NL9400925A

NL9400925A - Inspectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor display-inrichting.

Info

Publication number: NL9400925A
Application number: NL9400925A
Authority: NL
Original assignee: Sharp Kk
Priority date: 1993-06-11
Filing date: 1994-06-08
Publication date: 1995-01-02
Also published as: NL195017C; KR950001343A; US5473261A; JP2820233B2; JPH06347813A; KR0142014B1

Description

Inspectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor display-inrichting.

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een in-spectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor een display-inrichting. In het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op een inspectie-inrichting en een inspectiewerkwijze om een display-inrichting te controleren op weergavevermogen, en om op elk substraat van de display-inrichting verschafte lijnen te inspectren op kortsluitingen tussen lijnen en onderbreking van elke lijn, en ook om lijnweerstanden te meten.

De laatste jaren wordt als alternatief voor een katho-destraalbuis (CRT) een platte display-inrichting, een vloeibare kristallen display (LCD) alom toegepast. Onder verschillende typen LCD/s is een stuur-LCD met actieve matrix, waarin voor elk beeldelement een schakelelement verschaft is, populair voor praktische toepassing; dit vanwege de gunstige afmeting, de weergave-eigenschappen die net zo goed zijn als een CRT, het lage stroomverbruik, en dergelijke.

Een stuur-LCD met actieve matrix bevat een actieve matrix-substraat en een tegensubstraat dat tegenover het actieve matrix-substraat gelegen is. Een vloeibaar kristallaag is ingesloten tussen de substraten. Figuur 10 toont een als voorbeeld dienend actieve matrix-substraat 20. Het actieve matrix-substraat 20 bezit een transparant en isolerend basissubstraat vervaardigd van glas of iets dergelijks, een aantal evenwijdige poort-buslijnen 24 op het basissubstraat, en een aantal evenwijdige bron-buslijnen 22 die loodrecht op de poort-buslijnen 24 staan. In elk door twee aangrenzende poort-buslijnen 24 en twee aangrenzende bron-busli jnen 22 omgeven gebied is een pixelelektrode 26 en een schakelelement 25 verschaft. In dit geval wordt als het schakelement 25 een dunne film-transistor (TFT) gebruikt, die bestaat uit een element met drie-aansluitpunten. Het schakelelement 25 is aangesloten op een poort-buslijn 24, een bron-buslijn 22, en een pixelelektrode 26. Ter aanvulling zijn op het basissubstraat kortsluitringen 29 gevormd teneinde te voorkomen dat de schakelelementen 25 elektrisch 4 0 0 9 2 5·.' vernield worden door statische elektriciteit die tijdens het productieproces kan ontstaan. In figuur 10 zijn de kort-sluitringen 29 bijvoorbeeld gevormd voor elk tweede aan-sluitpunt 23 van aangrenzende poort-buslijnen 24.

Bij het type met actieve matrix wordt een lading vastgehouden door het vloeibaar kristal dat fungeert als een pixelcapacitantie. Aangezien de pixelcapacitantie klein is, kan het gebeuren dat de lading onvoldoende wordt vastgehouden of dat deze gemakkelijk wordt beïnvloed door parasitaire capacitantie. Om dergelijke nadelen te vermijden, is een hulp-capacitantie 27 verschaft, parallel aan de pixelcapacitantie. Het actieve matrix-substraat 20 in figuur 10 is van het Cs-On-Gate-type, en de hulp-capacitantie 27 is gevormd tussen de pixelelektrode 26 en de poort-buslijn 24. Op een binnenvlak van het tegensubstraat (niet weergegeven) dat tegenover het actieve matrix-substraat 20 gelegen is, zijn tegenelektroden 28 verschaft, die tegenover respectieve pixelelektroden 26 gelegen zijn.

Bij de in figuur 10 getoonde LCD met het actieve matrix-substraat 20 is het zo, dat wanneer in overeenstemming met een op de poort-buslijn 24 aangelegd aftastsignaal het schakelelement 25 op AAN gezet wordt, een elektrische continuïteit tussen de pixelelektrode 26 en de bron-buslijn 22 tot stand gebracht wordt, en een op de bron-buslijn 22 aangelegde signaalspanning wordt aangelegd op de vloeibaar kristallaag tussen de pixelelektrode 26 en de tegenelektrode 28. Op deze wijze worden de optische eigenschappen van het gedeelte van de vloeibaar kristallaag waarop de spanning is aangelegd, veranderd in afhankelijkheid van een weer te geven beeld. Het licht dat door de vloeibaar kristallaag heen gegaan is en zulke gedeeltelijk veranderde optische eigenschappen bezit, wordt door de kijker waargenomen als een beeld.

In de laatste stap van het produktieproces van het actieve matrix-substraat 20 worden de kenmerkende inspectie van het schakelelement 25, en de inspecties zoals de meting van de weerstanden van buslijnen 22 en 24 en de detectie van kortsluitingen en lijnbreuken verricht. Als gevolg van deze inspecties wordt vastgesteld dat de voltooide actieve ma trix-substraten goed dan wel defect zijn. De goed gebleken actieve matrix-substraten worden naar het volgende proces gestuurd, dat wil zeggen, een zogenaamd volgend proces. Van de defect gebleken actieve matrix-substraten worden actieve matrix-substraten die kunnen worden hersteld, hersteld met optische energiestraling onder toepassing van een laser of iets dergelijks, en daarna wederom geïnspecteerd. In het daarop volgende proces, wordt het actieve matrix-substraat 20 bevestigd aan het tegensubstraat waarop de tegenelektro-den 28 zijn gevormd. Vloeibaar kristal als een weergavemedi-um wordt geïnjecteerd tussen de verbonden substraten. Daarna worden de verbonden substraten op een vooraf bepaalde afmeting gesneden, zodat een display-inrichting wordt geproduceerd. Bij deze snijding wordt het gedeelte van het basissubstraat waarop de kortsluitingsringen 29 zijn verschaft, er afgesneden.

Op de aldus samengestelde display-inrichting worden weer verschillende soorten inspecties verricht, omdat het onmogelijk is om op grondige wijze alle gebreken, zoals defecte pixels in de display-inrichting te detecteren onmiddellijk nadat het actieve matrix-substraat geproduceerd is en voordat het in de display-inrichting aangebracht wordt. De weergave-inspectie wordt verricht door de invoer van stuursignalen in de display-inrichting waarop een stuurscha-keling is geïnstalleerd, of voorafgaand aan de installering van de stuurschakeling op de display-inrichting. In het laatste geval, waarbij de stuurschakeling niet geïnstalleerd is, worden contactmedia zoals contactstiften of meetkaarten in contact gebracht met de aansluitpunten 23 van de poort-buslijnen 24 en de bron-buslijnen 22. Aldus wordt de aanwezigheid van luminescente punten/lijnen op de display-inrichting gecontroleerd. Een luminescent punt verschijnt door een kortsluiting tussen een poort-buslijn 24 of een bron-buslijn 22 en een afvoerelektrode van een schakelelement 25 (dat wil zeggen, naar een pixelelektrode 26), een kortsluiting tussen een pixelelektrode 26 en een tegenelektrode 28, en dergelijke. Een luminescente lijn verschijnt door een kortsluiting tussen een poort-busli jn 24 en een bron-buslijn 22, een lijnbreuk van een poort-busli jn 24 of een bron-buslijn 22, of een kortsluiting tussen poort-buslijnen 24.

Samen met de hierboven beschreven weergave-inspectie voor de display-inrichting wordt een lijn-inspectie van de display-inrichting met betrekking tot de elektrische eigenschappen van respectieve lijnen en respectieve aansluitpun-ten van de display-inrichting verricht. Bij de lijn-inspectie wordt de elektrische weerstand tussen op het actieve matrix-substraat 20 aangebrachte buslijnen 22 en 24 gemeten, waarbij wordt gecontroleerd op aanwezigheid van een kortsluiting tussen buslijnen en een breuk van buslijnen. Een kortsluiting tussen buslijnen in het midden van de buslijnen en een lijnbreuk van een willekeurige buslijn kan een weer-gavestoring veroorzaken. Wanneer de kortsluitingsringen 29 niet van het actieve matrix-substraat 20 worden gesneden, wordt de stuurschakeling op de display-inrichting geïnstalleerd terwijl de aansluitpunten worden kortgesloten. Evenals de kortsluiting tussen buslijnen en de breuk van een buslijn, kan dit ook een weergavestoring veroorzaken.

Bij alle inspecties op weergavestoring, zoals luminescente punten of lijnen, en weergavestoringen veroorzaakt door de kortsluiting tussen buslijn-aansluitpunten op grond van de op het actieve matrix-substraat 20 achterblijvende kortsluitingsring 29, de kortsluiting tussen buslijnen in het midden van de buslijnen, en de lijnbreuk van elke buslijn, worden contactmedia zoals contactstiften of een flexibele printkaart in contact gebracht met alle invoeraansluitpunten op de respectieve buslijnen van de display-inrichting. De contactstiften worden sequentieel aangesloten op een relais, zodat een te inspecteren gebied wordt gekozen, en het gekozen gebied wordt geïnspecteerd. Wanneer de inspectie voor één te inspecteren gebied is voltooid, wordt een ander gebied voor inspectie gekozen, en wordt dezelfde inspectie verricht.

Bij de inspectie-werkwijze als hierboven beschreven worden echter de contactstiften één voor één sequentieel aangesloten op het relais, zodat de kosten van de inspectie-inrichting aanzienlijk worden verhoogd, en het onderhoud van de inrichting moeilijk is. Bovendien is het zo, dat wanneer de inspecties worden veranderd van weergave-inspectie naar lijn-inspectie, of wanneer lijnen of aansluitpunten waartussen de weerstand gemeten moet worden, bij de lijn-inspectie worden veranderd, bij elke verandering de contactmedia moeten worden aangesloten op de aansluitpunten van de te inspecteren display-inrichting. Verder is het zo, dat wanneer de contactmedia bij elke verandering van inspectie worden aangesloten op de respectieve aansluitpunten van de te inspecteren display-inrichting, de inspectie-doelmatig-heid zeer slecht is.

De inspectie-inrichting volgens de onderhavige uitvinding inspecteert een display-inrichting die een actieve matrix-substraat bevat, een tegensubstraat, en een weergave-medium dat is geplaatst tussen het actieve matrix-substraat en het tegensubstraat, waarbij op het actieve matrix-substraat een aantal eerste buslijnen en een aantal tweede buslijnen gevormd is. De inrichting bevat een eerste sub-straateenheid en een tweede substraateenheid. De eerste substraateenheid bevat een aantal eerste inspectie-aansluit-punten, een aantal eerste inspectielijnen, een aantal tweede inspectielijnen, en een eerste ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectie-aansluitpunten en lijnen, waarbij elk van de eerste inspectielijnen is aangesloten op een van de eerste aansluitpunten, waarbij de tweede inspectielijnen zijn verschaft op een vlak van het eerste ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak ervan waarop de eerste inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de tweede inspectielijnen selectief op één van de eerste inspectielijnen zijn aangesloten door het eerste verbindings-orgaan, waarbij het zo is, dat wanneer de tweede inspectielijnen direct in contact gebracht worden met de eerste buslijnen, elk van de eerste buslijnen wordt aangesloten op één van de eerste inspectie-aansluitpunten. De tweede substraateenheid bevat een aantal tweede inspectie-aansluitpunten, een aantal derde inspectielijnen, een aantal vierde inspectielijnen, en een tweede ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectie-aansluitpunten en lijnen, waarbij elk van de derde inspectielijnen is aangesloten op één van de tweede inspectie-aansluitpunten, waarbij de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het tweede ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de derde inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de vierde inspectielijnen selectief op één van de derde inspectielijnen zijn aangesloten door het tweede verbindingsorgaan, waarbij het zo is, dat wanneer de vierde inspectielijnen in direct contact gebracht worden met de tweede buslijnen, elk van de tweede buslijnen wordt aangesloten op één van de tweede inspectie-aansluitpunten. De inspectie-inrichting bevat verder: een stuursignaal-invoerorgaan om stuursignalen voor het verrichten van een weergave-inspectie van de display-inrichting te leveren aan de eerste inspectie-aansluitpunten en de tweede inspectie-aansluitpunten; een weerstandsmeetorgaan om de weerstanden van de eerste buslijnen en de tweede buslijnen van de display-inrichting te meten; en een orgaan om het stuursignaal-invoerorgaan of het weerstandsmeetorgaan aan te sluiten op de eerste substraateenheid en de tweede substraateenheid.

Bij één uitvoeringsvorm van de uitvinding bevat het eerste ondersteuningsorgaan een eerste substraat en een tweede substraat, waarbij de eerste inspectie-aansluitpunten en de eerste inspectielijnen zijn aangebracht op het eerste substraat, waarbij de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op het tweede substraat, waarbij het eerste substraat en de eerste inspectielijnen zodanig zijn geplaatst dat de eerste inspectielijnen tegenover de tweede inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het eerste verbindingsor-gaan is gevormd tussen het eerste substraat en het tweede substraat.

Bij een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding bevat het tweede ondersteuningsorgaan een derde substraat en een vierde substraat, waarbij de tweede inspectie-aansluitpunten en de derde inspectielijnen zijn verschaft op het derde substraat, waarbij de vierde inspectielijnen zijn verschaft op het vierde substraat, waarbij het derde substraat en het vierde substraat zodanig zijn geplaatst dat de derde inspectielijnen tegenover de vierde inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het tweede verbindingsorgaan is gevormd tussen het derde substraat en het vierde substraat.

Bij een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding is het aantal eerste inspectie-aansluitpunten vooraf bepaald, zijn de eerste inspectielijnen verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal eerste inspectielijnen, en een groep van de eerste inspectieli jnen is aangesloten op één eerste inspectie-aansluit-punt dat verschilt van een eerste inspectie-aansluitpunt waarop een andere groep van de eerste inspectielijnen is aangesloten.

Bij een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding is het aantal tweede inspectie-aansluitpunten vooraf bepaald, zijn de derde inspectielijnen verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal tweede inspectie-aansluitpunten, en een groep derde inspectieli jnen is aangesloten op een tweede inspectie-aansluitpunt dat verschilt van een tweede inspectie-aansluitpunt waarop een andere groep van de derde inspectielijnen is aangesloten.

Bij een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding zijn de tweede inspectielijnen en de vierde inspectielijnen gevormd op dezelfde afstanden als die van respectievelijk de eerste buslijnen en de tweede buslijnen.

Volgens een ander aspect van de uitvinding is voorzien in een werkwijze voor het inspecteren van een display-in-richting onder gebruikmaking van de hierboven beschreven inrichting. De werkwijze omvat de stappen van: het met de displayinrichting verbinden van de eerste substraateenheid om de tweede inspectielijnen en de eerste buslijnen te aligneren, en de tweede substraateenheid met de displayinrichting te aligneren om de vierde inspectielijnen en de tweede buslijnen te aligneren; en het schakelen van een modus van de inspectie-inrichting tussen een modus voor het controleren van de weergavetoestand van de display-inrich-ting en een modus voor het meten van de weerstanden tussen de eerste buslijnen en de tweede buslijnen.

Bijgevolg realiseert de hierin beschreven uitvinding het voordeel van het verschaffen van een inspectie-inrichting voor een display-inrichting, die op doelmatige wijze inspecties kan verrichten en een bij de inrichting toegepaste inspectie-werkwijze.

De2e en andere voordelen van de onderhavige uitvinding zullen de deskundigen duidelijk worden bij het lezen en begrijpen van de volgende gedetailleerde beschrijving onder verwijzing naar de bijgaande figuren.

Figuur 1 toont schematisch de constructie van een inspectie-inrichting volgens de onderhavige uitvinding.

Figuur 2 is een doorsnede die een eerste substraat-eenheid van de inspectie-inrichting van figuur 1 toont.

Figuren 3A en 3B tonen respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een eerste substraat.

Figuren 4A en 4B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een tweede substraat.

Figuren 5A en 5B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een derde substraat.

Figuren 6A en 6B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een vierde substraat.

Figuren 7A en 7B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht, ter illustratie van het positionele verband tussen het eerste substraat, het tweede substraat, en de display-inrichting gedurende de inspectie.

Figuur 8 toont golfvormen van tijdens de inspectie van de display-inrichting ingevoerde signalen.

Figuur 9 toont een inspectiestelsel dat de inspectie-inrichting volgens de uitvinding bevat.

Figuur 10 is een bovenaanzicht van een actieve matrix-substraat voorzien van een kortsluitingsring.

Hierna zullen een inspectie-inrichting en een inspec-tiewerkwijze volgens de uitvinding worden beschreven onder verwijzing naar de bijgaande tekeningen. Figuur l toont schematisch de constructie van de inspectie-inrichting volgens de uitvinding. De inspectie-inrichting bevat een substraat-inspectiedeel 51 en een randmetingsdeel 52 ervan. Het substraat-inspectiedeel 51 bevat een eerste substraat-eenheid 101 en een tweede substraateenheid 102, die in hoofdzaak dezelfde constructie heeft als die van de eerste substraateenheid 101. Dit voorbeeld beschrijft het geval waarin een display-inrichting met een actieve matrix-sub-straat van de in figuur 10 getoonde constructie moet worden geïnspecteerd.

Figuur 2 toont een doorsnede van de eerste substraat-eenheid 101. Zoals weergegeven in figuur 2, bevat de eerste substraateenheid 101 een eerste substraat 11 en een tweede substraat 12. Op één vlak van het eerste substraat 11 zijn inspectielijnen 3 gevormd in een vooraf bepaald patroon. Op één vlak van het tweede substraat 12 zijn inspectieli jnen 4 gevormd in een vooraf bepaald patroon. De substraten 11 en 12 zijn zodanig geplaatst dat zij op zodanige wijze tegenover elkaar liggen dat de vlakken waarop de inspectielijnen 3 en 4 zijn gevormd, tegenover elkaar liggen. Het vlak van het tweede substraat 12 waarop de inspectielijnen 4 zijn gevormd ligt echter niet precies tegenover vlak van het eerste substraat 11. Zoals in figuur 2 is weergegeven, ligt een gedeelte van het tweede substraat 12 niet tegenover het eerste substraat 11. Tussen de substraten 11 en 12 zijn anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b geplaatst. Elk van de anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b bezit een geleidend vermogen in de dikterichting en bezit een isolerend vermogen in een richting evenwijdig aan het vlak van het substraat waarop de inspectielijn is gevormd (hierna aangeduid als vlakrichting). De anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b worden verhit en tussen het eerste substraat 11 en tweede substraat 12 gedrukt om een elektrische verbinding tussen de inspectielijnen 3 en de inspectielijnen 4 te verschaffen. Bovendien wordt op het vlak van het eerste substraat 11 waarop de inspectielijnen 3 zijn gevormd, een isolatiefilm 6 gevormd om de inspectielijnen 3 te bedekken met uitzondering van het gedeelte waar de anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b zijn gevormd.

De figuren 3A en 3B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van het eerste substraat 11. Het eerste substraat 11 bevat een basissubstraat 1, en de inspectielijnen 3 zijn aangebracht op het basissubstraat 1. Als basissubstraat 1 wordt bijvoorbeeld een glas-epoxyhars-film gebruikt. Op het oppervlak daarvan 2ijn de van koper of iets dergelijks vervaardigde inspectielijnen 3 gevormd. In het algemeen zijn verscheidene honderden inspectielijnen 3 gevormd. Ter vereenvoudiging van de beschrijving zijn hierin slechts zestien inspectielijnen 3 gevormd. Om dezelfde reden wordt ook aangenomen dat zestien inspectielijnen 4 zijn gevormd op het tweede substraat 12.

De inspectieli jnen 3 zijn verdeeld in vier blokken die zijn aangesloten op respectievelijk inspectie-aansluitpunten a, b, c en d. In het bijzonder is op elk van de inspectie— aansluitpunten a, b, c en d één lijn aangesloten, en die lijn is vertakt in vier lijnen. Als gevolg zijn op het basissubstraat 1 zestien inspectielijnen gevormd zoals is weergegeven in figuur 3A. De zestien inspectielijnen zijn evenwijdig aan elkaar geplaatst met dezelfde tussenruimte als die van de poort-buslijnen 24 en de bron-buslijnen 22 van de te inspecteren display-inrichting. Hierin corresponderen de zestien inspectielijnen 3 respectievelijk met de eerste tot zestiende poort-buslijn, welke van boven naar beneden zijn weergegeven in figuur 3A. Met andere woorden, De op het inspectie-aansluitpunt a aangesloten vier inspec-tielijnen corresponderen met respectievelijk de tweede, zesde, tiende, en veertiende poort-buslijn 24. De op het inspectie-aansluitpunt b aangesloten inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de eerste, vijfde, negende, en dertiende poort-buslijn 24. De op het inspectie-aansluitpunt c aangesloten inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de derde, zevende, elfde, en vijftiende poort-buslijn 24. De op het inspectie-aansluitpunt d aangesloten inspectieli jnen corresponderen met respectievelijk de vierde, achtste, twaalfde, en zestiende poort-buslijn 24.

Voor wat betreft de op de inspectieli jnen 3 gevormde anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b, zoals weergegeven in figuur 3B, is de anisotropische geleidingsfilm 5a gevormd op de acht inspectieli jnen die zijn aangesloten op de inspectie-aansluitpunten b en c, en is de anisotropische geleidingsfilm 5a gevormd op de acht inspectielijnen die zijn aangesloten op de inspectie-aansluitpunten a en d.

De figuren 4A en 4B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht, van het tweede substraat 12. Het tweede substraat 12 bevat een basissubstraat 2 dat is vervaardigd uit bijvoorbeeld een glas-epoxyhars, dezelfde als in het eerste substraat 11. Op één vlak van het basissubstraat 2 zijn de inspectielijnen 4 gevormd in het vooraf bepaalde patroon. Het patroon van de inspectielijnen 4 is hetzelfde als dat van de poort-buslijnen 24 van de te inspecteren display-inrichting. Als materiaal van de inspectieli jnen 4 wordt bijvoorbeeld koper gebruikt. In het algemeen worden verscheidene honderden inspectielijnen 4 gevormd op dezelfde wijze als de inspectielijnen 3. Hierin zijn alleen zestien inspectielijnen verschaft om te corresponderen met de eerste tot en met zestiende poort-buslijn 24.

Het tweede substraat 12 met de bovenstaande constructie is zo geplaatst dat het tegenover het eerste substraat 11 met de daartussen geplaatste anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b ligt. Op dit moment corresponderen de op de inspec-tie-aansluitpunten a en d op het eerste substraat 1 aangesloten inspectielijnen 3 met het even aantal inspectielijnen 4 op het tweede substraat 12, en corresponderen de op de inspectie-aansluitpunten b en c aangesloten inspectielijnen 3 met het oneven aantal inspectielijnen 4. Zoals hierboven is beschreven, ligt het tweede substraat 12 niet geheel tegenover het eerste substraat 11, maar ligt een gedeelte van het tweede substraat 12 tegenover het eerste substraat 11. Zoals is weergegeven in figuur 2, zijn de posities van het eerste substraat 11 en het tweede substraat 12 ten opzichte van elkaar verschoven, zodat het gedeelte van het eerste substraat 11 waarin de inspectie-aansluitpunten a tot en met d zijn verschaft, niet bedekt is met het tweede substraat 12, en gedeelten van de inspectieli jnen 4 op het tweede substraat 12 niet bedekt zijn met het eerste sub straat 11. Dat wil zeggen, de niet-bedekte gedeelten zijn blootgesteld.

Onder verwijzing naar de figuren 5A, 5B, 6A en 6B wordt de constructie van de tweede substraateenheid 102 beschreven. De tweede substraateenheid 102 bevat een derde sub straat 13 en een vierde substraat 14. Op één vlak van het derde substraat 14 zijn inspectieli jnen 3' gevormd. Op één vlak van het vierde substraat 14 zijn inspectieli jnen 4' gevormd. Het derde en vierde substraat 13 en 14 zijn zo geplaatst dat zij op zodanige wijze tegenover elkaar liggen dat de vlakken waarop de inspectieli jnen 3' en 4# zijn gevormd tegenover elkaar liggen. Ook zijn het derde sub straat 13 en het vierde substraat 14 ten opzichte van elkaar versprongen op dezelfde wijze als bij het eerste en tweede substraat 11 en 12 van de eerste substraateenheid 101. Tussen het derde substraat 13 en het vierde substraat 14 zijn anisotropische geleidingsfilms 5a' en 5b' geplaatst. De anisotropische geleidingsfilms 5a' en 5b' worden gebruikt voor het verschaffen van een elektrische verbinding tussen de inspectielijnen 3' en de inspectielijnen 4'. De constructie van de tweede substraateenheid 102 is in hoofdzaak hetzelfde als die van de eerste substraateenheid 101, dus de beschrijving daarvan is achterwege gelaten.

De constructie van het derde substraat 13 is weergegeven in de figuren 5A en 5B. De constructie van het vierde substraat 14 is weergegeven in de figuren 6A en 6B.

Zoals in figuur 5A is weergegeven, op dezelfde wijze als bij het eerste substraat 11, zijn de inspectieli jnen 3' op het derde substraat 13 op zodanige wijze verschaft dat vier inspectielijnen zijn aangesloten op elk van de inspec-tie-aansluitpunten a', b', c' en d'. De zestien inspectie-lijnen zijn evenwijdig aan elkaar gevormd om te corresponderen met de zestien bron-buslijnen 22. Het derde substraat 13 verschilt van het eerste substraat 11 doordat inspectieli jnen 8, die corresponderen met gemeenschappelijke aan-sluitpunten van de tegenelektroden van de display-inrichting en inspectie-aansluitpunten e waarop de inspectielijnen 8 zijn aangesloten, op het derde substraat 13 zijn aangebracht in aanvulling op de inspectie-aansluitpunten waarop de met de buslijnen van de display-inrichting corresponderende inspectielijnen zijn aangesloten.

Op het vierde substraat 14, op dezelfde wijze als bij het tweede substraat 12, zijn de inspectielijnen 4' evenwijdig aan elkaar gevormd met dezelfde tussenafstand als de bron-buslijnen 22 om te corresponderen met de bron-buslijnen . 22. Het vierde substraat 14 verschilt van het tweede substraat 12, doordat inspectielijnen 8', die corresponderen met de gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden, op het vierde substraat 14 zijn gevormd in aanvulling op de inspectielijnen 4' die corresponderen met de bron-buslijnen van de display-inrichting. Op dezelfde wijze als bij het eerste substraat 11 en het tweede substraat 12, zijn het derde substraat 13 en het vierde substraat ten opzichte van elkaar verschoven. Bijgevolg blijven de inspectie-aansluitpunten a' tot d7 en e op het derde substraat blootgesteld zonder dat zij bedekt zijn door het vierde substraat 14. Ook blijven gedeelten van de inspectielijnen 47 en 8' op het vierde substraat blootgesteld zonder dat zij bedekt zijn door het derde substraat 13.

Nu zal het verband tussen de eerste substraateenheid 101, de tweede substraateenheid 102, en het actieve matrix-substraat 20 van de display-inrichting worden beschreven. Bij de inspectie, zoals is weergegeven in figuur 7A, worden de blootgestelde gedeelten van de inspectieli jnen 4 op het tweede substraat 12 van de eerste substraateenheid 101 in contact gebracht met de poort-busli j naans lui tpunten 23 op het actieve matrix-substraat 20. Als gevolg daarvan worden de inspectie-aansluitpunten a tot en met d van de eerste substraateenheid 101 op de poort-buslijnaansluitpunten 23 aangesloten via de inspectielijnen 3 op het eerste substraat 1 en via de inspectielijnen 4 die elektrisch verbonden zijn met de inspectielijnen 3 via de anisotropische geleidings-films 5a en 5b. Hoewel dit niet is weergegeven in de figuren, worden ook bij de tweede substraateenheid 102 tijdens inspectie de blootgestelde gedeelten van de inspectielijnen 4' op het vierde substraat 14 in contact gebracht met de bron-buslijnaansluitpunten 21, en worden de inspectielijnen 8' in contact gebracht met de gemeenschappelijke aansluit-punten 30 van de tegenelektroden. Als gevolg daarvan worden de inspectie-aansluitpunten a7 tot en met d7 van de tweede substraateenheid 102 elektrisch verbonden met de bron-busli jnaansluitpunten 21 via de inspectieli jnen 37, de anisotropische geleidingsfilms 5a' en 5b7, en de inspectieli jnen 47. De inspectie-aansluitpunten e zijn aangesloten op de gemeenschappelijke aansluitpunten 30 van de tegenelektroden. De weergave-inspectie en de weerstandsmeting worden verricht in de toestand waarin de eerste en tweede substraateenheden 101 en 102 zijn aangesloten op de te inspecteren display-inrichting .

Tijdens de weergave-inspectie wordt een in het inspec- tie-aansluitpunt a ingevoerd stuursignaal naar de tweede, zesde, tiende en veertiende inspectielijn 4 verzonden via de als (2), (6), (10) en (14) genummerde inspectielijnen 3, en via de anisotropische geleidingsfilm 5b. Daarna word het stuursignaal aangelegd op de tweede, zesde, tiende en veertiende poort-buslijnaansluiting 23, die in direct contact zijn met deze inspectielijnen 4. Ook worden in de inspectie-aansluitpunten b, c en d ingevoerde stuursignalen op de poort-buslijnaansluitingen 23 aangelegd via de corresponderende inspectielijnen 4.

Ook worden op de inspectie-aansluitpunten a' tot en met d' en e van de tweede substraateenheid 102 aangelegde signalen respectievelijk op de corresponderende bron-buslijnaan-sluitpunten 21 en de gemeenschappelijke aansluitpunten 30 van de tegenelektroden aangelegd via de inspectielijnen 4' en 8.

Vervolgens wordt het metingsdeel 52 van de inspectie-inrichting volgens de onderhavige uitvinding beschreven. Zoals weergegeven in figuur 1, bevat het metingsdeel 52 een stuursignaal-invoerschakeling 45 om een stuursignaal voor de weergave-inspectie te leveren aan de substraateenheden 101 en 102, een weerstandsmetingsinrichting 47 voor het meten van de weerstanden tussen respectieve aansluitpunten en voor het detecteren van kortsluitingen tussen buslijnen of dergelijke, en een besturingscomputer 46 voor het besturen van een schakelaar 48 die selectief de stuursignaal-invoerseha-keling 45 dan wel de weerstandsmetingsinrichting 47 aansluit op het substraat-inspectiedeel 51. Twee aansluitpunten van de schakelaar 48 zijn aangesloten op respectievelijk de stuursignaal-invoerschakeling 45 en de weerstandsmetingsinrichting 47. Het andere aansluitpunt van de schakelaar 48 is verbonden met de besturingscomputer 46. Met het aansluitpunt waarmee de besturingscomputer 46 is verbonden, is ook een lijn 49 van het substraat-inspectiedeel 51 verbonden. De lijn 49 is vertakt in twee lijnen. Een van de twee lijnen is verbonden met de inspectie-aansluitpunten a tot d van de substraateenheid 101, en de andere is verbonden met de inspectie-aansluitpunten a# tot d' en e van de substraateenheid 102.

De weergave-inspectie en de lijninspectie die onder gebruikmaking van de hierboven beschreven inspectie-inrich-ting worden verricht, worden hieronder specifiek beschreven.

(1) Weergave-inspectie:

Bij de weergave-inspectie wordt een koude kathodebuis geplaatst op de achterzijde van het actieve matrix-substraat van de te inspecteren display-inrichting, dat wil zeggen, op de zijde van het actieve matrix-substraat dat niet tegenover het tegensubstraat ligt. Ook worden polarisatieplaten geplaatst om de inrichting in te klemmen. Op dat moment is één van de zich op de zijde van het actieve matrix-substraat bevindende polarisatieplaten geplaatst tussen de koude kathodebuis en het actieve matrix-substraat. In deze toestand, wanneer stuursignalen vanaf de stuursignaal-invoer-schakeling 45 op de display-inrichting worden aangelegd via de inspectie-aansluitpunten a, b, c, en d op het eerste substraat 11, en de inspectie-aansluitpunten a', b', c', d' en e op het het derde substraat 14, komt de display-inrichting in een weergavetoestand. De stuursignalen worden aangelegd op alle poort-buslijnaansluitpunten, bron-buslijnaan-sluitpunten, en gemeenschappelijke tegenelektrode-aansluit-punten van de display-inrichting voor het realizeren van een afbeelding die gelijk is aan de werkelijke afbeelding. Hierin wordt het geval van de in fig. 10 weergegeven display-inrichting met actieve matrix van het Cs-On-Gate-type beschreven, zodat de aangrenzende aansluitpunten 23 van de poort-buslijnen 24 worden voorzien van signalen met verschillende synchronisatie.

Ter vereenvoudiging van de opbouw van de stuursignaal-invoerschakeling 45 worden signalen met dezelfde golfvorm vanuit de stuursignaal-invoerschakeling 45 geleverd aan de respectieve aansluitpunten. Figuur 8 toont als voorbeeld dienende stuursignalen. Op de inspectie-aansluitpunten b en c van de eerste substraateenheid 101 wordt het in figuur 8 getoonde stuursignaal 31 met een golfvorm (a) aangelegd. Het stuursignaal 31 wordt op de aansluitpunten 23 van de oneven genummerde poort-buslijnen 24 van de te inspecteren display-inrichting aangelegd vanaf de respectieve inspectie-aan- sluitpunten via de anisotropische geleidingsfilm 5a en de inspectielijnen 4. Als gevolg daarvan worden de poort-bus-lijnen 24 in de AAN-stand gesteld. Onmiddellijk nadat de oneven genummerde poort-buslijnen 24 door middel van het stuursignaal 31 in de UIT-toestand gesteld zijn, wordt een in figuur 8 weergegeven stuursignaal 32 met een golfvorm (b) op de aansluitpunten 23 van de even genummerde poort-buslij-nen 24 aangelegd via de inspectie-aansluitpunten a en d van de eerste substraateenheid 101. Als gevolg daarvan worden in afwisseling met de oneven genummerde poort-buslijnen de even genummerde poort-buslijnen in de AAN-toestand gesteld. Een in figuur 8 weergegeven stuursignaal 32 met een golfvorm (c) wordt op alle bron-buslijnen 22 aangelegd via de inspectie-aansluitpunten a', b', c', en d' van de tweede substraateen-heid 102. Zoals in de figuur te zien is, wordt gedurende de tijd waarin alle poort-busli jnen 24 op AAN en daarna UIT worden geschakeld, een positieve gelijkstroom-spanningssig-naal 33 van vast niveau aangelegd op alle bron-buslijnen 22. Tijdens de weergave-inspectie wordt een in (d) van figuur 8 weergegeven gelijkstroom-spanningssignaal 34 van een vast niveau aangelegd op de inspectie-aansluitpunten e van de tweede substraateenheid 102. Het signaal 34 wordt op de tegenelektroden 28 aangelegd via de gemeenschappelijke tegenelektrode-aansluitpunten 30.

Zoals boven beschreven, wanneer de stuursignalen 31 tot 34 welke dienen om de te inspecteren display-inrichting in de weergavetoestand te zetten, vanuit de stuursignaal-in-voerschakeling 45 worden aangelegd via de respectieve aansluitpunten, luminescentiepunten en/of -lijnen op de display-inrichting verschijnen als er storingen aanwezig zijn zoals een breuk van een buslijn of een kortsluiting tussen elektroden van een schakelelement. De luminescentiepunten en/of -lijnen worden waargenomen met het oog of gedetecteerd door een afbeeldingsinrichting of iets dergelijks. Daarna worden de gedeelten die de storingen bevatten gerepareerd.

(2) Lijn-inspectie;

Ten eerste wordt de schakelaar 48 elektrisch geschakeld door de besturingscomputer 46, zodat de weerstandmetingsin- richting 47 wordt aangesloten op het substraatinspectiedeel 51. Hierna wordt als een voorbeeld van de lijninspectie het geval beschreven waarin de poort-buslijnen 24 moeten worden geïnspecteerd.

Bij de lijninspectie moeten de poort-buslijnen 24 worden geïnspecteerd op kortsluitingen tussen een poort-buslijn 24 en een bron-buslijn 22, kortsluitingen tussen de poort-buslijnen 24, en kortsluitingen tussen een poort-buslijn 24 en een tegenelektrode 28. De respectieve inspec-tiewerkwijzen worden hieronder beschreven.

Bij de inspectie op een kortsluiting tussen een poort-buslijn 24 en een bron-buslijn 22, worden de respectieve weerstanden tussen de inspectie-aansluitpunten a, b, c, en d van de eerste substraateenheid 101 en de inspectie-aansluitpunten a', b', c', en d' van de tweede substraateenheid 102 gemeten. De voor het meten van de weerstand gebruikte meet-schakeling is opgenomen in de weerstandmetingsinrichting 47, en men kan een bekende meetschakeling gebruiken. De meet-schakeling is niet het hoofddoel van deze uitvinding, zodat de beschrijving ervan achterwege gelaten wordt.

Hierna zal een inspectiewerkwijze voor kortsluitingen tussen een poort-buslijn 24 en een bron-buslijn 22 worden beschreven, aan de hand van een als voorbeeld dienend geval waarbij weerstanden tussen de respectieve paren inspectie-aansluitpunten van de eerste substraateenheid 101 en de inspectie-aansluitpunten van de tweede substraateenheid 102 worden gemeten. Aangenomen wordt, dat de weerstand tussen het inspectie-aansluitpunt a en het inspectie-aansluitpunt a' van de tweede substraateenheid 102 aangesloten op de aansluitpunten 21 van de bron-buslijnen 22 wordt gemeten. Wanneer de weerstandswaarde lager is dan een gebruikelijke waarde, geeft de lagere waarde aan dat één van de tweede, zesde, tiende en veertiende poort-buslijnen 24 die met de op het inspectie-aansluitpunt a aangesloten inspectielijnen (2), (6), (10) en (14) corresponderen, is kortgesloten met één van de tweede, zesde, tiende, en veertiende bron-buslij-nen 22 die met de op het inspectie-aansluitpunt a' aangesloten inspectielijnen corresponderen. In zo'n geval wordt vastgesteld dat de geïnspecteerde display-inrichting defect is, en wordt de inspectie beëindigd. Wanneer de weerstands-waarde tussen het inspectie-aansluitpunt a en het inspectie-aansluitpunt a7 de gebruikelijke waarde is, wordt de weerstand tussen het inspectie-aansluitpunt a en het inspectie-aansluitpunt b7 gemeten. Op deze wijze worden de weerstanden tussen het inspectie-aansluitpunt a en elk van de op de aansluitpunten 21 van de bron-buslijnen 22 aangesloten inspectie-aansluitpunten a7, b', c', en d7 gemeten, zodat het optreden van kortsluitingen tussen de tweede, zesde, tiende, en veertiende poort-buslijnen 24 en alle bron-busli jnen 22 kan worden gedetecteerd.

De inspectie met betrekking tot de vier poort-buslijnen 24 die corresponderen met de op het inspectie-aansluitpunt a aangesloten inspectielijnen is beëindigd, de weerstanden tussen het inspectie-aansluitpunt b en elk van de inspectie-aansluitpunten a', b7, c7, en d7 worden sequentieel gemeten. Daarna worden op dezelfde wijze de weerstanden tussen elk van de inspectie-aansluitpunten c en d en elk van de inspectie-aansluitpunten a7, b7, c7 en d7 gemeten. Nadat op de boven beschreven wijze is geïnspecteerd op aanwezigheid van kortsluitingen tussen de eerste tot zestiende poort-buslij-nen 24 en de bron-busli jnen 22, wordt de inspectie van de volgende zestien poort-buslijnen 24 verricht met behulp van dezelfde werkwijze. Zoals boven beschreven, is het bij de inspectie-inrichting volgens deze uitvinding niet nodig om het contactmedium zoals een meetsonde één voor één in contact te brengen met de poort-buslijn 24, zoals bij de conventionele inspectie-inrichting. Bijgevolg wordt de doelmatigheid van het inspecteren in vergelijking tot de conventionele inspectie-inrichting wezenlijk verbeterd. De metingen van de weerstand tussen respectieve paren inspectie-aansluitpunten a, b, c, en d en de inspectie-aansluitpunten a7, b7, c7, d7, en e hoeven niet noodzakelijk worden verricht voor elk inspectie-aansluitpunt van de eerste substraateen-heid 101. De metingen worden bijvoorbeeld voor alle inspectie-aansluitpunten gelijktijdig verricht. In zo7n geval kan de doelmatigheid van de inspectie verder verhoogd worden.

Bij de inspectie op kortsluitingen tussen de poort-busli jnen 24 worden de weerstanden tussen de aangrenzende I a A A A *· poort-buslijnen 24 gemeten. Eerst worden de inspectie-aan-sluitpunten a en b op het eerste substraat 11 kortgesloten. Op hetzelfde moment worden de inspectie-aansluitpunten c en d kortgesloten. In deze toestand wordt de weerstand tussen het kortgesloten stel aansluitpunten a en b en het kortgesloten stel aansluitpunten c en d gemeten. De meting correspondeert met een enkele metingsstap waarbij de weerstand tussen de aansluitpunten a en d en de weerstand tussen de aansluitpunten b en c tegelijkertijd gemeten worden. In afhankelijkheid van de gemeten weerstandswaarden, dat wil zeggen, afhankelijk van de resultaten met betrekking tot het feit of de gemeten weerstandswaarden al dan niet gebruikelijke waarden zijn, is het mogelijk om eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt a aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt d aangesloten buslijn, en eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt b aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt c aangesloten buslijn te detecteren.

Daarna wordt in de toestand waarin de inspectie-aansluitpunten a en d zijn kortgesloten en de inspectie-aansluitpunten b en c zijn kortgesloten, de weerstand tussen het kortgesloten stel aansluitpunten a en d en het kortgesloten stel aansluitpunten b en c gemeten. Als gevolg daarvan is het mogelijk om kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt a aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt b aangesloten buslijn te detecteren, en eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt c aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt d aangesloten buslijn te detecteren. Op deze wijze kunnen de kortsluitingen tussen de poort-buslijnen 24 efficiënt worden gerealiseerd voor een vooraf bepaald aantal poort-buslijnen 24 die kunnen worden aangesloten op de inspectie-aansluitpunten van de eerste substraateenheid 101, bijvoorbeeld in dit voorbeeld voor zestien poort-buslijnen 24. Bij deze meting worden, wanneer de gemeten weerstandswaarden gebruikelijke waarden zijn, de weerstanden voor de volgende zestien poort-buslijnen 24 gemeten. Wanneer de gemeten weerstandswaarden geen gebruikelijke waarden zijn, wordt vastgesteld dat de geïnspecteerde display-inrichting defect is.

Bij de inspectie op een kortsluiting tussen een poort-buslijn 24 en een tegenelektrode 28 worden de weerstanden tussen elk van de inspectie-aansluitpunten a, b, c, en d van de eerste substraateenheid 101 en het inspectie-aansluitpunt e van de tweede substraateenheid 102 gemeten. De inspectie-aansluitpunten e worden op de gemeenschappelijke elektrode-aansluitpunten 30 van de te inspecteren display-inrichting aangesloten via de inspectielijnen 8, de anisotropische geleidingsfilms 5a7 en 5b7, en de inspectielijnen 87. Bijgevolg is het door het meten van de weerstand tussen de inspectie-aansluitpunten a en e mogelijk om de inspectie op de kortsluitingen tussen de tweede, zesde, tiende, en veertiende poort-buslijnen 24 en de tegenelektroden 28 te verrichten. Op dezelfde wijze worden de weerstanden tussen elk van de inspectie-aansluitingen b, c, en d, en het tegenelektro-de-inspectie-aansluitpunt e gemeten. Nadat de inspectie op kortsluitingen tussen de eerste tot zestiende poort-buslij-nen 24 en de tegenelektroden 28 gereed is, worden de volgende zestien poort-buslijnen 24 geïnspecteerd met behulp van dezelfde werkwijze.

Nadat de inspectie van de poort-busli jnen 24 gereed is, wordt de inspectie van de bron-buslijnen 22 verricht op dezelfde wijze als hierboven is beschreven.

Zoals boven is beschreven, is het volgens inspectie-inrichting van de uitvinding mogelijk om de weergave-inspectie en de lijninspectie te verrichten door middel van dezelfde inspectieinrichting.

Vervolgens wordt onder verwijzing naar figuur 9 de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding beschreven. Figuur 9 toont een inspectiestelsel dat de boven beschreven inspec-tie-inrichting bevat. Het inspectiestelsel bevat een inspectie- inrichting met een stuursignaal-invoerschakeling 45, een weerstandmetingsinrichting 47, en een besturingscomputer 46. Het inspectiestelsel bevat verder werkstuk-transportmecha-nismen 41 en 417 om een display-inrichting naar en van de inspectie-inrichting te transporteren, een platform 42, en werkstukcassettes 48 en 487. Een inspectie-substraatdeel 51 van de inspectie-inrichting wordt gefixeerd boven het platform 42. Onder gebruikmaking van het inspectie-stelsel wordt hieronder de inspectie van een display-inrichting beschreven.

Display-inrichtingen die de processen voorafgaand aan het inspectieproces hebben doorlopen, worden opgestapeld in de werkstukcassette 48. Een display-inrichting wordt vanuit de werkstukcassette 48 getransporteerd door het werkstuk-transportmechanisme 41, en op het platform 42 geplaatst. Zoals boven beschreven, wordt het inspectie-substraatdeel 51 gefixeerd boven het platform 42. De positie van de display-inrichting op het platform 42 wordt met de posities van de substraateenheden 101 en 102 versteld zodat de buslijnen 24 en 22 worden gealigneerd met respectievelijk de inspectie-lijnen 4 en 4', In het bijzonder worden de eerste substraat-eenheid 101, de tweede substraateenheid 102, en het actieve matrixsubstraat 20 met elkaar verbonden als hierboven beschreven onder verwijzing naar figuur 7A. Als gevolg daarvan zijn de respectieve inspectielijnen 4 op het tweede substraat 12 van de eerste substraateenheid 102 in direct contact met de corresponderende aansluitpunten 23 van de poort-buslijnen 24. De respectieve inspectielijnen 4' op het vierde substraat 14 van de tweede substraateenheid 102 zijn in direct contact met de corresponderende terminals 21 van de bron-busli jnen 22, en de inspectieli jnen 8' zijn in direct contact met de gemeenschappelijke tegenelektrode-aansluitpunten 30.

Nadat de respectieve aansluitpunten van de display-inrichting zijn aangesloten op de respectieve inspectie-aansluitpunten van het inspectie-substraatdeel 51, worden stuursignalen op de display-inrichting aangelegd via de respectieve inspectie-aansluitpunten, terwijl het inspectie-substraatdeel 51 en de stuursignaal-invoerschakeling 45 met elkaar worden verbonden. Aldus wordt de weergave-inspectie verricht. Na de weergave-inspectie wordt het inspectie-substraatdeel 51 op de weerstandmetingsinrichting aangesloten onder besturing van de besturingscomputer 46, en wordt de lijninspectie verricht in overeenstemming met de boven beschreven werkwijze. Wanneer de lijninspectie is voltooid, wordt de display-inrichting vanaf het platform 42 door het werkstuk-transportmechanisme 41' getransporteerd naar de werkstukcassette 48'.

Zoals boven vermeld, kunnen volgens de inspectie-in-richting en de inspectiewerkwijze van de uitvinding vergeleken met het conventionele voorbeeld de weergave-inspectie en de lijninspectie eenvoudig en doelmatig worden verricht. Bovendien kunnen de weergave-inspectie en de lijninspectie worden verricht door toepassing van slechts één inspectie-inrichting. Aangezien gebruik gemaakt wordt van een computer, is het bovendien gemakkelijk mogelijk om onder besturing van de computer selectief één van een signaalleverings-schakeling voor de weergave-inspectie en een weerstandme-tingsinrichting voor de lijninspectie aan te sluiten op de display-inrichting. Zo wordt de doelmatigheid van de inspectie wezenlijk verbeterd.

In het boven beschreven voorbeeld is de eerste sub-straateenheid 101 aangesloten op poort-buslijnen 24 van de display-inrichting, en is de tweede substraateenheid 102 aangesloten op poort-buslijnen 22. Het is duidelijk dat dezelfde effecten kunnen worden bereikt, zelfs wanneer de substraateenheden 101 en 102 in een omgekeerd verband met elkaar zijn verbonden. Ook is het duidelijk dat het patroon van de inspectielijnen 3 op het eerste substraat 11 van de eerste substraateenheid 101 en het patroon van de inspectieli jnen 3' op het derde substraat 13 van de tweede substraateenheid 102 niet beperkt zijn tot de boven beschreven specifieke voorbeelden.

De inspectie-inrichting en de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding kunnen worden toegepast op een eenvoudige display-inrichting van het matrix-type en een display-inrichting met actieve matrix waarin een MIM (metaal-isolator-metaal)-element gebruikt wordt, in plaats van de boven beschreven display-inrichting met actieve matrix waarin een TFT gebruikt wordt. Bovendien kunnen de inspectie-inrichting en de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding worden toege-; past op een actieve matrix-substraat.

Zoals boven beschreven, zijn volgens de uitvinding een stel meervoudige aansluitpunten van buslijnen van de display-inrichting aangesloten op de inspectie-aansluitpunten van de inspectie-inrichting. Derhalve is het niet nodig om contactmedia zoals contactstiften één voor één met respectieve aansluitpunten in contact te brengen, als in het conventionele voorbeeld. Bij een dergelijke constructie kunnen buslijnen per stel op kortsluitingen daartussen worden geïnspecteerd bij de lijninspectie, door de combinatie van de inspectie-aansluitpunten voor meting van de weerstanden te veranderen. Als gevolg daarvan kan de lijninspectie gemakkelijk uitgevoerd worden. Bovendien kan de besturing om selectief één van de stuursignaal-invoerschake-ling voor de weergave-inspectie en de weerstandmetingsin-richting voor de lijninspectie aan te sluiten op de inspectie-aansluitpunten elektrisch verschaft worden onder gebruikmaking van een besturingscomputer of iets dergelijks. Op deze wijze kan het overschakelen van de weergave-inspectie naar de lijninspectie worden gerealiseerd. Bijgevolg kunnen de weergave-inspectie en de lijninspectie successievelijk worden uitgevoerd met één inspectie-inrichting. Daardoor wordt de doelmatigheid van het inspectieproces met inbegrip van de weergave-inspectie en de lijninspectie als geheel opmerkelijk verbeterd. Aangezien de constructie van de inspectie-inrichting eenvoudig is, kunnen verder ook de produktiekosten van de inspectie-inrichting worden gereduceerd.

Verder wordt nadat de display-inrichting samengesteld en op een vooraf bepaalde afmeting gesneden is, met behulp van de inspectie-inrichting of de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding bij de display-inrichting gecontroleerd of de kortsluitingsring al dan niet correct afgesneden kan worden. Daardoor is het mogelijk om te voorkomen dat defecte dis-play-inrichtingen, waarbij de kortsluitingsring niet correct afgesneden is, naar de volgende bewerking gestuurd wordeh.

Verschillende andere wijzigingen zullen de deskundigen duidelijk zijn, en gemakkelijk door hen kunnen worden uitgevoerd zonder af te wijken van het gebied en de gedachte van deze uitvinding. Bijgevolg is het niet de bedoeling dat het gebied van de bijgevoegde conclusies beperkt is tot de hierin uiteengezette beschrijving, maar veeleer dat de conclusies ruim uitgelegd worden.

- conclusies - 4 0 0 9 2 5 i*

Claims

1. Inrichting voor het inspecteren van een display-inrichting die een actieve matrixsubstraat bevat, een tegen-substraat, en een tussen het actieve matrixsubstraat en het tegensubstraat geplaatst weergavemedium, waarbij op het actieve matrixsubstraat een aantal eerste buslijnen en een aantal tweede buslijnen gevormd is, waarbij de inrichting bestaat uit: een eerste substraateenheid die een aantal eerste inspectie-aansluitpunten bezit, een aantal eerste inspectie-lijnen, een aantal tweede inspectielijnen, en een eerste ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectie-aansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de eerste inspec-tielijnen is aangesloten op een van de eerste inspectie-aansluitpunten, waarbij de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het eerste ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de eerste inspec-tielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de tweede inspectieli jnen selectief door middel van het eerste ondersteuningsorgaan selectief is aangesloten op één van de eerste inspectielijnen, waarbij, wanneer de tweede inspec-tielijnen in direct contact met de eerste buslijnen worden gebracht, elk van de eerste buslijnen is aangesloten op één van de eerste inspectie-aansluitpunten? een tweede substraateenheid die een aantal tweede inspectie-aansluitpunten bevat, een aantal derde inspectieli jnen, een aantal vierde inspectielijnen, een aantal vierde inspectielijnen, en een tweede ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectie-aansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de derde inspectielijnen is aangesloten op één van de tweede inspectie-aansluitpunten, waarbij de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het tweede ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de derde inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de vierde inspectielijnen door een tweede verbindingsorgaan selectief verbonden is met één van de derde inspectielijnen, waarbij, wanneer de vierde inspectieli jnen in direct contact gebracht worden met de tweede buslijnen, elk van de tweede buslijnen is aangesloten op één van de tweede inspectie-aansluitpunten; een stuursignaal-invoerorgaan om stuursignalen voor het uitvoeren van een weergave-inspectie van de display-inrich-ting te leveren aan de eerste inspectie-aansluitpunten en de tweede inspectie-aansluitpunten; een weerstandsmetingsorgaan voor het meten van weerstanden van de eerste buslijnen en de tweede buslijnen van de display-inrichting; en een orgaan om een van het stuursignaal-invoerorgaan of het weerstandmetingsorgaan aan te sluiten op de eerste substraateenheid en de tweede substraateenheid.

2. Inrichting volgens conclusie 1, waarin het eerste ondersteuningsorgaan bestaat uit een eerste substraat en een tweede substraat, waarbij de eerste inspectie-aansluitpunten en de eerste inspectielijnen zijn aangebracht op het eerste substraat, de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op het tweede substraat, waarbij het eerste substraat en het tweede substraat zo zijn aangebracht dat de eerste inspectielijnen tegenover de tweede inspectielijnen liggen, en een gelei-dingsfilm als het eerste verbindingsorgaan is gevormd tussen het eerste substraat en het tweede substraat.

3. Inrichting volgens conclusie 2, waarin het tweede ondersteuningsorgaan bestaat uit een derde substraat en een vierde substraat, waarbij de tweede inspectie-aansluitpunten en de derde inspectielijnen zijn aangebracht op het derde substraat, en de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op het vierde substraat, waarbij het derde substraat en het vierde substraat zo zijn geplaatst dat de derde inspectieli jnen tegenover de vierde inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het tweede verbindingsorgaan is gevormd tussen het derde substraat en het vierde substraat.

4. Inrichting volgens conclusie 3, waarin het aantal eerste inspectie-aansluitpunten vooraf bepaald is, de eerste inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal eerste inspectie-aansluitpunten, en een groep van de eerste inspectieli jnen is aangesloten op één eerste inspectie-aansluit-punt dat verschilt van een eerste inspectie-aansluitpunt waarop een andere groep van de eerste inspectielijnen is aangesloten.

5. Inrichting volgens conclusie 4, waarin het aantal tweede inspectie-aansluitpunten vooraf bepaald is, de derde inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal tweede inspectie-aansluitpunten, en een groep van derde inspectielijnen is aangesloten op één tweede inspectie-aansluitpunt dat verschilt van een tweede inspectie-aansluitpunt waarop een andere groep van derde inspectielijnen is aangesloten.

6. Inrichting volgens conclusie 5, waarin de tweede inspectielijnen en de vierde inspectielijnen zijn gevormd op dezelfde afstanden als die van respectievelijk de eerste buslijnen en de tweede buslijnen.

7. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de inspectie-inrichting volgens conclusie 1, waarbij de werkwijze bestaat uit de stappen van: het op de display-inrichting aansluiten van de eerste substraateenheid, om de tweede inspectielijnen en de eerste buslijnen te aligneren, en het op de display-inrichting aansluiten van de tweede substraateenheid, om de vierde inspectielijnen en de tweede buslijnen te aligneren; en het schakelen van een modus van de inspectie-inrichting tussen een modus voor het controleren van de display-inrichting met betrekking tot een weergavetoestand ervan en een modus voor het meten van weerstanden tussen de eerste buslijnen en de tweede buslijnen.