JPH06347813A - 表示装置の検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】表示装置の表示検査および配線の短絡、断線、
抵抗検査が簡略に、かつ、同一の装置で行える検査装置
および検査方法を提供する。 【構成】第１基板１１表面上には検査配線３が複数本ず
つブロックにまとめられ、第２基板は表示基板２０の配
線と同パターンの検査配線４を有し、第１基板１１とは
異方性導電膜５ａ、５ｂを間に挟んで接続される。同じ
ような構成の第３、第４基板を有し、検査時には表示基
板２０の走査線端子２３と第１、第２基板の組が接続さ
れ、信号線および対向電極端子は第３、第４基板の組と
接続される。第１基板１１および第３基板１３上の検査
接続端子にあらかじめ接続された駆動信号入力回路４５
から信号が入力されて表示検査が行われる。配線の短
絡、断線、抵抗検査時は抵抗測定器４７に電気的に切り
替えて行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は表示装置の検査装置およ
びその検査方法に関し、より詳しくは表示装置の表示検
査と表示基板およびその対向基板に設けられた各配線に
ついて、配線間の短絡、各配線の断線検査および配線抵
抗の測定等を行うための検査装置およびその検査方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ＣＲＴに代わるフラットパネル型のディ
スプレイとして液晶表示装置が多用される傾向にある。
空間的な利便性とともに、特に、表示領域の各絵素毎に
スイッチング素子が配設されたアクティブマトリクス駆
動方式の液晶表示装置の実用化が進んでいる。ＣＲＴに
劣らぬ表示特性の優秀さ、並びに低消費電力等の理由に
よる。

【０００３】このアクティブマトリクス駆動方式の液晶
表示装置は、アクティブマトリクス基板とこれに対向配
置される対向基板とが、間に液晶を挟持した概略構成を
とる。図１０にアクティブマトリクス基板の一例を示
す。アクティブマトリクス基板はガラス等の透明絶縁性
のベース基板２０上に複数本のゲートバスライン２４…
と複数本のソースバスライン２２…とが縦横に配設さ
れ、隣接する各ゲートバスライン２４と各ソースバスラ
イン２２とが囲むそれぞれの領域には、絵素電極２６
と、この絵素電極２６および両配線２２、２４とに接続
されたスイッチング素子２５が配設されている。アクテ
ィブマトリクス方式では、電荷が画素容量に保持され、
この画素容量は、普通、表示媒体である液晶そのもので
あるが、画素容量そのものだけでは容量値が小さく、電
荷の保持動作が不十分であったり、寄生容量の影響を受
けることが多いので、これを補完するため、画素容量に
並列に補助容量２７を設けている。本図では補助容量２
７が絵素電極２６とゲートバスライン２４との間に設け
られる付加容量型のアクティブマトリクス基板を示して
いる。ベース基板２０との間に表示媒体としての液晶を
挟持して対向配置される対向基板（図示せず）の内面に
は、ベース基板２０上の各絵素電極２６に対向して対向
電極２８が配設されている。

【０００４】このアクティブマトリクス駆動方式の液晶
表示装置は、ゲートバスライン２４に走査信号が印加さ
れ、スイッチング素子２５がＯＮすると、ソースバスラ
イン２２を通じて選択駆動された絵素電極２６と対向電
極２８との間の液晶層に電圧が印加される。電圧が印加
された部分の液晶層は光学的変調を起こし、この液晶層
の光学的変調が画像として視認される。

【０００５】上記のようなアクティブマトリクス駆動方
式の液晶表示装置は、各配線、スイッチング素子２５お
よび絵素電極２６が配設された状態のベース基板２０と
対向電極２８の配設された状態の対向基板（図示せず）
とを貼り合わせ、続いて表示媒体としての液晶を両基板
間に注入し、しかる後、貼り合わせた状態にある両基板
を裁断装置で所定のサイズに裁断して、まず表示パネル
の状態に作製される。このようにして作製された表示パ
ネルは、後工程で各種の検査が行われ、この検査に合格
すると、実装ラインに搬送され、ここで駆動用ＬＳＩチ
ップ或は駆動用ＬＳＩチップ付きフィルムキャリアが実
装される。一方、不合格の場合は、所定の修正作業が行
われ、再度検査を行って合格した後、実装ラインに搬送
される。

【０００６】この修正後の検査では輝点や輝線の有無を
みる定性的な表示検査と、各種配線、配線間の抵抗を測
定し、電気的に定量化された検査結果を必要とする配線
検査を行う。

【０００７】表示検査は駆動回路を実装しない状態で、
表示装置のバスライン端子にコンタクトピンやプローブ
カード等の接触媒体を接続させ、外部から表示信号を入
力して行う。輝点はゲートバスライン２４とドレイン電
極（絵素電極２６）との間のショート、ソースバスライ
ン２２とドレイン電極（絵素電極２６）との間のショー
ト、絵素電極２６と対向電極２８との間のショート等が
ある場合に発生する。輝線はゲートバスライン２４とソ
ースバスライン２２との間のショート、ゲートバスライ
ン２４の断線、ソースバスライン２２の断線、ゲートバ
スライン２４同士のショートがある場合に発生する。

【０００８】一方、配線検査では残存ショートリング２
９による配線間の短絡、各配線の断線、各配線の抵抗測
定等を行う。アクティブマトリクス基板においては、製
造工程中に発生する静電気によりスイッチング素子２５
が電気的に破壊されるのを防ぐため、そのバスライン端
子をショートリング２９で短絡させている。ショートリ
ング２９は全端子を１カ所に短絡させている場合や、図
のように１本おきに短絡させている場合がある。これら
のショートリング２９はドライバー回路を実装する前に
排除する。しかしながら、裁断装置の加工精度のバラツ
キによりショートリング２９を排除しきれなかった場合
に、端子が短絡された状態でドライバー回路を実装する
と、表示装置の作動中に端子間のショートが発生して表
示不良となる。

【０００９】端子部だけでなく、バスラインのライン途
中で短絡した場合や、各バスラインのそれぞれに断線が
ある場合も同様に表示不良が発生する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のような輝点や輝
線等の表示欠陥、残存ショートリングによるバスライン
端子部の短絡、各バスライン間のライン途中での短絡お
よび各バスラインの断線状態を確認する方法は、いずれ
も表示装置の入力端子全てにコンタクトピンやフレキシ
ブルプリント基板などの接触媒体を接触させ、コンタク
トピンを１本１本リレーに接続し、検査箇所を選択して
検査を行っている。しかもこの接触媒体の検査対象との
接続作業は、表示検査から配線検査へ移行する際および
配線検査時の各種測定検査間で移行する際、その都度、
行わなければならない。

【００１１】このような接続作業は非常に効率が悪く、
メンテナンスも困難である。検査装置のコスト高にもな
る。

【００１２】本発明はこのような課題を解決するために
なされたものであり、効率の良い検査が行える表示装置
の検査装置および検査方法を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の表示装置の検査
装置は、対向配置される第１の基板と第２の基板とを有
し、該第１の基板は、該第１の基板表面上に配設された
複数本の第１の検査配線と、該第１の検査配線の奇数番
目から所定の本数ずつ選んで形成された複数のブロック
のそれぞれに含まれる該第１の検査配線が接続された第
１の検査接続端子と、該第１の検査配線の偶数番目から
所定の本数ずつ選んで形成された複数のブロックのそれ
ぞれに含まれる該第１の検査配線が接続された第２の検
査接続端子とを有し、該第２の基板は、該第１の基板と
の対向面上に、該第１の検査配線と同一ピッチで、か
つ、該第１の検査配線と同数配設された第２の検査配線
とを有し、各第１の検査配線と、該第１の検査配線に対
応する該第２の検査配線とがそれぞれ接続されるよう
に、該第１の基板と該第２の基板とが、間に導電膜を挟
んで接続されているとともに、該検査接続端子から、該
表示装置を表示するための駆動信号を入力する駆動信号
入力回路と、各検査接続端子に接続されて、各検査接続
端子間の抵抗を測定する抵抗測定手段と、該駆動信号入
力回路と該抵抗測定手段とを切り替える回路切り替え手
段とを有する、表示装置の検査装置であって、そのこと
により上記目的が達成される。

【００１４】また、本発明の表示装置の検査方法は、対
向配置される第１の基板と第２の基板とを有し、該第１
の基板は、表面上に配設された複数本の第１の検査配線
と、該第１の検査配線の奇数番目から所定の本数ずつ選
んで形成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該
第１の検査配線が接続された第１の検査接続端子と、該
第１の検査配線の偶数番目から所定の本数ずつ選んで形
成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該第１の
検査配線が接続された第２の検査接続端子とを有し、該
第２の基板は、該第１の基板との対向面上に、該第１の
検査配線と同一ピッチで、かつ、該第１の検査配線と同
数配設された第２の検査配線とを有し、各第１の検査配
線と、該第１の検査配線に対応する該第２の検査配線と
がそれぞれ接続されるように、該第１の基板と該第２の
基板とが、間に導電膜を挟んで接続されているととも
に、該検査接続端子から、該表示装置を表示するための
駆動信号を入力する駆動信号入力回路と、各検査接続端
子に接続されて、各検査接続端子間の抵抗を測定する抵
抗測定手段と、該駆動信号入力回路と該抵抗測定手段と
を切り替える回路切り替え手段とを有する検査装置を用
いて行う、表示装置の検査方法であって、該第２の検査
配線に該表示装置の配線端子を接続させる工程と、該回
路切り替え手段によって、該検査接続端子と駆動信号入
力回路とを電気的に接続する工程と、該検査接続端子の
それぞれに、該駆動信号入力回路から、所定の駆動信号
を入力して表示不良を検査する工程と、該回路切り替え
手段によって該検査接続端子と該抵抗測定手段とを電気
的に接続する工程と、各検査接続端子間の抵抗を該抵抗
測定手段によって測定する工程とを包含する表示装置の
検査方法であって、そのことにより、上記目的が達成さ
れる。

【００１５】

【作用】本発明の表示装置の検査装置は検査基板部と測
定部とを有する。検査基板部は対向配置される第１と第
２の基板とを有する。

【００１６】第１の基板の表面上には複数本の第１の検
査配線が形成されている。

【００１７】第１の検査配線はその奇数番目が、所定の
本数ずつ複数のブロックに分けられ、各ブロック毎に対
応する第１の検査接続端子に接続されている。偶数番目
も、所定の本数ずつ複数のブロックに分けられ、各ブロ
ック毎に対応する第２の検査接続端子に接続されてい
る。

【００１８】第２の基板は、第１の基板との対向面上
に、第１の検査配線と同一ピッチで、かつ、第１の検査
配線と同数の第２の検査配線が配設されている。

【００１９】このような第１の基板と第２の基板とが、
各第１の検査配線と、対応する第２の検査配線とがそれ
ぞれ接続されるように、間に導電膜を挟んで接続されて
いる。

【００２０】検査時には第２の基板が第１の基板と導電
膜を介して接続された残りの領域で被検査基板の配線端
子と第２の検査配線とが接続される。

【００２１】検査時の検査基板内の信号の流れは以下の
ようである。例えば、奇数番目の配線に対応する番号を
有する第１の検査配線を集線した第１の検査接続端子に
信号が入力されると、各第１の検査配線の末端から奇数
番号用の導電膜を通り、第２の基板上の第２の検査配線
を通じて被検査基板の対応する奇数番目の配線端子に伝
達される。偶数番号の場合も同様である。

【００２２】本発明の検査装置はこのような検査基板を
有するので、検査時に被検査基板の各配線端子のそれぞ
れにプローバを圧接する必要がなく、あらかじめ検査配
線が奇数と偶数に分類されているので、隣接バスライン
間の短絡の有無の検査も簡便に行える。

【００２３】一方、測定部は駆動信号入力回路と抵抗測
定手段およびこの駆動信号入力回路と抵抗測定手段の第
１の基板の検査接続端子に対する接続の切り替えを行う
切り替え手段とを有する。測定部と検査基板部とは第１
の基板の検査接続端子であらかじめ接続されている。駆
動信号入力回路と抵抗測定手段とは並列に接続されてお
り、検査接続端子から駆動信号入力回路および抵抗測定
手段に至る途中には回路切り替え手段として、例えば、
制御用コンピューターを配置する。

【００２４】本発明の検査装置はこのような構成をな
し、この検査装置による表示装置の検査は以下のように
して行われる。

【００２５】表示検査は駆動信号入力回路から第１の基
板の検査接続端子を通じて、被検査基板の配線に駆動信
号を入力する。

【００２６】次に、配線検査を行うため、回路切り替え
手段により第１の基板の検査接続端子に抵抗測定手段を
電気的に接続し、抵抗測定手段によって配線に関する各
種抵抗を測定する。このような検査方法では、検査の都
度、被検査基板の各バスラインおよび対向電極端子にプ
ローバを圧接する必要がなく、表示検査から配線検査へ
の転換も電気的な切り替えで簡単に行える。

【００２７】

【実施例】以下、本発明に係る検査装置および検査方法
の実施例について述べる。図７に本検査装置の全体構成
を示す。本検査装置は検査基板部５１と周辺の測定部５
２とを有する。本実施例の検査基板部５１は、概ね同様
の構成を有する第１の基板体１０１と第２の基板体１０
２とで成る。本実施例においては、第１の基板体１０１
が被検査装置（以下、表示装置とし、従来例の項で述べ
た図１０のアクティブマトリクス方式の液晶表示装置を
対象とするする）のゲートバスラインとの接続に対応
し、第２の基板体１０２が表示装置のソースバスライン
および対向電極共通端子との接続に対応する場合を取り
扱う。

【００２８】まず、第１の基板体１０１について説明す
る。図１に第１の基板体１０１の断面を示す。図に示す
ように、第１の基板体１０１は、対向配置される第１基
板１１および第２基板１２の２枚の基板を有する。両基
板１１、１２とも対向面上に検査配線３、４がそれぞれ
パターン形成されており、この検査配線３、４の形成面
を対向させ、間に異方性導電膜５ａ、５ｂを挟んで接続
配置されている。異方性導電膜５ａ、５ｂはその厚み方
向に導電性を有し、面方向に絶縁性を持つフィルムであ
る。この異方性導電膜５ａ、５ｂは第１基板１１と第２
基板１２との間で加熱、加圧されて両基板１１、１２の
検査配線３、４を電気的に接続する。第１基板１１の内
面上の異方性導電膜５ａ、５ｂを除いた領域には、検査
配線３を覆って絶縁膜６が形成されている。

【００２９】図２に第１基板１１、図３に第２基板１２
の正面と平面構成を示す。第１基板１１は図２（ｂ）に
示すように、ガラスエポキシ樹脂からなるベース基板１
上に１６本の検査配線３がベース基板１表面上に配設さ
れている。実際の検査配線３は数百本に至るものである
が、説明を容易にするため１６本という僅少の本数を設
定した。後述する第２基板１２上の検査配線４について
も同様である。この検査配線３は４つのブロックに分け
られ、この４つのブロックのそれぞれには４つの検査接
続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄのそれぞれが対応している。例え
ば、検査接続端子ａから出た検査配線３は最終的には４
本の分岐線を有し、それぞれの分岐線は便宜的に
（２）、（６）、（１０）、（１４）の番号を有してい
る。この番号は被検査基板２０（以下、表示基板２０と
する）のゲートバスラインの配設順の番号に対応し、各
分岐線はゲートバスラインの配設番号に応じた配線間隔
で互いに平行に配設されている。検査接続端子ｄから出
た検査配線３の４本の分岐線は（４）、（８）、（１
２）、（１６）の番号を有する。以下、検査接続端子ｂ
から出た検査配線３の４本の分岐線は（１）、（５）、
（９）、（１３）の番号を、検査接続端子ｃから出た検
査配線３の４本の分岐線は（３）、（７）、（１１）、
（１５）の番号を有する。検査接続端子ｂとｃから出た
分岐線には第１の異方性導電膜５ａが交差重畳し、検査
接続端子ａとｄから出た分岐線には第２の異方性導電膜
５ｂが交差重畳している。

【００３０】第２基板１２は図３（ｂ）に示すように、
ガラスエポキシ樹脂からなるベース基板２上に表示装置
のゲートバスライン２４と同じパターンで検査配線４が
１６本配設されている。

【００３１】一方、第２の基板体１０２は第３基板１３
と第４基板１４とを有し、間に異方性導電膜５ａ’、５
ｂ’を挟んで接続配置される。断面構成は前記第１の基
板体１０１と同様であるので説明は省略する。図４に第
３基板１３の平面構成、図５に第４基板１４の平面構成
を示す。図に示すように、第３基板１３の表面上には、
ソースバスライン対応の検査配線３’および検査接続端
子ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’が形成されている。第３基板
１３が第１基板１１と異なるのは、表示装置１５のソー
スバスライン対応の検査配線３’および検査接続端子
ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’だけでなく、表示装置の対向電
極共通端子との接続に対応する検査配線５および検査接
続端子ｅが形成されていることである。検査配線３’、
検査接続端子ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’の配設の要領は前
記第１基板１１の検査配線３、検査接続端子ａ、ｂ、
ｃ、ｄと同様であり説明は省略する。第４基板１４の表
面上には、ソースバスライン対応の検査配線４’が形成
されている。第４基板１４が第２基板１２と異なるの
は、表示装置のソースバスライン対応の検査配線４’だ
けでなく、表示装置の対向電極共通端子との接続に対応
する検査配線５’が形成されていることである。

【００３２】以上のような検査基板１１、１２、１３、
１４は検査時、表示装置と以下のように接続される。図
６に第１基板１１、第２基板１２および表示装置の間の
検査時の接続状態の正面および平面構成を示す。この状
態では、図６（ｂ）に示すように、第２基板１２の偶数
番目の検査配線４が第１基板１１の検査接続端子ａとｄ
から出た偶数の番号を有する分岐配線に重なった構成に
なり、第２基板１２の奇数番目の検査配線４が第１基板
１１の検査接続端子ｂとｃから出た奇数の番号を有する
分岐配線に重なった構成になる。表示装置はそのベース
基板２０側のゲートバスライン端子２３が第２基板１２
の検査配線４と接続される。第３基板１３と第４基板１
４および表示装置の接続状態は上記第１基板１１、第２
基板１２と表示装置との接続の場合と同じ要領である。

【００３３】このような検査基板部５１では、検査時の
信号の流れは以下のようになる。第１の基板体１０１と
表示装置との間での信号の流れを例に挙げて説明する。
第２の基板体１０２と表示装置との間でも同じ要領であ
る。例えば、検査接続端子ａに信号を入力すると、信号
は（２）、（６）、（１０）、（１４）の番号を有する
検査接続端子ａの分岐線のそれぞれから第２の異方性導
電膜５ｂを通り、第２基板１２上の（２）、（６）、
（１０）、（１４）番目の検査配線４を通じて表示装置
のベース基板２０の（２）、（６）、（１０）、（１
４）番目のゲートバスライン端子２３に伝達される。
ｂ、ｃ、ｄの各検査接続端子から信号を入力する場合も
同様である。このようにして、偶数番目のゲートバスラ
イン２４、奇数番目のゲートバスライン２４というよう
に検査対象配線が分類できる。図６（ｂ）に示された第
１基板１１上の検査配線３においては、偶数番号を有す
るブロック、奇数番号を有するブロックのそれぞれをさ
らに二つにわけて検査配線３全体を４種類に分類してい
るが、異方性導電膜５ａ、５ｂの設置枚数や検査配線３
の配列を変えることにより、検査配線３の分類はいく通
りにでも可能である。

【００３４】次に、本検査装置の測定部５２を説明す
る。図７に本検査装置の測定部５２およびこの測定部５
２と検査基板部５１との接続状態を示す。測定部５２は
図５に示すように、駆動信号入力回路４５と抵抗測定器
４７およびこの駆動信号入力回路４５と抵抗測定器４７
の検査基板部５１に対する接続を切り替える制御用コン
ピューター４６とを有する。

【００３５】駆動信号入力回路４５と抵抗測定器４７と
は互いに並列に接続され、両者の共通配線が途中で分岐
し、分岐配線の一方が検査基板部５１の第１基板１１上
の検査接続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄに信号入力用電極４４を
通じて接続されている。分岐配線の他方が検査基板部５
１の第３基板１３上の検査接続端子ａ’、ｂ’、ｃ’、
ｄ’、ｅに信号入力用電極４４’を通じて接続されてい
る。そして、検査接続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ａ’、
ｂ’、ｃ’、ｄ’、ｅと駆動信号入力回路４５および抵
抗測定器４７との間に制御用コンピューター４６が接続
されている。

【００３６】次に、このような検査装置を用いた表示検
査と配線検査のそれぞれについて個別に説明する。

【００３７】（１）表示検査 表示装置を表示するには、駆動信号入力回路４５から第
１基板１１の検査接続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄ、および第３
基板の検査接続端子ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’、ｅを通じ
て駆動信号を入力する。表示装置の下部に冷陰極管を設
置し、偏向板を表示装置の上部と下部に設置して信号を
入力すると表示装置は表示状態になる。実際に近い表示
になるよう、表示装置のすべてのバスライン端子おび対
向電極共通端子に信号を入力する。信号の種類は各端子
毎に変えるのではなく、駆動信号入力回路４５が簡単に
構成されるよう、同じ種類の信号を入力する。この時の
駆動信号を図８に示す。図８（ａ）に示すように、駆動
信号３１は奇数番号を有する検査接続端子ｂ、ｃから奇
数番目のゲートバスライン端子２３に印加し、駆動信号
３２は図８（ｂ）に示すように、駆動信号３１がＯＮか
らＯＦＦになった直後に、偶数番号を有する検査接続端
子ａ、ｄから偶数番目のゲートバスライン端子２３に印
加する。図８（ｃ）に示すように、全てのゲートバスラ
イン２４への信号のＯＮ、ＯＦＦが終了するまでの間、
ソースバスライン２２には第３基板上の検査接続端子
ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’を通じて一定の大きさの正の直
流電圧信号３３を印加する。図８（ｄ）に示すように、
対向電極２８にも第３基板上の対向電極検査接続端子ｅ
を通じて一定の大きさの直流電圧信号３４を印加する。
表示装置に欠陥がある場合は輝点や輝線が現れる。

【００３８】（２）配線検査 先ず、第１基板１１の検査接続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄ、お
よび第３基板１３の検査接続端子ａ’、ｂ’、ｃ’、
ｄ’、ｅに接続されていた駆動信号入力回路４５を制御
用コンピューター４６によって電気的に抵抗測定器４７
に切り替える。

【００３９】本実施例では、表示装置の例として、従来
例の項で示した図１０のような付加容量型のアクティブ
マトリクス表示装置を取り挙げる。従って、測定対象の
バスラインはゲートバスライン２４とし、ゲートバスラ
イン端子２３間にそれぞれタイミングの異なった信号を
入力する。

【００４０】ゲートバスライン２４に関する抵抗測定項
目は次の３通りに大別できる。

【００４１】ソースバスライン２２とゲートバスライ
ン２４の間のショート検査 ゲートバスライン２４同士のショート検査 ゲートバスライン２４と対向電極２８との間のショー
ト検査 以下、それぞれの検査方法を説明する。

【００４２】ソースバスライン２２とゲートバスライ
ン２４の間のショート検査 このための検査はすべてのソースバスライン２２と第１
基板１１の検査接続端子ａ、ｂ、ｃ、ｄのそれぞれとの
間の抵抗を測定する。このための測定回路は抵抗測定器
４７の内部に組み込まれているが、本発明の主眼ではな
いので、回路についての説明は省略する。以下の測定の
説明についても同様である。

【００４３】例えば検査接続端子ａとソースバスライン
２２との間の抵抗を測定した場合に、その抵抗値が通常
より低いと、この検査接続端子ａのブロックの検査配線
（２）、（６）、（１０）、（１４）に対応する２、
６、１０、１４番目のゲートバスライン２４のいずれか
とソースバスライン２２との間でショートしていること
になる。この場合、不良品としての最終判断を下し検査
を終了する。

【００４４】以下、このようにして、検査接続端子ｂ、
ｃ、ｄのそれぞれに対応するブロック毎に抵抗を測定し
てゆく。このように、本発明に係る検査装置および検査
法方によれば、ゲートバスライン２４一本一本にプロー
ブを圧接して測定を行う場合より検査効率が格段に向上
する。

【００４５】ゲートバスライン２４同士のショート検
査 隣接するゲートバスライン２４間の抵抗を測定する。

【００４６】第１基板１１上の検査接続端子ａとｄとを
短絡する。次に、検査接続端子ｂとｃとを短絡する。最
後に、両短絡部の間の抵抗を測定する。この測定によ
り、接続端子ａ・ｄ間の抵抗（偶数番目のゲートバスラ
イン同士の抵抗）、ａ・ｃ間の抵抗（偶数番目と奇数番
目のゲートバスライン同士の抵抗）、ｂ・ｄ間の抵抗
（偶数番目と奇数番目のゲートバスライン同士の抵
抗）、およびｂ・ｃ間の抵抗（偶数番目のゲートバスラ
イン同士の抵抗）の測定が一気に行える。

【００４７】この測定においても、抵抗値に異常がなけ
ればそのブロックについての検査を終了し、次のブロッ
クについての測定を行う。

【００４８】ゲートバスライン２４と対向電極２８と
の間のショート検査 すべてのゲートバスライン２４と対向電極２８との間の
抵抗を測定する。具体的には、第３基板上の対向電極検
査接続端子ｅと第１基板１１の検査接続端子ａ、ｂ、
ｃ、ｄのそれぞれとの間の抵抗を測定する。

【００４９】以上が表示検査と配線検査のそれぞれにつ
いての説明であるが、本発明に係る検査方法では、上記
の表示検査と配線検査を同一の検査装置で行う。本発明
に係る検査方法を実施するための全体構成を図９に示
す。以下、検査の流れを図９を用いて説明する。

【００５０】全体構成はワーク搬送機構４１、４１’移
動ステージ４２、駆動信号入力回路４５、制御用コンピ
ュータ４６、抵抗測定器４７およびワークカセット４
８、４８’を有する。検査基板部５１はこの移動ステー
ジ４２上に固定される。このような装置を用いた表示装
置の検査は以下のように進められる。

【００５１】検査の前工程から搬送されてワークカセッ
ト４８にため込まれた表示装置はワーク搬送機構４１に
よって移動ステージ４２上に載置される。この移動ステ
ージ４２上で表示装置と検査基板部５１とを位置合わせ
し、表示装置の各配線端子と検査装置の第２基板１２お
よび第４基板１４の各接続端子とを接続する。各端子の
接続後、表示装置に駆動信号を印加して、先ず上記の要
領で表示検査を行う。表示検査が終了すると、制御用コ
ンピューター４６によって検査基板部５１との接続を駆
動信号入力回路４５から抵抗測定器４７に切り換えて配
線間の短絡、各配線の断線検査および抵抗測定を行う。
このようにして、本発明に係る検査装置およびその検査
方法を用いれば、各検査工程が簡便に効率よく行えるだ
けでなく、表示装置の表示検査と配線の各種検査を同一
の装置で実施することができる。かつ、表示検査と配線
の各種検査との切り替えもコンピューターで電気的に簡
単に切り替えることができるので、検査効率が格段に向
上する。

【００５２】両検査が終了した表示装置は移動ステージ
４２から排出側のワーク搬送機構４１’によって排出側
のワークカセット４８’に送り込まれる。

【００５３】なお、本発明に係る検査装置はアクティブ
マトリクス型の表示装置以外に、単純マトリクス型、Ｍ
ＩＭ型の表示装置にも用いることができる。

【００５４】

【発明の効果】本発明に係る表示装置の検査装置によれ
ば、表示装置の基板の配線端子が複数本ずつまとめて抵
抗測定手段側に接続され、配線の検査が複数本ずつ行え
るので、検査の簡略化が図れる。

【００５５】表示検査のための駆動信号入力回路および
配線検査時の抵抗測定手段があらかじめ検査端子に接続
されており、表示検査から配線検査の切り替えが、例え
ば、制御用コンピューター等の電気的切り替え手段で簡
単に行えるので、一つの装置で表示検査と配線の各種不
良検査が連続的に行え、検査効率が格段に向上する。構
成が簡単であるので装置のコストも抑制される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の基板体の断面図。

【図２】本実施例に係る第１基板を示す図。（ａ）は正
面図。（ｂ）は平面図。

【図３】本実施例に係る第２基板を示す図。（ａ）は正
面図。（ｂ）は平面図。

【図４】本実施例に係る第３基板を示す図。（ａ）は正
面図。（ｂ）は平面図。

【図５】本実施例に係る第４基板を示す図。（ａ）は正
面図。（ｂ）は平面図。

【図６】第１基板、第２基板および表示装置の検査時の
相関図。（ａ）は正面図。（ｂ）は平面図。

【図７】本発明に係る検査装置の測定部および測定部と
検査基板部との接続を示す図。

【図８】本発明に係る表示検査時の入力信号図。

【図９】本発明に係る検査方法の実施例を示す図。

【図１０】ショートリングを有するアクティブマトリク
ス基板の平面図。

【符号の説明】

１、２ ベース基板 ３、４、５、３’、４’、５’ 検査配線 ５ａ、５ｂ、５ａ’、５ｂ’ 異方性導電膜 ６ 絶縁膜 １１ 第１基板 １２ 第２基板 １３ 第３基板 １４ 第４基板 ２０ ベース基板（被検査基板） ２１ ソースバスライン端子 ２２ ソースバスライン ２３ ゲートバスライン端子 ２４ ゲートバスライン ２５ スイッチング素子 ２６ 絵素電極 ２７ 補助容量 ２８ 対向電極 ２９ ショートリング ３０ 対向電極共通端子 ３１、３２ ゲートバスライン入力信号 ３３ ソースバスライン入力信号 ３４ 対向電極入力信号 ４１、４１’ ワーク搬送機構 ４２ 移動ステージ ４４ 信号入力用電極 ４５ 駆動信号入力回路 ４６ 制御用コンピュータ ４７ 抵抗測定器 ４８、４８’ ワークカセット ５１ 検査基板部 ５２ 測定部 ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’、ｅ 検査接
続端子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 入江 勝美 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 福田 幸司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 望月 雄一郎 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表示装置の検査装置であって、 該検査装置は、対向配置される第１の基板と第２の基板
   とを有し、 該第１の基板は、該第１の基板表面上に配設された複数
   本の第１の検査配線と、 該第１の検査配線の奇数番目から所定の本数ずつ選んで
   形成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該第１
   の検査配線が接続された第１の検査接続端子と、 該第１の検査配線の偶数番目から所定の本数ずつ選んで
   形成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該第１
   の検査配線が接続された第２の検査接続端子とを有し、 該第２の基板は、該第１の基板との対向面上に、該第１
   の検査配線と同一ピッチで、かつ、該第１の検査配線と
   同数配設された第２の検査配線とを有し、 各第１の検査配線と、該第１の検査配線に対応する該第
   ２の検査配線とがそれぞれ接続されるように、該第１の
   基板と該第２の基板とが、間に導電膜を挟んで接続され
   ているとともに、 該検査接続端子から、該表示装置を表示するための駆動
   信号を入力する駆動信号入力回路と、 各検査接続端子に接続されて、各検査接続端子間の抵抗
   を測定する抵抗測定手段と、 該駆動信号入力回路と該抵抗測定手段とを切り替える回
   路切り替え手段とを有する、表示装置の検査装置。
2. 【請求項２】対向配置される第１の基板と第２の基板と
   を有し、 該第１の基板は、表面上に配設された複数本の第１の検
   査配線と、 該第１の検査配線の奇数番目から所定の本数ずつ選んで
   形成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該第１
   の検査配線が接続された第１の検査接続端子と、 該第１の検査配線の偶数番目から所定の本数ずつ選んで
   形成された複数のブロックのそれぞれに含まれる該第１
   の検査配線が接続された第２の検査接続端子とを有し、 該第２の基板は、該第１の基板との対向面上に、該第１
   の検査配線と同一ピッチで、かつ、該第１の検査配線と
   同数配設された第２の検査配線とを有し、 各第１の検査配線と、該第１の検査配線に対応する該第
   ２の検査配線とがそれぞれ接続されるように、該第１の
   基板と該第２の基板とが、間に導電膜を挟んで接続され
   ているとともに、 該検査接続端子から、該表示装置を表示するための駆動
   信号を入力する駆動信号入力回路と、 各検査接続端子に接続されて、各検査接続端子間の抵抗
   を測定する抵抗測定手段と、 該駆動信号入力回路と該抵抗測定手段とを切り替える回
   路切り替え手段とを有する検査装置を用いて行う、表示
   装置の検査方法であって、 該第２の検査配線に該表示装置の配線端子を接続させる
   工程と、 該回路切り替え手段によって、該検査接続端子と駆動信
   号入力回路とを電気的に接続する工程と、 該検査接続端子のそれぞれに、該駆動信号入力回路か
   ら、所定の駆動信号を入力して表示不良を検査する工程
   と、 該回路切り替え手段によって該検査接続端子と該抵抗測
   定手段とを電気的に接続する工程と、 各検査接続端子間の抵抗を該抵抗測定手段によって測定
   する工程とを包含する表示装置の検査方法。