JP2014202701A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 タッチパネルに形成される配線の太り／細りを検出して、この配線の良／不良の検査を迅速に且つ効率良く実施することができる検査装置及び検査方法の提供。
【解決手段】 ｘ軸表示配線とｘ軸タブ配線からなるｘ軸配線と、ｙ軸表示配線とｙ軸タブ配線からなる複数のｙ軸配線が直交して配置される検査物の検査装置であって、検査対象となる配線に交流信号を供給する電源手段と、検査対象となる配線の表示配線の一端に非接触で配置されるとともに、電源手段の他端と導通接続される第一検出手段と、検査対象となる配線の表示配線に対向且つ非接触で配置されるとともに、電源手段の他端と導通接続される第二検出手段とを有し、第一検出手段と第二検出手段の結果を基に配線の良／不良を判定する判定手段を備えることを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明は、タッチパネルの電気的特性を検出して、タッチパネルを検査する検査装置及び検査方法に関し、より詳しくは、非接触で電気信号を検出することにより、タッチパネルを傷つけることなく、タッチパネルに形成される配線の太り／細りを検出して、この配線の良／不良の検査を迅速に且つ効率良く実施することができる検査装置及び検査方法に関する。
尚、本発明は、タッチパネルのように、ｘ軸方向及びｙ軸方向にマトリクス状に配列される配線（又はパターンという）を有する検査対象物に対して検査を好適に実施することができ、そのような検査対象物を総称して、本明細書では「タッチパネル」と称する。

従来、タッチパネル（又は、タッチスクリーンやタッチ画面）と呼ばれるITO膜上に形成されるｘ軸方向及びｙ軸方向に形成されるマトリクス状に配置される配線を有する検査対象物は、ｘ軸方向とｙ軸方向に配置される夫々の配線に夫々接触子（針状の導通プローブ）を接触させて、各配線の導通と隣接する配線との短絡の検査が実施されていた。

しかしながら、このように接触子を各配線に接触させて検査を実施する方法では、ITO膜に形成される配線と接触子に安定性がなく、酸化膜による接触抵抗の不安定性から電気的特性が正確に測定できない問題を有していた。また、接触子が検査対象の配線と圧接されることになるため、配線に接触子が触れることによる打痕が形成される問題を有していた。

一方、特許文献１に開示されるように、組み立てられたタッチパネル上の所定のタッチ入力位置の検出を精度良く行うことができるタッチパネル全体の抵抗値等の電気的特性を正確に検査する検査技術が提案されている。このように、組み立てられたタッチパネルの機能の電気的特性を検査する技術が開示されている。

また、特許文献１に開示される技術以外にも、タッチパネルは、上記の如く、ｘ軸配線とｙ軸配線がクロスするように配置されているため、このｘ軸配線とｙ軸配線がクロスする交点箇所に接触子を接触させ、ｘ軸配線とｙ軸配線から夫々検査信号を供給して、接触子からの検出信号からｘ軸配線とｙ軸配線の良／不良の判定を実施している。

しかしながら、このような検査方法では、ｘ軸配線の総数とｙ軸配線の総数との乗算分だけ検査を実施する必要があり、このため、検査時間が冗長してしまう問題を有していた。

近年では、生産性を向上させる要求が高まっており、タクトタイムを短縮し、短時間で検査を完了させる必要がある。また特に近年では、タッチパネルがマルチタッチできる入力手段として利用されるため、パネル面全体を正確に配線が覆っている必要があり、配線の導通・短絡だけでなく、配線の太り／細りを検出して判定する要求が高まっている。

特開2005−274225号公報

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、検査対象物がｘ軸方向及びｙ軸方向にマトリクス状に配置される配線を有するタッチパネルのような検査物であっても、検査時間を短縮し、且つ配線の太り／細りの検査を効率良く実施することが可能となる検査装置及び検査方法を提供する。

請求項１記載の発明は、ｘ軸表示配線とｘ軸タブ配線からなる複数のｘ軸配線と、ｙ軸表示配線とｙ軸タブ配線からなる複数のｙ軸配線が直交して配置される検査物の各配線を検査する検査装置であって、検査対象となる前記配線に交流信号を供給する電源手段と、前記検査対象となる配線のタブ配線に導通接触して、前記交流信号を送信する接続手段と、前記検査対象となる配線の表示配線の一端に非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第一検出手段と、前記検査対象となる配線の表示配線に対向且つ非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第二検出手段と、前記第一検出手段と前記電源手段の間の電気信号を測定する第一測定手段と、前記第二検出手段と前記電源手段の間の電気信号を測定する第二測定手段と、前記第一測定手段と前記第二測定手段の測定結果を基に、前記検査対象の配線の良／不良を判定する判定手段を備えることを特徴とする検査装置を提供する。
請求項２記載の発明は、前記第二検出手段は、全ての前記ｘ軸表示配線と前記ｙ軸表示配に対向配置されるよう形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置を提供する。
請求項３記載の発明は、前記第二検出手段は、検査対象となる表示配線に対して直交方向に分割され、又は、該表示配線の直交方向及び平行方向のマトリクス状に分割されて形成されていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置を提供する。
請求項４記載の発明は、前記ｙ軸表示配線の一端に非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第三検出手段を有し、前記第一検出手段が、前記ｘ軸表示配線の一端に非接触で配置されることを特徴とする請求項１記載の検査装置を提供する。
請求項５記載の発明は、ｘ軸表示配線とｘ軸タブ配線からなる複数のｘ軸配線と、ｙ軸表示配線とｙ軸タブ配線からなる複数のｙ軸配線が直交して配置される検査物の各配線を検査する検査方法であって、検査対象となる前記配線のタブ配線に交流信号を供給し、前記検査対象となる配線の表示配線の一端と非接触で電気結合される電極部から検出される第一検出信号と、該表示配線と対向配置されるとともに非接触で電気結合される電極部から検出される第二検出信号とを検出し、前記第一検出信号と前記第二検出信号から、前記検査対象となる配線の検査を実施することを特徴とする検査方法を提供する。

請求項１及び５記載の発明によれば、表示配線に非接触で配置される第一及び第二検出手段を用いることで、表示配線を傷つけることなく検査を行うことができる。第一検出手段が表示配線の一端の電気信号を検出することにより、表示配線の導通検査を行うことができる。また、第二検出手段が表示配線に対向して配置されるため、表示配線の面積に応じた静電容量結合が生じることになり、この電気信号により表示配線の太り／細りを検出することができる。また、第一測定手段が表示配線の一端に対向するように配置されるため、表示配線の端部まで導通検査を実施することができる。
請求項２記載の発明によれば、全てのｘ軸表示配線とｙ軸表示配線に対向配置されているため、表示配線の面積を効率良く検出することができる。
請求項３記載の発明によれば、第二検出手段が検査対象となる表示配線に対して直交方向に分割されて形成されているため、検査対象の表示配線の太り／細りを細分化して判断することができ、検査精度の高い検査装置を提供することができる。
請求項４記載の発明によれば、第三検出手段を設けることによって、ｘ軸表示配線とｙ軸表示配線を同時に検査することができ、検査タクトを向上させることができる。

本発明の検査対象となるタッチパネルの一実施形態を示す概略平面図である。 本検査装置の概略構成を示す平面図である。 本検査装置が行う検査を説明するための概念図であり、説明の都合上タッチパネルの表示配線を一方方向に示したものを使用している。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本検査装置は、タッチパネルのようなｘ軸方向とｙ軸方向のマトリクス状に配置される複数の配線を有する基板やガラス基板に対して、検査効率を向上させることができる。
このため、まず、本検査装置の検査対象となるタッチパネルについて簡単に説明する。
図１は、本発明の検査対象となるタッチパネルの一実施形態を示す概略平面図である。この図１のタッチパネルTPでは、ガラス基板上にｘ軸方向に配置されるｘ軸配線とｙ軸方向に配置されるｙ軸配線が夫々複数配置されている。この図１では、ｘ軸配線が１４本（符号で示されるLine：Ｘ1〜Line:Ｘe）形成され、ｙ軸配線が８本（符号で示されるLine：Ｙ1〜Line:Ｙ8）形成されている。
タッチパネルTPのｘ軸配線とｙ軸配線は、これらの配線にて画面上のタッチエリア（P1とP2で覆われる部分）を覆うように配置されるため、図１で示す如き１本のｘ軸配線（及びｙ軸配線）が幅広部と幅狭部が繰り返して形成されることにより、タッチエリア全体を覆うように形成される。このように形成されることにより、タッチパネルTPが使用された場合に、タッチされた箇所（接触箇所）がどのｘ軸配線とどのｙ軸配線上に位置するのかを検出することができる。このタッチエリアは、ｘ軸配線のｘ軸表示配線ｘPと、ｙ軸配線のｙ軸表示配線ｙPから形成される。

図１のタッチパネルTPでは、ｘ軸配線とｙ軸配線が、夫々１４本と８本に形成されているが、これは特に限定されるものではなく、タッチパネル製造者によって適宜調整される。また、タッチパネルTPのタッチエリアや後述するタブ配線もその製造者により適宜調整されて形成され、幅広部と幅狭部の長さやその大きさもタッチパネル製造者により適宜調整される。

これらのｘ軸配線とｙ軸配線は、その一端がドライバなどの電子部品と接続が可能なように夫々、ｘ軸タブ配線ｘTとｙ軸タブ配線ｙT（タブ配線部T）が形成されており、他の電子部品との電気的接続部が夫々延設されて形成されている。このタブ配線部Tは、タッチエリアから平面視において離間した場所に形成され、電気的接続ができるようにされている。図１のタッチパネルTPでは、紙面に向かって右側に夫々（ｘ軸配線とｙ軸配線）のタブ配線部Tが形成されている。このタブ配線部Tは、タッチエリア以外の場所に一箇所に並列して形成されることができる。ｘ軸配線は、ｘ軸表示配線ｘPとｘ軸タブ配線ｘTとから形成されてなり、ｙ軸配線は、ｙ軸表示配線ｙPとｙ軸タブ配線ｙTとから形成されている。
なお、本明細書では、説明の都合上、ｘ軸表示配線ｘP及び／又はｙ軸表示配線ｙPを示す場合には表示配線ｗ１とし、ｘ軸タグ配線ｘT及び／又はｙ軸タグ配線ｙTをタグ配線ｗ２とする。

本検査装置１は、電源手段２、接続手段３、第一検出手段４、第二検出手段５、第一測定手段６、第二測定手段７及び判定手段８を有している。図２では、本検査装置１の概略構成を示す図である。図３は本検査装置が行う検査を説明するための概念図である。

電源手段２は、検査対象となる配線に交流信号を供給する。電源手段２は、交流信号を発生させる必要があり、例えば、周波数が10k〜1000kHzの範囲で、実効値が1〜10Vの範囲の電圧値を有する交流信号に設定することができる。電源手段２は、その一端が後述する接続手段３に接続されるともに、その他端は後述する第一検出手段４と第二検出手段５に接続される。

接続手段３は、検査対象となる配線のタブ配線ｗ２に導通接触して、電源手段２からの交流信号を送信する。この接続手段３は、電源手段２と電気的に接続される機能を有しているが、例えば、タブ配線ｗ２に接続する接触子３１と、電源手段２との電気的接続される切替部３２を利用することができる。接触子３１はタブ配線ｗ２の数と同数用意され、夫々がタブ配線ｗ２と接続される。切替部３２は、例えばON/OFF動作するスイッチ素子を採用することができる。この切替部３２の動作により、電源手段２とタグ配線ｗ２が導通接続されることになる。

第一検出手段４は、検査対象となる配線の表示配線ｗ１の一端に非接触で配置されるとともに、電源手段２の他端と導通接続される。第一検出手段４は、表示配線ｗ１の一端に非接触で配置されるため、第一検出手段４の端部からの電気信号を検出することができる。このため、第一検出手段４が検出する電気信号を基に、検査対象の配線（表示配線ｗ１とタグ配線ｗ２）の導通検査を実施することができる。

この第一検出手段４は、表示配線ｗ１から電気信号を取り出せる機能を有していれば良いが、より具体的には導電性の板状部材にて形成することもできるし、また、細長い導線を採用することもできる。特に、第一検出手段４が導線を採用することによって、表示配線ｗ１の端部に配置することが容易となるとともに廉価に製造することができる。

この第一検出手段４は、例えば、一方向に配置される表示配線（ｘ軸表示配線又はｙ軸表示配線）全てに対して、非接触接続されるよう配置されることが好ましい。例えば、図３では、符号L１から符号L6と記載される表示配線の全ての一端に対して、非接触で接続されている。このように第一検出手段４を設けることによって、複数の表示配線ｗ１を一括して検査を実施することができる。

上記の如く、第一検出手段４は一方向に配置される複数の表示配線ｗ１を、第一検出手段４を移動させることなく、一括して検査の実施を行うことができるが、第一検出手段４が検査対象とする表示配線ｗ１以外の表示配線ｗ１を検査対象とすべく、第一検出手段４に対して直角方向に配置される第三検出手段（図示せず）を設けることもできる。この第三検出手段は、第一検出手段４と同様の構成をしており、第一検出手段４と配置される位置が異なることになる。例えば、第一検出手段４がｘ軸表示配線に対して非接触で配置されている場合には、第三検出手段はｙ軸表示配線に対して非接触で配置されることになる。このように第一及び第三検出手段の二つを用いることによって、ｘ軸表示配線とｙ軸表示配線を同時に検査することができる。

第二検出手段５は、検査対象となる配線の表示配線ｗ１に対向且つ非接触で配置される。また、この第二検出手段５は、電源手段２の他端と導通接続される。第二検出手段５は、少なくとも検査対象となる表示配線ｗ１よりも大きい形状を有しており、表示配線ｗ１の全面と第二検出手段５が容量結合できる大きさが必要である。このように、第二検出手段５が表示配線ｗ１と全面で容量結合できる大きさを有しているため、第二検出手段５が検出する電気信号は表示配線ｗ１の面積に応じた電気信号となる。このため、この第二検出手段５の電気信号を用いることにより、表示配線ｗ１の太り／細りを判断することができる。

第二検出手段５は、全ての表示配線ｗ１に対して対向配置されていることが好ましい。このように第二検出手段５が配置されることより、電源手段２から供給される電気信号を入力する配線を制御することによって検査対象の配線の場所の位置に応じる必要が無く、所望の配線（表示配線）の電気信号を検出することができる。例えば、図３では、第二検出手段５は符号L1〜符号L6までの表示配線ｗ１全てを覆うように板状に形成されている。この第二検出手段５は、タッチパネルTPの表示配線ｗ１が形成される部位と略同じ若しくは僅かに大きく形成することが好ましい。このように形成することで、タッチパネルTPに形成される全ての表示配線ｗ１を覆うように対向配置できるからである。

この第二検出手段５は、検査対象となる表示配線ｗ１に対して直交方向に分割されて形成されることもできる。第二検出手段５がこのように分割されて配置された場合には、検査対象となる一つの表示配線ｗ１に対して、分割された複数の第二検出手段５により表示配線ｗ１を分割して、夫々がその分割された表示配線ｗ１部位の電気信号を検出することになる。つまり、このような構成を有することによって、分割された複数の第二検出手段５が、夫々に対応する部位として表示配線ｗ１を分割して、その部位の形状（面積）に応じた電気信号を検出することができる。このように第二検出手段５を分割することで、表示配線ｗ１の検査部位を分割して、分割された表示配線ｗ１毎の太り／細りをより精度良く検出することができる。

ｘ軸表示配線ｘPとｙ軸表示配線ｙPの両方に対して精度良く太り／細りの検査を実施する場合には、第二検出手段５をマトリクス状に分割して配置することで、ｘ軸表示配線ｘPとｙ軸表示配線ｙPともに対応することができる。
第二検出手段５を分割する場合には、特に限定されないが、ｘ軸表示配線ｘPとｙ軸表示配線ｙPの幅広部分と略同じ幅を有するように分割することが好ましい。このように分割することにより、幅広部の形状に応じて配線の太り／細りを検出することのできる電気信号を検出することができるからである。

第一測定手段６は、第一検出手段４と電源手段２の間の電気信号を測定する。この第一測定手段６は、一方端が第一検出手段４に直列接続され、他方端が電源手段２に直列接続される。第一測定手段６は、例えば、電流計を用いることができる。この第一測定手段６が測定する測定信号は、検査対象の配線の導通状態に起因する電気信号である。この第一測定手段６は、測定信号を判定手段へ送信する。

第二測定手段７は、第二検出手段５と電源手段２の間の電気信号を測定する。この第二測定手段７は、一方端が第二検出手段５に直列接続され、他方端が電源手段２に直列接続される。第二測定手段７は、例えば、電流計を用いることができる。この第二測定手段７が測定する測定信号は、検査対象の配線の表示配線ｗ１の面積に起因する電気信号である。この第二測定手段７からの測定信号は、表示配線ｗ１の面積に応じて静電容量結合が変化し、この影響を受けることになる。この第二測定手段７は、測定信号を判定手段へ送信する。

第二測定手段７は、上記の如く、第二検出手段５と接続されるが、第二検出手段５が分割されて形成されている場合には、切替により分割された夫々の第二検出手段５を第二測定手段７に接続することもできるし、分割された第二検出手段５の数に応じる第二測定手段７を設け、一対一に対応して接続させることもできる。一対一に対応して接続した場合には、検出した電気信号を同時に処理することが可能となり、検査タクトを短縮して対応することができる。

判定手段８は、第一測定手段６と第二測定手段７の測定結果を基に、検査対象の配線の良／不良を判定する。この判定手段８は、第一測定手段６の測定信号から、検査対象の配線の導通状態を判定する。第一測定手段７からの測定信号は検査対象の配線の導通状態を示しており、この測定信号と良品の場合の基準値と比較することによって、導通状態の良／不良を判定することができる。例えば、検査対象の配線が良品（配線に導通異常がない場合）には、測定信号は基準値と同一又は略同じ出力を有している。一方、検査対象の配線に導通異常（配線に断線箇所が存在する場合）には、測定信号は基準値よりも低い出力を有している。つまり、判定手段８は、第一測定手段６からの測定信号を予め設定される基準値と比較することで、検査対象の配線の導通状態の良／不良を判定することができる。

また、この判定手段８は、第二測定手段７の測定信号から、検査対象の配線の表示配線ｗ１の太り／細りの形状状態を判定する。第二測定手段７の測定信号は検査対象の配線の表示配線ｗ１部分の形状状態を示しており、この測定信号と良品の場合の基準値と比較することによって、形状状態の良／不良（太り／細り）を判定することができる。具体的には、良品の表示配線よりも表示配線の面積が大きい（太り）場合には、第二検出手段５との静電容量結合が大きくなり、第二測定手段７の測定信号も基準値よりも大きく出力されることになる。一方、良品の表示配線よりも表示配線の面積が小さい（細り）場合、第二検出手段５との静電容量結合が小さくなり、第二測定手段７の測定信号も基準値よりも小さく出力されることになる。つまり、判定手段８は、第二測定手段７からの測定信号を予め設定される基準値と比較することで、検査対象の配線の太り／細りの形状状態の良／不良を判定することができる。なお、第二検出手段５と第二測定手段７が分割して複数形成される場合には、各第二測定手段７の測定信号を各部位に応じて予め設定される基準値と比較することが行われる。

ここで、図３を用いて、本検査装置１が行う検査概念について説明する。図３のタッチパネルTPは表示配線L1からL6までが形成されている。この表示配線L1と表示配線L2は良品であり、表示配線L3には配線の細りがあり、表示配線L4には配線の太りがある。表示配線L5は表示配線の中央付近に断線箇所O1が形成されており、表示配線L６は表示配線の端部近傍に断線箇所O2が形成されている。

電源手段２により検査を実施するための交流信号が印加されると、接続手段３により表示配線L1から表示配線L6まで夫々信号が印加されることになる。そして、第一検出手段４を介して第一測定手段４が電気信号を測定する。また同時に第二検出手段５を介して第二測定手段７が電気信号を測定する。第一測定手段６と第二測定手段７は、夫々の表示配線の状態に応じる電気信号を測定することになる。
検査対象が表示配線L1である場合には、第一測定手段６と第二測定手段７は夫々予め設定される基準値と同じ又は略同じ値を測定することになる。検査対象が表示配線L2の場合も同様である。

検査対象が表示配線L3の場合には、第一測定手段６は基準値と同じ又は略同じ値を測定する。一方、第二測定手段７は、表示配線L3の細りの影響を受け、基準値よりも小さい出力値を得ることになる。
検査対象が表示配線L4の場合には、第一測定手段６は基準値と同じ又は略同じ値を測定する。一方、第二測定手段７は、表示配線L4の太りの影響を受け、基準値よりも大きい出力値を得ることになる。
検査対象が表示配線L5の場合には、第一測定手段６は、中央付近の断線箇所の影響を受けて、基準値より小さい出力値を得ることになる。また同じように、第二測定手段７は、中央付近の断線箇所の影響を受けて、基準値よりも小さい出力値を得ることになる。
検査対象が表示配線L6の場合には、第一測定手段６は、端部近傍の断線箇所の影響を受けて、基準値より小さい出力値を得ることになる。一方、第二測定手段７は、断線箇所が端部近傍であるためその影響を受けずに、基準値と同じ又は略同じ出力値を得ることになる。
このように、第一測定手段６と第二測定手段７の測定結果から、表示配線ｗ１の導通状態と形状状態を判定することができる。

本検査装置１は、制御手段９を有しいている。この制御手段９は、検査手順や検査方法、上記の基準値情報等のタッチパネルTPを検査するために必要な情報が格納されている記憶部(図示せず)を有している。この記憶部から検査を実施するに必要な情報を利用することになる。また、制御手段は、電源手段２、接続手段３、第一検出手段４、第二検出手段５、第一測定手段６、第二測定手段７と判定手段８の動作制御を行う。特に、この制御手段９は、電源手段２へ検査を実施するための交流信号を印加する促し、接続手段３へ検査対象を選出するよう促し、判定手段８へ第一測定手段６と第二測定手段７からの測定信号を基に検査対象の配線の良／不良の判定を行うよう促すことになる。
以上が本検査装置１の構成の説明である。

次に本検査装置の動作を説明する。
図４は、タッチパネルTPを装着した場合の本検査装置１の概略図である。この検査装置１では、第一検出手段４はｘ軸表示配線ｘPの一端に対向するようその下方に配置され、第二検出手段５はｘ軸表示配線ｘPとｙ軸表示配線ｙPを覆うようにその下方に配置されている。

検査に関する情報は、予め制御手段の記憶部へ格納され、例えば、良／不良を判定するための基準値情報などが格納されることになる。この格納された情報を基に、制御手段が検査を実施するための制御信号を必要に応じて各機能へ送信することになる。

本検査装置１が検査を実施する場合には、まず、検査対象の配線が選出される。図２の場合、縦方向に配置されるｘ軸配線ｘ１乃至ｘ軸配線ｘ５が検査される。まずは、ｘ軸配線ｘ１が選出されることになり、制御手段はｘ軸配線ｘ１が検査対象となるように接続手段３を動作させる。このとき、接続手段３は、ｘ軸配線ｘ１と電源手段２が導通接続するように動作する。スイッチ素子を有する場合には、ｘ軸配線ｘ１に接続されるスイッチのみをON動作させることで電源手段２と電気的に接続させることができる。なお、図２では、スイッチ素子のON/OFF動作は示していないが、このスイッチ素子がON／OFF動作することで接続が可能となる。

電源手段２とｘ軸配線ｘ１が接続されると、制御手段は電源手段２から交流信号を供給するよう促す。このとき、電源手段２は交流信号をｘ軸配線ｘ１へ供給することになる。

電源手段２から交流信号が供給されると、第一検出手段４と第二検出手段５はｘ軸配線ｘ１又はこのｘ軸表示配線の状態に応じた電気信号を検出することになる。第一検出手段４と第二検出手段５が電気信号を検出すると、これらの電気信号を第一測定手段６と第二測定手段７は測定することになる。第一測定手段６と第二測定手段７は、判定手段８へこれらの測定情報を送信することになる。

判定手段８は、第一測定手段６と第二測定手段７の測定情報を夫々予め設定される基準値と比較を行う。判定手段８は、上記の如く、測定値（測定結果）と基準値を比較することで、良／不良の判定を行う。なお、この場合、判定手段８は、第一測定手段６の測定値と基準値の比較結果からｘ軸配線ｘ１の導通状態を判定し、第二測定手段７の測定値と基準値の比較結果からｘ軸表示配線の形状状態を判定する。
ｘ軸配線ｘ１の判定が終了すると、ｘ軸配線ｘ２を検査対象として次の検査が実施され、ｘ軸配線ｘ５まで実施されることになる。

全てのｘ軸配線の検査が実施され、異常が検出されない場合には、良品として判定される。なお、この検査装置１ではｘ軸配線を検査対象とするものであるため、タッチパネルTPを90度回転させて、ｙ軸配線の検査を実施することもできる。ｘ軸配線とｙ軸配線の検査全てが完了し、いずれの配線も良品であれば、タッチパネルTPが良品であると判定されることになる。以上が本検査装置の動作の説明である。

図２の実施形態では、第三検出手段を備えていない場合を説明したが、タッチパネルTPを回転させることなく、ｙ軸配線の対応する第三検出手段などを用いることで、検査を効率良く実施することもできる。

本検査装置１は、タッチパネルTPの表示配線の太り／細りを検出することができるため、タッチパネルTPの判定だけでなく、配線の太り／細りからタッチパネルの製造工程の管理を実施することもできる。

本検査装置１では、配線間の絶縁検査を行うこともできる。この場合、絶縁検査を実施したい所望する二つの配線グループを作成し、このグループ間の抵抗値を算出することで、絶縁検査を実施することができる。

１・・・・検査装置
２・・・・電源手段
３・・・・接続手段
４・・・・第一検出手段
５・・・・第二検出手段
６・・・・第一測定手段
７・・・・第二測定手段
８・・・・判定手段

Claims (5)

1. ｘ軸表示配線とｘ軸タブ配線からなる複数のｘ軸配線と、ｙ軸表示配線とｙ軸タブ配線からなる複数のｙ軸配線が直交して配置される検査物の各配線を検査する検査装置であって、
   検査対象となる前記配線に交流信号を供給する電源手段と、
   前記検査対象となる配線のタブ配線に導通接触して、前記交流信号を送信する接続手段と、
   前記検査対象となる配線の表示配線の一端に非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第一検出手段と、
   前記検査対象となる配線の表示配線に対向且つ非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第二検出手段と、
   前記第一検出手段と前記電源手段の間の電気信号を測定する第一測定手段と、
   前記第二検出手段と前記電源手段の間の電気信号を測定する第二測定手段と、
   前記第一測定手段と前記第二測定手段の測定結果を基に、前記検査対象の配線の良／不良を判定する判定手段を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記第二検出手段は、全ての前記ｘ軸表示配線と前記ｙ軸表示配に対向配置されるよう形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記第二検出手段は、
   検査対象となる表示配線に対して直交方向に分割され、又は、該表示配線の直交方向及び平行方向のマトリクス状に分割されて形成されていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 前記ｙ軸表示配線の一端に非接触で配置されるとともに、前記電源手段の他端と導通接続される第三検出手段を有し、
   前記第一検出手段が、前記ｘ軸表示配線の一端に非接触で配置されることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
5. ｘ軸表示配線とｘ軸タブ配線からなる複数のｘ軸配線と、ｙ軸表示配線とｙ軸タブ配線からなる複数のｙ軸配線が直交して配置される検査物の各配線を検査する検査方法であって、
   検査対象となる前記配線のタブ配線に交流信号を供給し、
   前記検査対象となる配線の表示配線の一端と非接触で電気結合される電極部から検出される第一検出信号と、該表示配線と対向配置されるとともに非接触で電気結合される電極部から検出される第二検出信号とを検出し、
   前記第一検出信号と前記第二検出信号から、前記検査対象となる配線の検査を実施することを特徴とする検査方法。

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