KR102634099B1 - 모듈레이터 관리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스터에 장착되어 기판의 결함을 검사하는 복수의 모듈레이터를 관리하기 위한 모듈레이터 관리 장치가 개시된다. 모듈레이터 관리 장치는 모듈레이터들 각각에 장착되고 장착된 모듈레이터를 식별하기 위한 ID를 내장한 무선 태그, 모듈레이터의 ID와 장착 가능한 어레이 테스터의 기종과 모듈레이터가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보를 포함하는 모듈레이터 관리 정보를 모듈레이터 각각에 대해 저장하는 데이터 서버, 및 데이터 서버의 데이터 저장을 제어하며 현재 어레이 테스터에 장착된 모듈레이터의 ID를 무선 태그로부터 수신하고 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 데이터 서버로부터 독출하여 모듈레이터에 대한 셋업 정보를 설정하는 제어 유닛을 포함할 수 있다. 셋업 정보는 기판을 검사하기 위해 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함한다. 이와 같이, 모듈레이터 관리 장치는 무선 태그를 이용하여 현재 어레이 테스터에 투입된 모듈레이터를 파악하고 모듈레이터 관리 정보를 참조하여 셋업 정보를 설정함으로써, 각 모듈레이터의 특성에 맞게 시그널 패턴을 설정할 수 있다.

Description

모듈레이터 관리 장치 및 방법{Apparatus and method of managing modulator}
본 발명의 실시예들은 디스플레이 구동 회로들을 검사하는 모듈레이터를 관리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 전기적인 성능을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 장착될 수 있는 모듈레이터를 관리하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치는 구동 회로들이 형성된 TFT 기판을 포함한다. 일 예로서, LCD 기판의 경우 TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통 전극들이 형성된 컬러 필터 기판과, TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 포함할 수 있다.
일반적으로 어레이 테스터는 TFT 기판의 구동 회로들의 불량 여부를 검출하기 위해 사용될 수 있으며, TFT 기판을 지지하기 위한 스테이지와, TFT 기판의 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 프로브 유닛, TFT 기판을 조명하기 위한 광원과, TFT 기판의 상부에 배치되어 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 형성하며 광원으로부터의 조사된 광을 투과시키는 모듈레이터와, 모듈레이터를 촬상하여 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 판단하기 위한 검사 카메라 등을 포함할 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1470591호에는 광원으로부터 모듈레이터로 조사되는 광을 균일하게 하여 검사 신뢰도를 향상시키는 어레이 테스터가 개시되어 있다.
최근, 다양한 종류의 평판 디스플레이 장치가 개발되면서 평판 디스플레이 장치에 구비되는 화소의 크기가 다양하게 제조되어 출시되고 있다. 이에 따라, 검사 공정 시 어레이 테스터의 모듈레이터를 검사할 TFT 기판의 크기, 즉, TFT 기판에 형성된 화소의 크기에 따라 이에 적합한 해상도를 갖는 모듈레이터로 교체해야는 모듈레이터 교체 공정이 빈전하게 발생하고 있다.
이렇게 어레이 테스터의 모듈레이터를 교체할 경우 새로 교체된 모듈레이터의 불량 여부를 검사하기 위해 어레이 테스터를 시험 가동해야 하며, 작업자가 주기적으로 모듈레이터의 검출력을 수작업으로 확인해야한다. 또한, 모듈레이터의 화소 불량 검출 이력을 관리하지 않기 때문에, 모듈레이터 교체 시 기판의 검사를 위해 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 모듈레이터의 특성에 맞게 설정하는 셋업 공정에 많은 시간이 소요된다. 또한, 모듈레이터를 불량으로 판정할 정도는 아니지만 모듈레이터가 가지고 있는 작은 결함, 예컨대, 약간의 스크래치 등에 대한 정보를 관리하지 않기 때문에 기판 검사를 통해 확인된 결함이 모듈레이터의 결함인지 아니면 기판의 결함인지 자동으로 확인하기 어렵고, 이로 인해 검사 신뢰도가 저하되고 검사 공정 시간이 증가한다. 더욱이, 기판 검사 공정 중에 모듈레이터에서 실시간으로 진행되고 있는 모듈레이터의 결함을 확인할 수 없어 대량 불량으로 이어질 수 있다.
본 발명의 실시예들은 어레이 테스터에 장착되는 모듈레이터들을 효율적으로 관리할 수 있는 모듈레이터 관리 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스터에 장착되어 상기 디스플레이트 구동 회로들의 결함을 검사하는 복수의 모듈레이터를 관리하기 위한 모듈레이터 관리 장치는, 상기 모듈레이터들 각각에 장착되고 장착된 모듈레이터를 식별하기 위한 ID를 내장하며 무선 주파수를 이용하여 데이터 송신이 가능한 무선 태그, 모듈레이터의 ID와 장착 가능한 어레이 테스터의 기종과 모듈레이터가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보를 포함하는 모듈레이터 관리 정보를 상기 모듈레이터 각각에 대해 저장하는 데이터 서버, 및 유무선 통신이 가능하고 상기 데이터 서버의 데이터 저장을 제어하며 현재 어레이 테스터에 장착된 모듈레이터의 ID를 상기 무선 태그로부터 수신하고 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 상기 데이터 서버로부터 독출하여 상기 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터에 대한 셋업 정보를 설정하는 제어 유닛을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 셋업 정보는 상기 기판을 검사하기 위해 상기 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 데이터 서버는 모듈레이터에 대한 결함 정보를 상기 모듈레이터들 각각에 대해 저장하며 현재 기판을 검사중인 모듈레이터에서 생성된 상기 기판에 대한 검사 결과를 상기 제어 유닛의 제어에 의해 실시간으로 저장할 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛은 상기 데이터 서버로부터 상기 검사 결과를 전송한 모듈레이터에 대한 결함 정보와 상기 검사 결과를 독출하여 이를 근거로 상기 검사 결과에 대응하는 기판의 결함 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 모듈레이터 관리 장치.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 현재 기판을 검사중인 모듈레이터로부터 실시간으로 수신된 검사 결과들을 취합하여 상기 검사 결과들을 전송한 모듈레이터에서 현재 발생된 결함을 검출할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 무선 태그는 RFID 태그일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 모듈레이터 관리 방법은, 제어 유닛이 현재 상기 어레이 테스터에 장착된 모듈레이터의 무선 태그로부터 내장된 ID를 수신하는 단계, 상기 제어 유닛이 데이터 서버로부터 기 저장된 상기 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 독출하여 상기 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함하는 셋업 정보를 설정하는 단계, 및 상기 셋업 정보에 따라 상기 모듈레이터에 상기 시그널 패턴을 제공하여 상기 기판의 결함을 검사하되, 상기 모듈레이터에 의해 생성된 상기 기판에 대한 검사 결과를 상기 데이터 서버에 실시간으로 저장하는 단계를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 모듈레이터 관리 정보는 상기 모듈레이터의 ID와, 장착 가능한 어레이 테스터의 기종과, 상기 모듈레이터가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 모듈레이터 관리 방법은, 상기 모듈레이터가 상기 검사 결과를 전송하는 단계 이후에, 상기 제어 유닛이 상기 데이터 서버에 기 저장된 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보와 수신된 상기 검사 결과에 근거하여 상기 기판의 결함 여부를 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 모듈레이터 관리 방법은, 상기 모듈레이터가 상기 검사 결과를 전송하는 단계 이후에, 상기 제어 유닛이 상기 모듈레이터에 의해 생성된 상기 기판에 대한 검사 결과들을 취합하여 상기 모듈레이터에 발생된 새로운 결함을 실시간으로 검출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 모듈레이터 관리 장치는 무선 태그를 이용하여 현재 어레이 테스터에 투입된 모듈레이터를 파악하고 모듈레이터 관리 정보를 참조하여 셋업 정보를 설정함으로써, 각 모듈레이터의 특성에 맞게 시그널 패턴을 설정할 수 있다. 이에 따라, 모듈레이터 관리 장치는 모듈레이터 교체 시 교체된 모듈레이터에 대한 셋업 시간을 단축할 수 있고, 어레이 테스터의 검사 공정 효율 및 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 모듈레이터 관리 장치는 결함 정보를 참조하여 기판의 결함 유무를 판단함으로써, 검사 결과를 통해 확인된 결함이 모듈레이터의 결함인지 아니면 기판의 결함인지를 정확하게 파악할 수 있다. 이에 따라, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있고 모듈레이터의 결함으로 인한 대량 불량 판정을 방지할 수 있다.
또한, 모듈레이터 관리 장치는 현재 기판을 검사중인 모듈레이터에 의해 생성된 검사 결과들을 취합하여 검사 결과들에 대응하는 모듈레이터에서 현재 검사 공정 중에 발생한 결함을 검출할 수 있다. 이에 따라, 모듈레이터에서 발생한 진행성 결함으로 인한 대량 불량 판정을 방지할 수 있다. 또한, 검출된 모듈레이터의 결함의 정도에 따라 모듈레이터를 신속하게 교체하거나 수리할 수 있으므로, 파티클 부착과 같은 모듈레이터의 결함으로 기판에 결함이 발생하는 것을 방지하고, 제품의 수율과 검사 신뢰도 및 공정 효율성을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈레이터 관리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 모듈레이터들이 장착될 수 있는 어레이 테스터를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 화소 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모듈레이터 관리 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈레이터 관리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈레이터 관리 장치(200)는
복수의 화소 전극들(미도시)을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판에 대하여 화소 불량을 검사하기 위한 모듈레이터(112)를 관리하는데 이용될 수 있다. 특히, 상기 모듈레이터 관리 장치(200)는 상기 모듈레이터(112)에 대한 정보를 관리함으로써 상기 모듈레이터(112) 교체시 이를 점검하는 시간과 셋업 시간을 획기적으로 줄일 수 있다. 상기 모듈레이터(112)는 상기 기판에 대한 전기적인 특성을 검사하는 어레이 테스터에 구비될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 모듈레이터들이 장착될 수 있는 어레이 테스터를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 화소 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 어레이 테스터(100)는 디스플레이 패널의 TFT 기판과 같이 상기 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)에 대한 성능 검사를 위해 사용될 수 있다.
구체적으로, 상기 어레이 테스터(100)는 상기 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(120)와, 상기 스테이지(120) 상측에 배치되며 상기 디스플레이 구동 회로들의 결함을 검사하기 위한 복수의 화소 검사 유닛(110)과, 상기 화소 검사 유닛들(110)을 지지하며 상기 화소 검사 유닛들(110)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛(130)과, 상기 스테이지(120) 상측에 배치되어 상기 디스플레이 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 제공하기 위한 복수의 프로브 유닛(140)과, 상기 프로브 유닛들(140)을 지지하며 상기 프로브 유닛들(140)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛(150)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 갠트리 유닛들(130)에는 2개의 화소 검사 유닛들(110)이 각각 장착될 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들(150)에는 4개의 프로브 유닛들(140)이 각각 장착될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 화소 검사 유닛들(110) 각각은 상기 기판(10)의 화소 전극들과의 사이에 전기장을 발생시켜 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터(112)와, 상기 모듈레이터(112)의 상측에 배치되며 상기 모듈레이터(112)를 촬상하기 위한 검사 카메라(114)를 포함할 수 있다.
도면에 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 모듈레이터(112)는 공통 전압이 인가되는 공통 전극, 및 상기 기판(10)에 형성된 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성된 전기장에 의해 물성이 변화되는 전광 물질층을 구비할 수 있다. 상기 전광 물질층은 상기 전기장에 따라 분자 배열이 변하는 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)층일 수 있다. 상기 전광 물질층은 상기 기판(10)의 불량 유무에 따라 물성치가 변화될 수 있다. 즉, 상기 기판(10)의 화소 전극들이 정상일 경우 상기 모듈레이터(112)의 공통 전극과 상기 화소 전극들 사이에 전기장이 형성되며, 상기 전기장에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 전계 방향으로 변화되어 광이 투과될 수 있다.
구체적으로, 상기 화소 전극들이 정상일 경우 상기 공통 전극과 상기 화소 전극들 사이에 형성된 전계에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 변화되어 광이 투과될 수 있다. 반면, 상기 화소 전극들이 불량일 경우 상기 전광 물질층의 광 투과량이 감소되거나 광을 투과시키지 않을 수 있다. 이때, 상기 화소 전극들에 인가되는 화소 전압은 상기 프로브 유닛들(140)로부터 상기 디스플레이 구동 회로들에 인가되는 검사 신호에 의해 생성될 수 있다.
상기 검사 카메라(114)는 상기 모듈레이터(112)를 촬상하며, 상기 검사 카메라(114)에 의해 촬상된 이미지를 통해 상기 기판(10)의 결함 유무를 판단할 수 있다.
상기 화소 검사 유닛(110)은 수직 구동부(160)에 결합될 수 있다. 상기 수직 구동부(160)는 상기 제1 갠트리 유닛(130)에 장착될 수 있으며, 상기 모듈레이터(112)와 상기 검사 카메라(114)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 프로브 유닛들(140)은 상기 기판(10)에 형성된 디스플레이 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 탐침을 각각 구비하며, 상기 탐침들은 상기 기판(10)에 접촉되어 상기 검사 신호를 상기 디스플레이 구동 회로들에 인가한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 모듈레이터 관리 장치(200)는 상기와 같은 어레이 테스터(100)에 장착될 수 있는 복수의 모듈레이터(112)에 대한 정보를 관리하여 현재 상기 기판(10)의 검사 공정을 위해 상기 어레이 테스터(100)에 장착된 모듈레이터들(112) 각각에 대한 불량 유무를 자동으로 검사할 수 있다.
구체적으로, 상기 모듈레이터 관리 장치(200)는 각각의 모듈레이터(112)에 장착된 무선 태그(210)와, 상기 각각의 모듈레이터(112)에 대해 모듈레이터 관리 정보를 저장하는 데이터 서버(220)와, 상기 데이터 서버(220)에 저장되는 데이터를 관리하는 제어 유닛(230)를 포함할 수 있다.
상기 무선 태그(210)는 무선 주파수를 이용하여 데이터 송신이 가능하며 상기 무선 태그(210)가 장착된 모듈레이터에 대응하는 ID를 내장한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 무선 태그(210)로는 RFID 태그가 이용될 수 있다.
상기 데이터 서버(220)는 각 모듈레이터(112)의 특성과 불량 여부를 파악하기 위한 정보인 상기 모듈레이터 관리 정보를 저장한다. 상기 모듈레이터 관리 정보는 상기 모듈레이터(112)의 ID와, 장착 가능한 어레이 테스터(100)의 기종, 상기 모듈레이터(112)가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보를 포함할 수 있다. 이외에 상기 모듈레이터 관리 정보는 상기 모듈레이터(112)의 제조 일자, 기판 검사 회수 등에 대한 정보를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 기판 결함들로는 상기 검사 카메라(114; 도 3 참조)가 촬상한 상기 모듈레이터(112)의 이미지 상에서 점이 표시되는 점 불량, 라인이 표시되는 라인 불량, 검사 신호에 대응하는 컬러가 아닌 다른 컬러가 표시되는 화소 불량 등이 있다.
또한, 상기 데이터 서버(220)는 모듈레이터(112)가 가지고 있는 결함에 대한 정보를 상기 모듈레이터들(112) 각각에 대해 저장하며, 현재 기판(10)을 검사중인 모듈레이터에서 생성된 검사 결과를 상기 제어 유닛(230)의 제어에 의해 실시간으로 저장할 수 있다. 여기서, 상기 모듈레이터(112)의 결함 정보는 모듈레이터(112)를 불량으로 판정할 수 있는 결함과 불량으로 판정할 정도는 아닌 미세 결함, 예컨대, 미세 스크래치와 같은 결함을 포함할 수 있다.
한편, 상기 제어 유닛(230)은 유무선 통신이 가능하고, 현재 어레이 테스터(100)에 장착된 모듈레이터(112)의 ID를 해당 모듈레이터(112)에 장착된 무선 태그(210)로부터 수신한다. 상기 제어 유닛(230)은 상기 무선 태그(210)로부터 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 상기 데이터 서버(220)로부터 독출하여 상기 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터에 대한 셋업 정보를 설정한다. 여기서, 상기 셋업 정보는 상기 기판(10)을 검사하기 위해 상기 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함한다.
특히, 상기 제어 유닛(230)은 상기 시그널 패턴을 상기 모듈레이터 관리 정보를 참조하여 상기 셋업 정보를 설정함으로써, 각 모듈레이터(112)의 특성, 즉, 모듈레이터(112) 검출력에 맞게 시그널 패턴을 설정할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 결함들 중에서 특히 화소 불량을 잘 검출하는 모듈레이터의 경우 상기 화소 불량 검출을 위한 시그널 패턴이 설정될 수 있다. 상기 모듈레이터들(112)은 기종이 서로 동일하더라도 각 모듈레이터(112)가 갖는 검출력이 서로 다를 수 있다. 상기 제어 유닛(230)는 이러한 차이점을 고려하여 상기 모듈레이터(230) 별로 적합한 시그널 패턴을 자동으로 설정할 수 있다. 이에 따라, 상기 모듈레이터 관리 장치(200)는 상기 모듈레이터(112) 교체 시 교체된 모듈레이터(112)에 대한 셋업 시간을 단축할 수 있고, 상기 어레이 테스터(100)의 검사 공정 효율 및 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 제어 유닛(230)은 상기 데이터 서버(220)로부터 현재 검사 공정에 투입되어 상기 검사 결과를 전송한 모듈레이터에 대한 결함 정보와 상기 검사 결과를 독출하고, 독출한 결함 정보와 검사 결과를 근거로 하여 현재 검사 공정 중인 기판에 대한 결함 여부를 판단한다. 이렇게, 상기 제어 유닛(230)은 상기 모듈레이터(112)에 대한 결함 정보를 참조하여 상기 기판(10)의 결함 여부를 판단함으로써, 상기 검사 결과를 통해 확인된 결함이 상기 모듈레이터(112)의 결함인지 아니면 상기 기판(10)의 결함인지를 정확하게 파악할 수 있다. 이에 따라, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있고 모듈레이터(112)의 결함으로 인한 대량 불량 판정을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제어 유닛(230)은 현재 기판(10)을 검사중인 모듈레이터(112)에 의해 생성된 검사 결과들을 취합하여 상기 검사 결과들에 대응하는 모듈레이터(112)에서 현재 검사 공정 중에 발생한 결함을 검출할 수 있다. 이에 따라, 상기 모듈레이터(112)에서 발생한 진행성 결함으로 인한 대량 불량 판정을 방지할 수 있다. 또한, 검출된 모듈레이터의 결함의 정도에 따라 모듈레이터(112)를 신속하게 교체하거나 수리할 수 있어 파티클 부착과 같은 모듈레이터(112)의 결함으로 기판(10)에 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 모듈레이터 관리 장치(200)가 상기 어레이 테스터(100)에 장착된 모듈레이터들(112)을 관리하는 방법에 대해 구체적으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모듈레이터 관리 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 모듈레이터 관리 방법은, 먼저, 제어 유닛(230)이 현재 어레이 테스터(100)에 장착된 모듈레이터의 무선 태그로부터 내장된 ID를 수신한다(단계 S110).
상기 제어 유닛(230)이 데이터 서버(220)로부터 기 저장된 상기 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 독출하여 해당 모듈레이터(112)에 대응하는 셋업 정보를 설정한다(단계 S120). 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 셋업 정보를 설정하는 단계(S120)는 상기 어레이 테스터(100)의 모듈레이터(112)를 교체할 경우에 실시될 수 있으며, 상기 제어 유닛(230)은 새로 교체된 모듈레이터(112)에 대응하는 셋업 정보를 생성한다.
상기 셋업 정보에 따라 상기 모듈레이터(112)에 상기 시그널 패턴을 제공하여 상기 기판(10)의 결함을 검사하되, 상기 모듈레이터(112)에 의해 생성된 상기 기판(10)에 대한 검사 결과를 상기 데이터 서버(120)에 실시간으로 저장한다(단계 S130). 여기서, 상기 기판(10)에 대한 검사 공정 진행시 상기 모듈레이터(112)는 상기 기판(10)과 적정 거리를 유지해야 하며, 상기 모듈레이터(112)와 상기 기판(10) 간의 적정 거리는 약 50㎛일 수 있다.
이어, 상기 제어 유닛(230)이 상기 데이터 서버(220)에 기 저장된 상기 모듈레이터(110)에 대한 결함 정보와 수신된 상기 검사 결과에 근거하여 상기 기판(10)의 결함 여부를 판단한다(단계 S140).
또한, 상기 제어 유닛(230)이 상기 모듈레이터(112)에 의해 생성된 상기 기판(10)에 대한 검사 결과들을 취합하여 상기 모듈레이터(112)에 발생된 새로운 결함 결함을 실시간으로 검출한다.(단계 S150). 즉, 상기 제어 유닛(230)은 상기 모듈레이터(112)에 의해 생성되어 상기 데이터 서버(220)에 저장된 상기 기판(10)에 대한 검사 결과들을 이용하여 상기 모듈레이터(112)의 결함을 검출하고, 검출된 결함이 상기 모듈레이터(112)가 기존에 가지고 있던 결함이 아닌 새로운 결함인지를 기 저장된 상기 모듈레이터(112)의 결함 정보와 비교하여 파악한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 어레이 테스터 110 : 화소 검사 유닛
112 : 모듈레이터 114 : 검사 카메라
120 : 스테이지 130 : 제1 갠트리 유닛
140 : 프로브 유닛 150 : 제2 갠트리 유닛
160 : 수직 구동부 200 : 모듈레이터 관리 장치
210 : 무선 태그 220 : 데이터 서버
230 : 제어 유닛

Claims (7)

  1. 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스터에 장착되어 상기 디스플레이 구동 회로들의 결함을 검사하는 모듈레이터를 관리하기 위한 모듈레이터 관리 장치에 있어서,
    상기 모듈레이터에 장착되고, 상기 모듈레이터를 식별하기 위한 ID를 내장하며, 무선 주파수를 이용하여 데이터 송신이 가능한 무선 태그;
    상기 모듈레이터의 ID와 상기 모듈레이터의 장착이 가능한 어레이 테스터의 기종과 상기 모듈레이터가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보 및 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보를 포함하는 모듈레이터 관리 정보를 저장하는 데이터 서버; 및
    상기 모듈레이터의 ID를 상기 무선 태그로부터 수신하고, 상기 모듈레이터 관리 정보를 상기 데이터 서버로부터 독출하여 상기 모듈레이터에 대한 셋업 정보를 설정하는 제어 유닛을 포함하되,
    상기 셋업 정보는 상기 기판을 검사하기 위해 상기 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함하고,
    상기 제어 유닛은 상기 모듈레이터에서 생성된 상기 기판에 대한 검사 결과를 상기 데이터 서버에 저장하고, 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보와 상기 검사 결과를 비교하여 상기 기판의 결함을 검출하며, 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보와 상기 검사 결과를 비교하여 상기 모듈레이터의 진행성 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 모듈레이터 관리 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 무선 태그는 RFID 태그인 것을 특징으로 하는 모듈레이터 관리 장치.
  5. 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스터에 장착되어 상기 디스플레이 구동 회로들의 결함을 검사하는 모듈레이터를 관리하기 위한 모듈레이터 관리 방법에 있어서,
    상기 모듈레이터에 장착된 무선 태그로부터 상기 모듈레이터의 ID를 수신하는 단계;
    상기 수신된 ID에 대응하는 모듈레이터 관리 정보를 데이터 서버로부터 독출하여 상기 모듈레이터에 제공할 시그널 패턴을 포함하는 셋업 정보를 설정하는 단계; 및
    상기 셋업 정보에 따라 상기 모듈레이터에 상기 시그널 패턴을 제공하여 상기 기판을 검사하는 단계;
    상기 기판에 대한 검사 결과로부터 상기 기판의 결함을 검출하는 단계; 및
    상기 검사 결과로부터 상기 모듈레이터의 진행성 결함을 검출하는 단계를 포함하되,
    상기 모듈레이터 관리 정보는 상기 모듈레이터의 ID와, 상기 모듈레이터의 장착이 가능한 어레이 테스터의 기종과, 상기 모듈레이터가 이전 검사 공정들에서 검출한 기판 결함들을 나타내는 검출 이력 정보 및 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보를 포함하며,
    상기 검사 결과는 상기 데이터 서버에 저장되고, 상기 기판의 결함과 상기 모듈레이터의 진행성 결함은 상기 검사 결과와 상기 모듈레이터에 대한 결함 정보를 비교함으로써 검출되는 것을 특징으로 하는 모듈레이터 관리 방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
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KR20040059400A (ko) * 2002-12-28 2004-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치의 검사 장치 및 그 검사방법
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