JPH0750278B2 - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPH0750278B2 JPH0750278B2 JP13497988A JP13497988A JPH0750278B2 JP H0750278 B2 JPH0750278 B2 JP H0750278B2 JP 13497988 A JP13497988 A JP 13497988A JP 13497988 A JP13497988 A JP 13497988A JP H0750278 B2 JPH0750278 B2 JP H0750278B2
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- Japan
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136213—Storage capacitors associated with the pixel electrode
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02F1/1306—Details
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- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は非線形素子を用いて液晶を駆動する、いわゆる
アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置、特にその
アクティブマトリクス基板の構造に関するものである。
アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置、特にその
アクティブマトリクス基板の構造に関するものである。
従来の技術 従来、液晶表示装置（LCD）は時計、電卓を中心として
利用されてきたが、今後の新規用途分野としては、テレ
ビ、ビューファインダー、ビデオモニターといった映像
表示分野やコンピュータ用の端末等、大画面化、高密度
化といった大容量表示素子としての要求が高まってきて
いる。
利用されてきたが、今後の新規用途分野としては、テレ
ビ、ビューファインダー、ビデオモニターといった映像
表示分野やコンピュータ用の端末等、大画面化、高密度
化といった大容量表示素子としての要求が高まってきて
いる。
しかし、従来の単純マトリクス方式ではクロストークの
問題があり、電圧平均化法による駆動ではコントラスト
が5:1〜15:1程度で十分な画質が得られていない。その
ため、非線形素子、例えば薄膜トランジスタ（TFT）な
どを液晶駆動素子として画素毎に設け、スイッチ素子と
してクロストークの問題を改善し、更にはスイッチ素子
に映像信号の保持を目的として蓄積コンデンサを設ける
ことにより、コントラスト40:1以上の高画質を達成して
いる。更に、蓄積コンデンサの一方側の電極を、隣接す
る画素電極に対して形成蓄積コンデンサのもう一方の電
極に接続したいわゆる共通電極で形成することにより、
駆動方法の工夫により消費電力の低減を達成している。
問題があり、電圧平均化法による駆動ではコントラスト
が5:1〜15:1程度で十分な画質が得られていない。その
ため、非線形素子、例えば薄膜トランジスタ（TFT）な
どを液晶駆動素子として画素毎に設け、スイッチ素子と
してクロストークの問題を改善し、更にはスイッチ素子
に映像信号の保持を目的として蓄積コンデンサを設ける
ことにより、コントラスト40:1以上の高画質を達成して
いる。更に、蓄積コンデンサの一方側の電極を、隣接す
る画素電極に対して形成蓄積コンデンサのもう一方の電
極に接続したいわゆる共通電極で形成することにより、
駆動方法の工夫により消費電力の低減を達成している。
第２図（ａ）は従来のマトリクス状の配列されたTFTと
蓄積コンデンサの等価回路を示し、同図（ｂ）は液晶表
示装置の断面図を示している。
蓄積コンデンサの等価回路を示し、同図（ｂ）は液晶表
示装置の断面図を示している。
図中１は映像信号を供給する信号配線（VS1,VS2,…）、
２は走査信号を供給するゲート配線（VG1,VG2,V
G3…）、３はTFT、４は蓄積コンデンサ、５は画素電極
部の液晶誘電体を示し、６は対向基板７側に設けられた
対抗電極８に印加される信号VCOMの供給端である。更に
同図（ｂ）において９は液晶、10はアクティブ素子11の
形成されたTFTアレー基板、12は信号配線あるいはゲー
ト配線の取り出し電極、13はシールを示す。
２は走査信号を供給するゲート配線（VG1,VG2,V
G3…）、３はTFT、４は蓄積コンデンサ、５は画素電極
部の液晶誘電体を示し、６は対向基板７側に設けられた
対抗電極８に印加される信号VCOMの供給端である。更に
同図（ｂ）において９は液晶、10はアクティブ素子11の
形成されたTFTアレー基板、12は信号配線あるいはゲー
ト配線の取り出し電極、13はシールを示す。
更に第３図（ａ）に従来の１画素部の平面図、同図
（ａ）のＡ−Ｂ線によるTFT部の断面図を同図（ｂ）
に、同図（ａ）のＣ−Ｄ線による蓄積コンデンサ部の断
面図を同図（ｃ）に示している。
（ａ）のＡ−Ｂ線によるTFT部の断面図を同図（ｂ）
に、同図（ａ）のＣ−Ｄ線による蓄積コンデンサ部の断
面図を同図（ｃ）に示している。
第３図においてアレー基板10上に蓄積コンデンサの共通
電極となる透明性導電膜（例えばiTO）14をパタン化
し、その上に蓄積コンデンサの誘電体となる絶縁膜23を
全面形成する。その上にゲート電極16、画素電極となる
透明性導電膜15をそれぞれ形成パタン化する。その後TF
Tのゲート絶縁膜22、チャネル18、チャネル保護膜とし
て絶縁性膜17を形成し、画素電極15へのコンタクトホー
ル19を形成しドレイン電極21と結合する。またリース電
極20は信号配線として取り出し電極へ接続される。以上
の様にしてTFTがマトリクス状に形成されたTFTアレー基
板が構成される。
電極となる透明性導電膜（例えばiTO）14をパタン化
し、その上に蓄積コンデンサの誘電体となる絶縁膜23を
全面形成する。その上にゲート電極16、画素電極となる
透明性導電膜15をそれぞれ形成パタン化する。その後TF
Tのゲート絶縁膜22、チャネル18、チャネル保護膜とし
て絶縁性膜17を形成し、画素電極15へのコンタクトホー
ル19を形成しドレイン電極21と結合する。またリース電
極20は信号配線として取り出し電極へ接続される。以上
の様にしてTFTがマトリクス状に形成されたTFTアレー基
板が構成される。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の構造においては、TFTアレー基板の
構造が複雑であり、各部での絶縁膜のピンホール、異物
によるショート不良、例えばゲートとリースのクロスシ
ョート、蓄積コンデンサ部のショート不良が発生する。
このため画像品質において最も重要な課題である点欠陥
不良率が高くTFTによるLCDパネルの歩留りは低く、製造
コストが高くなるという問題点を有していた。
構造が複雑であり、各部での絶縁膜のピンホール、異物
によるショート不良、例えばゲートとリースのクロスシ
ョート、蓄積コンデンサ部のショート不良が発生する。
このため画像品質において最も重要な課題である点欠陥
不良率が高くTFTによるLCDパネルの歩留りは低く、製造
コストが高くなるという問題点を有していた。
本発明はかかる点に鑑み、蓄積コンデンサ部のショート
不良を、表示品質に影響しない程度に修復し、TFTアレ
ー基板の歩留りを向上させる液晶表示装置の構造を提供
することを目的とする。
不良を、表示品質に影響しない程度に修復し、TFTアレ
ー基板の歩留りを向上させる液晶表示装置の構造を提供
することを目的とする。
課題を解決するための手段 本発明は、画素毎のTFTに接続された蓄積コンデンサの
一方の電極をマスクパタンでリソグラフィー技術を用い
て複数の要素に、かつこの要素がすべて隣接する画素電
極に対して形成される蓄積コンデンサのもう一方の電極
と接続された共通電極となるよう分割した構造に形成す
るものである。
一方の電極をマスクパタンでリソグラフィー技術を用い
て複数の要素に、かつこの要素がすべて隣接する画素電
極に対して形成される蓄積コンデンサのもう一方の電極
と接続された共通電極となるよう分割した構造に形成す
るものである。
作用 本発明は前記した手段によって得られた構造をもつ液晶
表示装置を提供することにより、蓄積コンデンサ部のシ
ョート不良を複数分割のコンデンサのうちショート不良
を発生させているコンデンサのみを顕微鏡下で選別し
（実際の不良箇所は２〜10μｍ程度のものがほとんどで
判断可能である。）、そのコンデンサをレーザー等で破
壊し切り離す。蓄積容量は分割数の逆数程度低下する
が、実際の画像では画素密度により異なり、２分割〜４
個の要素への分割で実用可能な輝度低下の範囲にあり、
蓄積コンデンサ部のショート不良が低減できる。
表示装置を提供することにより、蓄積コンデンサ部のシ
ョート不良を複数分割のコンデンサのうちショート不良
を発生させているコンデンサのみを顕微鏡下で選別し
（実際の不良箇所は２〜10μｍ程度のものがほとんどで
判断可能である。）、そのコンデンサをレーザー等で破
壊し切り離す。蓄積容量は分割数の逆数程度低下する
が、実際の画像では画素密度により異なり、２分割〜４
個の要素への分割で実用可能な輝度低下の範囲にあり、
蓄積コンデンサ部のショート不良が低減できる。
実施例 第１図は本発明の第１の実施例における液晶表示装置の
TFTアレー基板上に形成される１画素の平面図ａと、同
図（ａ）のＥ−Ｆ線による蓄積コンデンサ部の断面図ｂ
を示すものである。従来の第４図（ａ），（ｃ）と異な
るのは、蓄積コンデンサの共通電極14と画素電極15の形
状だけであり、第１図（ａ），（ｂ）に示す様に、画素
電極15と共通電極14の重なり合う部分の共通電極14側が
２個の要素に分割されており、蓄積コンデンサが１画素
で２個の並列接続の形でドレイン電極21に結合される。
しかるに、この２個の要素に分割された共通電極14をも
つ蓄積コンデンサの誘電体となる絶縁膜23がどちらかで
ショート不良を発生した場合、第１図（ａ）のａ−ｂと
ｄ−ｅあるいはｂ−ｃとｅ−ｆの共通電極14を２箇所レ
ーザー等で破壊分離させることによりショート不良が修
復できる。この切り離しを行った後も、ショートのない
方の要素は隣接する画素電極に対して形成される蓄積コ
ンデンサのもう一方の電極と接続された共通電極として
機能する。このように蓄積コンデンサの共通電極は、シ
ョート不良部分を切り離した後も共通電極として機能す
るよう、複数の要素に分割している。
TFTアレー基板上に形成される１画素の平面図ａと、同
図（ａ）のＥ−Ｆ線による蓄積コンデンサ部の断面図ｂ
を示すものである。従来の第４図（ａ），（ｃ）と異な
るのは、蓄積コンデンサの共通電極14と画素電極15の形
状だけであり、第１図（ａ），（ｂ）に示す様に、画素
電極15と共通電極14の重なり合う部分の共通電極14側が
２個の要素に分割されており、蓄積コンデンサが１画素
で２個の並列接続の形でドレイン電極21に結合される。
しかるに、この２個の要素に分割された共通電極14をも
つ蓄積コンデンサの誘電体となる絶縁膜23がどちらかで
ショート不良を発生した場合、第１図（ａ）のａ−ｂと
ｄ−ｅあるいはｂ−ｃとｅ−ｆの共通電極14を２箇所レ
ーザー等で破壊分離させることによりショート不良が修
復できる。この切り離しを行った後も、ショートのない
方の要素は隣接する画素電極に対して形成される蓄積コ
ンデンサのもう一方の電極と接続された共通電極として
機能する。このように蓄積コンデンサの共通電極は、シ
ョート不良部分を切り離した後も共通電極として機能す
るよう、複数の要素に分割している。
以上の様に本実施例によれば、蓄積コンデンサの共通電
極14を２個の要素に分割することにより、蓄積コンデン
サ部のショート不良を低減することができる。
極14を２個の要素に分割することにより、蓄積コンデン
サ部のショート不良を低減することができる。
尚、第１の実施例において共通電極14の分割数は、ショ
ート不良、修復後の画像品質への影響度に関係してお
り、画素密度、画素配列、画素サイズ、画素形状等によ
り３以上としても良い。
ート不良、修復後の画像品質への影響度に関係してお
り、画素密度、画素配列、画素サイズ、画素形状等によ
り３以上としても良い。
発明の効果 以上説明した様に、本発明によれば、アクティブ方式の
液晶表示装置において、蓄積コンデンサ部のショート不
良が修復可能であり、その実用的効果は大きいものであ
る。
液晶表示装置において、蓄積コンデンサ部のショート不
良が修復可能であり、その実用的効果は大きいものであ
る。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明による第１の実施例の液
晶表示装置のTFTアレー基板側の１画素の平面図と蓄積
コンデンサ部の断面図、第２図（ａ），（ｂ）は従来の
アクティブ方式液晶表示装置のTFTアレー基板側のマト
リクス等価回路図とパネル断面図、第３図（ａ），
（ｂ），（ｃ）は従来のアクティブ方式液晶表示装置の
TFTアレー基板側の１画素の平面図とTFT部の断面図およ
び蓄積コンデンサ部の断面図である。 10……TFTアレー基板、14……共通電極、15……画素電
極、23……蓄積コンデンサ用絶縁膜。
晶表示装置のTFTアレー基板側の１画素の平面図と蓄積
コンデンサ部の断面図、第２図（ａ），（ｂ）は従来の
アクティブ方式液晶表示装置のTFTアレー基板側のマト
リクス等価回路図とパネル断面図、第３図（ａ），
（ｂ），（ｃ）は従来のアクティブ方式液晶表示装置の
TFTアレー基板側の１画素の平面図とTFT部の断面図およ
び蓄積コンデンサ部の断面図である。 10……TFTアレー基板、14……共通電極、15……画素電
極、23……蓄積コンデンサ用絶縁膜。
Claims (1)
- 【請求項１】一対の基板間に封入された液晶と、前記基
板の一方の基板上にマトリクス状に配列された薄膜トラ
ンジスタと、前記薄膜トランジスタのソース電極に接続
されてなる信号配線と、前記薄膜トランジスタのゲート
電極に接続されてなるゲート配線と、前記薄膜トランジ
スタのドレイン電極に接続されてなる画素電極と、前記
画素電極に対して形成される蓄積コンデンサのもう一方
の電極を有した液晶表示装置において、前記蓄積コンデ
ンサを形成する前記画素電極に対するもう一方の電極
は、前記電極画素の占める領域において複数の要素に分
割されており、かつ前記複数の要素はすべて隣接する画
素電極に対して形成される蓄積コンデンサのもう一方の
電極と接続された共通電極となるよう前記分割がなされ
ていることを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13497988A JPH0750278B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13497988A JPH0750278B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01303415A JPH01303415A (ja) | 1989-12-07 |
| JPH0750278B2 true JPH0750278B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=15141081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13497988A Expired - Fee Related JPH0750278B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750278B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2536632Y2 (ja) * | 1989-07-31 | 1997-05-21 | 三洋電機株式会社 | 液晶表示装置 |
| JPH07119919B2 (ja) * | 1991-05-15 | 1995-12-20 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 液晶表示装置 |
| JPH08893U (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-31 | 三洋電機株式会社 | 液晶表示装置 |
| JP4088619B2 (ja) | 2004-01-28 | 2008-05-21 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板及び表示装置 |
| WO2006064832A1 (ja) | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、表示装置、液晶表示装置およびテレビジョン装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01267520A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-25 | Seiko Epson Corp | 表示装置 |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP13497988A patent/JPH0750278B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01303415A (ja) | 1989-12-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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