KR100487433B1 - 액정 표시 장치의 어레이 기판 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 게이트 라인 번호 또는 데이터 라인 번호를 기판 후면에서 알아보기 쉽도록 형성하여 리페어 공정이 용이하도록 한 액정 표시 장치의 어레이 기판에 관한 것으로, 어레이부와 상기 어레이부 주위로 패드부가 정의된 기판과, 상기 기판상에 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 패드부의 게이트 라인 및 데이터 라인 각각의 라인 단부에 소정 간격 이격되어 형성된 제 1 게이트 라인 번호 및 제 1 데이터 라인 번호 및 상기 게이트 라인과 동일층에 상기 게이트 라인 및 데이터 라인 각각에 대하여 상기 제 1 게이트 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 게이트 라인 번호 및 상기 제 1 데이터 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 데이터 라인 번호를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.

Description

액정 표시 장치의 어레이 기판{Array Substrate in Liquid Crystal Display Device}
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 게이트 라인 번호 또는 데이터 라인 번호를 기판 후면에서 알아보기 쉽도록 형성하여 리페어 공정이 용이하도록 한 액정 표시 장치의 어레이 기판에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
일반적인 액정 표시 장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 일정 공간을 갖고 합착된 하부 기판, 상부 기판과, 상기 상하부 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기 하부 기판(TFT 어레이 기판)에는 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.
그리고, 상부 기판(칼라 필터 어레이 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, R, G, B의 칼라 색상의 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.
상기 일반적인 액정 표시 장치의 구동 원리는 액정의 광학적 이방성과 분극 성질을 이용한다. 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 갖고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자 배열의 방향을 제어할 수 있다.
따라서, 상기 액정의 분자 배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자 배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 상기 액정의 분자 배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상 정보를 표현할 수 있다.
근래에는 액정 표시 장치(LCD : Liquid Crystal Display Device)의 여러 형태 중 액티브 매트릭스(Active Matrix) 타입의 박막 트랜지스터(TFT : Thin Film Transistor) 액정 표시 장치의 분야의 발전이 현저하다.
액티브 매트릭스 방식의 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(TFT LCD)는 표시 장치의 화면을 이루는 개개 화소의 전극을 트랜지스터를 이용하여 조절하는 것으로, 이 때, 박막 트랜지스터는 반도체층을 포함하여 하부 기판상에 형성된다.
상기 게이트 라인은 상기 박막 트랜지스터의 제 1 전극인 게이트 전극을 구동하는 펄스 전압을 전달하며, 상기 데이터 라인은 상기 박막 트랜지스터의 제 2 전극인 소스전극을 구동하는 신호전압을 전달하는 수단이다.
이 때, 상기 게이트 전극의 신호에 의해 임의의 소스전극에 액정을 구동할 수 있는 전압이 인가되고, 나머지에는 액정 구동 전압보다 작은 전압이 인가된다면, 액정 구동 전압이 인가된 화소만 동작할 것이다.
이러한 동작원리에 의해, 모든 게이트 전극에 순차적으로 펄스를 인가하고, 해당 소스전극에 신호전압을 인가함으로써 액정 표시 장치의 모든 화소전극을 구동하는 것이 가능하다.
수백만 개의 화소전극을 각각 독립적으로 구동하기 위해, 표시부에는 게이트 라인 및 데이터 라인이 매트릭스 형태로 배치되어 있으며, 이러한 게이트 라인 및 데이터 라인은 스위칭 소자인 박막 트랜지스터를 구동하기 위해 사용된다.
수백만 개의 화소를 구동하기 위해 각 화소마다 스위칭 소자를 두어야 하는 액정 표시 장치를 제조하는 데 있어서, 세밀한 패턴을 형성함과 동시에 박막 소자의 특성을 동일하게 제어하는 기술은 매우 중요하다고 할 수 있다.
그러나, 어레이 기판상에 형성되는 구성 요소는 제작 공정 중 배선의 단선이나 단락 등의 불량이 발생하며, 이러한 결함은 발생 원인에 따라, 공정 편차에 의해 특성 값이 설계기준을 벗어나서 발생하는 불량, 막 계면의 세정 불량이나 먼지 등에 의한 불량, 그리고 정전기에 의한 특성변화 및 박막 트랜지스터 또는 액정 셀의 파괴로 나타나는 불량 등을 예로 들 수 있다.
이러한 불량들은 형태에 따라 점결함(dot defect), 선결함(line defect) 또는 표시 얼룩으로 나눌 수 있는데, 점결함은 박막 트랜지스터 소자 또는 화소 전극의 등의 불량으로 발생되며, 선결함은 배선의 단선, 단락 및 정전기에 의한 박막 트랜지스터 등의 파괴에 기인한다.
이러한 결함들은 이미지 소자의 표시 면적이 대면적화함에 따라 더욱 중요한 문제로 대두되고 있으며, 이러한 결함 발생을 능동적으로 대처하기 위한 방법으로 리던던시(Redundancy) 및 리페어(Repair) 가능한 설계가 도입되었다.
상기 리던던시 개념은 예를 들어, 점결함의 한 종류인 박막 트랜지스터의 결함일 경우, 결함이 발생한 박막 트랜지스터를 대신하기 위해 하나의 화소에 복수개의 박막 트랜지스터를 더 배치함으로써 점결함의 발생을 막거나, 선결함의 한 종류인 게이트 라인 또는 데이터 라인이 단선되었을 경우, 상기 각 라인의 양 끝부분에 인접한 예비 배선을 연결하여 단선을 리페어하는 방법으로 해당 결함을 방지하는데 이용할 수 있다.
이러한 리던던시 또는 리페어 설계의 개념은 상기 결함들 중 점결함의 경우보다는 선결함의 경우에 더욱 필요하다. 왜냐하면 점결함의 경우는 그 분포, 개수, 유형에 따라 허용되는 레벨이 있지만, 선결함의 경우는 한 개라도 발생하면 제품으로서의 가치가 없어지기 때문이다.
예를 들어, 상기 데이터 라인 또는 게이트 라인 중 한 라인이 단선이 되었다고 가정하면 단선된 라인과 연결되어 있는 모든 박막 트랜지스터의 동작이 불가능하게 될 것이고, 이러한 어레이 기판에서의 결함은 액정표시소자에서 치명적인 결함이 된다.
한편, 액티브 매트릭스 타입의 액정 표시 장치는 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차부 각각에 배열되어진 화소 전극에 텔레비젼 신호와 같은 비디오 신호에 해당하는 신호가 인가되어 화상을 표시하게 된다.
이 때, 박막 트랜지스터는 게이트 라인과 데이터 라인들의 교차부에 설치되어 게이트 라인으로부터의 스캔 신호(게이트 펄스)에 응답하여 액정 셀 쪽으로 전송될 데이터 신호를 절환하게 된다. 이와 같은 TFT를 구동하기 위하여 집적회로가 실장된 테이프 케리어 패키지(Tape Carrier Package, 이하 TCP)가 기판 상의 패드부에 접속된다.
이와 같은 게이트 라인 및 데이터 라인의 일측에는 공정 진행시에 라인들의 불량을 체크함과 아울러 공정 진행 후에 라인간의 저항을 측정하기 위한 라인 번호가 형성된다.
이와 같이, 라인번호는 입력 라인과 출력 라인간의 라인 저항을 측정할 때 사용된다. 또한, 라인들간의 쇼트(short) 및 오픈(open)이 발생하였을 때 라인번호를 참조하여 기판 후면에서 불량이 발생한 라인을 판별할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판 및 이의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1a는 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 A~A'선상의 구조 단면도이다.
도 1a 및 도 1b와 같이, 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판은 TFT 어레이가 형성되는 어레이부와 상기 어레이부 주위로 형성되는 패드부로 나누어 정의된다.
상기 어레이부 내에는 수직으로 교차되어 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인(미도시)과 복수개의 데이터 라인(12)과, 상기 화소 영역 각각에 형성된 복수개의 화소 전극(미도시)과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인(12)의 교차부에 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터(미도시)와, 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인(12)에 수직한 방향으로 일 라인으로 형성되어 공통 전압을 공급하는 공통 전압 라인(11, 도 1a, 도 1b에는 게이트 라인이 미도시되고, 공통 전압 라인과 데이터 라인만 도시되어 있음)이 구성된다.
이 때, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 데이터 라인(12)으로부터 돌출된 소오스 전극, 이와 소정 간격 떨어진 드레인 전극 및 반도체층으로 이루어진다.
이와 같이, 매트릭스 형태로 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소 전극 등이 형성되는 어레이부 주위로 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 신호를 인가하는 패드부가 형성된다.
그리고 패드부에서는 상기 어레이부를 지나 상기 패드부까지 형성되어 있는 게이트 라인 및 데이터 라인(12) 각각의 단부에 인접하여, 각 라인의 순서를 표시하는 라인 번호(데이터 라인 번호만 11a로 도시, 게이트 라인 번호는 미도시)가 형성된다.
여기서, 상기 게이트 라인 번호는 도 1a의 도시된 도면에서의 어레이부를 지나, 타측 패드부(미도시)까지 연장된 게이트 라인의 단부에 인접하여 형성된다.
상기 어레이부 내에는 이와 같이, 박막 트랜지스터 어레이(미도시)가 형성되며, 상기 패드부에는 상기 데이터 라인(120)과 상기 공통 전압 라인(110)이 연결된 정전기 방지 회로가 형성된다.
도 1b를 참조하여 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판의 형성 방법을 설명하면 다음과 같다.
복수개의 게이트 라인(미도시), 일 라인의 공통 전압 라인(11)과 복수개의 e데이터 라인 번호(11a)가 동일층에 게이트 라인의 패터닝 공정에 의해 형성된다. 상기 복수개의 데이터 라인 번호(11a)는 이후에 형성되는 복수개의 데이터 라인 각각에 대응되는 것으로, 해당 데이터 라인의 번호를 나타낸다. 이러한 패터닝 공정은 상기 기판(10) 상에 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속막을 전면 증착하고 소정 부분을 선택적으로 제거하는 패터닝 공정에 의해 이루어진다.
상기 게이트 라인, 공통 전압 라인(11) 및 상기 데이터 라인 번호(11a)를 형성한 후, 상기 기판(10) 전면에 게이트 절연막(20)을 형성하고, 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속막을 전면 증착하고, 이를 선택적으로 제거하여 상기 공통 전압 라인(11) 및 상기 게이트 라인과 수직으로 교차되는 복수개의 데이터 라인(12)을 형성한다.
그러나, 상기와 같은 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 문제점이 있다.
실제로 게이트 라인 및 데이터 라인 등의 점결함, 선결함으로 인해 발생하는 결함을 리페어(repair)하는 리워크(rework) 공정은 기판 후면에서 형성되므로, 정상적인 형상으로 패터닝된 라인 번호는 후면에서 읽을 때 역상으로 보이게 되어, 리워크 공정에서 실제로 불량의 위치를 확인하기 위해 판독 시간이 더 걸리게 되며, 또한, 역상의 라인 번호는 관측자에게 혼동을 가져와 리페어 성공률 또한 저하시키는 원인이 되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 게이트 라인 또는 데이터 라인 번호를 기판 후면에서 알아보기 쉽도록 형성하여 리페어 공정이 용이하도록 한 액정 표시 장치의 어레이 기판을 제공하는 데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 어레이 기판은 어레이부와 상기 어레이부 주위로 패드부가 정의된 기판과, 상기 기판상에 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 패드부의 게이트 라인 및 데이터 라인 각각의 라인 단부에 소정 간격 이격되어 형성된 제 1 게이트 라인 번호 및 제 1 데이터 라인 번호 및 상기 게이트 라인과 동일층에 상기 게이트 라인 및 데이터 라인 각각에 대하여 상기 제 1 게이트 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 게이트 라인 번호 및 상기 제 1 데이터 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 데이터 라인 번호를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.
상기 제 2 게이트 라인 번호는 패드부의 게이트 라인의 소정 부위가 상기 제 1 게이트 라인 번호의 역상으로 제거된 것임이 바람직하다.
상기 제 2 데이터 라인 번호는 패드부의 데이터 라인이 형성되는 부위에 대응하여 상기 게이트 라인과 동일층에 상기 제 1 데이터 라인 번호의 역상으로 형성된 것임이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2a는 본 발명의 데이터 라인의 라인 번호가 형성된 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도 및 도 2b는 도 2a의 B~B'선상의 구조 단면도이다.
도 2a와 같이, 본 발명의 데이터 라인 번호가 형성된 액정 표시 장치의 어레이 기판은, 어레이부와 상기 어레이부 주위에 배치되는 패드부로 이루어진다.
상기 어레이부 내에는 수직으로 교차되어 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인(미도시)과 복수개의 데이터 라인(120)과, 상기 화소 영역 각각에 형성된 복수개의 화소 전극(미도시)과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인(120)의 교차부에 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터(미도시)와, 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인(120)에 수직한 방향으로 일 라인으로 형성되어 공통 전압을 공급하는 공통 전압 라인(110, 도 2a에는 상기 데이터 라인에 수직한 방향의 공통 전압 라인만 도시되어 있음)이 구성된다. 이 때, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극, 상기 데이터 라인(120)으로부터 돌출된 소오스 전극, 이와 소정 간격 떨어진 드레인 전극 및 반도체층으로 이루어진다.
이와 같이, 매트릭스 형태로 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소 전극 등이 형성되는 어레이부 주위로, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 신호를 인가하는 패드부가 형성된다.
그리고 패드부에서는 상기 어레이부를 지나 상기 패드부까지 형성되어 있는 데이터 라인(120) 각각의 단부에 인접하여, 각 라인의 순서를 표시하는 제 1 데이터 라인 번호(150b)가 형성된다. 이 때, 데이터 라인(120)이 형성되는 부위에 해당되는 부위 중 소정 부분에 대응되어, 게이트 라인(미도시) 및 공통 전압 라인(110)과 동일층에 상기 제 1 데이터 라인 번호(150b)의 역상으로 제 2 데이터 라인 번호(150a)가 형성된다. 이 때, 상기 제 2 데이터 라인 번호(150a)는 상기 데이터 라인(120)과의 사이에 게이트 절연막(200)을 개재하고 있어, 상기 데이터 라인(120)과의 직접적인 도전을 피하고 있다.
도 2a에서는, 상기 데이터 라인(120)에 부여되는 제 1 데이터 라인 번호(150b) 및 제 2 데이터 라인 번호(150a)만을 도시하고, 게이트 라인(미도시)에 부여되는 게이트 라인 번호는 도시하지 않았다. 여기서, 게이트 라인 번호는 도 2a의 도시된 도면에서 어레이부를 지나, 타측 패드부(미도시)까지 연장된 게이트 라인의 단부 또는/및 그 주위에 인접하여에 형성한다.
그리고, 상기 어레이부 내에는 TFT 어레이(미도시)가 형성되며, 상기 패드부에는 상기 공통 전압 라인(110) 및 상기 데이터 라인(120)과 연결되는 정전기 방지 회로가 형성된다.
도 2a 및 도 2b를 참조하여, 상기 공통 전압 라인(110), 상기 데이터 라인(120) 및 상기 데이터 라인(120)의 해당 번호를 나타내는 제 1 데이터 라인 번호(150b) 및 제 2 데이터 라인 번호(150a)의 층간의 관계와 본 발명의 액정 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 살펴보면, 다음과 같다.
먼저, 기판(100)의 중심 영역을 TFT 어레이를 형성할 어레이부로 정의하고, 상기 어레이부 주위를 상기 TFT 어레이에 신호를 인가할 패드부로 정의한다.
이어, 상기 기판(100) 전면에 게이트 라인 형성용 금속을 전면 증착하고 이를 패터닝하여 공통 전압 라인(110), 제 1 데이터 라인 번호(150b), 제 2 데이터 라인 번호(150a)를 형성한다.
이 때, 상기 제 1 데이터 라인 번호(150b)는 일반적인 데이터 라인 번호와 같은 위치로, 이후 공정에서 형성되는 데이터 라인 단부에 인접하여 형성하고, 상기 제 2 데이터 라인 번호(150a)는 데이터 라인이 형성되는 위치에 대응하도록 상기 게이트 라인 형성용 금속을 제 1 데이터 라인 번호(150b)의 역상으로 패터닝하여 형성한다.
이어, 상기 공통 전압 라인(110) 및 제 1 데이터 라인 번호(150b), 제 2 데이터 라인 번호(150a)를 포함한 기판(100) 전면에 게이트 절연막(200)을 증착한다.
이어, 상기 제 2 데이터 라인 번호(150a)를 덮도록 상기 게이트 절연막(200) 상에 상기 공통 전압 라인(110)과 수직한 방향으로 데이터 라인(120)을 형성한다.
도면에는 도시하지 않았지만, 상기 공통 전압 라인(110) 형성시에는 상기 공통 전압 라인(110)과 평행한 방향으로 게이트 라인들을 형성하고, 상기 게이트 라인의 소정 부분을 돌출시켜 게이트 전극(미도시)을 형성하고, 상기 데이터 라인(120)의 소정 부분은 소오스/드레인 전극(미도시)을 형성함으로써, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차점에 각 전극으로 구성된 박막 트랜지스터(미도시)를 형성한다.
이어, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차 영역에 박막 트랜지스터와 연결된 화소 전극(미도시)을 형성하여 액정 표시 장치의 어레이 기판 형성을 완료한다.
도 3a는 본 발명의 게이트 라인 번호가 형성된 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도 및 도 3b는 도 3a의 C~C'선상의 구조 단면도이다.
도 3a와 같이, 본 발명의 액정 표시 장치의 어레이 기판은 어레이부와 상기 어레이부 주위에 배치되는 패드부로 이루어진다.
상기 어레이부 내에는 수직으로 교차되어 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인(210)과 복수개의 데이터 라인(미도시)과, 상기 화소 영역 각각에 형성된 복수개의 화소 전극(미도시)과, 상기 게이트 라인(210) 및 데이터 라인의 교차부에 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터(미도시)와, 상기 게이트 라인(210) 또는 데이터 라인에 수직한 방향으로 일 라인으로 형성되어 공통 전압을 공급하는 공통 전압 라인(115, 도 3a에는 상기 게이트 라인에 수직한 방향의 공통 전압 라인만 도시되어 있음)이 구성된다. 이 때, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 라인(210)으로부터 돌출된 게이트 전극(미도시), 상기 데이터 라인(미도시)으로부터 돌출된 소오스 전극, 이와 소정 간격 떨어진 드레인 전극 및 반도체층을 포함하여 이루어진다.
이와 같이, 매트릭스 형태로 게이트 라인(210), 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소 전극 등이 형성되는 어레이부 주위로 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 신호를 인가하는 패드부가 형성된다.
그리고 패드부에서는 상기 어레이부를 지나 상기 패드부까지 형성되어 있는 게이트 라인(210)의 단부에 인접하여, 각 라인의 순서를 표시하는 제 1 게이트 라인 번호(170)가 형성된다. 이 때, 게이트 라인(210) 단부의 소정 영역에서 상기 제 1 게이트 라인 번호(170)의 역상을 선택적으로 제거하여 제 2 게이트 라인 번호(160)를 형성한다. 이 때, 상기 게이트 라인(210)에서 상기 제 1 게이트 라인 번호(170)의 역상으로 제거된 부분이 바로 제 2 게이트 라인 번호(160)이다.
이 때, 상기 공통 전압 라인(115)과 제 1 게이트 라인 번호(170)는 상기 데이터 라인(미도시)과 동일층으로, 실제로는 상기 데이터 라인을 패터닝하는 공정 중에 형성된다.
여기서, 데이터 라인 번호는 도 3a의 도시된 도면에서 어레이부를 지나, 타측 패드부(미도시)까지 연장된 데이터 라인(미도시)의 단부에 형성한다.
그리고, 상기 어레이부 내에는 TFT 어레이(미도시) 형성되며, 상기 패드부에는 상기 게이트 라인(210)과 상기 공통 전압 라인(115)을 연결하여 정전기 방지 회로가 형성된다.
도 3b를 참조하여, 상기 게이트 라인(210), 상기 공통 전압 라인(115), 상기 제 1 및 제 2 게이트 라인 번호(170, 160)의 층간의 관계와 본 발명의 액정 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 살펴보면, 다음과 같다.
먼저, 기판(100)의 중심 영역을 TFT 어레이를 형성할 어레이부로, 상기 어레이부 주위를 상기 TFT 어레이에 신호를 인가할 패드부로 정의한다.
이어, 상기 기판(100) 전면에 게이트 라인 형성용 금속을 전면 증착하고 이를 패터닝하여 게이트 라인(210) 및 제 2 게이트 라인 번호(160)를 형성한다. 여기서, 상기 제 2 게이트 라인 번호(160)는 게이트 라인(210)의 단부의 소정 부위에서 해당 라인 번호를 역상으로 제거하도록 하여 형성하는 것이다. 이는, 기판(100)의 후면에서 관찰시 바른 상으로 보이도록 하여, 리페어 등의 공정에서 해당 게이트 라인(210)의 관찰히 용이하도록 하기 위함이다.
삭제
이어, 상기 게이트 라인(210) 및 제 2 게이트 라인 번호(160)를 포함한 기판(100) 전면에 게이트 절연막(200)을 증착한다.
이어, 상기 게이트 절연막(200) 상에 상기 게이트 라인(210)과 수직한 방향으로 공통 전압 라인(115) 및 데이터 라인(미도시)을 형성하고, 상기 게이트 라인(210)의 단부에 인접한 부위에 제 1 게이트 라인 번호(170)를 형성한다. 이 때, 상기 제 1 게이트 라인 번호(170)는 일반적인 게이트 라인 번호와 같은 위치로, 상기 데이터 라인 형성층에서 상기 게이트 라인(210) 단부에 인접하여 형성한다.이와 같이, 리페어시 기판 후면에서 각 라인을 인식하기 때문에, 상기에서 기술한 제 2 게이트 라인 번호(160)나, 앞서 기술한 실시예에서의 제 2 데이터 라인 번호(150a)는, 그 상을 기판 후면에서 정상의 패턴으로 보도록 실제 기판 상에는 역상으로 형성한다. 이러한 제 1, 제 2 게이트 라인 번호(170, 160) 및 제 1, 제 2 데이터 라인 번호(150b, 150a)는 그 성분이 게이트 라인 또는 데이터 라인을 형성하는 라인 형성용 금속으로서, 기판 상에 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속막을 전면 증착하고 공통 라인(115)을 패터닝하는 공정을 통해 형성한다.
삭제
또한, 상기 제 2 게이트 라인 번호(160) 및 상기 제 2 데이터 라인 번호(150a)는 리페어시 각 라인의 인식용으로, 특히 후면 관찰에 용이한 패턴으로, 필요에 따라 선택적으로 형성하거나, 둘 다 형성하는 것이 모두 가능하다.
이와 같이, 상기 제 2 게이트 라인 번호나, 제 2 데이터 라인 번호를 모두 게이트 라인과 동일층에서 역상으로 패터닝하는 이유는, 기판 상에 바로 게이트 라인이 형성되고 있기 때문에, 기판 후면에서 각 라인을 인식하기 쉽기 때문이다.
상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치의 어레이 기판은 다음과 같은 효과가 있다.
셀 완성 후 글래스 후면에서의 점결함(PD : Point Defect)이나 선결함(LD : Line Defect) 리페어하는 공정시 바른 형태의 상을 기판 후면에서 직접 관측할 수 있어, 리페어의 시간을 단축하고, 해당 라인의 혼동의 염려가 없어 리페어 성공률을 향상시킬 수 있다.
도 1a는 종래의 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도도 1b는 도 1a의 A~A'선상의 구조 단면도
도 2a는 본 발명의 데이터 라인의 라인 번호가 형성된 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도도 2b는 도 2a의 B~B'선상의 구조 단면도
도 3a는 본 발명의 게이트 라인의 라인 번호가 형성된 액정 표시 장치의 어레이 기판을 나타낸 평면도도 3b는 도 3a의 C~C'선상의 구조 단면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*
100 : 기판 110, 115 : 공통 전압 라인
120 : 데이터 라인 200 : 게이트 절연막
210 : 게이트 라인
150b/150a : 제 1, 2 데이터 라인 번호
170/160 : 제 1, 2 게이트 라인 번호

Claims (3)

  1. 어레이부와 상기 어레이부 주위로 패드부가 정의된 기판;
    상기 기판상에 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인;
    상기 패드부의 게이트 라인 및 데이터 라인 각각의 라인 단부에 소정 간격 이격되어 형성된 제 1 게이트 라인 번호 및 제 1 데이터 라인 번호; 및
    상기 게이트 라인과 동일층에 상기 게이트 라인 및 데이터 라인 각각에 대하여 상기 제 1 게이트 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 게이트 라인 번호 및 상기 제 1 데이터 라인 번호의 역상으로 형성된 제 2 데이터 라인 번호를 포함하여 이루어진 액정 표시 장치의 어레이 기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 게이트 라인 번호는 패드부의 게이트 라인의 소정 부위가 상기 제 1 게이트 라인 번호의 역상으로 제거된 것임을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 어레이 기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 데이터 라인 번호는 패드부의 데이터 라인이 형성되는 부위에 대응하여 상기 게이트 라인과 동일층에 상기 제 1 데이터 라인 번호의 역상으로 형성된 것임을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 어레이 기판.
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