KR101129440B1

KR101129440B1 - 표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널의 검사 방법

Info

Publication number: KR101129440B1
Application number: KR1020050075553A
Authority: KR
Inventors: 권영민; 안인수
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-08-18
Filing date: 2005-08-18
Publication date: 2012-03-27
Also published as: KR20070021368A

Abstract

그로스 검사를 용이하게 하기 위한 표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널의 검사 방법이 개시된다. 표시 기판은 게이트 패드부, 소스 패드부, 제1 스위칭부 및 제1 검사부를 포함한다. 게이트 패드들은 게이트 배선들의 일단에 형성되어 게이트 배선들에 신호를 인가한다. 소스 패드들은 소스 배선들의 일단에 형성되어 소스 배선들에 신호를 인가한다. 제1 스위칭부는 소스 패드들에 연결되어, 소스 패드들을 전기적으로 연결시키거나 분리시킨다. 제1 검사부는 제1 스위칭부에 제1 제어신호를 인가한다. 이에 따라, 배선들의 패드부의 일단부에 패드부를 전기적으로 하나로 연결시키는 스위칭소자들을 형성함으로써 그로스 검사를 용이하게 할 수 있다.

그로스 검사, 배선 불량, 핀 접촉 불량

Description

표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널의 검사 방법{DISPLAY SUBSTRATE AND METHOD FOR TESTING DISPLAY PANEL HAVING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 기판의 평면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 표시 기판을 포함한 표시 패널을 I-I' 라인을 따라 절단한 단면도이다.

도 3a 및 도 3b는 도 1의 어레이 기판을 포함하는 표시 패널의 그로스 검사 방식을 설명하기 위한 등가 회로도들이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다.

도 5는 도 4에 도시된 표시 기판을 포함한 표시 패널을 II-II' 라인을 따라 절단한 단면도이다.

도 6a 및 도 6b는 도 4의 어레이 기판을 포함하는 표시 패널의 그로스 검사 방식을 설명하기 위한 등가 회로도들이다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 패널의 검사 장치에 대한 개략적인 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 어레이 기판 120 : 소스 패드부

130 : 제1 스위칭부 140 : 제1 검사부

150 : 게이트 패드부 150 : 제2 스위칭부

160 : 제2 검사부 200 : 대향 기판

300 : 액정층 500 : 검사 장치

520 : 소스 신호출력부 560 : 게이트 신호출력부

541 : 제1 신호출력부 571 : 제2 신호출력부

본 발명은 표시 기판 및 이를 구비한 표시패널의 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 그로스 검사를 용이하게 하기 위한 표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널의 검사 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시패널 모듈은 액정표시패널과, 상기 액정표시패널과 전기적으로 연결되어 상기 액정표시패널을 구동시키는 구동장치를 포함한다.

상기 액정표시패널은 어레이 기판, 상기 어레이 기판과 마주하는 상부 기판, 및 상기 어레이 기판과 상기 상부 기판과의 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 상기 액정표시패널의 제조 공정에 있어서, 파티클에 의한 결함은 제조 수율 저하의 가장 큰 요인이다. 특히 파티클에 의한 배선의 단선(OPEN) 및 단락(SHORT) 불량은 직접적인 수율 저하의 주요인이다.

이러한 배선 불량을 검출하기 위한 검사 방법은, 상기 어레이 기판을 제조 공정시 배선들에 전기적인 신호를 인가하여 1차 검사(예컨대, ARRAY TEST)를 수행 한다. 다음, 어레이 기판과 칼라필터기판이 결합된 표시 패널에 액정을 주입한 후 전기적인 신호와 백라이트(또는 프론트 라이트)를 제공하여 2차 검사(Visual Inspection)를 수행한다.

이 후, 상기 액정이 주입된 액정표시패널을 구동하는 구동 장치를 실장하기 전, 보다 구체화된 검사 즉, 화소 불량 및 배선 불량을 검사하기 위한 그로스 검사(GROSS TEST)를 통해 3차 검사를 수행한다. 상기 그로스 검사 이후에 결함이 검출되지 않은 액정표시패널에 대해서는 구동 장치가 실장되어 액정표시패널 모듈로 완성한다.

상기 그로스 검사는 검사 장치의 핀들과 액정표시패널에 형성된 패드들을 접촉시키고, 상기 핀들을 통해 검사 신호를 상기 액정표시패널에 전달하여 검사를 수행한다. 그러나, 상기 핀들과 패드들이 정확하게 접촉되지 않는 경우가 발생하며 이러한 접촉 불량에 의해 정확한 검사 결과를 얻을 수 없는 문제점을 갖는다.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 그로스 검사시 검사 오류를 방지하기 위한 표시 기판을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 표시 기판을 구비한 표시 패널의 검사 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 실시예에 따른 표시 기판은 게이트 패드들과 소스 패드들, 제1 스위칭부 및 제1 검사부를 포함한다. 상기 게이트 패드들은 게이트 배선들의 일단에 형성되어 상기 게이트 배선들에 신호를 인가한다. 상기 소스 패드들은 소스 배선들의 일단에 형성되어 상기 소스 배선들에 신호를 인가한다. 상기 제1 스위칭부는 상기 소스 패드들에 연결되어, 상기 소스 패드들을 전기적으로 연결시키거나 분리시킨다. 상기 제1 검사부는 상기 제1 스위칭부에 제1 제어신호를 인가한다.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 실시예에 따른 소스 패드부와 전기적으로 연결된 제1 스위칭부와, 게이트 패드부와 전기적으로 연결된 제2 스위칭부와, 상기 제1 스위칭부에 연결된 제1 검사부와, 제2 스위칭부에 연결된 제2 검사부를 포함하는 표시 패널의 검사 방법은 제1 불량을 검사하기 위해 상기 제1 검사부 및 제2 검사부에 상기 제1 및 제2 스위칭부를 턴-온시키는 제1 온 신호 및 제2 온 신호를 각각 인가하는 단계 및 상기 소스 패드부 및 게이트 패드부에 제1 검사 신호 및 제2 검사 신호를 각각 인가하는 단계를 포함한다.

이러한 표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널의 검사 방법에 의하면, 배선들의 패드부의 일단부에 상기 패드부를 전기적으로 하나로 연결시키는 스위칭소자들을 형성함으로써 그로스 검사를 용이하게 할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 2는 도 1에 도시된 표시 기판을 포함한 표시 패널을 I-I' 라인을 따라 절 단한 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 표시 패널은 어레이 기판(100)과 상기 어레이 기판(100)에 대향하는 상기 대향 기판(200) 및 상기 어레이 기판 및 대향 기판(100, 200)사이에 개재된 액정층(300)을 포함한다.

상기 어레이 기판(100)은 표시 영역(DA)과 상기 표시 영역(DA)을 둘러싸는 주변 영역(PA)으로 이루어진다.

상기 표시 영역(DA)에는 제1 방향으로 연장된 소스 배선(DL)들과, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 게이트 배선(GLk)들 및 상기 소스 배선(DL1,DL2, DL3, DL4)들과 상기 게이트 배선(GLk)들에 의해 정의된 복수의 화소부(P)들이 형성된다.

각각의 화소부(P)에는 화소 스위칭소자(PTFT)와, 상기 화소 스위칭소자(PTFT)와 전기적으로 연결된 화소 전극(PE)이 형성된다. 상기 화소 스위칭소자(PTFT)는 게이트 배선(GLk)에 연결된 게이트 전극(111)과 소스 배선(DL1)에 연결된 소스 전극(113) 및 상기 화소 전극(PE)에 연결된 드레인 전극(114)을 포함한다.

상기 게이트 전극(111)과 상기 소스 및 드레인 전극(113, 114) 사이에는 채널층(112)이 형성된다. 상기 채널층(112)은 아몰퍼스 실리콘층을 포함한다. 도시되지는 않았으나, 각 화소부(P)에는 스토리지 공통배선이 형성된다.

상기 주변 영역(PA)에는 소스 패드부(120), 제1 스위칭부(130) 및 제1 검사부(140)가 형성된다. 상기 소스 패드부(120)는 상기 소스 배선들(DL1, DL2, DL3, DL4)의 일단부에 형성된 소스 패드들(121, 122, 123, 124)을 포함한다. 즉, 상기 제1 스위칭부(130)는 상기 소스 패드들(121, 122, 123, 124)과 각각 전기적으로 연결된 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3, TFT4)을 포함한다.

상기 제1 검사부(140)는 제1 검사 패드(141) 및 제1 검사 배선(142)을 포함하며, 상기 제1 스위칭부(130)의 동작을 제어하는 제1 제어신호가 인가된다. 구체적으로, 상기 제1 검사 패드(141)에는 상기 제1 스위칭부(130)를 턴-온시키는 제1 온 신호(Vs_ON)와 턴-오프 시키는 제1 오프 신호(Vs_OFF)가 인가된다. 상기 제1 검사 배선(142)은 상기 제1 온 신호(Vs_ON) 및 제1 오프 신호(Vs_OFF)를 상기 제1 스위칭부(130)에 전달한다.

구체적으로, 각 스위칭 소자(TFT1)는 상기 제1 검사 배선(142)에 연결된 게이트 전극(131)과, 소스 전극(133) 및 상기 소스 패드(121)에 연결된 드레인 전극(134)을 포함한다. 상기 제1 스위칭부(130)의 소스 전극들은 공통 배선(135)을 통해 공통으로 연결된다. 상기 게이트 전극(131)과 소스 및 드레인 전극(133, 134) 사이에는 채널층(132)이 형성된다. 상기 채널층(132)은 아몰퍼스 실리콘층을 포함한다.

한편, 도시된 바와 같이, 상기 게이트 전극들(111, 131)과 게이트 배선(GLk) 과 동일층으로 스토리지 공통배선이 형성되고, 그 위에는 게이트 절연층(102)이 형성된다. 또한, 소스-드레인 전극들(113, 114, 133, 134)과 소스 배선들(DL1, DL2, DL3, DL4) 위에는 패시베이션층(103)이 형성된다.

상기 소스 패드들(121, 122, 123, 124)과 상기 드레인 전극(114) 위의 패시베이션층(103)에는 콘택홀들이 형성된다. 일 예로, 소스 패드(121) 위에 형성된 콘 택홀을 통해 화소전극패턴(121a)이 상기 소스 패드(121)와 전기적으로 연결되고, 상기 드레인 전극(114)은 콘택홀을 통해 화소 전극(PE)과 전기적으로 연결된다.

상기 대향 기판(200)은 제2 베이스 기판(201)을 포함한다. 상기 제2 베이스 기판(201) 위에는 차광층(210), 칼라 필터층(220) 및 공통전극층(230)을 포함한다.

상기 차광층(210)은 상기 어레이 기판(100)의 화소부(P)에 대응하여 내부 공간을 정의하고, 상기 표시 영역(DA)의 가장자리로부터 누설되는 광을 차단한다.

상기 칼라 필터층(220)은 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 필터패턴을 포함하며, 상기 차광층(210)에 의해 정의된 내부 공간들에 형성되어 투과되는 광을 고유의 칼라로 발현시킨다.

상기 공통전극층(230)은 상기 각 화소 전극(PE)에 대향하는 전극으로 각 화소부(P)에 형성된 액정 캐패시터의 공통 전극이다.

상기 액정층(300)은 상기 어레이 기판 및 대향 기판(100, 200) 사이에 개재된다. 상기 액정층(300)은 각각의 화소 전극(PE)과 공통전극층(230) 간의 전위차에 의해 배열각이 변화되며, 이를 이용하여 영상을 표시한다.

먼저, 도 3a를 참조하면, 제1 검사 패드(141)에 제1 온 신호(Vs_ON)가 인가되면, 상기 제1 온 신호(Vs_ON)는 상기 제1 검사 배선(142)을 따라 인가된다. 이에 의해 상기 제1 검사 배선(142)에 게이트 전극이 각각 연결된 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3)은 턴-온 된다.

상기 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3)이 턴-온 됨에 따라, 상기 소스 패드들(121, 122, 123)은 하나로 연결된다. 즉, 소스 배선들(DL1, DL2, DL3)은 하나의 검사 배선으로 연결된 1D 방식과 동일한 상태가 된다.

이어, 프로브 핀 접촉 방식으로 상기 소스 패드들(121, 122, 123)에 검사 신호를 인가한다. 상기 소스 패드들(121, 122, 123)에 인가된 상기 검사 신호는 상기 소스 배선들(DL1, DL2, DL3)에 인가된다.

이에 의해 상기 소스 배선들(DL1, DL2, DL3)에 실질적으로 단락 및 단선과 같은 배선 불량이 발생한 경우에는 상기 검사 신호가 인가되지 않으므로 배선 불량을 검출할 수 있다.

한편, 상기 소스 패드들(121, 122, 123) 중 프로브 핀과 접촉 불량이 발생하는 소스 패드가 존재할 경우, 상기 소스 패드들(121, 122, 123)은 상기 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3)에 의해 1D로 연결된 상태이므로 프로브 핀과 정상적으로 접촉된 소스 패드에 인가된 검사 신호가 상기 접촉 불량이 발생된 소스 패드로 전달됨에 따라서 용이하게 배선 불량을 검출할 수 있다.

도 3b를 참조하면, 상기 제1 검사 패드(141)에 제1 오프 신호(Vs_OFF)가 인가되면, 상기 제1 오프 신호(Vs_OFF)는 상기 제1 검사 배선(142)을 따라 인가된다. 이에 의해 상기 제1 검사 패드(141)와 전기적으로 연결된 제1 검사 배선(142)에 게이트 전극이 각각 연결된 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3)은 턴-오프 된다.

앞서 도 3a에서 설명된 바와 같이, 상기 제1 온 신호(Vs_ON)에 의해 하나로 연결된 상기 소스 패드들(121, 122, 123)은 턴-오프된 상기 스위칭 소자들(TFT1, TFT2, TFT3)에 의해 전기적으로 각각 분리된 상태가 된다.

이어 프로브 핀 접촉 방식을 통해 검사 신호를 상기 소스 패드들(121, 122, 123)에 인가하여 제2 불량을 검사한다. 이때, 상기 소스 패드들(121, 122, 123)에 인가되는 신호는 표시 패널에 임의의 검사 패턴 영상을 표시하기 위한 데이터 신호이다. 이에 의해 화질 불량 및 휘도 균일성 불량을 포함하는 제2 불량을 검출한다.

상기 도 3b에서 설명된 검사 방식은 일반적인 그로스 검사에서 풀 콘택(Full Contact) 방식과 동일한 검사 결과를 얻을 수 있다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 표시 패널은 어레이 기판(100)과 상기 어레이 기판(100)에 대향하는 상기 대향 기판(200) 및 상기 어레이 기판 및 대향 기판(100, 200)사이에 개재된 액정층(300)을 포함한다.

상기 표시 영역(DA)에는 제1 방향으로 연장된 소스 배선들(DLk)과, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 게이트 배선(GL1,GL2)들 및 상기 소스 배선(DLk)들과 상기 게이트 배선들(GL1, GL2)에 의해 정의된 복수의 화소부(P)들을 포함한다.

각각의 화소부(P)는 화소 스위칭소자(PTFT)와, 상기 화소 스위칭소자(PTFT) 와 전기적으로 연결된 화소 전극(PE)을 포함한다. 상기 화소 스위칭 소자(PTFT)는 게이트 배선(GLk)에 연결된 게이트 전극(111)과 소스 배선(DL1)에 연결된 소스 전극(113) 및 상기 화소 전극(PE)에 연결된 드레인 전극(114)을 포함한다. 상기 화소부(P)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

상기 주변 영역(PA)에는 게이트 패드부(150), 제2 스위칭부(160) 및 제2 검사부(170)가 형성된다. 상기 게이트 패드부(150)는 상기 게이트 배선들(GL1, GL2)의 일단부에 형성된 게이트 패드들(151, 152)을 포함한다. 상기 제2 스위칭부(160)는 상기 게이트 배선들(GL1, GL2)과 각각 전기적으로 연결된 스위칭 소자들(TFT6, TFT7)을 포함한다.

상기 제2 검사부(170)는 제2 검사 패드(171) 및 제2 검사 배선(172)을 포함하며, 상기 제2 스위칭부(160)의 동작을 제어하는 제2 제어신호가 인가된다. 구체적으로, 상기 제2 검사 패드(171)에는 상기 제2 스위칭부(160)를 턴-온시키는 제2 온 신호(Vg_ON)와 턴-오프시키는 제2 오프 신호(Vg_OFF)가 인가된다. 상기 제2 검사 배선(172)은 상기 제2 온 신호(Vg_ON) 및 제2 오프 신호(Vg_OFF)를 상기 제2 스위칭부(160)에 전달한다.

구체적으로, 각 스위칭소자(TFT6)는 상기 제2 검사 배선(172)에 연결된 게이트 전극(161), 소스 전극(163) 및 상기 소스 패드(151)에 연결된 드레인 전극(154)을 포함한다. 상기 제2 스위칭부(160)의 소스 전극들은 공통 배선(165)을 통해 공통으로 연결된다. 상기 게이트 전극(161)과 소스 및 드레인 전극(163, 164) 사이에는 채널층(162)이 형성된다. 상기 채널층(162)은 아몰퍼스 실리콘층을 포함한다.

한편, 도시된 바와 같이, 상기 게이트 전극들(111, 161)과 게이트 배선(GL1, GL2)과 동일층으로 형성된 스토리지 공통배선(미도시) 위에는 게이트 절연층(102)이 형성되고, 소스-드레인 전극들(113, 114, 163, 164)과 소스 배선들(DLk) 위에는 패시베이션층(103)이 형성된다.

상기 게이트 패드들(151, 152)과 상기 드레인 전극(114) 위의 패시베이션층(103)에는 콘택홀들이 형성된다. 일 예로, 게이트 패드(151) 위에 형성된 콘택홀을 통해 화소전극패턴(151a)이 상기 게이트 패드(151)와 전기적으로 연결되고, 상기 드레인 전극(114)은 콘택홀을 통해 화소 전극(PE)과 전기적으로 연결된다.

상기 어레이 기판(100)과 대향 기판(200) 사이에는 액정층(300)이 형성된다.

상기 대향 기판(200) 및 액정층(300)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

먼저, 도 6a를 참조하면, 제2 검사 패드(171)에 제2 온 신호(Vg_ON)가 인가되면, 상기 제2 온 신호(Vg_ON)는 상기 제2 검사 배선(172)을 따라 인가된다. 이에 의해 게이트 전극이 상기 제2 검사 배선(172)에 연결된 스위칭 소자들(TFT6, TFT7, TFT8)이 턴-온 된다. 상기 스위칭 소자들(TFT6, TFT7, TFT8)이 턴-온 됨에 따라, 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)은 하나로 연결된다. 즉, 상기 게이트 배선들 (GL1, GL2, GL3)은 하나의 검사 배선으로 연결된 1G 방식과 동일한 상태가 된다.

이어, 프로브 핀 접촉 방식으로 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)에 검사 신호를 인가한다. 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)에 인가된 상기 검사 신호는 상기 게이트 배선들(GL1, GL2, GL3)에 인가된다.

이에 의해 상기 게이트 배선들(GL1, GL2, GL3)에 실질적으로 단락 및 단선과 같은 배선 불량이 발생한 경우에는 상기 검사 신호가 인가되지 않으므로 배선 불량을 검출할 수 있다.

한편, 상기 게이트 패드들(151, 152, 153) 중 프로브 핀과 접촉 불량이 발생하는 게이트 패드가 존재할 경우, 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)은 상기 스위칭 소자들(TFT6, TFT7, TFT8)에 의해 1G로 연결된 상태이므로 프로브 핀과 정상적으로 접촉된 게이트 패드에 인가된 검사 신호가 상기 접촉 불량이 발생된 게이트 패드로 전달됨에 따라서 용이하게 배선 불량을 검출할 수 있다.

도 6b를 참조하면, 상기 제2 검사 패드(171)에 제2 오프 신호(Vg_OFF)가 인가되면, 상기 제2 오프 신호(Vg_OFF)는 상기 제2 검사 배선(172)을 따라 인가된다. 이에 의해 상기 제2 검사 배선(172)에 게이트 전극이 연결된 스위칭 소자들(TFT6, TFT7, TFT8)은 턴-오프 된다.

앞서 도 6a에서 설명된 바와 같이, 상기 제2 온 신호(Vg_ON)에 의해 하나로 연결된 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)은 턴-오프 된 상기 스위칭 소자들(TFT6, TFT7, TFT8)에 의해 전기적으로 각각 분리된 상태가 된다.

이어, 프로브 핀 접촉 방식을 통해 검사 신호를 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)에 인가하여 제2 불량을 검사한다. 이때, 상기 게이트 패드들(151, 152, 153)에 인가된 검사 신호는 표시 패널에 임의의 검사 패턴 영상을 표시하기 위한 게이트 신호이다. 이에 의해 화질 불량 및 휘도 균일성 불량을 포함하는 제2 불량을 검출한다.

상기 도 6b에서 설명된 검사 방식은 일반적인 그로스 검사에서 풀 콘택(Full Contact) 방식과 동일한 검사 결과를 얻을 수 있다.

이상에서는 소스 배선들을 검사하는 제1 검사부와, 게이트 배선들을 검사하는 제2 검사부를 각각 포함하는 표시 패널들을 실시예로서 설명하였으나, 상기 제1 및 제2 검사부를 포함하는 표시 패널을 구현할 수 있다.

도 7을 참조하면, 검사 장치(500)는 표시 패널(100, 200)에 형성된 소스 패드부(120), 게이트 패드부(150), 제1 검사 패드(141) 및 제2 검사 패드(171)와 각각 접촉되어 검사 신호를 출력하는 소스 신호출력부(520), 게이트 신호출력부(560), 제1 신호출력부(541) 및 제2 신호출력부(571)를 포함한다.

구체적으로 소스 신호출력부(520)는 복수의 소스 출력핀들을 포함하며, 상기 소스 출력핀들은 상기 소스 패드부(120)의 복수의 패드들과 일대일 접촉하여 제1 검사 신호를 상기 소스 패드부(120)에 인가한다.

게이트 신호출력부(560)는 복수의 게이트 출력 핀들을 포함하며, 상기 게이트 출력핀들은 상기 게이트 패드부(150)의 복수의 게이트 패드들과 일대일 접촉되 어 제2 검사 신호를 상기 게이트 패드부(150)에 인가한다.

상기 제1 신호출력부(541)는 상기 제1 검사 패드(141)와 접촉되는 제1 출력 핀으로 형성되며, 제1 온 신호(Vs_ON) 및 제1 오프 신호(Vs_OFF)를 상기 제1 검사 패드(141)에 인가한다.

상기 제1 검사 패드(141)를 통해 전달된 제1 온 신호(Vs_ON) 및 제1 오프 신호(Vs_OFF)는 제1 스위칭부(130)를 턴-온 및 턴-오프 시킨다. 상기 제1 스위칭부(130)가 턴-온 되는 경우, 상기 소스 패드부(120)는 하나의 검사 배선으로 연결된 1D 상태가 된다. 반면, 상기 제1 스위칭부(130)가 턴-오프 되는 경우, 상기 소스 패드부(120)는 상기 1D 상태에서 각 패드별로 각각 분리된 상태가 된다.

상기 제2 신호출력부(571)는 상기 제2 검사 패드(171)와 접촉되는 제2 출력 핀으로 형성되며, 제2 온 신호(Vg_ON) 및 제2 오프 신호(Vg_OFF)를 상기 제2 검사 패드(171)에 인가한다.

상기 제2 검사 패드(171)를 통해 전달된 제2 온 신호(Vg_ON) 및 제2 오프 신호(Vg_OFF)는 제2 스위칭부(160)를 턴-온 및 턴-오프시킨다. 상기 제2 검사신호는 상기 제2 스위칭부(160)를 턴-온시키는 온 신호(Vg_ON)와 턴-오프시키는 오프 신호(Vg_OFF)를 포함한다.

상기 제2 스위칭부(160)가 턴-온 되는 경우, 상기 게이트 패드부(150)는 하나의 검사 배선으로 연결된 1G 상태가 된다. 반면, 상기 제2 스위칭부(160)가 턴-오프 되는 경우, 상기 게이트 패드부(150)는 상기 1G 상태에서 각 패드별로 각각 분리된 상태가 된다.

도시되지는 않았으나, 검사 장치(500)의 제어부(미도시)는 외부로부터 제공되는 검사제어신호에 기초하여 상기 신호출력부들(520, 560, 541, 571)을 제어한다.

먼저, 본 발명에 따라 1D1G 방식으로 상기 표시 패널(100, 200)의 배선 불량을 검사할 경우, 상기 제어부(미도시)는 상기 제1 신호출력부(541) 및 제2 신호출력부(571)를 통해 상기 제1 및 제2 검사 패드(141, 171)에 제1 및 제2 온 신호(Vs_ON, Vg_ON)를 각각 인가한다. 상기 제1 및 제2 온 신호(Vs_ON, Vg_ON)는 상기 제1 및 제2 스위칭부(130, 160)를 턴-온 시킨다.

이어, 검사 장치(500)는 소스 신호출력부(520) 및 게이트 신호출력부(560)를 통해 소스 패드부(120) 및 게이트 패드부(150)에 검사 신호를 각각 인가한다. 이때의 검사 신호는 배선 불량을 검출하기 위한 검사 신호이다.

결과적으로 상기 제1 및 제2 스위칭부(130, 160)가 턴-온 됨에 따라, 상기 소스 패드부(120) 및 게이트 패드부(150)는 1D1G 상태가 된다. 이어, 상기 소스 패드부(120) 및 게이트 패드부(150)로부터 인가된 검사 신호는 소스 배선들 및 게이트 배선들에 인가된다. 이에 의해 상기 소스 배선들 및 게이트 배선들의 단락 및 단선 불량을 검사한다.

즉, 종래와 검사 방식에 따라 패드들과 프로브 핀 간에 일대일 콘택(Contact)을 통해 검사 신호를 인가하여 배선 불량을 검사할 경우 콘택 미스에 의한 검사 오류를 해결할 수 있다.

다음, 풀 콘택 방식에 의해 상기 표시 패널(100, 200)의 화소 불량 및 휘도 균일성 불량을 검사할 경우, 상기 제1 및 제2 검사 패드(141, 171)에 상기 제1 및 제2 스위칭부(130, 160)를 턴-오프 시키는 제1 오프 신호 및 제2 오프 신호(Vs_OFF, Vg_OFF)를 각각 인가시킨다. 이에 의해 상기 제1 및 제2 스위칭부(130, 160)는 턴-오프 되어, 상기 소스 패드부(120) 및 게이트 패드부(150)의 패드들은 전기적으로 분리된 상태가 된다.

이어, 검사 장치(500)는 소스 신호출력부(520) 및 게이트 신호출력부(560)를 통해 소스 패드부(120) 및 게이트 패드부(150)에 검사 신호를 각각 인가한다. 이때의 검사 신호는 화소 불량 및 휘도 균일성 불량을 검출하기 위한 검사 신호이다.

결과적으로 상기 표시 패널(100, 200)에는 상기 소스 신호출력부(520)에서 출력된 소스 신호들과 상기 게이트 신호출력부(560)에서 출력된 게이트 신호들에 의해 소정의 테스트 영상이 표시된다. 상기 표시 패널(100, 200)에 표시된 테스트 영상을 통해 화소 불량 및 휘도 균일성 불량을 검출한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 첫째, 패드부와 연결된 스위칭부와 상기 스위칭부에 연결된 검사부를 통해 턴-온 신호를 인가함으로써 상기 스위칭부를 턴-온 시켜 상기 패드부에 1D1G 방식으로 검사신호를 인가할 수 있다.

이에 의해 상기 패드부와 연결된 배선들의 단락 및 단선 불량을 용이하게 검사할 수 있다. 다시 말하면, 기존의 프로브 핀과 패드 간의 일대일 콘택 방식으로 검출된 배선 불량을 콘택 미스에 의한 검사 오류 없이 용이하게 검출할 수 있다.

둘째, 상기 검사부에 턴-오프 신호를 인가함으로써 상기 스위칭부를 턴-온 시켜 상기 패드부의 패드들을 전기적으로 각각 분리시킬 수 있다. 이에 의해 기존의 풀 콘택 방식과 동일한 검사 원리로 화소 불량 및 휘도 균일성 불량을 용이하게 검출할 수 있다.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

게이트 배선들의 일단에 형성되어 상기 게이트 배선들에 신호를 인가하는 게이트 패드들;

소스 배선들의 일단에 형성되어 상기 소스 배선들에 신호를 인가하는 소스 패드들;

상기 소스 패드들에 연결되어, 상기 소스 패드들을 전기적으로 연결시키거나 분리시키는 제1 스위칭부; 및

상기 제1 스위칭부의 제어 단자와 연결된 제1 검사 배선과, 상기 제1 검사 배선에 전기적으로 연결된 제1 검사 패드를 포함하며, 상기 제1 스위칭부에 제1 제어신호를 인가하는 제1 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
제1항에 있어서, 상기 제1 검사부에 온 신호가 인가되면, 상기 제1 스위칭부는 턴-온 되어 상기 소스 패드들을 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 표 시 기판.
제1항에 있어서, 상기 제1 검사부에 오프 신호가 인가되면, 상기 제1 스위칭부는 턴-오프 되어 상기 소스 패드들을 전기적으로 각각 분리시키는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
삭제
제1항에 있어서, 상기 게이트 패드들에 연결되어, 상기 게이트 패드들을 전기적으로 연결시키거나 분리시키는 제2 스위칭부; 및

상기 제2 스위칭부에 제2 제어신호를 인가하는 제2 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
제5항에 있어서, 상기 제2 검사부에 온 신호가 인가되면, 상기 제2 스위칭부는 턴-온 되어 상기 게이트 패드들을 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
제5항에 있어서, 상기 제2 검사부에 오프 신호가 인가되면, 상기 제2 스위칭 부는 턴-오프 되어 상기 게이트 패드들을 전기적으로 각각 분리시키는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
제5항에 있어서, 상기 제2 검사부는 상기 제2 스위칭부의 제어 단자와 연결된 제2 검사 배선과, 상기 제2 검사 배선에 전기적으로 연결된 제2 검사 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판.
소스 패드부와 전기적으로 연결된 제1 스위칭부와, 게이트 패드부와 전기적으로 연결된 제2 스위칭부와, 상기 제1 스위칭부에 연결된 제1 검사부와, 제2 스위칭부에 연결된 제2 검사부를 포함하는 표시 패널의 검사 방법에서,

제1 불량을 검사하기 위해 상기 제1 검사부 및 제2 검사부에 상기 제1 및 제2 스위칭부를 턴-온시키는 제1 온 신호 및 제2 온 신호를 각각 인가하는 단계; 및

상기 소스 패드부 및 게이트 패드부에 제1 검사 신호 및 제2 검사 신호를 각각 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 표시 패널의 검사 방법.
제9항에 있어서, 상기 제1 불량은 배선 불량을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제9항에 있어서, 제2 불량을 검사하기 위해 상기 제1 검사부 및 제2 검사부에 상기 제1 및 제2 스위칭부를 턴-오프시키는 제1 오프 신호 및 제2 오프 신호를 각각 인가하는 단계; 및

상기 소스 패드부 및 게이트 패드부에 제3 검사 신호 및 제4 검사 신호를 각각 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제11항에 있어서, 상기 제2 불량은 상기 표시 패널의 화소 불량 및 휘도 균일성 불량을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.