JPS63226688A - 万線状導体の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、液晶、プラズマディスプレイ、ＥＬ等の透明
・電極等に用いる万緑状導体の検査方法に関する。

〈従来の技術〉 液晶等のディスプレイでは、ｄ化インジウムや酸化スズ
等から成る透明導電膜を万線状にパタニング形成して′
１極として万線状導体を用いている。

従来はプローバーと呼ばれる針状の導遡チェック用の端
子を電極の数及びそのピッチに合わせて用意し、各々の
断線（オープン）・短絡（ショート）の検査を行うこと
が一般的であった。あるいは第７図に示したように数本
のグルービングを行い。

５１−５１’　間の抵抗値を測定する方法、第８図のよ
うに端子長さを変えてＡ、Ｂ、Ｃと順に同じ端子長の端
子どうしの抵抗値を測定する方法等により検査を行って
いた。

〈発明が解決しようとする問題点〉 先述したプローバーを用いる方式は比較的簡便ではある
が、プローバーを多数配設した検査治具の加工がきわめ
て繁雑であり、しかも万線状導体が高精細ファインピッ
チ化しつつある電極パターンである場合に対しては対応
が困難になっている。

特に、透明゛電極であるとき、プローバーを指す位置を
正しく認識することが峻しく１間違いが発生していた。

また、先述したような抵抗値を測定する方法では断線状
憧は明確に判断できるが、短絡している場合は判別しに
くいという欠点があった。

加えてこのような従来法では電極の膜厚にバラツキがあ
る場合（抵抗値のバラツキ）は、そのまま測定誤差とな
るため正確な検査方式とはいえない。

く問題を解決する為の手段〉 本発明は、基板上の万線状導体の検査方法に於いて、そ
の導体上へ、厚さが５０μｍ以下の絶縁層を介して導電
膜を載置し、そ、の導体とその導電膜との間での電気容
量を測定することにより導体の良否を検査する°検査方
法である。

また１本検査に用いる絶縁層は、誘′成率が一定のもの
であればいかなるものでも良いが、透明電極に接合し曵
いても導電膜と接合していても、また何れとも接合して
いなくともよい。なお導体と接合していない場合は若干
可撓性のある方が載置し易い。また、電気容量を測定し
易くする為には。

誘電率の高いものが好ましい。また、検出信号のＳ／Ｎ
　比を十分にとる為には厚み５０μｍ以下の薄い膜でな
ければならない。また、導電膜は導電率が高いものであ
ればいかなる材質や厚さはいかなるものでも良い。

また、絶縁ｌ−と別個に順次載置しない場合は。

予め絶縁膜に導電膜を接着、蒸着、またはラミネート等
の手段を残して同一材として一体をなすものとし℃おい
たものを載置した方が手間としては簡便である。

また、絶縁層を有機薄膜とした場合、該有機薄膜に、水
やアルコール等の極性溶媒を含浸させることにより、誘
電嘉を向上させることができる。

高誘電富の絶縁層を用いることにより、電気容量値のレ
ベルを大きくとれるため、浮遊容量等によるノイズを相
対的に小さくでき、高精度の検査が実施できる。

さらに、導電層を外部接続部分と反対側で幅のせまい断
線検出用導電層と、その他の部分の短絡用導電層に分け
ることにより、特に断線に関してより高い精度での検査
が可能になる。

また、この様にすると万線状導体と電気的に絶縁された
導電層を共通電極として、パターン化された各々万線状
導体との電気容量の大小を測定比較することにより、こ
れら万線状導体の断線や短放ｆ２　丘ｉｐ製Ｉｆ　　伽
曽イｉ　ｒｙ　Ｍｅｔ本１１会　スく作用〉 本発明では１以上のように万線状導体と電気的に絶縁さ
れた導電層を対極電極として、パターン化された各々万
線状導体との電気容量の大小を測定・比較することによ
り、これら万線状導体の断線や短絡を簡便に検査できる
。

本発明を実施例とともに詳細に説明する。

〔実施例１〕　゛ 第１図は１本発明の実ＭＥＮ様を説明するための模式図
である。

第２図はその断面図である。

厚さ１１１＋のガラス板上にＩＴＯと呼ばれる透明電極
（２１，（５）、　（６）、　（力をパターン化してあ
る基板（１）上に、厚み３５μ−絶縁層たるポリエステ
ルフィルムの絶縁層（３）に導電膜たる゛２５μ−銅箔
をラミネートして導電層（４）としたラミネートフィル
ムを基板（１）上にすき間のないように載置した。この
ラミネートフィルムは実際には検査をするために万線状
電極である透明電極（２）、　（５）、　（６）、　を
力の端部の入をｄ出ＪＬぜイー基板（１）裏面をほぼ逢
１５よ５ｆ寸るが、第１図では説明のためラミネートフ
ィルムを一部省略し石工部の透明成極のパターン化状態
を示したものである。

透明成極（２＋、（５）、　（６）、　ｆ力は第１図に
示したように比較的単純な同形状のパターンの並びであ
り、断線や短絡がない場合は、いずれも導電層（４）と
の間取上となり、透明電極（力の様に中間の長さで断線
すれば電気容量はおよそ半分となり、きわめて容易明確
に透明電極のパターンの良否が判別できた。

第１図は、マルチプレックス駆動とよばれる駆動方法を
とる液晶ディスプレイの、中央で上下に分割された２段
分割方式の透明′１極の並びを模式的に示したものであ
る。

このような透明電極の並びに対して、検査のため電気的
なコンタクトをとるブローノ（−は１個か。

もしくは上下の計２個あれば良く、並びの方向に横送り
に順次コンタクトさせて共通電極との間との電気容量を
調べればよい。

実際には電気容量による各出力波形をコンピューターに
入力し、解析、照合すれば迅速に検査を実施できるもの
である。

〔実施例２〕 第３図は、本発明の実施幅様を説明するための模式図で
ある。

第４図はその断面図である。

厚さ１部ｗｘのガラス゛板上にＩＴＯと呼ばれる透明電
極Ｃ２１，（至）、ｎ、□□□をパターン化してある透
明基板１２Ｄ上に、厚さ２．５順の石英基板上に１０μ
ｍ−をもって大小に２分割された厚さ５０００Ａのニラ
基板（ハ）は、実際には、検査をするために透明電極の
の端部のみ露出させた。またニッケルの薄＠１．Ｉｌ！
４′は、透明電極（至）（５）悠の外部接続部分と対向
する辺が、ちょうど重なる様に載置した。なお基板１２
！ｌｉｌは基板（、’ｌ）表面をほぼ覆うように、する
が、第３図では説明の為、基板（ハ）を１部を省略して
下部の透明電極パターン化状態を示したものである。透
明電極ｔｎ、　ｎ、　（２７）、　ｗは第４図に示した
様に、単純な同形状のパターン並びであり、断線がない
場合は、導電層Ｕ４）’と各透明電極との間の容量は一
定であった。また、短絡がない場合には、導電層１；２
４と各透明電極との間の容量は一定であった。

透明電極田（５）に示した様に短絡したものでは。

導電層シ４との間の電気容量は２倍以上となり、透明電
極（至）の様に断線すれば、導電＋ｍｔｚｉ’との間の
電気容量はほぼ零となり、きわめて容易にかつ明確に、
透明成極パターンの良否が判別できた。

〔実施例６〕 第５図は、マルチプレックス駆動と呼ばれる駆動法をと
る液晶ディスプレイの中央で上下に分割された２段分割
方式の透明電極の並びを模式的に示したものである６第
６図はその断面図である。

このような電極の並びに対し℃は厚さ２．５園のガラス
板上に導電層のパターンとして４分割したアルミニウム
の薄膜（１２１ＬＪ’ｌｌηαＤ′を膜厚４０００人で
形成し、その上に厚さ２μ−絶縁層たるゼラチンの薄膜
Ｕυが形成された基板αりを厚さ１顕のガラス板上にＩ
ＴＯと呼ばれる透明電極α■α４１１５）　（１６）を
パターン化してある基板（９）上にすき間のない様に載
置した。

この基板ａ３は、実際には検査をするために透明成極の
上下端部のみ露出させた。また、アルミニウム薄膜αｚ
’ａ７）’は、上下の透明′成極の中央部端と辺がちょ
うど重なる様に載置した。なお基板αＪは基板（９）表
面をほぼ覆うようにするが、第５図では説明の為基板ｕ
３を一部省略して、下部の透明成極パターン化状態を示
したものである。

各透明電極パターンに合わせたアルミニウム薄膜基板を
用いる事により、それぞれパターン化された透明電極の
断線や短絡を、それぞれ容量測定する事により検査する
事ができた。

〈発明の効果〉 本発明は、従来のように多ビンのプローバーを配設した
高価な検査治具を種々の電極ノくターンに合わせ℃用意
する必要もなく、実作業として１〜２個のプローバーを
一方向にコンタクトさせて横送りすれば良いため電極パ
ターンに対する柔軟性がきわめて高くなる。

また、１００μｍ〜３００μｍといった細かいピッチで
の万線状導体にも十分追随でき高精細化にも十分対応が
可能となった。第８図に示したような抵抗値測定による
検査方法では短絡している場合は検食しにくいという欠
点があったが１本発明では断線・短絡ともきわめて容易
に判断できる。

加えて、実施例で示・したような中央で上下で分割され
た万線状導体の検査は、従来方法では表示両津部内の中
央にもプローバーを並べなくてはならず、故に精度の高
い検査ができなかったが１本発明では電極端部にプロー
バーをおき、共通電極とのべ気容量を調べれば良いため
簡便な検査治具で容易に検査できるものである。加えて
本発明は用いる絶縁層の厚みを５０μｍ以下としたため
１００μｒｒＬ〜３００μｍといった細かいピッチでの
検査に対し十分な解渫度・精度を保持した検査が行える
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の実施報様を示した模式平面図、第２
因は同模式断面図である。第３図は別な実施例を示す模
式平面図、第４図は、同模式断面図である。第５図は更
に別な実施例を示す模式平面図、第６図は、同模式断面
図である。第７図と第８図は従来の透明電極の検査方法
を示す模式平面図である。 １’、　９．１５．２’１　、２゛５．５０．６０・・
・基板２．１０．１４，１５．１６，２２．２６゜２７
．２８．５１．６１・・・透明′成極３．１１．２３・
・・絶縁層 ４．１２．１２’、　１７．１７’、　２４．２４’・
・・導電層

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板上の万線状導体の検査方法に於いて、該万線状
   導体上へ５０μｍ以下の絶縁層を介して導電膜を載置し
   、該万線状導体と該導電膜との間の電気容量を測定する
   ことで万線状導体の良否を検査する万線状導体の検査方
   法。 ２）上記絶縁層が元来基板の万線状導体上に設けられて
   いる事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の万線状
   導体の検査方法。 ３）上記絶縁層が万線状導体ならびに導電膜より独立し
   た膜である事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   万線状導体の検査方法。 ４）上記絶縁層が導電膜と接合している事を特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の万線状導体の検査方法。 ５）上記絶縁層がカラーフィルターである事を特徴とす
   る特許請求の範囲第２項記載の万線状導体の検査方法。 ６）上記導電膜が、万線状導体のほとんどの部分を覆う
   短絡検査用導電膜と、該万線状導体の外部接続部分と対
   極側に該万線状導体と直交してある細い断線検査用導電
   膜とによりなり、該万線状導体と該短絡検査用導電膜と
   の間および該万線状導体と該断線検査用導電膜との間の
   電気容量を測定する特許請求の範囲第１項乃至５項記載
   の万線状導体の検査方法。