량을 검출하도록 구성한 검사 장치인데, 예를 들어 반사형 LCD 액정패널(144)을 화상 검사대상으로 하여 자동패턴검사를 수행하는 경우에 사용할 수 있는 것이다. 여기서는, 전기인가장치(300)로부터 도전성 접촉자(200)를 통해 액정패널(144)의 전기인가용 패드(100), 이를테면 데이터 패드 및 게이트 패드에 전기신호패턴을 인가하여 액정패널(144)의 하층에 있는 TFT를 구동시키고, 피검사체의 상부로부터 한 개 이상의 조명(172)을 조사하여 카메라(150)로 화상을 취득하고 이를 영상처리기(160)에서 처리하여 불량을 검출한다.
도시하지는 않았으나 도 9b 및 도 9c에 도시한 검사 장치의 변형예로서, 피검사체의 상부 및 하부에 모두 조명을 구비한 예도 가능하며, 반투과반반사형 LCD 액정 패널에 대한 검사시, 도 9b, 도 9c 또는 이러한 변형예에 의한 검사 장치를 사용할 수 있다. 뿐만 아니라, 자기발광형 피검사체에 대한 검사를 실시하는 경우 이러한 변형예에 의한 검사 장치에서 상/하부의 조명을 모두 끈 상태에서 검사를 실시할 수 있고, 투과형 LCD 액정 패널에 대한 검사를 실시하는 경우 이러한 변형예에 의한 검사 장치에서 상부의 조명은 끄고 하부의 조명을 켠 상태에서 검사를 실시할 수 있으며, 반사형 LCD 액정 패널에 대한 검사를 실시하는 경우 이러한 변형예에 의한 검사 장치에서 상부의 조명은 켜고 하부의 조명을 끈 상태에서 검사를 실시할 수도 있다.
이상, 본 발명의 상세한 설명을 하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않은 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다. 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명에 따른 전기구동소자 검사 장치에 의하면, 전기구동소자의 불량 검사를 함에 있어서 정밀한 정렬을 위한 부가 장치가 필요하지 아니하고, 피검사체의 모델 변경 등에 호환성을 갖도록 검사 장치를 구성할 수 있으므로 검사 비용이 절감된다. 또한, 정렬불량으로 인해 불가능하던 완전 자동 검사를 실현할 수 있어, 본 발명에 따른 전기구동소자 검사 방법을 채용하면 기존의 생산 라인보다 효율적인 자동 검사 공정을 도입할 수 있다.

Claims (11)

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  4. 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며 상기 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들; 및
    상기 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 포함하고,
    상기 도전성 접촉자들은 상기 패드에 최소한 2개가 접촉되도록 배치되며, 상기 도전성 접촉자들 사이의 간격은 상기 패드들의 간격보다 좁고, 상기 도전성 접촉자들은 상기 패드들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이를 적어도 하나 구성하는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  5. 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며 상기 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들; 및
    상기 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 포함하고,
    상기 도전성 접촉자들은 상기 패드에 최소한 2개가 접촉되도록 배치되며, 상기 도전성 접촉자들은 상기 패드들의 나열 방향을 따라 일렬로 배치된 도전성 접촉자들의 어레이를 적어도 두 개 구성하는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 패드 위에 상기 도전성 접촉자들이 사선 배열되도록 상기 어레이는 서로에 대해 어긋나게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 패드 위에 상기 도전성 접촉자들이 일렬 배열되도록 상기 어레이는 서로에 대해 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  8. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 패드에 전원 또는 전기신호패턴이 인가된 상태의 상기 전기구동소자의 자동 화상 검사를 위하여, 상기 전기구동소자의 상부에 한 개 이상의 카메라 및 영상처리기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 전기구동소자의 상부 또는 하부 혹은 상부 및 하부에 한 개 이상의 조명을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 장치.
  10. 삭제
  11. 전기구동소자의 전기인가용 패드들에 접촉되며 상기 패드의 수보다 많은 수의 도전성 접촉자들 및 상기 도전성 접촉자들에 정합 판독 및 불량 검사 목적의 전원 또는 전기신호패턴을 인가하는 전기인가장치를 제공하는 단계;
    상기 패드들에 상기 도전성 접촉자들을 접촉시킨 상태에서 상기 도전성 접촉자와 패드와의 실제 접촉여부를 판독하는 전기도통 테스트를 실시하여 상기 패드와 실제로 접촉된 도전성 접촉자를 식별하는 단계; 및
    모든 패드들에 상기 도전성 접촉자들이 접촉된 것으로 확인되면 상기 패드와 실제로 접촉된 것으로 식별된 도전성 접촉자를 통하여 각각의 패드에 순차적으로 전원 또는 전기신호패턴을 인가하여 전기구동소자의 불량 검사를 수행하는 단계를 포함하고,
    상기 전기도통 테스트는 두 개를 선택하여 이루어질 수 있는 도전성 접촉자 쌍에 대하여 순차적으로 전기를 흘려서,
    전기가 도통하는 경우에는 동일한 한 개의 패드 위에 있는 두 개의 도전성 접촉자가 정확히 패드와 접촉되어 있는 상태로 정합 판독하여 전원 또는 전기신호패턴을 인가할 패드로 인식하는 단계; 및
    전기가 도통하지 않는 경우에는 불량 검사 단계에서 전원 또는 전기신호패턴을 인가할 패드로 인식하지 않고 무시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기구동소자 검사 방법.
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