JPH10268273A - 液晶表示基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブ検査の信頼性を損なうことなく各画
素の欠陥が生じているか否かのアレイテストを行う。 【解決手段】 後の工程で切断除去される液晶表示基板
の領域に、各走査信号線の検査用パッドが形成されてい
る端部と反対側の端部を共通に接続させる共通線と、映
像信号線の検査用パッドが形成されている端部と反対側
の端部を共通に接続させる共通線とを備える液晶表示基
板において、後の工程で切断除去される前記液晶表示基
板の領域に、前記各走査信号線の検査用パッド側にそれ
ぞれ高抵抗を介して共通に接続させるコモン線と、前記
各映像信号線の検査用パッド側にそれぞれ高抵抗を介し
て共通に接続させるコモン線とが形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示基板に係
り、特に、アクティブ・マトリックス型液晶表示装置の
通称ＴＦＴ基板と称される液晶表示基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】アクティブ・マトリックス型液晶表示装
置は、液晶を介して互いに対向配置される透明基板のう
ち一方の透明基板の液晶側の面には、ｘ方向に延在しｙ
方向に並設される走査信号線と、ｙ方向に延在しｘ方向
に並設される映像信号線とを備え、これら各信号線に囲
まれた各画素領域に、走査信号線からの走査信号によっ
てオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜ト
ランジスタを介して映像信号線からの映像信号が印加さ
れる画素電極とが形成されている。

【０００３】このように薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が
形成された透明基板は通称ＴＦＴ基板と称されている
が、液晶表示装置として完成する前の製造過程において
は、実際の規定の寸法より大きな面積のものが用意さ
れ、その周辺は最終的に切断除去されて規定の寸法とな
るようになっている。

【０００４】その理由は、前記透明基板の周辺の領域
に、各走査信号線を共通に接続する共通線と、各映像信
号線を共通に接続する共通線とを形成することによっ
て、これら各信号線が断線しているか否か、あるいは交
差する走査信号線と映像信号線とが電気的ショートを起
こしているか否かのプローブ検査を行い易くできるよう
にするためである。

【０００５】なお、このような共通線を形成することに
より特定の信号線に印加された静電気をこの共通線を介
して分散できることから、静電気保護対策の効果をも合
わせもっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成されたＴＦＴ基板は、上述したような共通線を
介して信号線が共通に接続されていることから、各画素
のそれぞれに欠陥が生じているか否かをいわゆるアレイ
テスタを用いて検査することができないことが指摘され
るに到った。

【０００７】ちなみに、各画素のそれぞれに欠陥が生じ
ているか否かの検査は、製造において早い段階で行うの
が修復あるいはコスト等の上で好ましく、たとえば液晶
表示装置として完成した段階（この場合、ＴＦＴ基板の
前記共通線が形成された周辺は切断されて各信号線は電
気的に独立している）で初めて検査できても、修復が不
可能となり液晶表示装置自体を廃棄せざるをえなくな
る。

【０００８】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、製造過程にあっても、プ
ローブ検査の信頼性を損なうことなく、各画素の欠陥が
生じているか否かのアレイテストを行い得る液晶表示基
板を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、基本的には、液晶を介して他の透
明基板と対向配置される液晶表示基板であって、その液
晶側の面に、ｘ方向に延在しｙ方向に並設されかつそれ
ぞれの一端に検査用パッドが形成されている走査信号線
と、ｙ方向に延在しｘ方向に並設されかつそれぞれの一
端に検査用パッドが形成されている映像信号線とを備
え、これら各信号線に囲まれた各画素領域に、走査信号
線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタ
と、このオンされた薄膜トランジスタを介して映像信号
線からの映像信号が印加される画素電極とが形成されて
いるとともに、後の工程で切断除去される前記液晶表示
基板の領域に、前記各走査信号線の前記検査用パッドが
形成されている端部と反対側の端部を共通に接続させる
共通線と、前記映像信号線の前記検査用パッドが形成さ
れている端部と反対側の端部を共通に接続させる共通線
とを備える液晶表示基板において、後の工程で切断除去
される前記液晶表示基板の領域に、前記各走査信号線の
検査用パッド側にそれぞれ高抵抗を介して共通に接続さ
せるコモン線と、前記各映像信号線の検査用パッド側に
それぞれ高抵抗を介して共通に接続させるコモン線とが
形成されていることを特徴とするものである。

【００１０】このように構成された液晶表示基板は、従
来通りプローブ検査ができるとともに、その後、各信号
線とそれらの共通線との切断を行うことによって各信号
線が電気的に分離し得るので、アレイテスタによる各画
素の欠陥の有無の検査を行うことができる。

【００１１】すなわち、このようにしても各信号線は実
質的には高抵抗を介してコモン線に電気的に接続された
ままとなっているが、該高抵抗の存在によってアレイテ
スタ検査を支障なく行うことができるようになる。

【００１２】この場合、このようなコモン線を形成しな
いことも考えられるが、このコモン線を仮に形成しない
構成とすれば、各信号線とそれらの共通線との前記切断
がなされた時点から各信号線の静電気保護対策ができな
くなってしまうことになり、それによる弊害は極めて大
きくなってしまう。

【００１３】このことからして、静電気による弊害も憂
えることなく、アレイテスタ検査を行うことができるよ
うになる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明による液晶表示基
板（ＴＦＴ基板）とその検査方法の一実施例を示す平面
構成図である。

【００１５】液晶表示基板の構成 同図に示す液晶表示基板１は、規定の寸法よりも面積が
大きく形成されており、他の透明基板（ＴＦＴ基板に対
して通称フィルタ基板と称する）が対向配置された段階
でその周辺部が図中点線枠Ａに沿って切断されるように
なっている。

【００１６】まず、この液晶表示基板１の液晶側の面
に、図中ｘ方向に延在しｙ方向に並設される走査信号線
２が形成されている。

【００１７】これら各走査信号線２は、その一端（図中
左側）が前記点線枠Ａの内側に近接して形成された外部
端子２ａを介してそのまま延在され共通線３に接続され
ている。

【００１８】また、各走査信号線２の他端（図中右側）
は前記点線枠Ａの外側にまで延在されて検査用パッド２
ｄに接続されている。

【００１９】そして、この実施例では、特に、前記検査
用パッド２ｄに接続された走査信号線２はそのまま延在
され高抵抗４を介してコモン線５に接続されている。こ
の高抵抗４とコモン線５の効果については後に説明す
る。

【００２０】さらに、図中ｙ方向に延在しｘ方向に並設
される映像信号線７が形成されている。

【００２１】これら各映像信号線７のうち奇数番目（た
とえば図中左から数えて）の映像信号線７は、その一端
（図中上側）が前記点線枠Ａの内側に近接して形成され
た外部端子７ａを介して延在され共通線８に接続されて
いる。

【００２２】また、奇数番目の映像信号線７の他端（図
中下側）は前記点線枠Ａの内側に近接して形成された検
査用パッド７ａに接続されている。

【００２３】そして、この実施例では、特に、前記検査
用パッド７ａに接続された奇数番目の映像信号線はその
まま延在され高抵抗９を介してコモン線１０に接続され
ている。この高抵抗９とコモン線１０の効果については
後に説明する。

【００２４】さらに、各映像信号線７のうち偶数番目の
映像信号線は、それら各一端（図中下側）が前記点線枠
の内側に近接して形成された外部端子７ａを介して延在
され、それぞれ共通線８に接続されている。

【００２５】また、偶数番目の映像信号の他端（図中上
側）は前記点線枠の外側にまで延在されて検査用パッド
７ｄに接続されている。

【００２６】そして、この実施例では、特に、前記検査
用パッド７ｄに接続された偶数番目の映像信号線はその
まま延在され高抵抗９を介してコモン線１０に接続され
ている。この高抵抗９とコモン線１０の効果については
後に説明する。

【００２７】なお、前記高抵抗９としては、どのような
構成としてもよいが、表示部に形成される薄膜トランジ
スタＴＦＴとほぼ同様の構成とし、そのドレイン電極
（あるいはソース電極）とゲート電極とを接続させた非
線形素子によって構成することによって工程数を増大さ
せることなく製造できる効果を奏するようになる。

【００２８】そして、各走査信号線２と各映像信号線７
とで囲まれる矩形状の各領域が画素領域を構成するよう
になっており、これら各画素領域には、走査信号線７か
らの走査信号の供給によってオンされる薄膜トランジス
タＴＦＴと、このオンされた薄膜トランジスタＴＦＴを
介して映像信号線７からの映像信号が印加される画素電
極ＩＴＯとが形成されている。

【００２９】なお、これら各画素領域のマトリックス配
置された集合によって表示領域（図中斜線によって示さ
れる領域）が形成され、この表示領域の部分には、後の
製造工程によって、液晶を介して他の透明基板（フィル
タ基板）が対向配置されるようになっている。

【００３０】次に、このように構成された液晶表示基板
において、断線等の有無を検出するプローブ検査と画素
欠陥の有無を検出するアレイテスタ検査について説明す
る。

【００３１】プローブ検査 （１）走査信号線２の一端の共通線３に一方のプローブ
を、また走査信号線２の他端の検査用パッド２ｄに他方
のプローブを当接させることにより、該走査信号線２が
断線しているか否かの検査ができる。そして、共通線３
に当接された側のプローブを当接させたままで、他方の
プローブを各走査信号線２の検査用パッド２ｄに順次当
接させていくことにより全ての走査信号線２について断
線が生じているか否かを検査することができる。

【００３２】（２）奇数番目の映像信号線７の一端の共
通線８に一方のプローブを、また該映像信号線７の他端
の検査用パッド７ｄに他方のプローブを当接させること
により、該映像信号線７が断線しているか否かの検査が
できる。そして、共通線８に当接された側のプローブを
当接させたままで、他方のプローブを各映像信号線７の
検査用パッド７ｄに順次当接させていくことにより奇数
番目の映像信号線７の全てについて断線が生じているか
否かを検査することができる。

【００３３】（３）偶数番目の映像信号線７においても
（２）と同様の操作をすることによって、該映像信号線
７の全てについて断線が生じているか否かを検査するこ
とができる。

【００３４】（４）奇数番目の映像信号線７の一端の共
通線８に一方のプローブを、また偶数番目の映像信号線
７の一端の共通線８に他方のプローブを当接させること
によって、奇数番目の映像信号線７と偶数番目の映像信
号線７とのショート検査をすることができる。

【００３５】（５）走査信号線２の一端の共通線３に一
方のプローブを、また偶数番目の映像信号線７の一端の
共通線８に他方のプローブを当接させることによって、
走査信号線２と偶数番目の映像信号線７とのショート検
査をすることができる。

【００３６】（６）走査信号線２の一端の共通線３に一
方のプローブを、また奇数番目の映像信号線７の一端の
共通線８に他方のプローブを当接させることによって、
走査信号線２と奇数番目の映像信号線７とのショート検
査をすることができる。

【００３７】アレイテスタ検査 このようにしてプローブ検査が終了すると、本実施例に
示した液晶表示基板１は引き続き各画素の欠陥の有無を
検出するアレイテスタ検査を行うことができるが、その
前段階として、走査信号線２とそれらの共通線３との切
断、奇数番目の映像信号線７とそれらの共通線８との切
断、偶数番目の映像信号線７とそれらの共通線８との切
断を行う必要がある。

【００３８】この場合の切断としては、どのような方法
を用いてもよいが、その作業を容易にするためたとえば
レーザ光線を図中に示す一点鎖線Ｂに沿って走査するこ
とが好適となる。

【００３９】このような切断はアレイテスタ検査を行う
上で弊害とならないように各信号線を電気的に分離する
ためになされるものである。なお、このようにしても各
信号線は実質的には高抵抗４、９を介してコモン線５、
１０に電気的に接続されたままとなっているが、該高抵
抗４、９の存在によってアレイテスタ検査を支障なく行
うことができるように構成されている。

【００４０】この場合、このようなコモン線５、１０を
形成しないことも考えられるが、このコモン線５、１０
を仮に形成しない構成とすれば、各信号線とそれらの共
通線との前記切断がなされた時点から各信号線の静電気
保護対策ができなくなってしまうことになり、それによ
る弊害は極めて大きくなってしまう。

【００４１】このことからして、本実施例による液晶表
示基板によれば、静電気による弊害も憂えることなく、
アレイテスタ検査を行うことができるようになる。

【００４２】ここで、アレイテスタ検査は、周知のよう
に、それぞれの画素を駆動するための走査信号線と映像
信号線に信号を供給し、その画素の画素電極に電圧が印
加されるか否かを検出することによって、各画素の欠陥
を検査する方法である。

【００４３】上述した実施例では、映像信号線を奇数番
目と偶数番目のものとを区別し、それを接続させるため
の共通線８を液晶表示基板１の上側および下側にそれぞ
れ設けたものであるが、これに限定されることはなく、
一方の側にのみ設けるようにした構成のものにも適用で
きることはいうまでもない。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示基板によれば、製造過程にあって
も、プローブ検査の信頼性を損なうことなく、各画素の
欠陥が生じているか否かのアレイテストを行うことがで
きるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による液晶表示基板の一実施例を示す平
面構成図である。

【符号の説明】

２……走査信号線、２ｄ、７ｄ……検査用パッド、３、
８……共通線、４、９……高抵抗、５、８……コモン
線、７……映像信号線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 泰 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶を介して他の透明基板と対向配置さ
   れる液晶表示基板であって、 その液晶側の面に、ｘ方向に延在しｙ方向に並設されか
   つそれぞれの一端に検査用パッドが形成されている走査
   信号線と、ｙ方向に延在しｘ方向に並設されかつそれぞ
   れの一端に検査用パッドが形成されている映像信号線と
   を備え、これら各信号線に囲まれた各画素領域に、走査
   信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジス
   タと、このオンされた薄膜トランジスタを介して映像信
   号線からの映像信号が印加される画素電極とが形成され
   ているとともに、 後の工程で切断除去される前記液晶表示基板の領域に、
   前記各走査信号線の前記検査用パッドが形成されている
   端部と反対側の端部を共通に接続させる共通線と、前記
   映像信号線の前記検査用パッドが形成されている端部と
   反対側の端部を共通に接続させる共通線とを備える液晶
   表示基板において、 後の工程で切断除去される前記液晶表示基板の領域に、
   前記各走査信号線の検査用パッド側にそれぞれ高抵抗を
   介して共通に接続させるコモン線と、前記各映像信号線
   の検査用パッド側にそれぞれ高抵抗を介して共通に接続
   させるコモン線とが形成されていることを特徴とする液
   晶表示基板。
2. 【請求項２】 前記映像信号線は、その奇数番目の映像
   信号線を共通に接続させる共通線と、偶数番目の映像信
   号線を共通に接続させる共通線とを備えていることを特
   徴とする請求項１記載の液晶表示基板。
3. 【請求項３】 各走査信号線とその共通線との切断、お
   よび各映像信号線とその共通線との切断を行った後にア
   レイテスタ検査を行うことを特徴とする請求項１あるい
   は２記載の液晶表示基板の検査方法。