KR0142014B1

KR0142014B1 - 표시장치의 검사장치 및 검사방법

Info

Publication number: KR0142014B1
Application number: KR1019940013229A
Authority: KR
Inventors: 히데지 마루모또; 노부유끼 가와세; 마사시 호소미; 가쯔미 이리에; 고지 후꾸다; 유이찌로 모찌주끼
Original assignee: 쯔지 하루오; 샤프 가부시끼가이샤
Priority date: 1993-06-11
Filing date: 1994-06-11
Publication date: 1998-06-15
Also published as: JPH06347813A; NL9400925A; US5473261A; JP2820233B2; KR950001343A; NL195017C

Abstract

본 발명의 검사장치는 액티브매트릭스 기판상에 형성된 제1및 제2버스 라인을 포함하는 표시장치를 검사한다. 이 검사장치는 각각 한쌍의 기판과 그사이에 삽입된 접속막을 갖고 있는 제1기판 유닛 및 제2기판 유닛을 포함한다. 각 기판 유닛의 한개 기판상에는 검사단자 및 제1검사배선이 형성되고 또 각 검사배선은 한개의 검사단자에 접속된다. 각 기판 유닛의 다른 기판상에는 제2검사배선이 제공된다. 기판 제1 및 제2검사배선은 접속막에 의해 선택적으로 접속된다. 검사하는동안, 제1기판 유닛의 제2검사배선은 제1버스 라인과 직접적으로 접촉되어 각 제1버스 라인이 제1기판 유닛의 검사단자중의 한개에 접속된다. 각 제2버스 라인은 각 제2검사배선을 통하여 동일한 방식으로 제2기판 유닛의 검사단자중의 한개에 접속된다. 이 장치는 또한 표시장치의 표시검사에 필요한 구동신호를 각 기판 유닛의 검사단자에 공급하기 위한 구동신호 입력회로;표시장치의 제1및 제2버스 라인의 저항을 측정하기 위한 저항측정 수단;및 구동신호 입력회로 또는 저항측정 수단중의 한개를 제1 및 제2기판 유닛에 접속하기 위한 부분을 포함한다.

Description

표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법

도1은 본 발명의 검사 장치의 구성을 도시한 개략도.

도2는 도의 검사 장치의 제1기판 유닛의 단면도.

도3a 및 도3b는 각각 제1기판의 평면도 및 단면도.

도4a 및 도4b는 각각 제2기판의 평면도 및 단면도.

도5a 및 도5b는 각각 제3기판의 평면도 및 단면도.

도6a 및 도6b는 각각 제4기판의 평면도 및 단면도.

도7a 및 도7b는 각각 검사시의 제1기판, 제2기판 및 표시 장치의 위치 관계를 설명하는 평면도 및 단면도.

도8은 표시 검사시에 표시 장치에 입력되는 신호의 파형을 나타내는 도면.

도9는 본 발명의 검사 장치를 포함하는 검사 시스템을 도시하는 도면.

도10은 쇼트링(short ring)이 설치된 액티브 매트릭스 기판의 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

2:베이스 기판3, 4, 3', 4', 8':검사 배선

5a, 5b, 5a', 5b':도전막11:제1기판

14:제2기판13:제3기판

14:제4기판20:액티브 매트릭스 기판

21, 22:소스 버스 라인23:단자

24:게이트 버스 라인25:스위칭 소자

26:화소 전극27:보조 용량

28:대향 전극29:쇼트링

30:대향 전극 공통 단자45:구동 신호 입력 회로

46:제어용 컴퓨터47:저항 측정기

48:스위치49:배선

51:검사 기판부52:측정부

01:제1기판 유닛102:제2기판 유닛

본 발명은 표시 장치의 검사 장치 및 표시 장치의 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 표시 장치의 표시검사와 표시 장치의 기판 각각에 설치된 배선에서 배선간의 단락, 각 배선의 단선의 검사 및 배선 저항의 측정을 수행하기 위한 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것이다.

최근, CRT대신에 플랫 패널형 디스플레이로서 액정 표시장치(LCD)가 널리 사용되고 있다. 액정 표시 장치중에서도 특히 공간적인 편리성, CRT만큼 우수한 표시 특성, 낮은 소비 전력등의 이점 때문에, 스위칭 소자가 각 화소 마다 배치된 액티브매트릭스 구동형 LCD가 실용화되어 왔다.

액비트 매트릭스 구동형 LCD는 액티브 매트릭스 기판 및 그와 대향하도록 배치된 대향 기판을 포함한다. 이러한 기판 사이에 액정층이 삽입된다. 도 10은 액티브 매트릭스 기판(20)의 일례를 도시한다. 액티브 매트릭스 기판(20)은 유리등으로 제조된 투명한 절연성 베이스 기판, 상기 베이스 기판상에 복수개의 평행한 게이트 버스 라인(24) 및 상기 게이트 버스 라인(24)과 직교하는 복수개의 평행산 소스 버스 라인(22)을 갖고 있다. 2개의 인접하는 게이트 버스 라인(24) 및 2개의 인접하는 소스 버스 라인(22)에 의해 둘러싸인 각각의 영역에 화소 전극(26) 및 스위칭 소자(25)가 배치된다. 이러한 경우 스위칭 소자(25)로서는 3-단자소자인 박막 트랜지스터(TFT)가 사용된다. 스위칭 소자(25)는 게이트 버스 라인(24), 소스 버스 라인(22), 및 화소 전극(26)에 접속되어 있다. 또한, 베이스 기판상에는 제조 공정 중에 발생할 수 있는 정전기에 의해 스위칭 소자(25)가 전기적으로 파괴되는 것을 방지하기 위해 쇼트링(29:short ring)이 형성되어 있다. 도10에서 예컨대, 쇼트링(29)은 인접하는 게이트 버스 라인(24)의 단자(23)를 하나씩 건너 형성된다.

액티브 매트릭스 방식에서 전하는 화소 용량(pixel capaciatance)으로 작용하는 액정에 의해 유지된다. 그러나, 화소용량이 작기 때문에 전하는 충분히 유지될 수 없거나 기생 용량의 영향을 쉽게 받을 수 있다. 이러한 결점을 피하기 위하여, 화소 용량과 평행하게 보조 용량(27)이 배치된다. 도10의 액티브 매트릭스 기판(20)은 Cs-On-Gate 형이고, 보조 용량(27)은 화소전극(26)과 게이트 버스 라인(24) 사이에 형성되어 있다. 액티브 매트릭스 기판(20)과 대향하도록 배치된 대향 기판(도시안됨)의 내측 표면상에는 각 화소 전극(26)과 대향하도록 대향 전극(28)이 배치되어 있다.

도10에 도시된 액티브 매트릭스 기판(20)을 갖는 LCD에서, 게이트 버스 라인(24)에 인가된 주사 신호에 따라서 스위칭 소자(25)를 ON상태로 하면, 화소 전극(26)과 소스 버스 라인(22) 사이에 전기적 연속석(electric continuity)이 이루어져 소스 버스 라인(22)에 인가된 신호 전압이 화소 전극(26)과 대향 전극(28) 사이의 액정층에 인가된다. 이렇게 하여 전압이 인가된 액정층 부분의 광학 특성은 표시될 화상에 따라서 변한다. 이와 같이 광학특성이 부분적으로 변화된 액정층을 통과한 광이 화상으로서 관찰자에게 인식된다.

액티브 매트릭스 기판(20)의 제조 공정의 최종 단계에서, 스위칭 소자(25)의 특성 검사, 버스 라인(22, 24)들의 저항 측정과 같은 검사, 단락 및 단선 검사를 수행한다. 이러한 검사의 결과, 완성된 액티브 매트릭스 기판은 양호품 또는 불량품으로 식별된다. 양호한 것으로 밝혀진 액티브 매트릭스 기판은 다음 공정, 즉, 소위 후속 공정에 보내진다. 불량품으로 판별된 액티브 매트릭스 기판중에서, 수리될 수 있는 액티브 매트릭스 기판은 레이저등을 이용한 광학 에너지 조사에 의해 수리된 다음 다시 검사된다. 후속 공정 중에서, 액티브 매트릭스 기판(20)은 대향 전극(28)들이 형성되어 있는 대향 기판에 부착된다. 표시 매체인 액정은 부탁된 기판들 사이에 주입된다. 이어 부착된 기판들을 소정크기로 절단하여 표시 장치를 제조한다. 이러한 절단 단계에서, 쇼트링(29)이 배치된 베이스 기판 부분은 절단된다.

이렇게 하여 완성된 표시 장치에서, 화소 결함등의 불량을 완전히 검출하는 것은 불가능하기 때문에, 액티브 매트릭스 기판이 제조된 직후 및 표시 장치로 조립되기 전에 표시 장치에서 여러가지 검사를 다시 한번 실행한다. 표시 검사는 구동 회로가 배치된 표시 장치에 구동 신호를 입력하거나 표시 장치에 구동회로를 배치하기 전에 구동 신호를 입력하여 수행한다. 구동 회로가 설치되지 않은 후자의 경우, 접촉 핀 또는 프로브 카드(proube card)와 같은 접촉 매체는 게이트 버스 라인(24)의 단자(23), 소스 버스 라인(22)의 단자(21) 및 단자(3)와 접촉하게 되어 표시 신호들은 외부로부터 게이트 버스 라인(24)과 소스 버스 라인(22)에 입력된다. 따라서, 표시 장치상에 휘점 및 휘선의 존재 유무를 조사한다. 휘점(luminescent spot)은 게이트 버스 라인(24) 또는 소스 버스 라인(22)과 스위칭 소자(25)의 드레인 전극(화소 전극 26)과의 단락, 화소 전극(26)과 대향 전극(28)의 단락 등이 생기는 경우에 발견된다. 또한, 휘선(luminescent line)은 게이트 버스 라인(24)과 소스 버스 라인(22)의 단락, 게이트 버스라인(24) 또는 소스 버스 라인(22)의 단선, 게이트 버스 라인(24)끼리의 단락이 생기는 경우에 발견된다.

상술한 표시 장치의 표시 검사와 병행하여 표시 장치의 각 버스 라인 및 각 단자의 전기적 특성을 검사하는 배선 검사가 실행된다. 배선 검사에서는 액티브 매트릭스 기판(20)상에 형성된 버스 라인(22, 24)들 사이의 저항이 측정되고, 그에 의해 버스 라인들 사이의 단락 및 버스 라인들의 단선 유무가 조사된다. 버스라인 중간에 있는 버스 라인들 사이의 단락 및 각 버스 라인의 단선은 표시 불량의 원인으로 된다. 쇼트링(29)이 액티브 매트릭스 기판(20)으로부터 절단되지 않은 경우, 단자가 단락된 상태에서 구동 회로가 표시 장치에 배치된다. 이는 버스 라인들 사이의 단락과 각 버스 라인의 단선과 마찬가지로 표시 불량의 원인으로 된다.

휘점 도는 휘선 등의 표시 결함, 및 액티브 매트릭스 기판(20)상에 잔존한 쇼트링(29)에 의한 버스 라인의 단자간의 단락, 버스 라인 도중에서의 버스 라인간의 단락, 및 각 버스 라인의 단선에 기인하는 표시 불량의 검사에서는 접촉 핀 및 플랙시블프린트 기판등의 접촉 매체를 표시 장치의 각 버스 라인의 입력단자 모두에 접촉시킨다. 각 접촉 핀을 1개씩 릴레이에 접속하여 피검사 영역을 선택하고, 선택된 영역에서 검사를 수행한다. 한개의 피검사 영역에 관해서 검사가 종료하면, 다른 영역을 피검사 영역으로 선택하여 동일한 검사를 실행한다.

그러나, 상술한 바와 같은 검사 방법에서는 접촉 핀을 1개씩 릴레이로 접속하기 위하여 검사 장치의 비용이 아주 높게 되고 장치의 유지도 곤란하다. 또한, 표시 검사로부터 배선 검사로 검사가 변경되는 경우, 또는 저항이 측정될 배선 또는 단자가 배선검사에서 변경되는 경우, 접촉 매체는 매 변경시에 검사될 표시장치의 단자에 접속되어야 한다. 또한, 이와 같이 서로 다른 검사로 이행할 때에 접촉 매체와 검사 대상인 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판상의 각 단자와 접촉 작업을 수행하면, 검사 효율이 매우 불량하다.

본 발명은 이와 같은 과제를 해결하기 위해 된 것으로, 효율좋게 검사를 수행할 수 있는 표시 장치의 검사 장치 및 그 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 검사 장치는 액티브 매트릭스 기판;대량 기판;상기 액티브 매트릭스 기판과 대향 기판 사이에 협지된 표시 매체를 갖는 표시 장치로서, 상기 액티브 매트릭스 기판 상에는 복수개의 제1버스 라인 및 복수개의 제2버스 라인이 설치된 표시장치를 검사한다. 상기 장치는 제1기판 유닛과 제2기판 유닛을 포함한다. 제1기판 유닛은 복수개의 제1검사 단자, 복수개의 제1검사 배선, 복수개의 제2검사 배선 및 검사 단자 및 배선들을 지지하기 위한 제1지지 수단을 포함하여, 각 제1검사 배선은 제1검사 단자중의 하나에 접속되고, 제2검사 배선은 제1검사 배선이 제공된 표면과는 상이한 제1지지 수단의 표면상에 제공되며, 각 제2검사 배선은 제1접속 수단에 의해 제1검사 배선중의 하나에 선택적으로 접속되며, 제2검사 배선들이 제1버스라인과 직접적으로 접촉하게 되는 경우, 각 제1버스 라인들은 제1검사 단자들 중의 하나에 접속된다. 제2기판 유닛은 복수개의 제2검사 단자, 복수개의 제3검사 배선, 복수개의 제4검사 배선 및 상기 검사 단자와 배선들을 지지하기 위한 제2지지 수단을 포함하며, 각 제3검사 배선들은 제2검사 단자들 중의 하나에 접속되며, 제4검사 배선들은 제3검사 배선들이 제공된 표면과는 상이한 제2지지 수단의 표면상에 제공되며, 각 제4검사 배선들은 제2접속 수단에 의해 제3검사 배선들 중의 하나에 선택적으로 접속되며, 제4검사 배선들이 제2버스 라인들과 직접적으로 접촉되면, 각 제2버스 라인들은 제2검사 단자중의 하나에 접속된다. 이 검사 장치는 또한 표시 장치의 표시 검사를 실행하기 위한 구동 신호를 제1검사 단자와 제2검사 단자에 공급하기 위한 구동 신호 입력 수단;표시 장치의 제1버스 라인들과 제2버스 라인들의 저항을 측정하기 위한 저항 측정 수단;및 구동 신호 입력 수단 또는 저항 측정 수단중의 하나를 제1기판 유닛 및 제2기판 유닛에 접속하기 위한 수단을 또한 포함한다.

본 발명의 제1실시예에서, 제1지지 수단은 제1기판 및 제2기판을 포함하며, 상기 제1검사 단자 및 제1검사 배선은 제1기판 상에 제공되고, 제2검사 배선은 제2기판에 제공되며, 제1기판 및 제2기판은 제1검사 배선이 제2검사 배선과 대향하도록 배치되며, 제1접속 수단인 도전막은 제1기판과 제2기판 사이에 형성된다.

본 발명의 다른 실시예에서, 제2 지지 수단은 제3기판 및 제4기판을 포함하여, 제2검사 단자 및 제3검사 배선은 상기 제3기판상에 제공되고, 제4검사 배선들은 제4기판 상에 제공되며, 제3기판 및 제4기판은 제3검사 배선이 제4검사 배선들과 대향하도록 배치되며, 제2접속 수단인 도전막은 제3기판과 제4기판 사이에 형성된다.

본 발명의 다른 실시예에서, 제1검사 단자는 소정 수이고, 제1검사 배선은 제1검사 단자의 소정 수와 동일한 수의 군으로 나뉘며, 제1검사 배선의 한 군은 제1검사 배선의 다른 군이 접속된 제1검사 단자와는 상이한 하나의 제1검사 단자에 접속된다.

본 발명의 다른 실시예에서, 제2검사 단자는 소정 수이고, 제3검사 배선은 제2검사 단자의 소정 갯수와 동일한 수의 군으로 나뉘며, 제3검사 배선의 한 군은 제3검사 배선의 다른 군이 접속된 제2검사 단자와는 상이한 한개의 제2검사 단자에 접속된다.

본 발명의 다른 실시예에서, 제2검사 배선 및 제4검사 배선들은 제1버스 라인들 및 제2버스 라인들의 핏치와 동일한 핏치로 각각 형성된다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상술한 장치를 이용하여 표시 장치를 검사하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 제1기판 유닛을 표시 장치에 접속시켜 제2검사 배선과 제1버스 라인을 정렬시키는 단걔;제2기판 유닛을 표시 장치에 접속시켜 제4검사배선과 제2버스 라인들을 정렬시키는 단계;및 표시 장치를 표시 상태에 대해 검사하기 위한 모드와 제1버스 라인과 제2버스라인 사이의 저항을 측정하기 위한 모드 사이에서 검사 장치의 모드를 절환하는 단계를 포함한다.

여기에 기재된 본 발명은 효율 좋게 검사를 실행할 수 있는 표시 장치의 검사 장치 및 그 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 이러한 이점과 그밖의 다른 이점을 첨부 도면을 참조하여 이하에 상세히 설명한다.

도1은 본 발명의 검사 장치의 구성을 개략적으로 도시한다. 본 검사 장치는 검사 기판부(51) 및 그 주변의 측정부(52)를 갖는다. 검사 기판부(5)는 제1기판 유닛(101)및 그와 실질적으로 동일한 구성을 갖는 제2기판 유닛(102)을 갖고 있다. 본 실시예에서는 도10에 도시된 구성의 액티브 매트릭스 기판을 갖는 표시 장치를 검사 대상으로 하는 경우를 설명한다.

도2는 제1기판 유닛(101)의 단면도를 도시한다. 도2에 도시한 바와 같이, 제1기판 유닛(101)은 제기판(11)과 제2기판(12)을 포함한다. 제1기판(11)의 한면 상에는 소정 패턴의 검사배선(3)이 형성된다., 제2기판(12)의 한면 상에는 소정 패턴의 검사 배선(4)이 형성된다. 기판(11, 12)들은 검사 배선(3, 4)들이 형성되어 있는 면이 서로 대향하도록 배치되어 있다. 그러나, 검사배선(4)이 형성되어 있는 제2기판(12)의 면은 제1기판(11)의 면과 완전히 대향하지 않는다. 도2에 도시한 바와 같이, 제2기판(12)의 일부는 제1기판(11)과 대향하지 않는다. 기판(11, 12) 사이에, 이방성 도전막(5a, 5b)이 삽입되어 있다. 각 이방성 도전막(5a, 5b)은 두께 방향에서 도전 특성을 갖고 검사 배선이 형성되어 있는 기판의 면과 평행한 방향이후, 면 방향이라함)에서는 절연 특성을 갖는다. 이방성 도전막(5a, 5b)은 제1기판(11) 및 제2기판(12) 사이에서 가열 및 가압되어 검사 배선(3) 및 검사 배선(40) 사이에 전기적 접속을 제공한다. 또한, 검사 배선(3)이 형성되어 있는 제1기판(11)의 면상에 절연막(6)을 형성시켜 이방성 도전막(5a, 5b)이 형성되어 있는 부분을 제외한 검사 배선(3)을 덮는다.

도3a및 도3b는 각각 제1기판(11)의 평면도 및 단면도이다. 제1기판(11)은 베이스 기판(1)을 갖고 있고, 상기 베이스 기판(1)상에 검사 배선(3)이 배치된다. 베이스 기판(1)으로는 예컨대, 유리 에폭시 수지막이 사용된다. 그의 표면상에는 구리 등으로 제조된 검사 배선(3)이 형성된다. 대체로 수백개의 검사 배선(3)이 형성된다. 여기서는 설명을 용이하게 하기 위해 단지 16개의 검사 배선(3)만을 형성시킨다. 동일한 이유로, 16개의 검사 배선(4)이 제2기판(12)상에 형성된다.

검사 배선(3)은 검사 접속 단자(a, b, c 및 d)에 각각 접속되어 있는 4개의 블록으로 나뉜다. 특히, 검사 접속단자(a, b, c 및 d)의 각각으로 1개의 배선이 접속되어 있고, 그 배선은 4개의 배선으로 분기된다. 그 결과, 베이스 기판(1)상에는 16개의 검사 배선이 도a에서와 같이 형성된다. 16개의 검사 배선은 검사될 표시 장치의 게이트 버스 라인(24) 및 소스 버스 라인(22)의 간격과 동일한 간격으로 서로 평행하게 배치된다. 여기서, 16개의 검사배선(3)은 각각 도3a에 상단부터 하단에 이르기까지 도시된 1번째 내지 16번째 게이트 버스 라인에 대응된다. 즉, 검사 접속단자(a)에 접속된 4개의 검사 배선은 2번째, 6번째, 10번째 및 14번째의 게이트 버스 라인(24)에 각각 대응한다. 검사 접속 단자(b)에 접속된 검사 배선은 1번째, 5번째, 9번째 및 13번째 게이트버스 라인(24)에 각각 대응한다. 검사 접속 단자(c)에 접속된 검사 배선은 3번째, 7번째, 11번째 및 15번째 게이트 버스 라인(24)에 각각 대응한다. 검사 접속 단자(d)에 접속된 검사 배선은 4번째, 8번째, 12번째 및 16번째의 게이트 버스 라인(24)에 각각 대응한다.

검사 배선(3)사에 이방성 도전막(5a, 5b)이 형성되는데, 도3b에 도시한 바와 같이, 이방성 도전막(5a)은 검사 접속 단자(b, c)에 접속되어 있는 8개의 검사 배선상에 형성되고, 이방성 도전막(5b)은 검사 접속 단자(a, b)에 접속되어 있는 8개의 검사 배선상에 형성된다.

도 4a및 도4b는 각각 제2기판(12)의 평면도 및 단면도이다. 제2기판(12)의 평면도 및 단면도이다. 제2기판(12)은 또한 상기 제1기판(11)과 동일하게 유리 에폭시 수지로 제조된 베이스 기판(2)을 갖고 있다. 베이스 기판(2)의 한면에는 소정 패턴의 검사 배선(4)이 형성된다. 검사 배선(4)의 패턴은 검사 대상인 표시 장치의 게이트 버스 라인(24)의 패턴과 동일하다. 검사 배선(4)의 재료로서는 예컨대, 구리가 사용된다. 일반적으로 수백개의 검사 배선(4)이 검사 배선(3)과 동일한 방식으로 형성된다. 여기서는 1번째 내지 6번째의 게이트 버스 라인(24)에 대응하도록 6개의 검사 배선만을 제공한다.

상술한 구성을 갖는 제2기판(12)은 이방성 도전막(5a, 5b)을 그 사이에 삽입한 채 제1기판(11)과 대향하도록 배치된다. 그와 동시에, 제1기판(1)상의 검사 접속 단자(a, d)에 접속된 검사 배선(3)은 제2기판(12)상의 작수번째의 검사 배선(4)에 대응하고, 검사 접속 단자(b, c)에 접속된 검사 배선(3)은 홀수번째의 검사배선(4)에 대응한다. 상술한 바와 같이, 제2기판(12)은 그 전면이 제1기판(11)과 대향하는 것은 아니고, 일부의 영역은 제1기판(11)과 대향한다. 도2에 도시한 바와 같이, 제1기판(11) 및 제기판(12)의 위치는 서로 시프트되어 배치됨으로써, 검사 접속 단자(a~d)가 제공되어 있는 제1기판(11)의 일부가 제2기판(12)으로 피복되지 않고 제2기판(12)상의 검사 배선(40)의 일부도 또한 제1기판(11)으로 피복되지 않는다. 즉, 피복되지 않은 영역은 노출되어 있다.

도 5a, 도 5b, 도6a 및 도6b를 참조하여 제2기판 유닛(102)의 구성을 설명한다. 제2기판 유닛(102)은 제3기판(13) 및 제4기판(14)을 갖고 있다., 제3기판(13)의 한면에는 검사 배선(3')이 형성되어 있다. 제4기판(4)의 한면에는 검사 배선(4')이 형성되어 있다. 제3및 제4기판(13, 14)은 검사 배선(3', 4')이 형성되어 있는 면이 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 제3기판(13)및 제4기판(14)은 제1기판 유닛(101)의 제1및 제2기판(11, 12)에서와 동일한 방식으로 서로 시프트되어 배치된다. 제3기판(13) 및 제4기판(14) 사이에는 이방성 도전막(5a', 5b')이 삽입된다. 이방성 도전막(5a', 5b')은 검사 배선(3')및 검사 배선(4') 사이의 전기적 접속을 제공하기 위해 사용된다. 제2기판 유닛(102)의 구성은 제1기판 유닛(101)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 그 설명을 생략한다.

제3기판(13)의 구성은 도5a및 도5b에 도시된다. 제4기판(14)의 구성은 도6a및 도6b에 도시된다.

도5a에 도시된 바와 같이, 제3기판(13)상의 검사 배선(3')은, 제1기판(11)에서와 동일하게, 4개의 검사 배선이 각 검사 접속 단자(a', b', c', d')각각에 접속되도록 설치된다. 16개의 소스버스 라인(22)들에 각각 대응하도록 16개의 검사 배선이 서로 평행하게 형성된다. 제3기판(13)상에, 표시 장치의 버스 라인에 대응하는 검사 배선이 접속된 검사 접속 단자 뿐만 아니라 표시 장치의 대향 전극의 공통단자에 대응하는 검사 배선(8)과 이 검사배선(8)이 접속된 검사 접속 단자(e)가 설치되어 있다는 점에서, 제3기판은 제1기판(11)과 상이하다.

제4기판(14)상에는 제2기판(2)과 동일하게 소스 버스 라인(22)에 대응하도록 소스 버스 라인(22)의 간격과 동일한 간격으로 검사 배선(4')이 서로 평행하게 형성되어 있다. 그러나, 제4기판(14)은 표시 장치의 소스 버스 라인에 대응하는 검사 배선(4') 뿐만 아니라 대향 전극 공통 단자에 대응하는 검사 배선(8')이 기판상에 형성되어 있다는 점에서, 제2기판(12)과는 상이하다. 또한, 제1기판(11) 및 제2기판과 동일한 방식으로 제3기판(13)및 제4기판(14)도 또한 서로 시프트되어 있다. 따라서, 제3기판(13)상의 검사 접속 단자(a'~d', e)는 제4기판(14)으로 피복되지 않고 노출된다. 또한 제4기판(14)상의 검사 배선(4', 8')의 일부는 제3기판(3)으로 피복되지 않고 노출된 상태로 유지된다.

다음에, 표시 장치의 제1기판 유닛(101), 제2기판 유닛(102)및 액티브 매트릭스 기판(20)간의 접속을 설명한다. 검사시에는, 도 7a에 도시한 바와 같이, 제1기판 유닛(101)의 제2기판(12)상의 검사 배선(4)의 노출 부분이 액티브 매트릭스 기판(20)상의 게이트 버스 라인 단자(23)와 접속하게 된다. 그 결과, 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자(a내지 d)는 제1기판(1)상의 검사 배선(3)및 이방성 도전막(5a, 5b)를 통하여 검사 배선(3)에 전기적으로 접속된 검사 배선(4)을 거쳐 게이트 버스 라인 단자(23)에 접속된다. 도면에 도시하지는 않으나, 제2기판 유닛(102)에 관해서도 동일하게, 검사시에 제4기판(14)상의 검사 배선(4')의 노출된 부분이 소스 버스 라인 단자(21)에 접촉되고, 검사 배선(8')이 대향 전극 공통 단자(30)에 접촉된다. 이것에 의해 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(a'~d')는 검사 배선(3'), 이방성 도전막(5a', 5b')및 검사 배선(4')을 거쳐 소스 버스 라인 단자(21)에 전기적으로 접속된다. 검사 접속 단자(e)는 대향 전극 공통 단자(30)에 접속된다. 표시 검사 및 저항 측정은 제1및 제2기판 유닛(101, 102)이 검사 대상인 표시 장치에 접속되는 조건에서 실행된다.

표시 검사시에는 검사 접속 단자(a)에 입력되는 구동 신호는 (2), (6), (10)및 (14)의 번호가 부여된 검사 배선(3)을 거쳐 이방성 도전막(5b)을 통해 2번째, 6번째, 10번째, 14번째의 검사 배선(4)에 전달된다. 이어, 구동 신호는 이러한 검사 배선(4)과 직접 접촉하고 있는 2번째, 6번째, 10번째 및 14번째의 게이트 버스 라인 단자(23)에 인가된다. 또한 검사 접속 단자(b,c,d)에 입력된 구동 신호도 대응하는 검사 배선(4)을 통하여 게이트 버스 라인 단자(23)에 인가된다. 또한, 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(a'~d', e)에 인가된 신호도 검사 배선(4', 8)을 통하여 대응하는 소스 버스 라인 단자(21) 및 대향 전극 공통 단자(30)에 각각 인가된다.

이어, 본 발명의 검사 장치의 측정부(52)를 설명한다. 도1에 도시한 바와 같이, 측정부(52)는 표시 검사용 구동 신호를 기판유닛(101, 02)에 공급하기 위한 구동 신호 입력 회로(45), 각 단자간의 저항을 측정하고 버스 라인간의 단락등을 검사하는 저항측정기(47)및 구동 신호 입력 회로(45)및 저항 측정기(47) 중 하나를 검사 기판부(51)에 선택적으로 접속하기 위한 스위치(48)를 제어하는 제어용 컴퓨터(46)를 갖고 있다. 스위치(48)의 2개의 단자는 각각 구동 신호 입력 회로(45)및 저항 측정기(47)에 접속되어 있다. 스위치(48)의 나머지 단자는 제어용 컴퓨터(46)에 접속되어 있다. 제어용 컴퓨터(46)에 접속되어 있는 단자로는 검사기판부(51)의 배선(49)이 또한 접속되어 있다. 배선(49)은 2개 배선으로 분기된다. 이러한 2개의 배선 중 한개는 기판 유닛(101)의 검사 접속 단자(a~d)에 접속되어 있고, 또 다른 한개는 기판유닛(102)의 검사 접속 단자(a'~d', e)에 접속되어 있다.

상술한 검사 장치를 이용하여 행해지는 표시 검사 및 배선검사의 각각에 관하여 개별적으로 설명한다.

(1) 표시검사:

표시 검사에서는 검사되는 표시 장치의 액티브 매트릭스 기판의 배면측, 즉, 대향 기판과 대향하지 않는 액티브 매트릭스 기판의 면에 냉음극관을 설치한다. 표시 장치를 그 사이에 배치하도록 평광판을 위치시킨다. 이 때, 액티브 매트릭스 기판측에 설치되는 편광판중의 한개는 냉음극관과 액티브 매트릭스 기판 사이에 배치된다. 이 상태에서 구동 신호 입력 회로(45)로부터 제1기판(11)상의 검사 접속 단자(a, b, c, d)및 제3기판(14)상의 검사 접속 단자(a', b', c', d', e')를 통하여 표시 장치에 구동 신호를 인가하면, 표시 장치는 표시 상태로 된다. 구동 신호는 실제의 표시와 될 수 있는 한 가까운 표시가 실현되도록 표시 장치의 게이트 버스 라인 단자, 소스 버스 라인 단자 및 대향 전극 공통단자 모두에 인가된다. 여기에서는 도10에 도시된 바와 같은 Cs-On-Gate형의 액티브 매트릭스 표시 장치인 경우를 설명하고 있기 때문에, 게이트 버스 라인(24)의 인접하는 단자(23)에 타이밍이 다른 신호가 입력된다.

구동 신호 입력 회로(45)의 구성을 간략하게 하기 위해, 동일한 파형을 갖는 신호가 구동 신호 입력 회로(45)로부터 각 검사 접속 단자에 공급된다. 도8은 신호의 일례를 나타낸다. 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자(b,c)에는 도8의 (a)에 나타낸바와 같은 파형의 구동 신호(31)가 인가된다. 구동 신호(31)는 각 접속 단자로부터 이방성 도전막(5a) 및 검사 배선(4)을 거쳐 검사 대상인 표시 장치의 홀수번째의 게이트 버스 라인(24)의 단자(23)에 인가된다. 그 결과, 게이트 버스 라인(24)은 ON상태로 된다. 홀수번째의 게이트 버스 라인(24)이 구동 신호(31)에 의해 OFF상태로 된 직후에, 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자((a, d)를 통하여 도8의 (b)도에 도시한 바와 같은 파형의 구동 신호(32)가 짝수번째의 게이트 버스 라인(24)의 단자(23)에 인가된다. 그 결과, 홀수번째의 게이트 버스 라인 대신 짝수번째의 게이트 버스 라인이 ON상태로 된다. 도8의 (c)의 파형을 갖는 구동신호(33)는 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(a', b', c', d')를 통하여 모든 소스 버스 라인(24)에 인가된다. 도8로부터 알수 있듯이, 모든 게이트 버스 라인(24)이 ON된 다음 OFF로 될때 까지의 시간 동안, 모든 소스 버스 라인(22)에는 일정한 레벨의 정의 DC전압 신호(33)가 인가된다. 또한, 표시 검사가 실행되는 사이에, 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(e)에 도8의 (d)에 도시한 고정된 레벨을 갖는 DC전압 신호(34)를 인가한다. 대향 전극 공통 단자(30)를 통하여 대향 전극(28)에 신호(34)를 인가한다.

상술한 바와 같이, 구동 신호 입력 회로(45)로부터 각 검사접속 단자를 통하여 검사 대상인 표시 장치를 표시 상태로 설정하기 위한 구동 신호(31~34)를 인가하면, 버스 라인의 단선 또는 스위칭 소자의 전극 간의 단락과 같은 결함이 있는 경우, 표시 장치에 휘점 및/또는 휘선이 나타난다. 휘점 및/또는 휘선은 육안 또는 화상 장치 등에 의해 검출되며, 이어서 결함이 있는 부분을 수리한다.

(2) 배선검사:

먼저 제어용 컴퓨터(46)에 의해 스위치(48)을 전기적으로 스위칭시키고, 저항 측정기(47)를 검사 기판부(51)에 접속한다. 이하, 배선 검사의 일례로서, 게이트 버스 라인(24)에 대해 검사하는 경우를 설명한다.

배선 검사에서, 게이트 버스 라인(24)과 소스 버스 라인(22)사이의 단락의 유무, 게이트 버스 라인(24)간의 단락의 유무 및 게이트 버스 라인(24)과 대향 전극(28)사이의 단락의 유무에 대해 게이트 버스 라인(24)을 검사해야 한다. 이하 각각의 검사 방법을 설명한다.

게이트 버스 라인(24)과 소스 버스 라인(22) 사이의 단락의 유무를 조사하는 검사에서는 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자(a, b, c, d)와 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(a', b', c', d')사이의 저항을 측정한다. 저항의 측정에 사용되는 측정 회로는 저항 측정기(47)의 내부에 조립되어 있고 공지된 것을 사용할 수 있다. 이 측정 회로는 본 발명의 주안점은 아니기 때문에 설명은 생략한다.

이하, 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자와 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자 사이의 저항을 측정하는 것을 예로 하여 게이트 버스 라인(24)및 소스 버스 라인(22)사이의 단락을 검사하는 방법을 설명한다. 검사 접속 단자(a)와 소스 버스 라인(22)의 단자(21)에 접속되어 있는 제2기판 유닛(102)의 검사 접속 단자(a')사이의 저항을 측정한다. 저항값이 통상의 값보다 낮으면, 낮은 값은 검사 접속 단자(a)에 접속되어 있는 검사 배선(2, 6, 10, 14)에 대응하는 2번째, 6번째, 10번째 및 14번째의 게이트 버스 라인(24)중 어느 하나와 검사 접속 단자(a')에 접속디어 있는 검사 배선에 대응하는 2번째, 6번째, 10번째 및 14번째의 소스 버스 라인(22)의 어느 하나가 단락된 것을 나타낸다. 이 경우에는, 검사된 표시 장치가 불량품인 것으로 판단되어 검사를 종료한다. 검사 접속 단자(a)와 검사 접속 단자(a')사이의 저항값이 통상의 값이면, 검사 접속 단자(a)와 검사 접속 단자(b') 사이의 저항이 측정된다. 이러한 방식으로 검사 접속 단자(a)와 소스 버스 라인(22)의 단자(21)에 접속되어 있는 검사 접속 단자(a', b', c', d')사이의 저항이 측정되어, 2번째, 6번째, 10번재 및 14번째의 게이트 버스 라인(24)과 모든 소스 버스 라인(22) 사이의 단락의 유무가 검사될 수 있다.

검사 접속 단자(a)에 접속되어 있는 검사 배선에 대응하는 4개의 게이트 버스 라인(24)에 관한 검사가 종료되면, 이어서 검사 접속 단자(b)와 검사 접속 단자(a', b', c', d')사이의 저항을 순차적으로 측정한다. 이하 동일하게 하여 각 검사 접속 단자(c, d)와 각 검사 접속 단자(a', b', c', d')사이의 저항을 순차적으로 측정한다. 이와 같이 하여, 검사 접속 단자(c 및 d)의 각각 및 검사 접속 단자(a', b', c', d')의 각각 사이의 저항이 측정된다. 1번째부터 16번째의 게이트 버스 라인(24)과 소스 버스 라인(22) 사이의 단락의 유무를 검사한 후, 동일한 방법에 의해 다음의 16개의 게이트 버스 라인(24)에 관한 검사를 실행한다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 검사 장치에서는 종래의 검사 장치와 같이 게이트 버스 라인(24)을 1개씩 프로브 등의 접촉 매체로 접촉시킬 필요가 없게 된다. 따라서, 종래의 검사 장치와 비교하여 검사 효율이 급격히 향상된다. 또한, 각 검사 접속 단자(a, b, c, d)와 각 검사 접속 단자(a', b', c', d', e')사이의 저항의 측정은 제1기판 유닛(101)의 각 검사 접속 단자 마다 행할 필요가 없다. 예컨대, 모든 검사 접속 단자에 관하여 동시에 측정하여도 좋다. 이 경우에는 검사의 효율을 보다 상승시킬 수 있다.

게이트 버스 라인(24) 사이의 단락에 대한 검사에서는 인접하는 게이트 버스 라인(24)사이의 저항을 측정한다. 먼저, 제1기판(11)상의 검사 접속 단자(a, b)를 단락시킨다. 그와 동시에 검사 접속 단자(c, d)를 단락시킨다. 이러한 상태에서, 단락된 단자(a, b)세트 및 단락된 단자(c, d)세트 사이의 저항을 측정한다. 이 측정은 단자(a, d)사이의 저항 및 단자(b, c)사이의 저항이 한거번에 측정되는 단일 측정 단계에 해당된다. 측정된 저항값에 따라, 즉, 측정된 저항값이 통상의 값인지 아닌지의 결과에 따라서, 단자(a)에 접속된 버스 라인과 단자(d)에 접속된 버스 라인사이의 단락 유무 및 단자(b)에 접속된 버스 라인과 단자(c)에 접속된 버스 라인 사이에 단락이 있었는지 여부를 검출할 수 있다.

다음에, 검사 접속 단자(a, d)가 단락되고, 검사 접속 단자(b, c)가 단락된 상태에서, 단락된 단자(a, d)세트 및 단락된 단자(b, c)세트 사이의 저항을 측정한다. 그 결과, 단자(a)에 접속된 버스 라인과 단자(b)에 접속된 버스 라인 사이의 단락의 유무 및 단자(c)에 접속된 버스 라인과 단자(d)에 접속된 버스 라인 사이의 단락의 유무를 검사할 수 있다. 이렇게 하여, 제1기판 유닛(101)의 검사 접속 단자에 접속할 수 있는 게이트 버스 라인(24)의 수정 수, 예를 들어, 본 실시예에서는 16개의 게이트 버스 라인(24)에 대하여, 게이트 버스 라인(24)간의 단락의 유무를 효율적으로 검사할 수 있다. 이러한 측정에서 저항치가 통상의 값이면, 다음의 16개의 게이트 버스 라인(24)에 관한 저항을 측정한다. 저항값이 통상의 값과 상이한 경우에는 검사된 표시 장치는 불량품으로 판단한다.

게이트 버스 라인(24)과 대향 전극(28)간의 단락 유무의 검사에서는 제1기판 유닛(101)의 각 검사 접속 단자(a, b, c, d)와 기판 유닛(102)의 대향 전극 검사 접속 단자(e)사이의 저항이 측정된다. 대향 전극 검사 접속 단자(e)는 검사 배선(8), 이방성 도전막(5a', 5b')및 검사 배선(8')을 통하여 검사 대상인 표시 장치의 대향 전극 공통 단자(30)에 접속된다. 따라서, 검사 접속 단자(a,e)사이의 저항을 측정함으로써 2번째, 6번째, 10번재 및 14번째 게이트 버스 라인(24)과 대향 전극(28) 사이의 단락 유무를 검사할 수 있다. 동일한 방식으로, 각 검사 접속 단자(b, c, d)와 대향 전극 검사 접속 단자(e) 사이의 저항을 측정한다. 1번째 내지 16번째 게이트 버스 라인(24)과 대향 전극(28) 사이의 단락 유무에 대한 검사를 완료한 후, 다음 16개 게이트 버스 라인(24)을 동일한 방식으로 검사한다.

게이트 버스 라인(24)에 관한 검사를 완료한 후, 상기와 동일한 방식으로 소스 버스 라인(22)에 대한 검사를 실시한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 검사 장치에 따르면, 표시 검사및 배선 검사를 동일한 검사 장치로 수행할 수 있다.

다음, 도9를 참조하여, 본 발명에 따른 검사 방법을 설명한다. 도9는 상술한 검사 장치를 갖는 검사 시스템을 도시한다. 본 검사 시스템은 구동 신호 입력 회로(45), 저항 측정 장치(47)및 제어용 컴퓨터(46)를 갖는 검사 장치를 포함한다. 본 검사 시스템은 또한 검사 장치에 표시 장치를 반입하거나 검사 장치로 부터 표시 장치를 반출하는 워크(work) 운반 기구(41, 41'), 스테이지(42)및 워크 카세트(48, 48')를 갖고 있다. 검사 장치의 검사 기판부(51)는 스테이지(42)상에 고정된다. 이와 같은 검사 시스템을 사용한 표시 장치의 검사는 다음에 설명된다.

검사 공정전의 공정을 경유한 표시 장치는 워크 카세트(48)에 쌓인다. 표시 장치는 워크 반송 기구(41)에 의해 워크 카세트(48)로부터 운반되어 스테이지(42)에 배치된다. 상술한 바와 같이, 검사 기판부(51)는 스테이지(42)상에 고정된다. 스테이지(42)상의 표시 장치의 위치는 기판 유닛(101, 102)의 위치에 따라서 조정되어 버스 라인(24, 22)이 검사 배선(4, 4')과 각각 정렬되도록 한다. 구체적으로는, 제1기판 유닛(101), 제2기판 유닛(102), 및 액티브 매트릭스 기판(20)은 도7a를 참조하여 설명한바와 같이 접속되어 있다. 그 결과, 제1기판 유닛(101)의 제2기판(12)상의 각 검사 배선(4)은 게이트 버스 라인(24)의 대응 단자(23)와 직접적으로 접촉된다. 제2기판 유닛(102)의 제4기판(14)상의 각 검사 배선(4')은 소스 버스 라인(22)의 대응하는 단자(21)와 직접적으로 접촉하고, 검사 배선(8')은 대향 전극 공통단자(30)와 직접적으로 접촉한다.

표시 장치의 각 단자가 검사 기판부(51)의 각 검사 단자와 접속된 후, 검사 기판부(51) 및 구동 신호 입력 회로(45)가 접속된 상태에서 각 검사 단자를 통하여 표시 장치에 구동 신호를 인가한다. 따라서, 표시 검사가 실행된다. 표시 검사후, 검사 기판부(51)는 제어용 컴퓨터(46)의 제어하에서 저항 측정 장치(47)에 접속되고, 배선 검사는 상술한 방법에 따라서 실행된다. 배선 검사가 완료되면, 검사 장치는 워크 반송 기구(41')에 의해 스테이지(42)로부터 워크 카세트(48')로 운반된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 검사 장치 및 검사 방법에 따르면, 각 표시 검사 및 배선 검사를 종래보다도 간편하고, 또한 효율 좋게 실행할 수 있다. 또한, 표시 장치의 표시 검사와 배선검사를 1개의 검사 장치만으로 행할 수 있다. 더구나, 컴퓨터가 사용되기 때문에 표시 검사용 신호 공급 회로, 배선 검사용 저항측정기중 어느 하나를 컴퓨터 제어하에서 표시 장치에 용이하게 선택적으로 접속시킬 수 있다. 따라서, 검사 효율이 현저히 향상된다.

상술한 실시예에서, 제1기판 유닛(101)은 표시 장치의 게이트 버스 라인(24)에 접속되고, 또 제2기판 유닛(102)은 소스 버스 라인(22)에 접속된다. 기판 유닛(101, 102)이 역관계로 접속되더라도 동일한 효과를 얻을 수 있다는 것을 알 수 있다. 또한, 제1기판 유닛(101)의 제1기판(11)상의 검사 배선(3)의 패턴과 제2기판 유닛(102)의 제3기판(13)상의 검사 배선(3')의 패턴은 상술한 특정예에 한정되지 않는다.

본 발명의 검사 장치 및 검사 방법은 TFT를 스위칭 소자로서 사용한 액티브 매트릭스형의 표시 장치 이외에 단순 매트릭스형의 표시 장치 및 MIM소자를 스위칭 소자로서 사용한 액티브 매트릭스형의 표시 장치에도 적용할 수 있다. 또한, 본 발명의 검사 장치 및 검사 방법은 액티브 매트릭스 기판에도 적용할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 표시 장치의 버스 라인의 복수의 단자 세트가 검사 장치의 검사 단자에 접속되어 있다. 따라서, 종래와 같이 각 단자에 1개씩 접촉 핀과 같은 접촉 매체를 접촉시킬 필요가 없게 된다. 이러한 구성으로, 배선 검사이에 저항을 측정하는 검사 단자의 조합을 변화시킬 수 있게 되어, 버스 라인의 단락의 유무를 복수의 버스 라인 마다 검사할 수 있다. 그 결과, 배선 검사를 간편하게 실시할 수 있다. 또한, 표시검사를 하기 위한 구동 신호 입력 회로 및 배선 검사를 하기 위한 저항 측정기중 어느 하나가 검사 접속 단자에 선택적으로 접속되도록 하는 제어를 제어용 컴퓨터등에 의해 전기적으로 행할수 있다. 이렇게 하여, 표시 검사로부터 배선 검사로의 절환을 실시할 수 있다. 이로 인해, 한개의 검사 장치로 표시 검사와 배선검사를 연속적으로 행할 수 있다. 따라서, 표시 검사 및 배선 검사를 포함한 검사 공정 전체의 효율이 현저히 향상된다. 또한, 검사 장치의 구조가 간단하기 때문에, 검사 장치의 제조 비용도 절감된다.

또한, 표시 장치를 조립하고 소정의 크기로 절단한 후에, 본 발명의 검사 장치 또는 검사 방법을 이용하여 쇼트링이 적절하게 절단되었는지에 관해 표시 장치를 검사한다. 따라서, 쇼트링을 확실히 절제하여 다음 공정에 보내지 않도록 하여 결함있는 표시장치를 방지할 수있다.

본 발명의 범위와 정신을 벗어나지 않는 한 본 기술 분야의 숙련자는 다양한 변형을 가하여 실시할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 특허 청구 범위는 상기 설명에 한정되지 않으며, 넓게 해석된다.

Claims

액티브 매트릭스 기판, 대향 기판 및 상기 액티브 매트릭스 기판과 상기 대향 기판 사이에 개재된 표시 매체를 갖는 표시 장치로서, 상기 액티브 매트릭스 기판은 그 위에 복수의 제1버스 라인과 복수의 제2버스 라인을 구비한 표시 장치를 검사하기 위한 장치에 있어서, 복수의 제1검사 단자, 복수의 제1검사 배선, 복수의 제2검사 배선, 및 상기 검사 단자와 배선을 지지하는 제1지지 수단을 갖는 제1기판 유닛으로, 각 제1검사 배선은 제1검사 단자중의 하나에 접속되고, 제2검사 배선은 상기 제1검사 배선이 제공된 면과는 상이한 제1지지 수단의 면상에 제공되어 있으며, 제2검사 배선 각각은 제1접속 수단에 의해 제1검사 배선중의 하나에 선택적으로 접속되어 있고, 상기 제2검사 배선을 상기 제1버스라인과 직접 접촉시킬 때, 각 제1버스 라인이 상기 제1검사 단자 중의 하나에 접속되는 제1기판 유닛;복수의 제2검사 단자, 복수의 제3검사 배선, 복수의 제4검사 배선, 및 검사 단자와 배선을 지지하는 제2지지 수단을 포함하는 제2기판 유닛으로, 각 제3검사 배선은 제2검사 단자중 하나에 접속되어 있고, 제4검사 배선은 제3검사 배선이 제공된 면과는 상이한 상기 제2지지 수단의 면상에 제공되어 있으며, 각 제4검사 배선은 제2접속 수단에 의해 제3검사 배선중 한개에 선택적으로 접속되고, 제4검사 배선을 상기 제2버스 라인에 직접 접촉시킬 때, 각 제2버스 라인이 상기 제2검사 단자중의 하나에 접속되는 제2기판 유닛;상기 표시 장치의 표시 검사를 실행하기 위한 구동 신호를 상기 제1검사 단자 및 상기 제2검사 단자에 공급하는 구동 신호 입력 수단;상기 표시 장치의 제1버스 라인 및 제2버스 라인의 저항을 측정하는 저항 측정 수단;및 상기 구동 신호 입력 수단과 상기 저항 측정 수단중 어느 하나를 상기 제1기판 유닛 및 상기 제2기판 유닛에 접속시키는 수단;을 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
제1하에 있어서, 상기 제1지지 수단은 제1기판 및 제2기판을 포함하고, 상기 제1검사 단자 및 제1검사 배선은 제1기판상에 배치되고, 제2검사 배선은 상기 제2기판 상에 배치되고, 상기 제1기판과 제2기판은 상기 제1검사 배선과 제2검사 배선이 대향하도록 배치되고, 상기 제1기판과 제2기판 사이에 상기 제1접속 수단으로 도전막이 형성되어 있는 검사 장치.
제2항에 있어서, 제2지지 수단은 제3기판 및 제4기판을 포함하고, 상기 제2검사 단자 및 제3검사 배선은 제3기판 상에 제공되며, 제4검사 배선은 제4기판 상에 제공되고, 제3기판과 제4기판은 제3검사 배선과 제4검사 배선이 대향하도록 배치되며, 제3기판과 제4기판 사이에 상기 제2접속 수단으로서의 도전막이 형성되어 있는 검사 장치.
제3항에 있어서, 제1검사 단자는 소정 수로 정해지고, 상기 제1검사 배선은 상기 제1검사 단자의 소정 수와 동일한수의 군으로 나누어 지며, 상기 제1검사 배선의 한 군은 다른군의 제1검사 배선이 접속된 제1검사 단자와 상이한 하나의 제검사 단자에 접속된 검사 장치.
제4항에 있어서, 제2검사 단자는 소정 수로 정해지고, 제3검사 배선은 제2검사 단자의 소정 수와 동일한 수의 군으로 나누어 지며, 상가 제3검사 배선의 한 군은 다른 군의 제3검사 배선에 접속된 제2검사 단자와는 상이한 하나의 제2검사 단자에 접속되어 있는 검사 장치.
제5항에 있어서, 제2검사 배선 및 제4검사 배선은 각각 상기 제1버스 라인 및 상기 제2버스 라인과 동일한 피치로 형성되는 검사 장치.
상기 제2검사 배선과 상기 제1버스 라인이 정렬되도록 상기 제1기판 유닛을 표시 장치에 접속하고, 상기 제4검사 배선 및 제2버스 라인이 정렬되도록 상기 제2기판 유닛을 상기표시 장치에 접속하는 단계;및 표시 장치의 표시 상태를 검사하는 모드와 상기 제1버스 라인 및 상기 제2버스 라인 사이의 저항을 측정하는 모드간에서 상기 검사 장치의 모드를 절환하는 단계;를 포함하는 제1항에 기재된 검사 장치를 이용한 표시 장치의 검사 방법.