NL195017C - Inspectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor display-inrichting. - Google Patents

Description

4 1 195017

Inspectie-inrichting en inspectiewerkwijze voor display-inrichting

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het inspecteren van een display-inrichting die een actieve matrixsubstraat bevat, een tegensubstraat, en een tussen het actieve matrixsubstraat en het 5 tegensubstraat geplaatst weergavemedium, waarbij op het actieve matrixsubstraat een aantal eerste buslijnen en een aantal tweede buslijnen gevormd is, alsmede op een werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van deze inspectie-inrichting. Meer in het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op een inspectie-inrichting en een inspectiewerkwijze om een dergelijke display-inrichting te controleren op weergavevermogen, en om op elk substraat van de display-inrichting daarop 10 aangebrachte lijnen in inspecteren op kortsluitingen tussen lijnen en onderbreking van elke lijn, en tevens om lijnweerstanden te meten.

De laatste jaren wordt als alternatief voor een kathode-straalbuis (CRT) een platte display-inrichting, in het bijzonder een vloeibare kristallen display (LCD), alom toegepast. Onder verschillende typen LCD’s is een stuur-LCD met actieve matrix, waarin voor elk beeldelement voorzien is in een schakelelement populair 15 voor praktische toepassing; dit vanwege de gunstige afmeting, de weergave-eigenschappen die net zo goed zijn als die van een CRT, het lage stroomverbruik, en dergelijke.

Zo’n stuur-LCD met actieve matrix bestaat in wezen uit een transparant-actieve matrixsubstraat en een tegensubstraat, waartussen een vloeibaar-kristallaag ingesloten ligt. Op het actieve matrixsubstraat zijn een aantal onderling evenwijdige poortbuslijnen en loodrecht daarop een aantal onderling evenwijdige bron-20 buslijnen aangebracht. Nabij de kruispunten van poortbuslijnen en bronbuslijnen zijn pixelelektroden aangebracht alsmede deze besturende schakelelementen. Met behulp hiervan kan op beeldelementen van de vloeibaar-kristallaag een afbeelding worden gevormd. Het is uiteraard noodzakelijk, dat de aldus samengestelde display-inrichtingen na productie worden geïnspecteerd en gecontroleerd op mogelijke fouten zoals defecte pixels in de display-inrichting, alsmede lijninspecties ter controlering van de respectieve 25 buslijnen met het oog op defecten in de weergave. Voor dergelijke inspecties wordt gebruik gemaakt van contactstiften, die sequentieel worden aangesloten op een relais, zodat een te inspecteren gebied gekozen wordt, dat dan wordt geïnspecteerd. Na inspectie van een te inspecteren gebied wordt een ander gebied voor inspectie gekozen en wordt dezelfde inspectie verricht.

Een nadeel hierbij is, dat de contactstiften één voor één sequentieel worden aangesloten op het relais 30 hetgeen de kosten van de inspectie-inrichting aanzienlijk verhoogt en het onderhoud van de inrichting bemoeilijkt. Verder is het zo, dat, wanneer de inspecties worden veranderd van weergave-inspectie naar lijninspectie, of wanneer lijnen of aansluitpunten waartussen de weerstand gemeten wordt, bij de lijninspectie worden veranderd, bij elke verandering de contactmedia moeten worden aangesloten op de aansluitpunten van de te inspecteren display-inrichting. Wanneer de contactstiften bij elke verandering van 35 inspectie worden aangesloten op de respectieve aansluitpunten van de te inspecteren display-inrichting, is de doelmatigheid van de inspectie zeer gering.

Het is nu het doel van de uitvinding een inspectie-inrichting te verschaffen, waarbij genoemde nadelen vermeden zijn, en waarmee op doelmatige wijze dergelijke display-inrichtingen kunnen worden geïnspecteerd en gecontroleerd.

40 Daartoe voorziet de uitvinding in een inrichting voor het inspecteren van een display-inrichting zoals omschreven in de aanhef, met het kenmerk, dat de inrichting bestaat uit: een eerste substraateenheid die een aantal eerste inspectieaansluitpunten bezit, een aantal eerste inspectielijnen, een aantal tweede inspectielijnen, en een eerste ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectieaansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de eerste inspectielijnen is aangesloten op 45 één van de eerste inspectieaansluitpunten, waarbij de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het eerste ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de eerste inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de tweede inspectielijnen selectief door middel van het eerste ondersteuningsorgaan selectief is aangesloten op één van de eerste inspectielijnen, waarbij, wanneer de tweede inspectielijnen in direct contact met de eerste buslijnen worden gebracht, elk van de eerste buslijnen 50 is aangesloten op één van de eerste inspectieaansluitpunten; een tweede substraateenheid die een aantal tweede inspectieaansluitpunten bevat, een aantal derde inspectielijnen, een aantal vierde inspectielijnen, en een tweede ondersteuningsorgaan voor het ondersteunen van de inspectieaansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de derde inspectielijnen is aangesloten op één van de tweede inspectieaansluitpunten, waarbij de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak 55 van het tweede ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de derde inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de vierde inspectielijnen door een tweede verbindingsorgaan selectief verbonden is met één van de derde C inspectielijnen, waarbij, wanneer de vierde inspectielijnen in direct 195017 2 contact gebracht worden met de tweede buslijnen, elk van de tweede buslijnen is aangesloten op één van de tweede Inspectieaansluitpunten; een stuursignaalinvoerorgaan om stuursignalen voor het uitvoeren van een weergave-inspectie van de display-inrichting te leveren aan de eerste inspectieaansluitpunten en de tweede inspectieaansluitpunten; 5 een weerstandsmeetorgaan voor het meten van weerstanden van de eerste buslijnen en de tweede buslijnen van de display-inrichting; en een orgaan om een van het stuursignaalinvoerorgaan of het weerstandsmeetorgaan aan te sluiten op de eerste substraateenheid en de tweede substraateenheid.

Doelmatig kan de uitvoering daarbij zodanig zijn dat het eerste ondersteuningsorgaan bestaat uit een 10 eerste substraat en een tweede substraat, waarbij de eerste inspectieaansluitpunten en de eerste inspectie-lijnen zijn aangebracht op het eerste substraat, de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op het tweede substraat, waarbij het eerste substraat en het tweede substraat zo zijn aangebracht dat de eerste inspectielijnen tegenover de tweede inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het eerste verbindingsorgaan is gevormd tussen het eerste substraat en het tweede substraat.

15 Daarbij kan het tweede ondersteuningsorgaan bestaan uit een derde substraat en een vierde substraat, waarbij de tweede inspectieaansluitpunten en de derde inspectielijnen zijn aangebracht op het derde substraat, en de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op het vierde substraat, waarbij het derde substraat en het vierde substraat zo zijn geplaatst dat de derde inspectielijnen tegenover de vierde inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het tweede verbindingsorgaan is gevormd tussen het derde substraat en 20 het vierde substraat.

De uitvoering kan verder zodanig zijn, dat het aantal eerste inspectieaansluitpunten vooraf bepaald is, de eerste inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal eerste inspectieaansluitpunten, en een groep van de eerste inspectielijnen is aangesloten op één eerste inspectieaansluitpunt dat verschilt van een eerste inspectieaansluitpunt waarop een andere groep 25 van de eerste inspectielijnen Is aangesloten en verder, dat het aantal tweede inspectieaansluitpunten vooraf bepaald is, de derde inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal tweede inspectieaansluitpunten, en een groep van derde inspectielijnen is aangesloten op één tweede inspectieaansluitpunt dat verschilt van een tweede inspectieaansluitpunt waarop een andere groep van derde inspectielijnen is aangesloten. Daarbij kunnen de tweede inspectielijnen en vierde 30 inspectielijnen zijn gevormd op dezelfde onderlinge afstanden als die van de respectievelijke eerste buslijnen en tweede buslijnen.

De uitvinding voorziet tevens in een werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de hierboven beschreven inrichting. De werkwijze volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat deze de volgende stappen omvat: 35 aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting om de tweede Inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat te aligneren, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting om de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat te aligneren, 40 geven van een eerste stuursignaal met een eerste golfvorm aan een eerste stel van de eerste buslijnen, geven van een tweede stuursignaal met een tweede golfvorm aan een tweede stel van de eerste buslijnen, geven van een derde stuursignaal met een derde golfvorm aan de tweede buslijnen, en detecteren, uit een display, resulterende van het leveren van de stuursignalen, van enige defecten van de display-inrichting onder inspectie.

45 Een andere werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van bovengenoemde inspectie-inrichting heeft het kenmerk, dat deze werkwijze de volgende stappen omvat: aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de tweede inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat, en het aansluiten van de tweede substraat-eenheid van de inrichting op de display-inrichting voor 50 het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat, meten van de weerstand tussen elk van het aantal eerste inspectieaansluitingen met elk van het aantal tweede inspectieaansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van een gemeten weerstand tussen elk van het aantal eerste inspectieaansluitingen met elk van het aantal tweede inspectieaansluitingen niet op 55 een verwachte waarde ligt.

Een verdere werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van bovengenoemde inspectie-inrichting heeft het kenmerk, dat de methode omvat de stappen van: 3 195017 aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de tweede inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrix· substraat, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het 5 actieve matrixsubstraat, kortsluiten van ten minste één van het aantal eerste inspectieaansluitingen met ten minste een tweede van het aantal eerste inspectieaansluitingen, teneinde een eerste groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, kortsluiten van ten minste een derde van het aantal eerste inspectieaansluitingen met ten minste een vierde 10 van het aantal eerste inspectieaansluitingen, teneinde een tweede groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, meten van een weerstand tussen de eerste groep kortgesloten aansluitingen en een tweede groep kortgesloten aansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van de gemeten weerstand tussen de 15 eerste en tweede groepen kortgesloten aansluitingen niet op een verwachte waarde ligt.

Tenslotte voorziet de uitvinding in een werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van bovengenoemde inspectie-inrichting, welke het kenmerk heeft, dat deze werkwijze de stappen omvat van: aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van 20 de tweede ïnspectie-15 lijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat, kortsluiten van ten minste één van het aantal tweede inspectieaansluitingen met ten minste een tweede van 25 het-aantal tweede inspectieaansluitingen, teneinde een eerste groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, kortsluiten van ten minste een derde van het aantal tweede inspectieaansluitingen met ten minste een vierde van het aantal tweede inspectieaansluitingen, teneinde een tweede groep kortgesloten aansluitingen te vormen, 30 meten van een weerstand tussen de eerste groep kortgesloten aansluitingen en de tweede groep kortgesloten aansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van de gemeten weerstand tussen de eerste en tweede groepen kortgesloten aansluitingen niet op een verwachte waarde ligt.

Aldus realiseert de hier beschreven uitvinding het voordeel van het verschaffen van een inspectie-35 inrichting voor een display-inrichting, die op doelmatige wijze inspectie kan verrichten, alsmede een bij de inrichting toegepaste inspectiewerkwijze.

Deze en andere voordelen van de onderhavige uitvinding zullen de deskundigen duidelijk worden bij het lezen en begrijpen van de volgende gedetailleerde beschrijving onder verwijzing naar de bijgaande figuren. 40 Figuur 1 toont schematisch de constructie van een inspectie-inrichting volgens de onderhavige uitvinding. Figuur 2 is een doorsnede die een eerste substraateenheid van de inspectie-inrichting van figuur 1 toont. Figuren 3A en 3B tonen respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een eerste substraat.

Figuren 4A en 4B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een tweede 45 substraat.

Figuren 5A en 5B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een derde substraat.

Figuren 6A en 6B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van een vierde substraat.

50 Figuren 7A en 7B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht, ter illustratie van het positionele verband tussen het eerste substraat, het tweede sub-20 straat, en de display-inrichting gedurende de inspectie.

Figuur 8 toont golfvormen van tijdens de inspectie van de display-inrichting ingevoerde signalen.

Figuur 9 toont een inspectiestelsel dat de inspectie-inrichting volgens de uitvinding bevat.

55 Figuur 10 is een bovenaanzicht van een actieve matrixsubstraat voorzien van een kortsluitingsring.

Allereerst zal de gebruikelijke methode van het inspecteren en controleren van een stuur-LCD met actieve 195017 4 matrix worden toegelicht met verwijzing naar Figuur 10. Figuur toont een als voorbeeld dienend actieve-matrixsubstraat. Het actieve-matrixsubstraat 20. Het actieve-matrixsubstraat 20 bezit een transparant en isolerend basissubstraat vervaardigd van glas of iets dergelijks, een aantal evenwijdige poortbuslijnen 24 op het basissubstraat, en een aantal evenwijdige bronbuslijnen 22, die loodrecht op de poortbuslijnen 24 staan.

5 In elk door twee aangrenzende poortbuslijnen 24 en twee aangrenzende bronbuslijnen 22 omgeven gebied is een pixelelektrode 26 en een schakelelement verschaft. In dit geval wordt als het schakelelement 25 een dunne-film-transistor (TFT) gebruikt, die bestaat uit een element met drie aansluitpunten. Het schakelelement 25 is aangesloten op een poortbuslijn 24, een bronbuslijn 22, en een pixelelektrode 26. Ter aanvulling zijn op het basissubstraat kortsluitringen 29 gevormd teneinde te voorkomen dat de schakel-10 elementen 25 elektrisch vernield worden door statische elektriciteit die tijdens het productieproces kan ontstaan. In figuur 10 zijn de kortsluitringen 29 bijvoorbeeld gevormd voor elk tweede aansluitpunt 23 van aangrenzende poortbuslijnen 24.

Bij het type met actieve matrix wordt een lading vastgehouden door het vloeibaar kristal dat fungeert als een pixelcapacitantie. Aangezien de pixelcapacitantie klein is, kan het gebeuren dat de lading onvoldoende 15 wordt vastgehouden of dat deze gemakkelijk wordt beïnvloed door parasitaire capacitantie. Om dergelijke nadelen te vermijden, is een hulp-capacitantie 27 verschaft, parallel aan de pixelcapacitantie. Het actieve matrixsubstraat in figuur 10 is van het Cs-On-Gate-type, en de hulp-capacitantie 27 is gevormd tussen de pixelelektrode 26 en de poortbuslijn 24. Op een binnenvlak van het tegensubstraat (niet weergegeven) dat tegenover het actieve matrixsubstraat gelegen is, zijn tegenelektroden 28 verschaft, die tegenover 20 respectieve pixelelektroden 26 gelegen zijn.

Bij de in figuur 10 getoonde LCD met het actieve matrixsubstraat 20 is het zo, dat wanneer in-overeenstemming met een op de poortbuslijn 24 aangelegd aftastsignaal het schakelelement 25 op AAN gezet wordt, een elektrische continuïteit tussen de pixelelektrode 26 en de bronbuslijn 22 tot stand gebracht wordt, en een op de bronbuslijn 22 aangelegde signaalspanning wordt aangelegd op de vloeibaar kristallaag 25 tussen de pixelelektrode 26 en de tegenelektrode 28. Op deze wijze worden de optische eigenschappen van het gedeelte van de vloeibaar kristallaag waarop de spanning is aangelegd, veranderd in afhankelijkheid van een weer te geven beeld. Het licht dat door de vloeibaar kristallaag heen gegaan is en zulke gedeeltelijk veranderde optische eigenschappen bezit, wordt door de kijker waargenomen als een beeld.

In de laatste stap van het productieproces van het actieve matrixsubstraat worden de kenmerkende 30 inspectie van het schakelelement 25, en de inspecties zoals de meting van de weerstanden van buslijnen 22 en 24 en de detectie van kortsluitingen en lijnbreuken verricht. Als gevolg van deze inspecties wordt vastgesteld dat de voltooide actieve matrix-substraten goed dan wel defect zijn. De goed gebleken actieve matrix-substraten worden naar het volgende proces gestuurd, dat wil zeggen, een zogenaamd volgend proces. Van de defect gebleken actieve matrix-substraten worden actieve matrix-substraten die kunnen 35 worden hersteld, hersteld met optische energiestraling onder toepassing van een laser of iets dergelijks, en daarna wederom geïnspecteerd. In het daarop volgende proces, wordt het actieve matrixsubstraat 20 bevestigd aan het tegensubstraat waarop de tegenelektroden 28 zijn gevormd. Vloeibaar kristal als een weergavemedium wordt geïnjecteerd tussen de verbonden substraten. Daarna worden de verbonden substraten op een vooraf bepaalde afmeting gesneden, zodat een display-inrichting wordt geproduceerd. Bij 40 deze snijding wordt het gedeelte van het basissubstraat waarop de kortsluitingsringen 29 zijn verschaft, er afgesneden.

Op de aldus samengestelde display-inrichting worden weer verschillende soorten inspecties verricht, omdat het onmogelijk is om op grondige wijze alle gebreken, zoals defecte pixels in de display-inrichting te detecteren onmiddellijk nadat het actieve matrixsubstraat geproduceerd is en voordat het in de display-45 inrichting aangebracht wordt. De weergave-inspectie wordt verricht door de invoer van stuursignalen in de display-inrichting waarop een stuurschakeling is geïnstalleerd, of voorafgaand aan de installering van de stuurschakeling op de display-inrichting. In het laatste geval, waarbij de stuurschakeling niet geïnstalleerd is, worden contactmedia zoals contactstiften of meetkaarten in contact gebracht met de aansluitpunten 23 van de poortbuslijnen 24 en de bronbuslijnen 22. Aldus wordt de aanwezigheid van luminescente punten/lijnen 50 op de display-inrichting gecontroleerd. Een luminescent punt verschijnt door een kortsluiting tussen een poortbuslijn 24 of een bronbuslijn 22 en een afvoerelektrode van een schakelelement (dat wil zeggen, naar een pixelelektrode 26), een kortsluiting tussen een pixelelektrode 26 en een tegenelektrode 28, en dergelijke. Een luminescente lijn verschijnt door een kortsluiting tussen een poortbuslijn 24 en een bronbuslijn 22, een lijnbreuk van een poortbuslijn 24 of een bronbuslijn 22, of een kortsluiting tussen 55 poortbuslijnen 24.

Samen met de hierboven beschreven weergave-inspectie voor de display-inrichting wordt een lijninspectie van de display-inrichting met betrekking tot de elektrische eigenschappen van respectieve lijnen en 5 195017 respectieve aansluitpunten van de display-inrichting verricht. Bij de lijn-inspectie wordt de elektrische weerstand tussen op het actieve matrixsubstraat 20 aangebrachte buslijnen 22 en 24 gemeten, waarbij wordt gecontroleerd op aanwezigheid van een kortsluiting tussen buslijnen en een breuk van buslijnen. Een kortsluiting tussen buslijnen in het midden van de buslijnen en een lijnbreuk van een willekeurige buslijn kan 5 een weergavestoring veroorzaken. Wanneer de kortsluitingsringen 29 niet van het actieve matrixsubstraat 20 worden gesneden, wordt de stuurschakeling op de display-inrichting geïnstalleerd terwijl de aansluitpunten worden kortgesloten. Evenals de kortsluiting tussen buslijnen en de breuk van een buslijn, kan dit ook een weergavestoring veroorzaken.

Bij alle inspecties op weergavestoring, zoals luminescente punten of lijnen, en weergavestoringen 10 veroorzaakt door de kortsluiting tussen buslijn-aansluitpunten op grond van de op het actieve matrixsubstraat achterblijvende kortsluitingsring 29, de kortsluiting tussen buslijnen in het midden van de buslijnen, en de lijnbreuk van elke buslijn, worden contactmedia zoals contactstiften of een flexibele printkaart in contact gebracht met alle invoeraansluitpunten op de respectieve buslijnen van de display-inrichting. De contactstiften worden sequentieel aangesloten op een relais, zodat een te inspecteren gebied wordt 15 gekozen, en het gekozen gebied wordt geïnspecteerd. Wanneer de inspectie voor één te inspecteren gebied is voltooid, wordt een ander gebied voor inspectie gekozen, en wordt dezelfde inspectie verricht.

Hierna zullen een inspectie-inrichting en een inspectiewerkwijze volgens de uitvinding worden beschreven onder verwijzing naar de bijgaande tekening. Figuur 1 toont schematisch de constructie van de inspectie-inrichting volgens de uitvinding. De inspectie-inrichting bevat een substraatinspectiedeel 51 en een 20 randmetingsdeel 52 ervan. Het substraatinspectiedeel 51 bevat een eerste substraateenheid 101 en een tweede substraateenheid 102, die in hoofdzaak dezelfde constructie heeft als die van de eerste substraateenheid 101. Dit voorbeeld beschrijft het geval waarin een display-inrichting met een actieve matrixsubstraat van de in figuur 10 getoonde constructie moet worden geïnspecteerd.

Figuur 2 toont een doorsnede van de eerste substraateenheid 101. Zoals weergegeven in figuur 2, bevat 25 de eerste substraateenheid 101 een eerste substraat 11 en een tweede substraat 12. Op één vlak van het eerste substraat 11 zijn inspectielijnen 3 gevormd in een vooraf bepaald patroon. Op één vlak van net tweede substraat 12 zijn inspectielijnen 4 gevormd in een vooraf bepaald patroon. De substraten 11 en 12 zijn zodanig geplaatst dat zij op zodanige wijze tegenover elkaar liggen dat de vlakken waarop de inspectielijnen 3 en 4 zijn gevormd, tegenover elkaar liggen. Het vlak van het tweede substraat 12 waarop 30 de inspectielijnen 4 zijn gevormd ligt echter niet precies tegenover vlak van het eerste substraat 11. Zoals in figuur 2 is weergegeven, ligt een gedeelte van het tweede substraat 12 niet tegenover het eerste substraat 11. Tussen de substraten 11 en 12 zijn anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b geplaatst. Elk van de anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b bezit een geleidend vermogen in de dikterichting en bezit een isolerend vermogen in een richting evenwijdig aan het vlak van het substraat waarop de inspectielijn is 35 gevormd (hierna aangeduid als vlakrichting). De anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b worden verhit en tussen het eerste substraat 11 en tweede substraat 12 gedrukt om een elektrische verbinding tussen de inspectielijnen 3 en de inspectielijnen 4 te verschaffen. Bovendien wordt op het vlak van het eerste substraat 11 waarop de inspectielijnen 3 zijn gevormd, een isolatiefilm 6 gevormd om de inspectielijnen 3 te bedekken met uitzondering van het gedeelte waar de anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b zijn gevormd. 40 De figuren 3A en 3B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede-aanzicht van het eerste substraat 11. Het eerste substraat 11 bevat een basissubstraat 1, en de inspectielijnen 3 zijn aangebracht op het basissubstraat 1. Als basissubstraat I wordt bijvoorbeeld een glas-epoxyhars-film gebruikt. Op het oppervlak daarvan zijn de van koper of iets dergeiijks vervaardigde inspectielijnen 3 gevormd. In het algemeen zijn verscheidene honderden inspectielijnen 3 gevormd. Ter vereenvoudiging van de beschrijving 45 zijn hierin slechts zestien inspectielijnen 3 gevormd. Om dezelfde reden wordt ook aangenomen dat zestien inspectielijnen 4 zijn gevormd op het tweede substraat 12.

De inspectielijnen 3 zijn verdeeld in vier blokken die zijn aangesloten op respectievelijk inspectieaansluit-punten a, b, c en d. In het bijzonder is op elk van de inspectieaansluitpunten a, b, c en d één lijn aangesloten, en die lijn is vertakt in vier lijnen. Als gevolg zijn op het basissubstraat 1 zestien inspectielijnen gevormd 50 zoals is weergegeven in figuur 3A. De zestien inspectielijnen zijn evenwijdig aan elkaar geplaatst met dezelfde tussenruimte als die van de poortbuslijnen 24 en de bronbuslijnen 22 van de te inspecteren display-inrichting. Hierin corresponderen de zestien inspectielijnen 3 respectievelijk met de eerste tot zestiende poortbuslijn, welke van boven naar beneden zijn weergegeven in figuur 3A. Met andere woorden, de op het inspectieaansluitpunt a aangesloten vier inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de 55 tweede, zesde, tiende, en veertiende poortbuslijn 24. De op het inspectieaansluitpunt b aangesloten inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de eerste, vijfde, negende, en dertiende poortbuslijn 24.

De op het inspectieaansluitpunt c aangesloten inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de derde, 195017 6 zevende, elfde, en vijftiende poortbuslijn 24. De op het inspectieaansluitpunt d aangesloten inspectielijnen corresponderen met respectievelijk de vierde, achtste, twaalfde, en zestiende poortbuslijn 24.

Voor wat betreft de op de inspectielijnen 3 gevormde anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b, zoals weergegeven in figuur 3B, is de anisotropische geleidingsfilm 5a gevormd op de acht inspectielijnen die zijn 5 aangesloten op de inspectieaansluitpunten b en c, en is de anisotropische geleidingsfilm 5b gevormd op de acht inspectielijnen die zijn aangesloten op de inspectieaansluitpunten a en d.

De figuren 4A en-4B zijn respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnedeaanzicht, van het tweede substraat 12. Het tweede substraat 12 bevat een basissubstraat 2 dat is vervaardigd uit bijvoorbeeld een glas-epoxyhars, dezelfde als in het eerste substraat 11. Op één vlak van het basissubstraat 2 zijn de 10 inspectielijnen 4 gevormd in het vooraf bepaalde patroon. Het patroon van de inspectielijnen 4 is hetzelfde als dat van de poortbuslijnen 24 van de te inspecteren display-inrichting. Als materiaal van de inspectielijnen 4 wordt bijvoorbeeld koper gebruikt. In het algemeen worden verscheidene honderden inspectielijnen 4 gevormd op dezelfde wijze als de inspectielijnen 3. Hierin zijn alleen zestien inspectielijnen verschaft om te corresponderen met de eerste tot en met zestiende poortbuslijn 24.

15 Het tweede substraat 12 met de bovenstaande constructie is zo geplaatst dat het tegenover het eerste substraat 11 met de daartussen geplaatste anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b ligt. Op dit moment corresponderen de op de inspectieaansluitpunten a en d op het eerste substraat I aangesloten inspectielijnen 3 met het even aantal inspectielijnen 4 op het tweede substraat 12, en corresponderen de op de inspectieaansluitpunten b en c aangesloten inspectielijnen 3 met het oneven aantal inspectielijnen 4. Zoals 20 hierboven is beschreven, ligt het tweede substraat 12 niet geheel tegenover het eerste substraat 11, maar ligt een gedeelte van het tweede substraat 12 tegenover het eerste substraat 11. Zoals is weergegeven in figuur 2, zijn de posities van het eerste substraat 11 en het tweede substraat 12 ten opzichte van elkaar verschoven, zodat het gedeelte van het eerste substraat 11 waarin de inspectieaansluitpunten a tot en met d zijn verschaft, niet bedekt is met het tweede substraat 12, en gedeelten van de inspectielijnen 4 op het 25 tweede substraat 12 niet bedekt zijn met het-eerste substraat 11 . Dat wil zeggen, de niet-bedekte gedeelten zijn blootgesteld.

Onder verwijzing naar de figuren 5A, 5B, 6A en 6B wordt de constructie van de tweede substraateenheid 102 beschreven. De tweede substraateenheid 102 bevat een derde substraat 13 en een vierde substraat 14. Op één vlak van het derde substraat 14 zijn inspectielijnen 3' gevormd. Op één vlak van het vierde 30 substraat 14 zijn inspectielijnen 4' gevormd. Het derde en vierde substraat 13 en 14 zijn zo geplaatst dat zij op zodanige wijze tegenover elkaar liggen dat de vlakken waarop de inspectielijnen 3' en 4' zijn gevormd tegenover elkaar liggen. Ook zijn het derde substraat 13 en het vierde substraat 14 ten opzichte van elkaar versprongen op dezelfde wijze als bij het eerste en tweede substraat 11 en 12 van de eerste substraateenheid 101. Tussen het derde substraat 13 en het vierde substraat 14 zijn anisotropische geleidingsfilms 35 5a' en 5b' geplaatst. De anisotropische geleidingsfilms 5a' en 5b' worden gebruikt voor het verschaffen van een elektrische verbinding tussen de inspectielijnen 3' en de inspectielijnen 4'. De constructie van de tweede substraateenheid 102 is in hoofdzaak hetzelfde als die van de eerste substraateenheid 101, dus de beschrijving daarvan is achterwege gelaten.

De constructie van het derde substraat 13 is weergegeven in de figuren 5A en 5B. De constructie van 40 het vierde substraat 14 is weergegeven in de figuren 6A en 6B.

Zoals in figuur 5A is weergegeven, op dezelfde wijze als bij het eerste substraat 11, zijn de inspectielijnen 3' op het derde substraat 13 op zodanige wijze verschaft dat vier inspectielijnen zijn aangesloten op elk van de inspectieaansluitpunten a', b', c' en d'. De zestien inspectielijnen zijn evenwijdig aan elkaar gevormd om te corresponderen met de zestien bronbuslijnen 22. Het derde substraat 13 verschilt van het 45 eerste substraat 11 doordat inspectielijnen 8, die corresponderen met gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden van de display-inrichting en inspectieaansluitpunten e waarop de inspectielijnen 8 zijn aangesloten, op het derde substraat 13 zijn aangebracht in aanvulling op de inspectieaansluitpunten waarop de met de buslijnen van de display-inrichting corresponderende inspectielijnen zijn aangesloten.

Op het vierde substraat 14, op dezelfde wijze als bij het tweede substraat 12, zijn de inspectielijnen 4' 50 evenwijdig aan elkaar gevormd met dezelfde tussenafstand als de bronbuslijnen 22 om te corresponderen met de bronbuslijnen 22. Het vierde substraat 14 verschilt van het tweede substraat 12, doordat inspectielijnen 8', die corresponderen met de gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden, op het vierde substraat 14 zijn gevormd in aanvulling op de inspectielijnen 4' die corresponderen met de bronbuslijnen van de display-inrichting. Op dezelfde wijze als bij het eerste substraat 11 en het tweede substraat 55 12, zijn het derde substraat 13 en het vierde substraat ten opzichte van elkaar verschoven. Bijgevolg blijven de inspectieaansluitpunten a' tot d' en e op het derde substraat blootgesteld zonder dat zij bedekt zijn door het vierde substraat 14. Ook blijven gedeelten van de inspectielijnen 4' en 8' op het vierde substraat 7 195017 blootgesteld zonder dat zij bedekt zijn door het derde substraat 13.

Nu zal het verband tussen de eerste substraateenheid 101, de tweede substraateenheid 102, en het actieve matrixsubstraat van de display-inrichting worden beschreven. Bij de inspectie, zoals is weergegeven in figuur 7A, worden de blootgestelde gedeelten van de inspectielijnen 4 op het tweede substraat 12 van de 5 eerste substraateenheid 101 in contact gebracht met de poortbuslijnaansluitpunten 23 op het actieve matrixsubstraat 20. Als gevolg daarvan worden de inspectieaansluitpunten a tot en met d van de eerste substraateenheid 101 op de poortbuslijnaansluitpunten 23 aangesloten via de inspectielijnen 3 op het eerste substraat 1 en via de inspectielijnen 4 die elektrisch verbonden zijn met de inspectielijnen 3 via de anisotropische geleidingsfilms 5a en 5b. Hoewel dit niet is weergegeven in de figuren, worden ook bij de 10 tweede substraateenheid 102 tijdens inspectie de blootgestelde gedeelten van de inspectielijnen 4' op het vierde substraat 14 in contact gebracht met de bronbuslijnaansluitpunten 21, en worden de inspectielijnen 8' in contact gebracht met de gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden. Als gevolg daarvan worden de inspectieaansluitpunten a' tot en met d' van de tweede substraateenheid 102 elektrisch verbonden met de bronbuslijnaansluitpunten 21 via de inspectielijnen 3', de anisotropische geleidingsfilms 15 5a' en 5b', en de inspectielijnen 4'. De inspectieaansluitpunten e zijn aangesloten op de gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden. De weergave-inspectie en de weerstandsmeting worden verricht in de toestand waarin de eerste en tweede substraateenheden 101 en 102 zijn aangesloten op de te inspecteren display-inrichting.

Tijdens de weergave-inspectie wordt een in het inspectieaansluitpunt a ingevoerd stuursignaal naar de 20 tweede, zesde, tiende en veertiende inspectiefijn 4 verzonden via de als (2), (6), (10) en (14) genummerde inspectielijnen 3, en via de anisotropische geleidingsfilm 5b. Daarna word het stuursignaal aangelegd op de tweede, zesde, tiende en veertiende poortbuslijnaansluiting 23, die in direct contact zijn met deze inspectielijnen 4. Ook worden in de inspectieaansluitpunten b, c en d ingevoerde stuursignalen op de poortbuslijn-aansluitingen 23 aangelegd via de corresponderende inspectielijnen 4.

25 Ook worden op de inspectieaansluitpunten a' tot en met cf ene van de tweede substraateenheid 102 aangelegde signalen respectievelijk op de corresponderende bronbuslijnaansluitpunten 21 en de gemeenschappelijke aansluitpunten van de tegenelektroden aangelegd via de inspectielijnen 4' en 8.

Vervolgens wordt het metingsdeel 52 van de inspectie-inrichting volgens de onderhavige uitvinding beschreven. Zoals weergegeven in figuur 1, bevat het metingsdeel 52 een stuursignaalinvoerschakeling 45 30 om een stuursignaal voor de weergave-inspectie te leveren aan de substraateenheden 101 en 102, een weerstandsmetingsinrichting 47 voor het meten van de weerstanden tussen respectieve aansluitpunten en voor het detecteren van kortsluitingen tussen buslijnen of dergelijke, en een besturingscomputer 46 voor het besturen van een schakelaar 48 die selectief de stuursignaalinvoerschakeling dan wel de weerstandsmetingsinrichting 47 aansluit op het substraat-inspectiedeel 51. Twee aansluitpunten van de schakelaar 48 35 zijn aangesloten op respectievelijk de stuursignaalinvoerschakeling 45 en de weerstandsmetingsinrichting 47. Het andere aansluitpunt van de schakelaar 48 is verbonden met de besturingscomputer 46. Met het aansluitpunt waarmee de besturingscomputer 46 is verbonden, is ook een lijn 49 van het substraat-inspectiedeel 51 verbonden. De lijn 49 is vertakt in twee lijnen. Een van de twee lijnen is verbonden met de inspectieaansluitpunten a tot d van de substraateenheid 101, en de andere is verbonden met de inspectie-40 aansluitpunten a' tot d' en e van de substraateenheid 102.

De weergave-inspectie en de lijninspectie die onder gebruikmaking van de hierboven beschreven inspectie-inrichting worden verricht, worden hieronder specifiek beschreven.

(1) Weergave-inspectie: 45 Bij de weergave-inspectie wordt een koude kathodebuis geplaatst op de achterzijde van het actieve matrixsubstraat van de te inspecteren display-inrichting, dat wil zeggen, op de zijde van het actieve matrixsubstraat dat niet tegenover het tegensubstraat ligt. Ook worden polarisatieplaten geplaatst om de inrichting in te klemmen. Op dat moment is één van de zich op de zijde van het actieve matrixsubstraat bevindende polarisatieplaten geplaatst tussen de koude kathodebuis en het actieve matrixsubstraat. In deze 50 toestand, wanneer stuursignalen vanaf de stuursignaalinvoerschakeling 45 op de display-inrichting worden aangelegd via de inspectieaansluitpunten a, b, c, en d op het eerste substraat 11, en de inspectieaansluitpunten a', b', c', d' en e op het het derde substraat 14, komt de display-inrichting in een weergavetoestand. De stuursignalen worden aangelegd op alle poortbuslijnaansluitpunten, bronbuslijnaansluitpunten, en gemeenschappelijke tegenelektrode-aansluit-punten van de display-inrichting voor het realiseren van een 55 afbeelding die gelijk is aan de werkelijke afbeelding. Hierin wordt het geval van de in figuur 10 weergegeven display-inrichting met actieve matrix van het Cs-On-Gate-type beschreven, zodat de aangrenzende aansluitpunten 23 van de poortbuslijnen 24 worden voorzien van signalen met verschillende synchronisatie.

195017 8

Ter vereenvoudiging van de opbouw van de stuursignaalinvoerschakeling 45 worden signalen met dezelfde golfvorm vanuit de stuursignaalinvoerschakeling 45 geleverd aan de respectieve aansluitpunten. Figuur 8 toont als voorbeeld dienende stuursignalen. Op de inspectieaansluitpunten b en c van de eerste substraateenheid 101 wordt het in figuur 8 getoonde stuursignaal 31 met een golfvorm (a) aangelegd. Het 5 stuursignaal 31 wordt op de aansluitpunten 23 van de oneven genummerde poortbuslijnen 24 van de te inspecteren display-inrichting aangelegd vanaf de respectieve inspectieaansluitpunten via de anisotropische geleidingsfilm 5a en de inspectielijnen 4. Als gevolg daarvan worden de poortbuslijnen 24 in de AAN-stand gesteld. Onmiddellijk nadat de oneven genummerde poortbuslijnen 24 door middel van het stuursignaal 31 in de UIT-toestand gesteld zijn, wordt een in figuur 8 weergegeven stuursignaal 32 met een golfvorm (b) op 10 de aansluitpunten 23 van de even genummerde poortbuslijnen 24 aangelegd via de inspectieaansluitpunten a en d van de eerste substraateenheid 101. Als gevolg daarvan worden in afwisseling met de oneven genummerde poortbuslijnen de even genummerde poortbuslijnen in de AAN-toestand gesteld. Een in figuur 8 weergegeven stuursignaal 32 met een golfvorm (c) wordt op alle bronbuslijnen 22 aangelegd via de inspectieaansluitpunten a', b', c', en d' van de tweede substraateenheid 102. Zoals in de figuur te zien is, 15 wordt gedurende de tijd waarin alle poortbuslijnen 24 op AAN en daarna UIT worden geschakeld, een positieve gelijkstroomspanningssignaal 33 van vast niveau aangelegd op alle bronbuslijnen 22. Tijdens de weergave-inspectie wordt een in (d) van figuur 8 weergegeven gelijkstroomspanningssignaal 34 van een vast niveau aangelegd op de inspectieaansluitpunten e van de tweede substraateenheid 102. Het signaal 34 wordt op de tegenelektroden 28 aangelegd via de gemeenschappelijke tegenelektrode-aansluitpunten 30.

20 Zoals boven beschreven, wanneer de stuursignalen 31 tot 34 welke dienen om de te inspecteren display-inrichting in de weergavetoestand te zetten, vanuit de stuursignaalinvoerschakeling 45 worden aangelegd via de respectieve aansluitpunten, luminescentiepunten en/of -lijnen op de display-inrichting verschijnen als er storingen aanwezig zijn zoals een breuk van een buslijn of een kortsluiting tussen elektroden van een schakelelement. De luminescentiepunten en/of -lijnen worden waargenomen met het 25 oog of gedetecteerd door een afbeeldingsinrichting of iets dergelijks. Daarna worden de gedeelten die de storingen bevatten gerepareerd.

(2) Lijn-inspectie:

Ten eerste wordt de schakelaar 46 elektrisch geschakeld door de besturingscomputer 46, zodat de 30 weerstandmetingsinrichting 47 wordt aangesloten op het substraatinspectiedeel 51. Hierna wordt als een voorbeeld van de lijninspectie het geval beschreven waarin de poortbuslijnen 24 moeten worden geïnspecteerd.

Bij de lijninspectie moeten de poortbuslijnen 24 worden geïnspecteerd op kortsluitingen tussen een poortbuslijn 24 en een bronbuslijn 22, kortsluitingen tussen de poortbuslijnen 24, en kortsluitingen tussen 35 een poortbuslijn 24 en een tegenelektrode 28. De respectieve inspectiewerkwijzen worden hieronder beschreven.

Bij de inspectie op een kortsluiting tussen een poortbuslijn 24 en een bronbuslijn 22, worden de respectieve weerstanden tussen de inspectieaansluitpunten a, b, c, en d van de eerste substraateenheid 101 en de inspectieaansluitpunten a', b', c', en d' van de tweede substraateenheid 102 gemeten. De voor 40 het meten van de weerstand gebruikte meetschakeling is opgenomen in de weerstandmetingsinrichting 47, en men kan een bekende meetschakeling gebruiken. De meet-schakeling is niet het hoofddoel van deze uitvinding, zodat de beschrijving ervan achterwege gelaten wordt.

Hierna zal een inspectiewerkwijze voor kortsluitingen tussen een poortbuslijn 24 en een bronbuslijn 22 worden beschreven, aan de hand van een als voorbeeld dienend geval waarbij weerstanden tussen de 45 respectieve paren inspectieaansluitpunten van de eerste substraateenheid 101 en de inspectieaansluitpunten van de tweede substraateenheid 102 worden gemeten. Aangenomen wordt, dat de weerstand tussen het inspectieaansluitpunt a en het inspectieaansluitpunt a' van de tweede substraateenheid 102 aangesloten op de aansluitpunten 21 van de bronbuslijnen 22 wordt gemeten. Wanneer de weerstands-waarde lager is dan een gebruikelijke waarde, geeft de lagere waarde aan dat één van de tweede, zesde, 50 tiende en veertiende poortbuslijnen 24 die met de op het inspectieaansluitpunt a aangesloten inspectielijnen (2), (6), (10) en (14) corresponderen, is kortgesloten met één van de tweede, zesde, tiende, en veertiende bronbuslijnen 22 die met de op het inspectieaansluitpunt a' aangesloten inspectielijnen corresponderen. In zo’n geval wordt vastgesteld dat de geïnspecteerde display-inrichting defect is, en wordt de inspectie beëindigd. Wanneer de weerstandswaarde tussen het inspectieaansluitpunt a en het inspectieaansluitpunt a' 55 de gebruikelijke waarde is, wordt de weerstand tussen het inspectieaansluitpunt a en het inspectieaansluitpunt b' gemeten. Op deze wijze worden de weerstanden tussen het inspectieaansluitpunt a en elk van de op de aansluitpunten 21 van de bronbuslijnen 22 aangesloten inspectieaansluitpunten a', b', c', en d' 9 195017 gemeten, zodat het optreden van kortsluitingen tussen de tweede, zesde, tiende, en veertiende poort-buslijnen 24 en alle bronbuslijnen 22 kan worden gedetecteerd.

De inspectie met betrekking tot de vier poortbuslijnen 24 die corresponderen met de op het inspectie* aansluitpunt a aangesloten inspectielijnen is beëindigd, de weerstanden tussen het inspectieaansluitpunt b 5 en elk van de inspectieaansluitpunten a', b', c', en d' worden sequentieel gemeten. Daarna worden op dezelfde wijze de weerstanden tussen elk van de inspectieaansluitpunten c en d en elk van de inspectieaansluitpunten a', b';-c' en d' gemeten. -Nadat-op de boven beschreven wijze is geïnspecteerd op aanwezigheid van kortsluitingen tussen de eerste tot zestiende poortbuslijnen 24 en de bronbuslijnen 22, wordt de inspectie van de volgende zestien poortbuslijnen 24 verricht met behulp van dezelfde werkwijze. Zoals 10 boven beschreven, is het bij de inspectie-inrichting volgens deze uitvinding niet nodig om het contact-medium zoals een meetsonde één voor één in contact te brengen met de poortbuslijn 24, zoals bij de conventionele inspectie-inrichting. Bijgevolg wordt de doelmatigheid van het inspecteren in vergelijking tot de conventionele inspectie-inrichting wezenlijk verbeterd. De metingen van de weerstand tussen respectieve paren inspectieaansluitpunten a, b, c, en d en de inspectieaansluitpunten a', b', c', d', en e hoeven niet 15 noodzakelijk te worden verricht voor elk inspectieaansluitpunt van de eerste substraateenheid 101. De metingen worden bijvoorbeeld voor alle inspectieaansluitpunten gelijktijdig verricht. In zo’n geval kan de doelmatigheid van de inspectie verder verhoogd worden.

Bij de inspectie op kortsluitingen tussen de poortbuslijnen 24 worden de weerstanden tussen de aangrenzende poortbuslijnen 24 gemeten. Eerst worden de inspectieaansluitpunten a en b op het eerste 20 substraat 11 kortgesloten. Op hetzelfde moment worden de inspectieaansluitpunten c en d kortgesloten. In deze toestand wordt de weerstand tussen het kortgesloten stel aansluitpunten a en b en het kortgesloten stel aansluitpunten c en d gemeten. De meting correspondeert met een enkele metingsstap waarbij de weerstand tussen de aansluitpunten a en d en de weerstand tussen de aansluitpunten b en c tegelijkertijd gemeten worden. In afhankelijkheid van de gemeten weerstandswaarden, dat wil zeggen, afhankelijk van de 25 resultaten met betrekking tot het feit of de gemeten weerstandswaarden al dan niet gebruikelijke waarden zijn, is het mogelijk om eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt a aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt d aangesloten buslijn, en eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt b aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt c aangesloten buslijn te detecteren.

Daarna wordt in de toestand waarin de inspectieaansluitpunten a end zijn kortgesloten en de inspectie-30 aansluitpunten b en c zijn kortgesloten, de weerstand tussen het kortgesloten stel aansluitpunten a en d en het kortgesloten stel aansluitpunten b en c gemeten. Als gevolg daarvan is het mogelijk om kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt a aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt b aangesloten buslijn te detecteren, en eventuele kortsluitingen tussen een op het aansluitpunt c aangesloten buslijn en een op het aansluitpunt d aangesloten buslijn te detecteren. Op deze wijze kunnen de kortsluitingen tussen de 35 poortbuslijnen 24 efficiënt worden gerealiseerd voor een vooraf bepaald aantal poortbuslijnen 24 die kunnen worden aangesloten op de inspectieaansluitpunten van de eerste substraateenheid 101, bijvoorbeeld in dit voorbeeld voor zestien poortbuslijnen 24. Bij deze meting worden, wanneer de gemeten weerstandswaarden gebruikelijke waarden zijn, de weerstanden voor de volgende zestien poortbuslijnen 24 gemeten. Wanneer de gemeten weerstandswaarden geen gebruikelijke waarden zijn, wordt vastgesteld dat de geïnspecteerde 40 display-inrichting defect is.

Bij de inspectie op een kortsluiting tussen een poortbuslijn 24 en een tegenelektrode 28 worden de weerstanden tussen elk van de inspectieaansluitpunten a, b, c, en d van de eerste substraateenheid 101 en het inspectieaansluitpunt e van de tweede substraateenheid 102 gemeten. De inspectieaansluitpunten e worden op de gemeenschappelijke elektrode-aansluitpunten 30 van de te inspecteren display-inrichting 45 aangesloten via de inspectielijnen 8, de anisotropische geleidingsfilms 5a' en 5b', en de inspectielijnen 8'. Bijgevolg is het door het meten van de weerstand tussen de inspectieaansluitpunten a en e mogelijk om de inspectie op de kortsluitingen tussen de tweede, zesde, tiende, en veertiende poortbuslijnen 24 en de tegenelektroden 28 te verrichten. Op dezelfde wijze worden de weerstanden tussen elk van de inspectie-aansluitingen b, c, en d, en het tegenelektrode-inspectieaansluitpunt e gemeten. Nadat de inspectie op 50 kortsluitingen tussen de eerste tot zestiende poortbuslijnen 24 en de tegenelektroden 28 gereed is, worden de volgende zestien poortbuslijnen 24 geïnspecteerd met behulp van dezelfde werkwijze.

Nadat de inspectie van de poortbuslijnen 24 gereed is, wordt de inspectie van de bronbuslijnen 22 verricht op dezelfde wijze als hierboven is beschreven.

Zoals boven is beschreven, is het volgens de inspectie-inrichting van de uitvinding mogelijk om de 55 weergave-inspectie en de lijninspectie te verrichten door middel van dezelfde inspectie-inrichting.

Vervolgens wordt onder verwijzing naar figuur 9 de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding beschreven. Figuur 9 toont een inspectiestelsel dat de boven beschreven inspectie-inrichting bevat. Het inspectiestelsel 195017 10 bevat een inspectie-inrichting met een stuursignaalinvoerschakeling 45, een weerstandmetingsinrichting 47, en een besturingscomputer 46. Het inspectiestelsel bevat verder werkstuk-transportmechanismen 41 en 41' om een display-inrichting naar en van de inspectie-inrichting te transporteren, een platform 42, en werkstuk-cassettes 48 en 48'. Een inspectiesubstraatdeel 51 van de inspectie-inrichting wordt gefixeerd boven het 5 platform 42. Onder gebruikmaking van het inspectiestelsel wordt hieronder de inspectie van een display-inrichting beschreven.

Display-inrichtingen die de processen voorafgaand aan het inspectieproces hebben doorlopen, worden opgestapeld in de werkstukcassette 48. Een display-inrichting wordt vanuit de werkstukcassette 48 getransporteerd door het werkstuk-transportmechanisme 41, en op het platform 42 geplaatst. Zoals boven 10 beschreven, wordt het inspectiesubstraatdeel 51 gefixeerd boven het platform 42. De positie van de display-inrichting op het platform 42 wordt met de posities van de substraateenheden 101 en 102 versteld zodat de buslijnen 24 en 22 worden gealigneerd met respectievelijk de inspectielijnen 4 en 4'. In het bijzonder worden de eerste substraateenheid 101, de tweede substraateenheid 102, en het actieve matrixsubstraat met elkaar verbonden als hierboven beschreven onder verwijzing naar figuur 7A. Als gevolg 15 daarvan zijn de respectieve inspectielijnen 4 op het tweede substraat 12 van de eerste substraateenheid 102 in direct contact met de corresponderende aansluitpunten 23 van de poortbuslijnen 24. De respectieve inspectielijnen 4' op het vierde substraat 14 van de tweede substraateenheid 102 zijn in direct contact met de corresponderende terminals 21 van de bronbuslijnen 22, en de inspectielijnen 8' zijn in direct contact met de gemeenschappelijke tegenelektrode-25 aansluitpunten 30.

20 Nadat de respectieve aansluitpunten van de display-inrichting zijn aangesloten op de respectieve inspectieaansluitpunten van het inspectiesubstraatdeel 51, worden stuursignalen op de display-inrichting aangelegd via de respectieve inspectieaansluitpunten, terwijl het inspectiesubstraatdeel 51 en de stuur-signaalinvoerschakefing 45 met elkaar worden verbonden. Aldus wordt de weergave-inspectie verricht. Na de weergave-inspectie wordt het inspectiesubstraatdeel 51 op de weerstandmetingsinrichting aangesloten 25 onder besturing van de besturingscomputer 46, en wordt de lijninspectie verricht in overeenstemming met de boven beschreven werkwijze. Wanneer de lijninspectie is voltooid, wordt de display-inrichting vanaf het platform 42 door het werkstuk-transportmechanisme 41' getransporteerd naar de werkstukcassette 48'.

Zoals boven vermeld, kunnen volgens de inspectie-inrichting en de inspectiewerkwijze van de uitvinding vergeleken met het conventionele voorbeeld de weergave-inspectie en de lijninspectie eenvoudig en 30 doelmatig worden verricht. Bovendien kunnen de weergave-inspectie en de lijninspectie worden verricht door toepassing van slechts één inspectie-inrichting. Aangezien gebruik gemaakt wordt van een computer, is het bovendien gemakkelijk mogelijk om onder besturing van de computer selectief één van een signaal-leveringsschakeling voor de weergave-inspectie en een weerstandmetingsinrichting voor de lijninspectie aan te sluiten op de display-inrichting. Zo wordt de doelmatigheid van de inspectie wezenlijk verbeterd.

35 In het boven beschreven voorbeeld is de eerste substraateenheid 101 aangesloten op poortbuslijnen 24 van de display-inrichting, en is de tweede substraateenheid 102 aangesloten op poortbuslijnen 22. Het is duidelijk dat dezelfde effecten kunnen worden bereikt, zelfs wanneer de substraateenheden 101 en 102 in een omgekeerd verband met elkaar zijn verbonden. Ook is het duidelijk dat het patroon van de inspectielijnen 3 op het eerste substraat 11 van de eerste substraateenheid 101 en het patroon van de inspectie-40 lijnen 3' op het derde substraat 13 van de tweede substraateenheid 102 niet beperkt zijn tot de boven beschreven specifieke voorbeelden.

De inspectie-inrichting en de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding kunnen worden toegepast op een eenvoudige display-inrichting van het matrix-type en een display-inrichting met actieve matrix waarin een MIM (metaal-isolator-metaal)-element gebruikt wordt, in plaats van de boven beschreven display-inrichting 45 met actieve matrix waarin een TFT gebruikt wordt. Bovendien kunnen de inspectie-inrichting en de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding worden toegepast op een actieve matrixsubstraat.

Zoals boven beschreven, zijn volgens de uitvinding een stel meervoudige aansluitpunten van buslijnen van de display-inrichting aangesloten op de inspectieaansluitpunten van de inspectie-inrichting. Derhalve is het niet nodig om contactmedia zoals contactstiften één voor één met respectieve aansluitpunten in contact 50 te brengen, als in het conventionele voorbeeld. Bij een dergelijke constructie kunnen buslijnen per stel op kortsluitingen daartussen worden geïnspecteerd bij de lijninspectie, door de combinatie van de inspectieaansluitpunten voor meting van de weerstanden te veranderen. Als gevolg daarvan kan de lijninspectie gemakkelijk uitgevoerd worden. Bovendien kan de besturing om selectief één van de stuursignaalinvoerschakeling voor de weergave-inspectie en de weerstandmetingsinrichting voor de lijninspectie aan te sluiten 55 op de inspectie-aansluitpunten elektrisch verschaft worden onder gebruikmaking van een besturingscomputer of iets dergelijks. Op deze wijze kan het overschakelen van de weergave-inspectie naar de lijninspectie worden gerealiseerd. Bijgevolg kunnen de weergave-inspectie en de lijninspectie successievelijk

Claims (18)

1. Inrichting voor het inspecteren van een display-inrichting die een actieve matrixsubstraat bevat, een 15 tegensubstraat, en een tussen het actieve matrixsubstraat en het tegensubstraat geplaatst weergave- medium, waarbij op het actieve matrixsubstraat een aantal eerste buslijnen en een aantal tweede buslijnen gevormd is, met het kenmerk, dat de inrichting bestaat uit: een eerste substraateenheid die een aantal eerste inspectieaansluitpunten bezit, een aantal eerste inspectielijnen, een aantal tweede inspectielijnen, en een eerste ondersteuningsorgaan voor het 20 ondersteunen van de inspectieaansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de eerste inspectielijnen is aangesloten op een van de eerste inspectieaansluitpunten, waarbij de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het eerste ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de eerste inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de tweede inspectielijnen selectief door middel van het eerste ondersteuningsorgaan selectief is aangesloten op één van de eerste 25 inspectielijnen, waarbij, wanneer de tweede inspectielijnen in direct contact met de-eerste buslijnen worden gebracht, elk van de eerste buslijnen is aangesloten op één van de eerste inspectieaansluitpunten; een tweede substraateenheid die een aantal tweede inspectieaansluitpunten bevat, een aantal derde inspectielijnen, een aantal vierde inspectielijnen, en een tweede ondersteuningsorgaan voor het 30 ondersteunen van de inspectieaansluitpunten en -lijnen, waarbij elk van de derde inspectielijnen is aangesloten op één van de tweede inspectieaansluitpunten, waarbij de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op een vlak van het tweede ondersteuningsorgaan dat verschilt van een vlak daarvan waarop de derde inspectielijnen zijn aangebracht, waarbij elk van de vierde inspectielijnen door een tweede verbindingsorgaan selectief verbonden is met één van de derde inspectielijnen, waarbij, wanneer 35 de vierde inspectielijnen in direct contact gebracht worden met de tweede buslijnen, elk van de tweede buslijnen is aangesloten op één van de tweede inspectieaansluitpunten; een stuursignaalinvoerorgaan om stuursignalen voor het uitvoeren van een weergave-inspectie van de display-inrichting te leveren aan de eerste inspectieaansluitpunten en de tweede inspectieaansluitpunten; een weerstandsmeetorgaan voor het meten van weerstanden van de eerste buslijnen en de tweede 40 buslijnen van de display-inrichting; en een orgaan om een van het stuursignaalinvoerorgaan of het weerstandsmeetorgaan aan te sluiten op de eerste substraateenheid en de tweede substraateenheid.

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het eerste ondersteuningsorgaan bestaat uit een eerste substraat en een tweede substraat, waarbij de eerste inspectieaansluitpunten en de eerste inspectie- 45 lijnen zijn aangebracht op het eerste substraat, de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op het tweede substraat, waarbij het eerste substraat en het tweede substraat zo zijn aangebracht dat de eerste inspectielijnen tegenover de tweede inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het eerste verbindingsorgaan is gevormd tussen het eerste substraat en het tweede substraat.

3. Inrichting volgens conclusie, met het kenmerk, dat het tweede ondersteuningsorgaan bestaat uit een 50 derde substraat en een vierde substraat, waarbij de tweede inspectieaansluitpunten en de derde inspectielijnen zijn aangebracht op het derde substraat, en de vierde inspectielijnen zijn aangebracht op het vierde substraat, waarbij het derde substraat en het vierde substraat zo zijn geplaatst dat de derde inspectielijnen tegenover de vierde inspectielijnen liggen, en een geleidingsfilm als het tweede verbindingsorgaan is gevormd tussen het derde substraat en het vierde substraat.

4. Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het aantal eerste inspectieaansluitpunten vooraf bepaald is, de eerste inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het vooraf bepaalde aantal eerste inspectieaansluitpunten, en een groep van de eerste inspectielijnen is 195017 12 aangesloten op één eerste inspectieaansluitpunt dat verschilt van een eerste inspectieaansluitpunt waarop een andere groep van de eerste inspectielijnen is aangesloten.

5. Inrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat het aantal tweede inspectieaansluitpunten vooraf bepaald is, de derde inspectielijnen zijn verdeeld in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is aan het 5 vooraf bepaalde aantal tweede inspectieaansluitpunten, en een groep van derde inspectielijnen is aangesloten op één tweede inspectieaansluitpunt dat verschilt van een tweede inspectieaansluitpunt waarop een andere groep van derde inspectielijnen is aangesloten.

5 Verder wordt nadat de display-inrichting samengesteld en op een vooraf bepaalde afmeting gesneden is, met behulp van de inspectie-inrichting of de inspectiewerkwijze volgens de uitvinding bij de display-inrichting gecontroleerd of de kortsluitingsring al dan niet correct afgesneden kan worden. Daardoor is het mogelijk om te voorkomen dat defecte display-inrichtingen, waarbij de kortsluitingsring niet correct afgesneden is, naar de volgende bewerking gestuurd worden. 10

6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de tweede inspectielijnen en de vierde inspectielijnen zijn gevormd op dezelfde onderlinge afstanden als die van respectievelijk de eerste buslijnen en de 10 tweede buslijnen.

7. Inrichting voor het inspecteren van een display-inrichting die een actieve matrixsubstraat bevat, een tegensubstraat, en een tussen het actieve matrixsubstraat en het tegensubstraat geplaatst weergave-medium, waarbij op het actieve matrixsubstraat een aantal eerste buslijnen en een aantal tweede buslijnen gevormd is, met het kenmerk, dat de inrichting bestaat uit: 15 ten minste-één.substraateenheid, die een aantal inspectie aansluitpunten bezit, een aantal eerste inspectielijnen, een aantal tweede inspectielijnen, en eerste en tweede substraten, waarbij elk van de eerste inspectielijnen verbonden is met één van de inspectie aansluitingen, de eerste inspectielijnen zijn aangebracht op het eerste substraat, de tweede inspectielijnen zijn aangebracht op het tweede substraat, elk van de tweede inspectielijnen selectief verbonden is met één van de eerste inspectielijnen via een 20 geleidende film, waarbij, wanneer de tweede inspectielijnen in direct contact gebracht worden met de eerste buslijnen, elk van de buslijnen verbonden is met één van de inspectieaansluitingen; een stuursignaalinvoerorgaan om stuursignalen voor het uitvoeren van een weergave-inspectie van de display-inrichting te leveren aan de inspectieaansluitpunten; een weerstandsmeetorgaan voor het meten van weerstanden van de buslijnen van de display-inrichting; 25 en - een orgaan om één van het stuursignaalinvoerorgaan of het weerstandsmeetorgaan aan te sluiten op de substraateenheid.

8. Inrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de ten minste ene substraateenheid twee substraat-eenheden omvat.

9. Inrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat het aantal van de tweede inspectielijnen gelijk is aan het aantal van de eerste inspectielijnen, en de tweede inspectielijnen zijn gerangschikt op een onderlinge afstand gelijk aan de onderlinge afstand van de eerste inspectielijnen.

10. Inrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat het aantal van de eerste inspectieaansluitpunten voorvastgesteld is, de eerste inspectielijnen verdeeld zijn in groepen, waarbij het aantal groepen gelijk is 35 aan het voorvastgestelde aantal van de inspectieaansluitpunten, en elke groep van de eerste inspectielijnen verbonden is met één inspectieaansluitpunt, dat verschillend is van een inspectieaansluitpunt, waaraan enige andere groep van de eerste inspectielijnen is verbonden.

11. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de inspectie-inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de werkwijze de volgende stappen omvat: 40 aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting om de tweede inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat te aligneren, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting om de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat te aligneren, 45 geven van een eerste stuursignaal met een eerste golfvorm aan een eerste stel van de eerste buslijnen, geven van een tweede stuursignaal met een tweede golfvorm aan een tweede stel van de eerste buslijnen, geven van een derde stuursignaal met een derde golfvorm aan de tweede buslijnen, en detecteren, uit een display, resulterende van het leveren van de stuursignalen, van enige defecten van 50 de display-inrichting onder inspectie.

11 195017 worden uitgevoerd met één inspectie-inrichting. Daardoor wordt de doelmatigheid van het inspectieproces met inbegrip van de weergave-inspectie en de lijninspectie als geheel opmerkelijk verbeterd. Aangezien de constructie van de inspectie-inrichting eenvoudig is, kunnen verder ook de productiekosten van de inspectie-inrichting worden gereduceerd.

12. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat de werkwijze verder de stap omvat van het schakelen van een modus van de inspectie-inrichting op een modus voor het meten van weerstanden tussen de eerste buslijnen en de tweede buslijnen.

13. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de inspectie- 55 inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat deze werkwijze de volgende stappen omvat: 13 195017 aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de tweede inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat, en het aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede 5 buslijnen van het actieve matrixsubstraat, meten van de weerstand tussen elk van het aantal eerste inspectieaansluitingen met elk van het aantal tweede inspectieaansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van een gemeten weerstand tussen elk van het aantal eerste inspectieaansluitingen met elk van het aantal tweede inspectieaansluitingen niet op een verwachte waarde ligt.

14. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat de werkwijze verder de stap omvat van het schakelen van een modus van de inspectie-inrichting op een modus voor het controleren van de display-inrichting voor wat betreft een displaytoestand daarvan.

15. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de inspectie-inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de methode omvat de stappen van: 15 aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de tweede inspectielijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat, 20 kortsluiten van ten minste één van het aantal eerste inspectieaansluitingen met ten minste een tweede van het aantal eerste inspectieaansluitingen, teneinde een eerste groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, kortsluiten van ten minste een derde van het aantal eerste inspectieaansluitingen met ten minste een vierde van het aantal eerste inspectieaansluitingen, teneinde een tweede groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, 25 meten van een weerstand tussen de eerste groep kortgesloten-aansluitingen en-een tweede groep kortgesloten aansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van de gemeten weerstand tussen de eerste en tweede groepen kortgesloten aansluitingen niet op een verwachte waarde ligt.

16. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting volgens conclusie 15, welke werkwijze verder 30 de stap omvat van schakelen van een modus van de inspectie-inrichting op een modus voor het controleren van de display-inrichting voor wat betreft een displaytoestand daarvan.

17. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting onder gebruikmaking van de inspectie-inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de werkwijze de stappen omvat van: aansluiten van de eerste substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren 35 van de tweede inspectie lijnen van de eerste substraateenheid en de eerste buslijnen van het actieve matrixsubstraat, en aansluiten van de tweede substraateenheid van de inrichting op de display-inrichting voor het aligneren van de vierde inspectielijnen van de tweede substraateenheid en de tweede buslijnen van het actieve matrixsubstraat, kortsluiten van ten minste één van het aantal tweede inspectieaansluitingen met ten minste een tweede 40 van het aantal tweede inspectieaansluitingen, teneinde een eerste groep van kortgesloten aansluitingen te vormen, kortsluiten van ten minste een derde van het aantal tweede inspectieaansluitingen met ten minste een vierde van het aantal tweede inspectieaansluitingen, teneinde een tweede groep kortgesloten aansluitingen te vormen, 45 meten van een weerstand tussen de eerste groep kortgesloten aansluitingen en de tweede groep kortgesloten aansluitingen, en bepalen van de aanwezigheid van een defect, wanneer een waarde van de gemeten weerstand tussen de eerste en tweede groepen kortgesloten aansluitingen niet op een verwachte waarde ligt.

18. Werkwijze voor het inspecteren van een display-inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat 50 de werkwijze verder de stap omvat van het schakelen van een modus van de inspectie-inrichting op een modus voor het controleren van de display-inrichting voor wat betreft een displaytoestand daarvan. Hierbij 10 bladen tekening