JP3446729B2 - 液晶画像表示装置とその検査方法及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は画像表示機能を有す
る液晶パネル、とりわけ画素毎にスイッチング素子を有
するアクティブ型の液晶画像表示装置（パネル）の電気
検査に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年の微細加工技術、液晶材料技術およ
び実装技術等の進歩により５〜５０ｃｍ対角の液晶パネ
ルで実用上支障の無いテレビジョン画像や各種の画像表
示が商用ベースで提供されている。また、液晶パネルを
構成する２枚のガラス基板の一方にＲＧＢの着色層を形
成しておくことにより、カラー表示も容易に実現してい
る。特にスイッチング素子を絵素毎に内蔵させた、いわ
ゆるアクティブ型の液晶パネルでは、クロストークも少
なくかつ高速応答で高いコントラスト比を有する画像が
保証されている。

【０００３】これらの液晶パネルは、走査線としては10
0〜1200本、信号線としては200〜1600本程度のマトリク
ス編成が一般的であるが、最近は表示容量の増大に対応
して大画面化と高精細化が同時に進行している。

【０００４】図５は液晶パネルへの実装状態を示し、液
晶パネル１を構成する一方の透明絶縁基板、例えばガラ
ス基板２上に形成された走査線の端子電極群６に駆動信
号を供給する半導体集積回路チップ３を直接、接続する
ＣＯＧ（Chip-On-Glass）方式や、例えば0.1mm厚程度の
ポリイミド系樹脂薄膜をベースとし、金メッキあるいは
半田メッキされた銅箔の端子（図示せず）を有するＴＣ
Ｐフィルム４を信号線の端子電極群５に導電性媒体を含
む適当な接着剤で圧接して固定するＴＣＰ（Tape-Carri
er-Package）方式などの実装手段によって、電気信号が
画像表示部に供給される。ここでは便宜上二つの実装方
式を同時に図示しているが、実際には何れかの方式が適
宜選択されることは言うまでもない。７、８は液晶パネ
ル１の画像表示部と信号線および走査線の端子電極群
５，６との間を接続する配線路で、必ずしも端子電極群
５，６と同一の導電材で構成される必要はない。９は全
ての液晶セルに共通の透明導電性の対向電極を有するも
う１枚の透明絶縁基板である。

【０００５】図６は液晶パネルの画像表示部の要部断面
図を示し、液晶パネル１を構成する２枚のガラス基板
２，９は樹脂性のファイバやビーズ等のスペーサ材（図
示せず）によって数μｍ程度の所定の距離を隔てて形成
され、その間隙（ギャップ）はガラス基板９の周縁部に
おいて有機性樹脂よりなるシール材と封口材（何れも図
示せず）とで封止された閉空間になっており、この閉空
間に液晶１７が充填されている。

【０００６】カラー表示を実現する場合には、ガラス基
板９の閉空間側に着色層１８と称する染料または顔料の
いずれか一方もしくは両方を含む厚さ１〜２μｍ程度の
有機樹脂薄膜が被着されて色表示機能が与えられるの
で、その場合にはガラス基板９は別名カラーフィルタ
（Color Filter 略語はＣＦ）と呼称される。そして
液晶材料１７の性質によってはガラス基板９の上面また
はガラス基板２の下面の何れかもしくは両面上に偏光板
１９が貼付され、液晶パネル１は電気光学素子として機
能する。現在、市販されている大部分の液晶パネルでは
液晶材料にＴＮ（ツイスト・ネマチック）系の物を用い
ており、偏光板１９は通常２枚必要である。図示はしな
いが、透過型液晶パネルでは光源として裏面光源が配置
され、下方より白色光が照射される。

【０００７】液晶１７に接して２枚のガラス基板２，９
上に形成された例えば厚さ0.1μm程度のポリイミド系樹
脂薄膜２０は液晶分子を決められた方向に配向させるた
めの配向膜である。２１は絶縁ゲート型トランジスタ１
０のドレインと透明導電性の絵素電極２２とを接続する
ドレイン電極（配線）であり、信号線（ソース線）１２
と同時に形成されることが多い。信号線１２とドレイン
電極２１との間に位置するのは半導体層２３である。カ
ラーフィルタ９上で隣り合った着色層１８の境界に形成
された厚さ0.1μm程度のＣｒ薄膜層２４は、半導体層２
３と走査線１１及び信号線１２に外部光が入射するのを
防止するための光遮蔽で、いわゆるブラックマトリクス
（Ｂlack Ｍatrix 略語はＢＭ）として定着化した技術
である。

【０００８】図７はスイッチング素子として絶縁ゲート
型トランジスタ１０を絵素毎に配置したアクティブ型液
晶パネルの等価回路図を示し、１１（図５では８）は走
査線、１２（図５では７）は信号線、１３は液晶セルで
あって、液晶セル１３は電気的には容量素子として扱わ
れる。実線で描かれた素子類は液晶パネルを構成する一
方のガラス基板２上に形成され、点線で描かれた全ての
液晶セル１３に共通な透明導電性の対向電極１４はもう
一方のガラス基板９上に形成されている。絶縁ゲート型
トランジスタ１０のOFF抵抗あるいは液晶セル１３の抵
抗が低い場合や表示画像の階調性を重視する場合には、
負荷としての液晶セル１３の時定数を大きくするための
補助の蓄積容量１５を液晶セル１３に並列に加える等の
回路的工夫が加味される。なお５０は蓄積容量線１６の
共通母線であり、蓄積容量線１６は走査線１１と同様に
信号線１２と交差することが分かる。

【０００９】蓄積容量１５の構成に関しては小型の液晶
パネルで開口率を高めて消費電力を低減するために、図
８に示したように蓄積容量１５を前段の走査線１１と当
該の液晶セルとの間に配置することも多い。蓄積容量１
５の構成要素である絶縁層には、スイッチング素子であ
る絶縁ゲート型トランジスタのゲート絶縁層をそのまま
転用したり、ゲート絶縁層と別の絶縁層とを積層させた
り、あるいはゲート絶縁層とは全く別の絶縁層を用いる
ことも可能である。同じく、等価回路図からも分かるよ
うに、蓄積容量１５は絶縁ゲート型トランジスタ１０の
ドレイン電極２１と蓄積容量線１６が絶縁層を介して構
成されるので、一方の電極はドレイン電極２１または絵
素電極２２の何れを選んでも構成することができるが、
ここでは詳細な説明は省略する。

【００１０】ここで広視野角の表示が可能な液晶パネル
の中でＩＰＳ（In-Plain-Switching）方式の液晶パネル
について説明する。図９はＩＰＳ型液晶パネルの画像表
示部の要部断面図を示し、図６に示した従来のものとの
差違は、液晶セルが所定の距離を隔てて形成された導電
性の対向電極３０と絵素電極３１（２１）と液晶１７と
で構成され、液晶１７は対向電極３０と絵素電極３１と
の間に働く横方向の電界でスイッチングされる点にあ
る。したがってカラーフィルタ９上に透明導電性の対向
電極１４は不要であり、また同様にアクティブ基板２上
にも透明導電性の絵素電極２２は不要となる。すなわ
ち、デバイスの簡素化とアクティブ基板２の製造工程の
削減も同時になされている。

【００１１】ＩＰＳ方式の液晶パネルの等価回路図は上
述したようにカラーフィルタ９上に透明導電性の対向電
極１４が不要なことから全ての素子がアクティブ基板２
上に形成されることになり、蓄積容量１５を液晶セル１
３に並列に加えた場合には図１０で示され、４０は蓄積
容量線も兼ねる対向電極３０の共通母線である。また蓄
積容量１５を前段の走査線１１との間に配置した場合に
は図１１で示され、４０は対向電極３０の共通母線であ
る。何れの配置を選択しても対向電極３０は走査線１１
と同様に信号線１２と交差することが分かる。

【００１２】アクティブ型の液晶パネルは、アクティブ
基板の製造工程と、アクティブ基板とカラーフィルタと
を貼り合わせて液晶パネル化するセル工程と、液晶パネ
ルへの実装工程と、モジュール工程と大別して四つの製
造工程で作製される。アレイ（アクティブ基板）工程の
終了後には、電気的な検査によりアクティブ基板上の走
査線や信号線の断線や短絡と、スイッチング素子として
のＴＦＴ（Thin-Film-Transistor）の特性検査と、補助
容量に書き込まれた信号の保持特性等がチェックされ
る。断線や点欠陥等の部分的な欠陥に対しては各種の救
済策が実施されており、決められた基準内の個数であれ
ば、それは良品扱いされてパネル（セル）組立工程に送
付される。この電気的な検査を実施するためには、当然
全ての単位画素を電気的にアドレスする必要があり、一
般的には全ての端子電極に電気信号を与えている。

【００１３】パネル組立工程ではアクティブ基板が保有
する原因外の不良を検知するために、完成した液晶パネ
ルに画像信号を供給して画像検査を行うのが一般的であ
る。アクティブ基板が良品であっても、ギャップ斑、配
向斑、異物混入等の部分的な異常に伴なう表示斑がセル
工程の主たる不良として発生する。もちろん、画像検査
のためには走査線には走査信号が、また信号線には映像
信号が供給されるが、この場合にも全ての端子電極に電
気信号を与えると精度の高い画像検査が可能となる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】走査線と信号線の全て
の端子電極に電気信号を与える電気検査から走査線と信
号線との間の短絡を検知することはその発生個所の同定
も含めて容易である。しかしながら蓄積容量線が信号線
と交差する液晶画像表示装置においては、信号線と蓄積
容量線との間の短絡は検知することはできてもその発生
個所を精密に同定できない課題がある。特にＩＰＳ方式
の液晶パネルにおいては図１０、図１１に示したように
蓄積容量線も兼ねる対向電極３０が信号線１２と交差す
ることは避けられないので、対向電極３０と信号線１２
との間で短絡が発生した場合には液晶パネル化してから
でないと短絡個所が分からず、アクティブ基板の状態で
レーザを用いた切断処理が実施できなかった。

【００１５】その理由は、図示はしないが蓄積容量線１
６または対向電極３０が走査線１１と概ね平行する一本
ずつ独立したパターンでありながら、最終的には全て並
列に接続されている必要性からアクティブ基板２として
完成した時点では既に全て並列に接続されているためで
ある。アクティブ基板として完成した時点で、蓄積容量
線または対向電極が走査線と同様に独立して端子電極を
与えられていれば蓄積容量線または対向電極と信号線と
の間の短絡も容易に検知できるのであるが、蓄積容量線
または対向電極の独立した端子電極を簡易的に並列接続
する手段が無いために、現状では蓄積容量線または対向
電極はアクティブ基板として完成した時点で全て並列に
接続されている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる現状に鑑
みなされたもので、アクティブ基板上の蓄積容量線また
は対向電極と信号線との間の短絡個所を精密に同定する
ことを目的とする。その具体的な実現手段は、蓄積容量
線（対向電極）を並列に接続する配線路を画像表示部の
両側に形成し、配線路の両端に接続された蓄積容量線
（対向電極）の外部への接続端子に電流を印加し、配線
路の両端に接続された電圧測定端子から配線路の電位差
を測定し、かつ特定の信号線の電位を測定することによ
ってなされる。

【００１７】請求項１に記載の液晶画像表示装置は、一
主面上に、複数本の走査線と、少なくとも１層以上の絶
縁層を介して前記走査線と概ね直交する複数の信号線
と、前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設
けられた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート
型トランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極
と、前記走査線と概ね平行し前記絵素電極またはドレイ
ン電極と前記または別の絶縁層を介して蓄積容量を構成
する蓄積容量線と、を有する第１の透明絶縁基板と、前
記第１の透明絶縁基板と対向し一主面上に透明導電性の
対向電極を有する第２の透明絶縁基板またはカラーフィ
ルタと、前記第１の透明絶縁基板と前記第２の透明絶縁
基板またはカラーフィルタとの間に充填された液晶と、
を備えた液晶画像表示装置であって、前記蓄積容量線を
並列に接続する第１の配線路が画像表示部の両側に形成
され、前記第１の配線路の両端に、前記蓄積容量線を外
部に接続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子が
接続されていることを特徴とする。

【００１８】この構成により、通常のＴＮ型の液晶画像
表示装置において蓄積容量線と信号線との間の短絡個所
を精密に同定することが可能となる。

【００１９】請求項２に記載の液晶画像表示装置は、画
像表示部内に蓄積容量線を並列に接続する第２の配線路
が少なくとも一本以上形成されていることを特徴とす
る。この構成により、通常のＴＮ型の液晶画像表示装置
において蓄積容量線の等価的な抵抗値を下げることがで
きて、画質が向上する。あるいは大画面化にあたり画質
の均一性が確保される。

【００２０】請求項３は請求項１に記載の液晶画像表示
装置の検査方法であって、一主面上に、複数本の走査線
と、少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と
概ね直交する複数の信号線と、前記走査線と前記信号線
との交点毎に少なくとも設けられた絶縁ゲート型トラン
ジスタ及び前記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電
極に接続された絵素電極と、前記走査線と概ね平行し前
記絵素電極またはドレイン電極と前記または別の絶縁層
を介して蓄積容量を構成する蓄積容量線と、画像表示部
の両側に形成され、前記蓄積容量線を並列に接続する配
線路と、を有する透明絶縁基板を備える液晶画像表示装
置の検査方法であって、前記配線路の両端に接続され、
前記蓄積容量線を外部に接続する一対の接続端子に電流
を印加し、前記配線路の両端に接続された一対の電圧測
定端子から前記配線路の電位差を測定し、特定の信号線
の電位を測定することにより特定の信号線と蓄積容量線
との短絡位置を検出することを特徴とする。

【００２１】請求項４は請求項１に記載の液晶画像表示
装置の製造方法であって、一主面上に、複数本の走査線
と、少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と
概ね直交する複数の信号線と、前記走査線と前記信号線
との交点毎に少なくとも設けられた絶縁ゲート型トラン
ジスタ及び前記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電
極に接続された絵素電極と、前記走査線と概ね平行し前
記絵素電極またはドレイン電極と前記または別の絶縁層
を介して蓄積容量を構成する蓄積容量線と、画像表示部
の両側に形成され、前記蓄積容量線を並列に接続する配
線路と、前記配線路の両端に接続され、前記蓄積容量線
を外部に接続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端
子と、を有する透明絶縁基板を備える液晶画像表示装置
の製造方法であって、前記信号線と前記蓄積容量線との
短絡個所で前記蓄積容量線をレーザで切断してからパネ
ル組立工程で液晶パネル化することを特徴とする。

【００２２】この構成により、通常のＴＮ型の液晶画像
表示装置において信号線と蓄積容量線との間で生じた短
絡を無欠陥に転換せしめて良品復帰させることが容易と
なる。

【００２３】請求項５に記載の液晶画像表示装置は、一
主面上に、複数本の走査線と、少なくとも１層以上の絶
縁層を介して前記走査線と概ね直交する複数の信号線
と、前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設
けられた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート
型トランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極
と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対
向電極と、を有する第１の透明絶縁基板と、前記第１の
透明絶縁基板と対向する第２の透明絶縁基板またはカラ
ーフィルタと、前記第１の透明絶縁基板と前記第２の透
明絶縁基板またはカラーフィルタとの間に充填された液
晶と、を備えた液晶画像表示装置であって、前記対向電
極を並列に接続する第１の配線路が画像表示部の両側に
形成され、前記第１の配線路の両端に、前記対向電極を
外部に接続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子
が接続されていることを特徴とする。

【００２４】この構成により、ＩＰＳ型の液晶画像表示
装置において対向電極と信号線との間の短絡個所を精密
に同定することが可能となる。

【００２５】請求項６に記載の液晶画像表示装置は、画
像表示部内に対向電極を並列に接続する第２の配線路が
少なくとも一本以上形成されていることを特徴とする。
この構成により、ＩＰＳ型の液晶画像表示装置において
対向電極の等価的な抵抗値を下げることができて、画質
が向上する。あるいは大画面化にあたり画質の均一性が
確保される。

【００２６】請求項７は請求項５に記載の液晶画像表示
装置の検査方法であって、一主面上に、複数本の走査線
と、少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と
概ね直交する複数の信号線と、前記走査線と前記信号線
との交点毎に少なくとも設けられた絶縁ゲート型トラン
ジスタ及び前記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電
極に接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距
離を隔てて形成された対向電極と、画像表示部の両側に
形成された前記対向電極を並列に接続する配線路と、を
有する透明絶縁基板を備える液晶画像表示装置の検査方
法であって、前記配線路の両端に接続され、前記対向電
極を外部に接続する一対の接続端子に電流を印加し、前
記配線路の両端に接続された一対の電圧測定端子から前
記配線路の電位差を測定し、特定の信号線の電位を測定
することにより特定の信号線と対向電極との短絡位置を
検出することを特徴とする。

【００２７】請求項８は請求項５に記載の液晶画像表示
装置の製造方法であって、一主面上に、複数本の走査線
と、少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と
概ね直交する複数の信号線と、前記走査線と前記信号線
との交点毎に少なくとも設けられた絶縁ゲート型トラン
ジスタ及び前記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電
極に接続された絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距
離を隔てて形成された対向電極と、画像表示部の両側に
形成され、前記対向電極を並列に接続する配線路と、前
記配線路の両端に接続され、前記対向電極を外部に接続
する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子と、を有す
る透明絶縁基板を備える液晶画像表示装置の製造方法で
あって、前記信号線と前記対向電極との短絡個所で前記
対向電極をレーザで切断してからパネル組立工程で液晶
パネル化することを特徴とする。

【００２８】この構成により、ＩＰＳ型の液晶画像表示
装置において信号線と対向電極との間で生じた短絡を無
欠陥に転換せしめて良品復帰させることが容易となる。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図１〜図４に基
づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例による液
晶パネルの概略の電極配置図を示す。なお、以後の説明
では便宜上、従来と同一の部位については同じ符号を付
して詳細な説明は省略する。

【００３０】第１の実施形態は全ての液晶セルに共通す
る蓄積容量線１６をアクティブ基板２上に有する通常の
ＴＮ型液晶画像表示装置において、図１に示したように
蓄積容量線１６を並列に接続する配線路（共通母線）５
０を画像表示部１００の両側に配置し、配線路５０の両
端部に蓄積容量線１６の外部への接続端子５１ａ，５１
ｂ及び５２ａ，５２ｂを形成するとともに、配線路５０
の電圧測定端子６１ａ，６１ｂ及び６２ａ，６２ｂを形
成している。なお、５４ａ，５４ｂ及び５４ｃ，５４ｄ
は配線路５０の両端部と外部への接続端子５１，５２と
を接続する配線路であり、６４ａ，６４ｂ及び６４ｃ，
６４ｄは配線路５０の両端部と上記電圧測定端子６１，
６２とを接続する配線路である。図示はしないが実動作
状態では蓄積容量線１６の電位をなるべく均一とするた
め、外部への接続端子５１ａ，５１ｂ及び５２ａ，５２
ｂは全て同じ電位となるように電気接続がなされる。液
晶画像表示装置の画面サイズが大きくなれば、配線路５
０の中間に更に複数個の接続端子５１ｃ，５１ｄ，…及
び５２ｃ，５２ｄ，…が設けられることは説明を要しな
いであろう。

【００３１】以上のように構成された液晶画像表示装置
において、蓄積容量線１６の外部への接続端子のうちの
一組、５２ａと５２ｂとの間に直流電源７０より直流電
流を印可し、電圧測定端子６２ａ，６２ｂの電位測定か
ら配線路５０の両端の電圧を測定する。単純な接続端子
５２ａと５２ｂとの間の抵抗測定は、配線路５４ｃ，５
４ｄに加えて外部探針と接続端子５２ａと５２ｂとの間
の接触抵抗、（デバイス構造によっては配線路５０と配
線路５４ｃ，５４ｄとの間の接続または接触抵抗）等多
くの要因に加えて製造条件による抵抗値の変動等も加わ
って絶対値が変動し易いものであるが、上記した測定方
法によれば配線路５４ｃ，５４ｄの抵抗値の変動があっ
ても、常に配線路５０の抵抗値を正確に測定することが
可能である（４端子測定）。

【００３２】ある特定の信号線１２と蓄積容量線１６と
の間に層間短絡６５が発生した場合には、特定の信号線
１２の電位を測定すれば信号線１２と短絡している蓄積
容量線１６の電位がそのまま測定できることは明白であ
り、一方蓄積容量線１６は走査方向に所定の本数、例え
ばＶＧＡであれば４８０本、等間隔で配線路５０に並列
に接続されているから、配線路５０の両端の電圧と配線
路５０の両端のいずれかと特定の信号線１２と間の電圧
との比から走査方向の比率が分かり、下から（あるいは
上から）何番目の蓄積容量線１６と特定の信号線１２と
の短絡個所が分かるのである。図１に示した場合に分か
り易い数値を例示すると、直流電源７０より適当な電流
を印加して配線路５０の両端、換言すれば電圧測定端子
６２ａ，６２ｂ間に479 mVの電圧を発生させた状態で、
層間短絡６５が発生している特定の信号線１２と一方の
電圧測定端子６２ｂ間の電圧が223 mVであれば、下から
224本目の蓄積容量線１６が層間短絡していると判定で
きる（0 mVで下から１本目、479 mVで下から480本
目）。

【００３３】これらの測定を実現可能とするための要件
は精度の高い電圧測定、例えば上記したＶＧＡであれば
1/480、より高精細のＵＸＧＡでは1/1200以上の高い分
解能が必要であり、当然電気雑音等にも配慮が要求され
る。また言うまでも無いことだが電圧測定は入力インピ
ーダンスや同相電圧除去比を高く設計した測定機や計測
器７１を用いる必要がある。

【００３４】デバイスの対称性から考えて、電流印可は
一組の蓄積容量線１６の外部への接続端子５１ａ，５１
ｂ及び５２ａ，５２ｂの何れか一方で十分であるが、両
方に印可すると左右で平均化され配線路５０の基板内の
パターン幅、抵抗率、膜厚等の変動が多少緩和され、検
出精度が若干改善される。

【００３５】このように信号線１２と蓄積容量線１６と
の短絡個所６５を精密に同定した後に、短絡個所６５を
はさんで蓄積容量線１６を２箇所レーザで切断してから
アクティブ基板とカラーフィルタとをパネル組立工程で
貼り合わせて液晶パネル化する液晶画像表示装置の製造
方法によって高い歩留と品質が確保される。既に述べた
ように蓄積容量線１６は画像表示部１００の左右両側に
蓄積容量線１６を並列に接続する配線路５０と外部への
接続端子を有しているので、該当する蓄積容量線１６に
断線が発生していない限り、上記レーザ切断によって蓄
積容量線１６が新たに断線となる恐れは無く、走査線１
１と信号線１２との間の層間短絡をレーザ切断で何れか
一方を断線化処理して救済する場合と比べると救済処理
の工程数は極めて少ないもので済む。

【００３６】第２の実施形態は対向電極３０をアクティ
ブ基板２上に有するＩＰＳ型液晶画像表示装置におい
て、図２に示したように対向電極３０を並列に接続する
配線路４０を画像表示部１００の両側に配置し、配線路
４０の両端部に対向電極３０の外部への接続端子５１
ａ，５１ｂ及び５２ａ，５２ｂを形成するとともに、配
線路４０の電圧測定端子６１ａ，６１ｂ及び６２ａ，６
２ｂを形成している。なお、５４ａ，５４ｂ及び５４
ｃ，５４ｄは配線路４０の両端部と外部への接続端子５
１，５２とを接続する配線路であり、６４ａ，６４ｂ及
び６４ｃ，６４ｄは配線路４０の両端部と電圧測定端子
６１，６２とを接続する配線路である。ここでも対向電
極３０の電位をなるべく均一とするため、実動作状態で
は外部への接続端子５１ａ，５１ｂ及び５２ａ，５２ｂ
は全て同じ電位となるように電気接続がなされる。また
液晶画像表示装置の画面サイズが大きくなれば、図示は
しないが配線路４０の中間に更に複数個の接続端子５１
ｃ，５１ｄ，…及び５２ｃ，５２ｄ，…が追加して設け
られる。

【００３７】以上のように構成された液晶画像表示装置
において、ある特定の信号線１２と対向電極３０との間
に層間短絡６６が発生した場合には、第１の実施形態と
同様に対向電極３０の外部への接続端子の内の一組、例
えば５２ａと５２ｂとの間に直流電源７０より直流電流
を印可し、電圧測定端子６２ａ，６２ｂの電位測定から
配線路４０の両端の電圧を測定する。そして層間短絡し
ている特定の信号線１２の電位を測定し、信号線１２上
での位置（アドレスまたは番地）を同定する。

【００３８】このように信号線１２と対向電極３０との
短絡個所６６を精密に同定した後に、短絡個所６６をは
さんで対向電極３０を２箇所レーザで切断してからアク
ティブ基板２とカラーフィルタとをパネル組立工程で貼
り合わせて液晶パネル化する液晶画像表示装置の製造方
法によって高い歩留と品質が確保される。既に述べたよ
うに対向電極３０は画像表示部１００の左右両側に対向
電極３０を並列に接続する配線路４０と外部への接続端
子を有しているので、上記レーザ切断によって対向電極
３０が新たに断線となる確率は極めて低く、しかも追加
の処理が不要である。

【００３９】このように信号線１２と対向電極３０との
短絡個所６６を精密に同定した後に、短絡個所６６をは
さんで対向電極３０を２箇所レーザで切断してからアク
ティブ基板２とカラーフィルタとをパネル組立工程で貼
り合わせて液晶パネル化する液晶画像表示装置の製造方
法によって高い歩留と品質が確保される。既に述べたよ
うに対向電極３０は画像表示部１００の左右両側に対向
電極３０を並列に接続する配線路４０と外部への接続端
子を有しているので、上記レーザ切断によって対向電極
３０が新たに断線となる確率は極めて低く、しかも追加
の処理が不要である。以上の説明からも明らかなよう
に、本発明の要点は蓄積容量線または対向電極を並列に
接続する配線路を画像表示部の両側に形成し、配線路の
両端の電圧を測定できるように電圧測定端子を付与した
点にあり、特に電圧測定端子を設けなくても配線路の両
端の一部が露出して探針が接触可能になっていても本発
明の範疇である。また走査線や信号線あるいは蓄積容量
線や対向電極の材質が異なっていても、あるいはスイッ
チング素子である絶縁ゲート型トランジスタの構成や材
質が異なっていても本発明は有効である。加えて実施形
態で説明した絵素電極が透明導電層よりなる透過型のみ
ならず、絵素電極が金属層よりなる反射型の液晶表示装
置においても同じく有効であり、さらに申し添えるなら
ばカラー表示のための着色層をアクティブ基板上に形成
した液晶画像表示装置においても本発明の有効性は損な
われるものではない。

【００４０】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１と請求項５
に記載の液晶画像表示装置によれば、蓄積容量線または
対向電極と信号線との間の短絡個所を精密に同定できる
ので、レーザ等の切断手段により前記短絡を無欠陥化で
きて歩留が向上する効果が得られる。

【００４１】請求項２と請求項６に記載の液晶画像表示
装置によれば、上記効果に加えて開口率が向上する、あ
るいは大画面化が容易となる格別の効果がられる。

【００４２】請求項３と請求項７に記載された液晶画像
表示装置の検査方法によれば、蓄積容量線または対向電
極と信号線との間の短絡個所を精密に同定できるので、
レーザ等の切断手段を用いた欠陥救済が容易となる。

【００４３】請求項４と請求項８に記載された液晶画像
表示装置の製造方法によれば、レーザ等の切断手段を用
いて蓄積容量線または対向電極と信号線との間の短絡個
所を無欠陥化できるので、パネル組立工程のロスコスト
が低減する。総合的にもみても歩留の向上とコストダウ
ンへの寄与は高い。

【００４４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態にかかる液晶画像表示
装置の概略の電極配置図

【図２】本発明の第２の実施形態にかかる液晶画像表示
装置の概略の電極配置図

【図３】本発明の第３の実施形態にかかる液晶画像表示
装置の概略の電極配置図

【図４】本発明の第４の実施形態にかかる液晶画像表示
装置の概略の電極配置図

【図５】従来の液晶パネルの実装状態を示す斜視図

【図６】従来の液晶パネルの要部断面図

【図７】従来の液晶パネルの等価回路図（共通容量型）

【図８】従来の液晶パネルの等価回路図（前段走査線容
量型）

【図９】ＩＰＳ型液晶パネルの要部断面図

【図１０】ＩＰＳ型液晶パネルの等価回路図（共通容量
型）

【図１１】ＩＰＳ型液晶パネルの等価回路図（前段走査
線容量型）

【符号の説明】

２ アクティブ基板（ガラス基板） ３ 半導体集積回路チップ ５ （信号線の）端子電極 ６ （走査線の）端子電極 ９ カラーフィルタ（対向基板） １１ 走査線 １２ 信号線 １４ （透明導電性の）対向電極 １５ 蓄積容量 ２２ （透明導電性の）絵素電極 ３０ （ＩＰＳ液晶パネルの）対向電極 ３１ （ＩＰＳ液晶パネルの）絵素電極 ４０ （ＩＰＳ液晶パネルの）対向電極を並列に接続す
る配線路 ５０ 蓄積容量線を並列に接続する配線路 51，52 （蓄積容量線または対向電極の）外部への接続
端子 ５４ 配線路の両端と外部への接続端子を接続する配線
路 61，62 電圧測定端子 ６４ 配線路の両端と電圧測定端子を接続する配線路 ７０ 直流電源 ７１ 電圧計 ８１ 画像表示部内で蓄積容量線を並列に接続する配線
路 ８２ 画像表示部内で対向電極を並列に接続する配線路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/1362 G02F 1/1345 G02F 1/1343 G02F 1/13 101 G01R 31/02

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一主面上に、複数本の走査線と、少なくと
   も１層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね直交する
   複数の信号線と、前記走査線と前記信号線との交点毎に
   少なくとも設けられた絶縁ゲート型トランジスタ及び前
   記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電極に接続され
   た絵素電極と、前記走査線と概ね平行し前記絵素電極ま
   たはドレイン電極と前記または別の絶縁層を介して蓄積
   容量を構成する蓄積容量線と、を有する第１の透明絶縁
   基板と、 前記第１の透明絶縁基板と対向し一主面上に透明導電性
   の対向電極を有する第２の透明絶縁基板またはカラーフ
   ィルタと、 前記第１の透明絶縁基板と前記第２の透明絶縁基板また
   はカラーフィルタと の間に充填された液晶と、を備えた
   液晶画像表示装置であって、 前記蓄積容量線を並列に接続する第１の配線路が画像表
   示部の両側に形成され、 前記第１の配線路の両端に、前記蓄積容量線を外部に接
   続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子が接続さ
   れていることを特徴とする液晶画像表示装置。
2. 【請求項２】画像表示部内に蓄積容量線を並列に接続す
   る第２の配線路が少なくとも１本以上形成されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載の液晶画像表示装置。
3. 【請求項３】一主面上に、 複数本の走査線と、 少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね
   直交する複数の信号線と、 前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設けら
   れた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート型ト
   ランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極と、 前記走査線と概ね平行し前記絵素電極またはドレイン電
   極と前記または別の絶縁層を介して蓄積容量を構成する
   蓄積容量線と、画像表示部の両側に形成され、 前記蓄積容量線を並列に
   接続する配線路と、 を有する透明絶縁基板を備える液晶
   画像表示装置の検査方法であって、 前記配線路の両端に接続され、前記蓄積容量線を外部に
   接続する一対の接続端子に電流を印加し、 前記配線路の両端に接続された一対の電圧測定端子から
   前記配線路の電位差を測定し、 特定の信号線の電位を測定することにより特定の信号線
   と蓄積容量線との短絡位置を検出することを特徴とする
   液晶画像表示装置の検査方法。
4. 【請求項４】一主面上に、 複数本の走査線と、 少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね
   直交する複数の信号線と、 前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設けら
   れた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート型ト
   ランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極と、 前記走査線と概ね平行し前記絵素電極またはドレイン電
   極と前記または別の絶縁層を介して蓄積容量を構成する
   蓄積容量線と、画像表示部の両側に形成され、 前記蓄積容量線を並列に
   接続する配線路と、 前記配線路の両端に接続され、前記蓄積容量線を外部に
   接続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子と、を
   有する透明絶縁基板を備える液晶画像表示装置の製造方
   法であって、 前記 信号線と前記蓄積容量線との短絡個所で前記蓄積容
   量線をレーザで切断してからパネル組立工程で液晶パネ
   ル化することを特徴とする液晶画像表示装置の製造方
   法。
5. 【請求項５】一主面上に、複数本の走査線と、少なくと
   も１層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね直交する
   複数の信号線と、前記走査線と前記信号線との交点毎に
   少なくとも設けられた絶縁ゲート型トランジスタ及び前
   記絶縁ゲート型トランジスタのドレイン電極に接続され
   た絵素電極と、前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形
   成された対向電極と、を有する第１の透明絶縁基板と、 前記第１の透明絶縁基板と対向する第２の透明絶縁基板
   またはカラーフィルタと、 前記第１の透明絶縁基板と前記第２の透明絶縁基板また
   はカラーフィルタと の間に充填された液晶と、を備えた
   液晶画像表示装置であって、 前記対向電極を並列に接続する第１の配線路が画像表示
   部の両側に形成され、 前記第１の配線路の両端に、前記対向電極を外部に接続
   する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子が接続され
   ていることを特徴とする液晶画像表示装置。
6. 【請求項６】画像表示部内に対向電極を並列に接続する
   第２の配線路が少なくとも１本以上形成されていること
   を特徴とする請求項５に記載の液晶画像表示装置。
7. 【請求項７】一主面上に、 複数本の走査線と、 少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね
   直交する複数の信号線と、 前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設けら
   れた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート型ト
   ランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極と、 前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電
   極と、画像表示部の両側に形成された 前記対向電極を並列に接
   続する配線路と、を有する透明絶縁基板を備える液晶画
   像表示装置の検査方法であって、 前記配線路の両端に接続され、前記対向電極を外部に接
   続する一対の接続端子に電流を印加し、 前記配線路の両端に接続された一対の電圧測定端子から
   前記配線路の電位差を測定し、 特定の信号線の電位を測定することにより特定の信号線
   と対向電極との短絡位置を検出することを特徴とする液
   晶画像表示装置の検査方法。
8. 【請求項８】一主面上に、 複数本の走査線と、 少なくとも一層以上の絶縁層を介して前記走査線と概ね
   直交する複数の信号線と、 前記走査線と前記信号線との交点毎に少なくとも設けら
   れた絶縁ゲート型トランジスタ及び前記絶縁ゲート型ト
   ランジスタのドレイン電極に接続された絵素電極と、 前記絵素電極とは所定の距離を隔てて形成された対向電
   極と、画像表示部の両側に形成され、 前記対向電極を並列に接
   続する配線路と、 前記配線路の両端に接続され、前記対向電極を外部に接
   続する一対の接続端子及び一対の電圧測定端子と、を有
   する透明絶縁基板を備える液晶画像表示装置の製造方法
   であって、 前記 信号線と前記対向電極との短絡個所で前記対向電極
   をレーザで切断してからパネル組立工程で液晶パネル化
   することを特徴とする液晶画像表示装置の製造方法。