KR101374972B1 - 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 액정 표시 장치의 어레이 기판 검사 공정에서 휘점 불량 화소를 용이하게 검출해 낼 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 다수의 녹색, 적색, 청색 화소 영역이 정의된 액정 표시 장치의 어레이 기판에서 적어도 어느 하나의 화소 영역을 구별해 낼 수 있도록 적어도 어느 하나의 화소 영역에 특이 패턴을 형성시키며, 이로써 완성된 어레이 기판에서 화소 구별을 용이하게 하여 휘점 불량을 선택적으로 리페어(repair)함으로써 작업 효율을 높일 수 있다.
휘점, 리페어, 녹색 화소

Description

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법{An array substrate for LCD and a method of fabricating the LCD}
도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 일부 영역에 대한 입체도.
도 2는 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
도 4a 내지 도 4c는 도 3에서 제시한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 콘택홀의 다양한 모양을 보여주는 실시예들.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
도 8은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
도 9는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부 분을 보여주는 평면도.
도 10은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
132 : 게이트 배선 133 : 게이트 전극
134 : 데이터 배선 135 : 소스 전극
136 : 드레인 전극 139 : 캐패시터 전극
141 : 반도체층 146 : 화소 전극
148 : 제 1 콘택홀 149 : 제 2 콘택홀
210 : 홈 213, 215 : 돌출부
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 액정 표시 장치의 어레이 기판 검사 공정에서 휘점 불량 화소를 용이하게 검출해 낼 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔다.
그 중에, 액정 표시 장치는 소비 전력이 낮고, 휴대성이 양호한 기술 집약적이며 부가가치가 높은 차세대 첨단 디스플레이(display)소자로 각광받고 있다.
일반적으로, 액정을 디스플레이에 이용하려면 액정셀을 제작해야 한다.
상기 액정 셀은 두 개의 유리 기판 또는 투명한 플라스틱 기판 사이에 액정을 채운 구조로 되어 있다.
이 액정에 전압을 인가할 수 있도록 기판에는 투명 전극(공통 전극, 화소 전극)이 형성되어 있으며, 이 투명 전극은 상기 액정에 전압을 가하여 온/오프를 제어하는 역할을 한다.
즉, 액정 표시 장치의 광 투과량은 상기 투명 전극에 인가되는 전압에 의해 제어되고, 광 셔터(shutter) 효과에 의해 문자/화상을 표시하게 된다.
이러한 액정 표시 장치 중에서도, 각 화소(pixel)별로 전압을 온/오프를 조절할 수 있는 스위칭 소자가 구비된 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치가 해상도 및 동영상 구현 능력이 뛰어나 가장 주목받고 있다.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 일부 영역에 대한 입체도로서, 액정이 구동되는 영역으로 정의되는 액티브 영역을 중심으로 도시하였다.
도시한 바와 같이, 서로 일정 간격 이격되어 상부 및 하부 기판(10, 30)이 대향하고 있고, 상기 상부 및 하부 기판(10, 30)사이에는 액정층(50)이 개재되어 있다.
상기 하부 기판(30) 상부에는 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 서로 교차되어 있고, 상기 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 교차되는 지점에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있으며, 상기 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 교차되는 영역으로 정의되는 화소 영역(P)에는 박막 트랜지스터(T)와 연결된 화소 전극(46)이 형성되어 있다.
도면으로 제시하지는 않았으나, 상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 전압을 인가받은 게이트 전극과, 데이터 전압을 인가받는 소스 및 드레인 전극과, 게이트 전압과 데이터 전압 차에 의해 전압의 온/오프를 조절하는 채널(ch; channel)로 구성된다.
그리고, 상부 기판(10) 하부에는 컬러 필터층(12), 공통 전극(16)이 차례대로 형성되어 있다.
상기 컬러 필터층(12)은 특정한 파장대의 빛만을 투과시키는 컬러 필터와, 상기 컬러 필터의 경계부에 위치하여 액정의 배열이 제어되지 않는 영역 상의 빛을 차단하는 블랙 매트릭스로 구성된다.
그리고, 상부 및 하부 기판(10, 30)의 각 외부면에는 편광축과 평행한 빛만을 투과시키는 상부 및 하부 편광판(52, 54)이 위치하고, 하부 편광판(54) 하부에는 별도의 내부 광원인 백라이트(back light)가 배치되어 있다.
이러한 액정 표시 장치는 스위칭 소자 및 화소 전극을 형성하는 어레이 기판 제조 공정과 컬러 필터 및 공통 전극을 형성하는 컬러 필터 기판 제조 공정을 거친 기판을 이용하여, 이 두 기판 사이에 액정을 개재하는 액정 셀 공정을 거쳐 완성된다.
상기 액정 셀 공정은 어레이 공정이나 컬러 필터 공정에 비해 상대적으로 반복되는 공정이 거의 없는 것이 특징이라고 할 수 있다. 전체 공정은 액정 분자의 배향을 위한 배향막 형성공정과 셀갭(cell gap)형성공정, 셀 절단(cutting) 공정, 액정 형성 공정으로 크게 나눌 수 있고, 이러한 공정을 거친 액정 셀은 품질검사를 통해 선발된 액정 패널의 외측에 각각 편광판을 부착한 후, 구동회로를 연결하면 액정 표시 장치가 완성된다.
도 2는 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 어레이 기판은 서로 교차되는 방향으로 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 형성되어 있고, 상기 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 교차되는 지점에는 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 화소 별로 화소 전극(46)이 형성되어 있다.
이때, 상기 게이트 배선(32)과 화소 전극(36)이 중첩되는 영역은 미도시한 절연체가 개재된 상태에서 스토리지 캐패시터(Cst)를 이룬다.
이러한 액정 패널의 검사 과정에서는 액정 패널의 화면에 테스트 패턴을 띄우고 불량 화소의 유무를 탐지하여 휘점 등의 불량 화소가 발견되었을 때 이에 대한 리페어 작업을 행하게 된다.
특히, 녹색 화소에 대한 휘점 불량은 완성된 액정 패널에서 작업자의 눈에 확연히 드러나게 되므로, 액정 패널을 완성하기 전에 어레이 기판 검사 공정에서 불량 화소의 위치를 파악하여 리페어 작업을 행할 필요가 있다.
그러나, 종래에는 어레이 기판 상의 적색, 녹색, 청색 화소 영역의 구조가 동일하여 휘점 등의 불량 화소가 발생한다고 하여도 이 불량 화소가 녹색 화소인지 구별할 수 있는 방법이 없어 모든 불량 화소에 대한 리페어 작업을 실시해야 했다.
실제로, 상기 제작된 어레이 기판은 기준 개수 이하의 불량 화소가 발생할 경우 전체 액정 패널의 화질이 양호하므로 불량으로 판정되지 않을 수 있으나, 상기 녹색 화소는 시감 특성이 뛰어나 기준 개수 이하로 불량 화소가 발생하여 액정 패널이 불량으로 판정되지 않는다고 하더라도 제품 사용자의 눈에 확연히 드러나고 화질이 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 다수의 녹색, 적색, 청색 화소 영역이 정의된 액정 표시 장치의 어레이 기판에서 적어도 어느 하나의 화소 영역을 구별해 낼 수 있도록 적어도 어느 하나의 화소 영역에 특이 패턴을 형성시킨 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판은, 적색, 녹색, 청색 화소 중 적어도 어느 한 화소는 구별 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 적색, 녹색, 청색 화소는, 서로 교차하는 다수의 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선이 교차하는 지점에 형성되어 상기 게이트 배선으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 게이트 전극 위치에 형성된 반도체층, 상기 데이터 배선에서 돌출된 소스 전극 및 이와 이격된 드레인 전극을 가지는 박막 트랜지스터와; 상기 드레인 전극과 연결된 화소 전극을 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 게이트 배선 상에는 절연막을 사이에 두고 캐패시터 전극을 더 포함하며, 상기 화소 전극은 상기 캐패시터 전극 상으로 연장되어 형성된 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 화소 전극과 상기 캐패시터 전극은 제 2 콘택홀에 의해 접속되며, 녹색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 모양 또는 개수는 적색, 청색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 모양 또는 개수와 다른 것을 특징으로 한다.
상기 드레인 전극과 상기 화소 전극은 제 1 콘택홀에 의해 접속되며, 녹색 화소에 형성된 제 1 콘택홀의 모양은 적색, 청색 화소에 형성된 제 1 콘택홀의 모양과 다른 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극 중 적어도 어느 하나의 전극에 있어서, 녹색 화소에 형성된 전극 모양과 적색, 청색 화소에 형성된 전극의 모양이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 배선 또는 데이터 배선에 있어서, 녹색 화소에 형성된 게이트 배선 또는 데이터 배선의 모양은 적색, 청색 화소에 형성된 게이트 배선 또는 데이터 배선의 모양이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 배선 또는 데이터 배선은 상기 적색, 녹색, 청색 화소 중 적어도 어느 한 화소가 구별될 수 있는 돌출부 또는 홈부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기 판의 제조 방법은, 적색, 녹색, 청색 화소를 정의하며 서로 교차하는 다수의 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선이 교차하는 지점에 형성되어 상기 게이트 배선으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 게이트 전극 위치에 형성된 반도체층, 상기 데이터 배선에서 돌출된 소스 전극 및 이와 이격된 드레인 전극을 가지는 박막 트랜지스터와; 상기 드레인 전극과 연결된 화소 전극을 포함하는 어레이 기판을 제조하는 방법에서, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 중 적어도 어느 한 화소는 구별 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판에는 서로 교차되는 방향으로 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 형성되어 적색, 녹색, 청색 화소 영역을 정의하며, 상기 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 교차되는 지점에는 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B)을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(T)가 각각 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 화소 별로 화소 전극(146)이 형성되어 있다.
상기 박막 트랜지스터(TFT)는 상기 게이트 라인(132)에서 소정 돌출한 게이트 전극(133)과, 상기 게이트 전극(133) 상에 게이트 절연막을 사이에 두고 형성된 반도체층(141)과, 상기 반도체층(141) 상에서 형성되며 상기 데이터 라인(134)에서 소정 돌출된 소스 전극(135) 및 상기 소스 전극(135)과 소정 간격 이격한 드레인 전극(136)으로 이루어지며, 상기 드레인 전극(136)과 상기 화소 전극(146) 사이에는 미도시된 절연체가 개재된 상태에서 제 1 콘택홀(148)에 의해 접속되어 있다.
이때, 상기 게이트 배선(132)과 화소 전극(146) 및 캐패시터 전극(139)이 중첩되는 영역은 미도시한 절연체가 개재된 상태에서 스토리지 캐패시터(Cst)를 이루며, 상기 화소 전극(146)과 상기 캐패시터 전극(139)은 제 2 콘택홀(149)에 의해 접속되어 있다.
한편, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀(148a)은 모양은 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 1 콘택홀(148)의 모양과 다른 특이 패턴으로 형성한다.
도 3에 도시된 실시예에서는 상기 녹색 화소 영역(G)의 드레인 전극(136)과 화소 전극(146)을 접속시키기 위한 제 1 콘택홀(148a)의 모양은 '┗' 로 이루어지고, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 1 콘택홀(148)의 모양은 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀(148a)의 모양과 다르면서 동일한 형태의 콘택홀로 이루어진다.
여기서, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 1 콘택홀(148)의 모양도 서로 다를 수 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 제 1 콘택홀(148)의 모양이 다르기만 해도 상관없다.
도 4a 내지 도 4c는 도 3에서 제시한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 콘택홀의 다양한 모양을 보여주는 실시예들이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀(148b)의 모양 이 '×'으로 이루어질 수 있다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀(148c)의 모양이 '┓' 으로 이루어질 수 있다.
도 4c에 도시된 바와 같이, 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀의 모양(148c)이 'ㄷ'으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 1 콘택홀(148a, 148b, 148c, 148d)의 모양은 다양한 형태로 이루질 수 있으며, 이때 적색, 청색 화소 영역의 제 1 콘택홀의 모양은 상기 녹색 화소 영역의 제 1 콘택홀의 모양과 다른 형태로 형성하여, 상기 어레이 기판에서 녹색 화소에 대한 구별이 용이하도록 한다.
이에 따라, 완성된 어레이 기판에서 검사 공정시 시감 특성이 좋은 녹색 화소에서 휘점 불량이 발생하게 될 경우 구별이 용이하게 되며, 상기 녹색 화소에서 발생된 휘점 불량을 선택하여 리페어(repair)시에 작업 효율을 높일 수 있게 된다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 5에 도시된 어레이 기판의 구조에서 도 3에 도시하여 설명한 어레이 기판의 구조와 동일한 부분에 대해서는 구체적인 설명은 생략하며, 여기서는 제 2 실시예에 따른 어레이 기판의 특징적인 부분에 대해서 설명하도록 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 녹색 화소 영역(G)의 드레인 전극(136a)의 형상은 청색, 적색 화소 영역(B, R)의 드레인 전극(136)의 형상과 다른 특이 패턴으로 형성한다.
상기 청색, 적색 화소 영역(B, R)의 드레인 전극(136)이 일자형 구조로 이루어지면, 상기 녹색 화소 영역(G)의 드레인 전극(136a)의 모양은 '┛'자가 되도록 하여, 녹색 화소에 대한 구별이 용이하도록 한다.
한편, 상기 녹색 화소 영역(G)의 드레인 전극(136a)의 모양은 다양한 형태로 이루질 수 있으며, 이때 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 드레인 전극(136)의 모양은 상기 녹색 화소 영역(G)의 드레인 전극(136a)의 모양과 다른 형태로 형성한다.
여기서, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, G)의 드레인 전극(136)의 모양도 서로 다를 수도 있고 동일할 수도 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 드레인 전극(136)의 모양이 다르기만 해도 상관없다.
한편, 본 발명에 따르면 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 소스 전극(135) 또는 게이트 전극(133)의 모양이 특이 패턴으로 형성되어도 좋다.
단, 바람직하게는 상기 소스 전극(135) 및 드레인 전극(136)에 의해 형성되는 채널 특성은 모든 화소 영역에서 동일하도록 한다.
이에 따라, 완성된 어레이 기판에서 검사 공정시 시감 특성이 좋은 녹색 화소에서 휘점 불량이 발생하게 될 경우 구별이 용이하게 되며, 상기 녹색 화소에서 발생된 휘점 불량을 선택하여 리페어(repair)시에 작업 효율을 높일 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 6에 도시된 어레이 기판의 구조에서 도 3에 도시하여 설명한 어레이 기판의 구조와 동일한 부분에 대해서는 구체적인 설명은 생략하며, 여기서는 제 3 실시예에 따른 어레이 기판의 특징적인 부분에 대해서 설명하도록 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판에서 녹색, 청색, 적색 화소 영역(R, G, B)은 상기 게이트 배선(132)과 화소 전극(146) 및 캐패시터 전극(139)이 중첩되는 영역에서 스토리지 캐패시터(Cst)를 이루고 있다.
이때, 상기 화소 전극(146)과 상기 캐패시터 전극(139)은 제 2 콘택홀(149)에 의해 접속되어 있는데, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)은 모양은 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149)의 모양과 다른 특이 패턴으로 형성한다.
상기 녹색 화소 영역(G)의 화소 전극(146)과 캐패시터 전극(139)을 접속시키기 위한 제 2 콘택홀(149a)의 모양은 '┗' 로 이루어지고, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149)의 모양은 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양과 다르면서 동일한 형태의 콘택홀로 이루어진다.
여기서, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149)의 모양도 서로 다를 수 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 제 2 콘택홀(149)의 모양이 다르기만 해도 상관없다.
한편, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양이 '×'으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양이 '┓' 으로 이 루어질 수 있다.
그리고, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양이 'ㄷ'으로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양은 다양한 형태로 이루질 수 있으며, 이때 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149)의 모양은 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149a)의 모양과 다른 형태로 형성하여, 상기 어레이 기판에서 녹색 화소에 대한 구별이 용이하도록 한다.
이에 따라, 완성된 어레이 기판에서 검사 공정시 시감 특성이 좋은 녹색 화소에서 휘점 불량이 발생하게 될 경우 구별이 용이하게 되며, 상기 녹색 화소에서 발생된 휘점 불량을 선택하여 리페어(repair)시에 작업 효율을 높일 수 있게 된다.
단, 바람직하게는 상기 스토리지 캐패시터에 의한 캐패시턴스는 모든 화소 영역에서 동일하도록 설계한다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 7에 도시된 어레이 기판의 구조에서 도 3에 도시하여 설명한 어레이 기판의 구조와 동일한 부분에 대해서는 구체적인 설명은 생략하며, 여기서는 제 4 실시예에 따른 어레이 기판의 특징적인 부분에 대해서 설명하도록 한다.
도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판에서 녹색, 청색, 적색 화소 영역(R, G, B)은 상기 게이트 배선(132)과 화소 전극(146) 및 캐패시터 전극(139)이 중첩되는 영역에서 스토리지 캐패시터(Cst)를 이루고 있으며, 상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149b)은 개수는 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149c)의 개수와 다르게 형성하여 녹색 화소에 대한 구별이 용이하도록 한다.
상기 녹색 화소 영역(G)의 제 2 콘택홀(149b)의 개수가 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149c)의 개수보다 많을 수도 있고 적을 수도 있다.
또한, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 제 2 콘택홀(149c)의 개수는 서로 다를 수도 있고 같을 수도 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 제 2 콘택홀(149)의 개수가 다르기만 해도 상관없다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 8에 도시된 어레이 기판의 구조에서 도 3에 도시하여 설명한 어레이 기판의 구조와 동일한 부분에 대해서는 구체적인 설명은 생략하며, 여기서는 제 5 실시예에 따른 어레이 기판의 특징적인 부분에 대해서 설명하도록 한다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판에서 녹색, 청색, 적색 화소 영역은 상기 게이트 배선(132)과 화소 전극(146) 및 캐패시터 전극(139)이 중첩되는 영역에서 스토리지 캐패시터(Cst)를 이루고 있으며, 상기 녹색 화소 영역(G)의 캐패시터 전극(139)의 모양은 상기 적색, 청색 화소 영역의(R, B) 캐패시터 전극(139)의 모양과 다르게 형성되어 녹색 화소에 대한 구별이 용이하도록 한다.
상기 녹색 화소의 캐패시터 전극(139a)에 홈(210)을 형성시키거나 돌출부를 형성시킬 수도 있다. 또한, 상기 캐패시터 전극(139a)에 대응되는 게이트 배 선(132)에도 상기 홈(210) 또는 돌출부와 대응되는 형태로 홈(210) 또는 돌출부를 형성시킬 수 있다.
이때, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 캐패시터 전극(139)의 모양은 서로 다를 수도 있고 같을 수도 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역의 캐패시터 전극(139)의 모양이 다르기만 해도 상관없다.
단, 바람직하게는 상기와 같이 형성된 스토리지 캐패시터에 의한 캐패시턴스는 모든 화소 영역에서 동일하도록 설계하는 것이 좋다.
이로써, 완성된 어레이 기판에서 검사 공정시 시감 특성이 좋은 녹색 화소에서 휘점 불량이 발생하게 될 경우 구별이 용이하게 되며, 상기 녹색 화소에서 발생된 휘점 불량을 선택하여 리페어(repair)시에 작업 효율을 높일 수 있게 된다.
도 9는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판은 서로 교차되는 방향으로 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 형성되어 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B)을 정의하며, 상기 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 교차되는 지점에는 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B)을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(T)가 각각 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 화소 별로 화소 전극(146)이 형성되어 있다.
상기 녹색 화소 영역(G)을 정의하는 데이터 배선(134)에는 상기 녹색 화소 영역(G)이 구별될 수 있도록 소정의 돌출부(213)가 더 형성될 수 있다.
상기 돌출부(213)의 형태는 다양한 모양와 개수로 이루어질 수 있다..
또한, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 데이터 배선(134)에도 돌출부(213)가 형성될 수 있으며 그 모양 또는 개수는 서로 다를 수도 있고 같을 수도 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역을 정의하는 데이터 배선(134)의 돌출부(213)의 모양 또는 개수가 다를 수도 있다.
도 10은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 액정 표시 장치의 어레이 기판의 일부분을 보여주는 평면도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 기판은 서로 교차되는 방향으로 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 형성되어 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B)을 정의하며, 상기 게이트 및 데이터 배선(132, 134)이 교차되는 지점에는 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B)을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(T)가 각각 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 화소 별로 화소 전극(146)이 형성되어 있다.
상기 녹색 화소 영역(G)을 정의하는 게이트 배선(132)에는 상기 녹색 화소 영역(G)이 구별될 수 있도록 소정의 돌출부(215)가 더 형성될 수 있다.
상기 돌출부(215)의 형태는 다양한 모양와 개수로 이루어질 수 있다..
또한, 상기 적색, 청색 화소 영역(R, B)의 게이트 배선(132)에도 돌출부(215)가 형성될 수 있으며 그 모양 또는 개수는 서로 다를 수도 있고 같을 수도 있으며, 상기 적색, 녹색, 청색 화소 영역(R, G, B) 중 적어도 어느 한 화소 영역 을 정의하는 게이트 배선(132)의 돌출부(215)의 모양 또는 개수가 다를 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명은 다수의 녹색, 적색, 청색 화소 영역이 정의된 액정 표시 장치의 어레이 기판에서 적어도 어느 하나의 화소 영역을 구별해 낼 수 있도록 적어도 어느 하나의 화소 영역에 특이 패턴을 형성시켜 완성된 어레이 기판에서 검사 공정시 시감 특성이 좋은 녹색 화소에서 휘점 불량이 발생하게 될 경우 구별이 용이하게 되며, 상기 녹색 화소에서 발생된 휘점 불량을 선택하여 리페어(repair)시에 작업 효율을 높이는 효과가 있다.

Claims (27)

  1. 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 다수의 게이트 배선 및 데이터 배선과;
    상기 게이트 배선 상에 절연막을 사이에 두고 형성되는 캐패시터 전극과;
    상기 게이트 배선 및 데이터 배선이 교차하는 지점에 형성되어 상기 게이트 배선으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 게이트 전극 위치에 형성된 반도체층, 상기 데이터 배선에서 돌출된 소스 전극 및 이와 이격된 드레인 전극을 가지는 박막 트랜지스터와;
    상기 드레인 전극과 제 1 콘택홀을 통해 연결되고, 상기 캐패시터 전극 상으로 연장되어 형성되어 상기 캐패시터 전극과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 화소 전극과;
    상기 게이트 배선, 게이트 절연막 및 캐패시터 전극과 화소 전극이 중첩되는 영역에 형성된 스토리지 캐패시터와;
    상기 화소 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 화소와;
    상기 녹색 화소에 형성된 구별 수단을 포함하고,
    상기 구별 수단은 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀을 포함하며,
    상기 녹색 화소에 형성된 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀의 모양은 다른 화소에 형성된 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀의 모양과 다르게 형성되고,
    상기 녹색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수는 적색, 청색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수와 다르게 형성되고,
    상기 스토리지 캐패시터에 의한 캐패시턴스는 모든 화소 영역에서 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 녹색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수는 적색, 청색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수와 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 구별 수단은 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극 중 적어도 어느 하나의 전극에 있어서, 녹색 화소에 형성된 전극 모양과 적색, 청색 화소에 형성된 전극의 모양이 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 구별 수단은 상기 데이터 배선을 포함하고, 상기 녹색 화소에 형성된 데이터 배선의 모양은 적색, 청색 화소에 형성된 데이터 배선의 모양과 서로 다른 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 데이터 배선은 상기 녹색 화소가 구별될 수 있는 돌출부 또는 홈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 녹색 화소의 제 1 콘택홀은 '┗', '×', '┓', 'ㄷ' 중 어느 하나의 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 녹색 화소의 제 2 콘택홀은 '┗', '×', '┓', 'ㄷ' 중 어느 하나의 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  15. 적색, 녹색, 청색 화소를 정의하며 서로 교차하는 다수의 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 상에 절연막을 사이에 두고 형성되는 캐패시터 전극과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선이 교차하는 지점에 형성되어 상기 게이트 배선으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 게이트 전극 위치에 형성된 반도체층, 상기 데이터 배선에서 돌출된 소스 전극 및 이와 이격된 드레인 전극을 가지는 박막 트랜지스터와; 상기 드레인 전극과 제 1 콘택홀을 통해 연결되고, 상기 캐패시터 전극 상으로 연장되어 형성되어 상기 캐패시터 전극과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 화소 전극과; 상기 게이트 배선, 게이트 절연막 및 캐패시터 전극과 화소 전극이 중첩되는 영역에 형성된 스토리지 캐패시터를 포함하는 어레이 기판을 제조하는 방법에서,
    상기 녹색 화소는 구별 수단을 포함하고,
    상기 구별 수단은 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀을 포함하고,
    상기 녹색 화소에 형성된 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀의 모양은 다른 화소에 형성된 상기 제 1 콘택홀 및 상기 제 2 콘택홀의 모양과 다르게 형성되고,
    상기 녹색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수는 적색, 청색 화소에 형성된 제 2 콘택홀의 개수와 다르게 형성되고,
    상기 스토리지 캐패시터에 의한 캐패시턴스는 모든 화소 영역에서 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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  17. 삭제
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  19. 삭제
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  23. 제 15항에 있어서,
    상기 구별 수단은 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 상기 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극 중 적어도 어느 하나의 전극에 있어서, 녹색 화소에 형성된 전극 모양과 적색, 청색 화소에 형성된 전극의 모양이 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  24. 제 15항에 있어서,
    상기 구별 수단은 상기 데이터 배선을 포함하고, 상기 녹색 화소에 형성된 데이터 배선의 모양은 적색, 청색 화소에 형성된 데이터 배선의 모양과 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  25. 제 15항에 있어서,
    상기 구별 수단은 상기 데이터 배선을 포함하고, 상기 데이터 배선은 상기 녹색 화소가 구별될 수 있는 돌출부 또는 홈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  26. 제 15항에 있어서,
    상기 녹색 화소의 제 1 콘택홀은 '┗', '×', '┓', 'ㄷ' 중 어느 하나의 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  27. 제 15항에 있어서,
    상기 녹색 화소의 제 2 콘택홀은 '┗', '×', '┓', 'ㄷ' 중 어느 하나의 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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