JPH0339989A - 透明導電回路基板の欠陥検査法 - Google Patents
透明導電回路基板の欠陥検査法Info
- Publication number
- JPH0339989A JPH0339989A JP1175799A JP17579989A JPH0339989A JP H0339989 A JPH0339989 A JP H0339989A JP 1175799 A JP1175799 A JP 1175799A JP 17579989 A JP17579989 A JP 17579989A JP H0339989 A JPH0339989 A JP H0339989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent
- magnetic field
- transparent electrode
- electrodes
- transparent conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は透明導電回路基板の欠陥検査法に関するもので
ある。
ある。
従来の技術
液晶表示装置は薄型軽量、低電圧駆動、低消費電力など
の特徴によって、民生用から産業用にと幅広く利用され
ている。例えばワードプロセッサやパーソナルコンピュ
ータ等に高解像度の液晶表示装置が用いられるようにな
っている。さらに最近ではカラー液晶デイスプレィの実
用化に伴い、液晶表示に欠かせない透明電極は一挙に３
倍もの微細化が要求され透明電極の短絡、断線検査も非
常に困難なものとなってきている。
の特徴によって、民生用から産業用にと幅広く利用され
ている。例えばワードプロセッサやパーソナルコンピュ
ータ等に高解像度の液晶表示装置が用いられるようにな
っている。さらに最近ではカラー液晶デイスプレィの実
用化に伴い、液晶表示に欠かせない透明電極は一挙に３
倍もの微細化が要求され透明電極の短絡、断線検査も非
常に困難なものとなってきている。
以下に従来の透明導電回路検査法について説明する。第
３図（ａ） 、 （ｂ））は従来の検査法を示すもので
ある。第３図（ａ） 、 （ｂ）において１は透明基板
、２は透明電極、６は短絡箇所、１１は断線箇所、１４
は検査用プローバである。
３図（ａ） 、 （ｂ））は従来の検査法を示すもので
ある。第３図（ａ） 、 （ｂ）において１は透明基板
、２は透明電極、６は短絡箇所、１１は断線箇所、１４
は検査用プローバである。
１ず棒状の透明電極２の隣接間における短絡検査法は、
となシあった２本の棒状の透明電極にそれぞれプローバ
ラ４を電気的に接触させ、その間の抵抗値により短絡の
有無を判断する。筐た断線検査法は１本の棒状の透明電
極２の両端にそれぞれプローバラ４を電気的に接触させ
、その間の抵抗値により断線の有無を判別する。
となシあった２本の棒状の透明電極にそれぞれプローバ
ラ４を電気的に接触させ、その間の抵抗値により短絡の
有無を判断する。筐た断線検査法は１本の棒状の透明電
極２の両端にそれぞれプローバラ４を電気的に接触させ
、その間の抵抗値により断線の有無を判別する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら従来の方法では電極幅が非常に微細になる
と、正確にプローバラ４を接触させることが非常に困難
になる。オた短絡の位置を決定できないという問題点も
有していた。本発明は上記問題点に鑑み、微細な透明導
電回路を有する透明回路基板の短絡、断線の有無検査と
短絡の位置検出を容易に行うことを目的とするものであ
る。
と、正確にプローバラ４を接触させることが非常に困難
になる。オた短絡の位置を決定できないという問題点も
有していた。本発明は上記問題点に鑑み、微細な透明導
電回路を有する透明回路基板の短絡、断線の有無検査と
短絡の位置検出を容易に行うことを目的とするものであ
る。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成するために５本発明は透明基板上に透
明導電膜からなる透明電極を複数個形成し、前記透明電
極の端部形状を片側では奇数本目を長く引き出しかつそ
の反対側では偶数番目を長く引き出し、透明電極の片側
の端部を第１の導体により電気的に接続するとともにそ
の反対側の端部は第２の導体によシミ気的に接続して各
導体に電流を流し、磁界検出部を透明電極に直交するよ
うに走査することにより透明電極に発生する磁界を検出
することを特徴とするものである。
明導電膜からなる透明電極を複数個形成し、前記透明電
極の端部形状を片側では奇数本目を長く引き出しかつそ
の反対側では偶数番目を長く引き出し、透明電極の片側
の端部を第１の導体により電気的に接続するとともにそ
の反対側の端部は第２の導体によシミ気的に接続して各
導体に電流を流し、磁界検出部を透明電極に直交するよ
うに走査することにより透明電極に発生する磁界を検出
することを特徴とするものである。
筐た、透明基板上に透明導電膜からなる透明電極を複数
個形成し、全ての透明電極の両端を各々導体により電気
的に接続して各導体に電流を流し。
個形成し、全ての透明電極の両端を各々導体により電気
的に接続して各導体に電流を流し。
磁界検出部を透明電極に直交するように走査することに
より透明電極に発生する磁界を検出することを特徴とす
るものである。
より透明電極に発生する磁界を検出することを特徴とす
るものである。
作用
この方法により、各棒状透明電極にプローバを接触させ
る必要がなく、透明電極を流れる電流により発生する磁
界を透明電極に直交するように走査する磁界検出部によ
り非接触で測定することによって微細な透明電極回路の
短絡、断線検査が容易にできる。また透明電極を傷つけ
ることもない。
る必要がなく、透明電極を流れる電流により発生する磁
界を透明電極に直交するように走査する磁界検出部によ
り非接触で測定することによって微細な透明電極回路の
短絡、断線検査が容易にできる。また透明電極を傷つけ
ることもない。
さらに、磁界検出部を短絡が存在する透明電極の長手方
向に走査することにより短絡の位置を決定することもで
きるため、短絡の部分の修正が容易である。
向に走査することにより短絡の位置を決定することもで
きるため、短絡の部分の修正が容易である。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。尚、第１図、第２図において第３図と同一箇所に
ついては同一番号を付す。
する。尚、第１図、第２図において第３図と同一箇所に
ついては同一番号を付す。
実施例１
第１図（ａ） 、 （ｔｅ 、 （ｃ）は本発明の第１
の実施例における短絡検査法の説明図である。１は透明
基板。
の実施例における短絡検査法の説明図である。１は透明
基板。
２は透明電極、３は銅箔、４は磁界検出部、６は磁界、
６は短絡部、７は短絡有無検査方向、８は磁界検出部走
査方向、９．１０は出力信号である。
６は短絡部、７は短絡有無検査方向、８は磁界検出部走
査方向、９．１０は出力信号である。
１ず透明電極２の両端において片側では長く弓き出した
奇数番目の透明電極２を、その反対側では長く引き出し
た偶数番目の透明電極２を各々銅箔３によシミ気的に接
続し、電圧を印加する。棒状の透明電極２に隣接した透
明電極２との間に短絡部６が存在すれば、短絡部６が存
在する透明電極２間には電流が流れ、その電流にょシ磁
界６が発生する。この時に第１図（ｂ）のように磁界検
出部４を非接触で棒状の透明電極２に直角に走査する（
短絡有無検査方向７に走査する）ことにより、第１図（
Ｃ）に示す出力信号９が得られ、信号の発生する部分に
短絡部６があるとわかる。！た磁界検出部４を短絡のあ
る棒状の透明電極２の長手方向に走査する（短絡位置検
査方向８に走査する）と。
奇数番目の透明電極２を、その反対側では長く引き出し
た偶数番目の透明電極２を各々銅箔３によシミ気的に接
続し、電圧を印加する。棒状の透明電極２に隣接した透
明電極２との間に短絡部６が存在すれば、短絡部６が存
在する透明電極２間には電流が流れ、その電流にょシ磁
界６が発生する。この時に第１図（ｂ）のように磁界検
出部４を非接触で棒状の透明電極２に直角に走査する（
短絡有無検査方向７に走査する）ことにより、第１図（
Ｃ）に示す出力信号９が得られ、信号の発生する部分に
短絡部６があるとわかる。！た磁界検出部４を短絡のあ
る棒状の透明電極２の長手方向に走査する（短絡位置検
査方向８に走査する）と。
第１図（Ｃ）に示す出力信号１ｏが得られ、信号が発生
しなくなる位置が短絡の位置である。
しなくなる位置が短絡の位置である。
以上のように本実施例によれば棒状の透明電極２の短絡
部分を電流にょシ発生する磁界を非接触で測定すること
で、嶽細な透明導電回路基板における短絡部６が存在す
る透明電極２を知ると同時に、短絡部６の位置をも決定
することができる。
部分を電流にょシ発生する磁界を非接触で測定すること
で、嶽細な透明導電回路基板における短絡部６が存在す
る透明電極２を知ると同時に、短絡部６の位置をも決定
することができる。
実施例２
第２図は本発明の第２の実施例に釦ける断線検査法の説
明図である。第２図にかいて１は透明基板、２は透明電
極、４は磁界検出部、６は磁界。
明図である。第２図にかいて１は透明基板、２は透明電
極、４は磁界検出部、６は磁界。
１１は断線部、１２は断線有無検査方向、１３は出力信
号で、第１の実施例と違うのは全ての棒状の透明電極２
の両端に、各涜銅箔３を接続したことである。
号で、第１の実施例と違うのは全ての棒状の透明電極２
の両端に、各涜銅箔３を接続したことである。
壕ず棒状の透明電極２の両端に銅箔３を電気的に接触さ
せ電圧を印加する。棒状の透明電極２に断線部１１が存
在するとその透明電極２には電流が流れないためにこの
透明電極部分からは磁界６は発生しない。この時に第２
図（ｂ）のように磁界検出部４を非接触で走査する（断
線有無検査方向１２）ことによシ第２図（Ｃ）に示す出
力信号１３が得られ。
せ電圧を印加する。棒状の透明電極２に断線部１１が存
在するとその透明電極２には電流が流れないためにこの
透明電極部分からは磁界６は発生しない。この時に第２
図（ｂ）のように磁界検出部４を非接触で走査する（断
線有無検査方向１２）ことによシ第２図（Ｃ）に示す出
力信号１３が得られ。
信号の発生しない部分に断線部１１が存在することがわ
かる。
かる。
以上のように本実施例によれば棒状の透明電極の断線部
を電流により発生する磁界を非接触で測定することで、
微細な透明導電回路基板にふ・ける断線箇所を容易に知
ることができる。
を電流により発生する磁界を非接触で測定することで、
微細な透明導電回路基板にふ・ける断線箇所を容易に知
ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、棒状の透明電極に流れる
電流によシ発生する磁界を測定することで微細にパター
ニングされた透明電極回路に）ける断線および短絡の場
所を知ることができ、短絡においては位置をも決定でき
る。
電流によシ発生する磁界を測定することで微細にパター
ニングされた透明電極回路に）ける断線および短絡の場
所を知ることができ、短絡においては位置をも決定でき
る。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例における透明導電
回路基板の短絡検査法を説明する平面図、第１図（ｂ）
はその断面図、第１図（Ｃ）はその基板の短絡検査時に
おける出力信号波形図、第２図（ａ）は本発明の第２の
実施例にむける透明導電回路基板の断線検査法を説明す
る平面図、第２図（ｂ）はその断面図、第２図（Ｃ）は
その基板の断線検査時にかける出力信号波形図、第３図
（ａ） 、 （ｂ）は従来の透明導電回路基板の検査法
を示す説明図である。 １・・・・・・透明基板、２・・・・・・透明電極、３
・・・・・・銅箔。 ４・・・・・・磁界検出部、６・・・・・・磁界、６・
・・・・・短絡部。 第 図 ｃ山ノ
回路基板の短絡検査法を説明する平面図、第１図（ｂ）
はその断面図、第１図（Ｃ）はその基板の短絡検査時に
おける出力信号波形図、第２図（ａ）は本発明の第２の
実施例にむける透明導電回路基板の断線検査法を説明す
る平面図、第２図（ｂ）はその断面図、第２図（Ｃ）は
その基板の断線検査時にかける出力信号波形図、第３図
（ａ） 、 （ｂ）は従来の透明導電回路基板の検査法
を示す説明図である。 １・・・・・・透明基板、２・・・・・・透明電極、３
・・・・・・銅箔。 ４・・・・・・磁界検出部、６・・・・・・磁界、６・
・・・・・短絡部。 第 図 ｃ山ノ
Claims (4)
- （１）透明基板上に透明導電膜からなる透明電極を複数
個形成し、前記透明電極の端部形状を片側では奇数本目
を長く引き出しかつその反対側では偶数本目を長く引き
出し、透明電極の片側の端部を第１の導体により電気的
に接続するとともにその反対側の端部は第２の導体によ
り電気的に接続して各導体に電圧を印加し、磁界検出部
を透明電極に直交するように走査することにより透明電
極に発生する磁界を検出することを特徴とする透明導電
回路基板の欠陥検査法。 - （２）透明基板上に透明導電膜からなる透明電極を複数
個形成し、全ての透明電極の両端を各々導体により電気
的に接続して各導体に電圧を印加し、磁界検出部を透明
電極に直交するように走査することにより透明電極に発
生する磁界を検出することを特徴とする透明導電回路基
板の欠陥検査法。 - （３）磁界が最大となった所で走査方向を透明電極の長
手方向に変え短絡部の位置を検出することを特徴とする
請求項１記載の透明導電回路基板の欠陥検査法。 - （４）磁界検出部としてホール素子を用いることを特徴
とする請求項１または２記載の透明導電回路基板の欠陥
検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1175799A JPH0750138B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 透明導電回路基板の欠陥検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1175799A JPH0750138B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 透明導電回路基板の欠陥検査法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339989A true JPH0339989A (ja) | 1991-02-20 |
| JPH0750138B2 JPH0750138B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=16002453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1175799A Expired - Fee Related JPH0750138B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 透明導電回路基板の欠陥検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750138B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002189050A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Oht Inc | 検査方法及び検査装置 |
| WO2002056038A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-18 | Oht Inc. | Procédé de détection de courts-circuits dans une carte à circuit imprimé, sondes à piston utilisées pour ce procédé, carte à circuit imprimé prévue pour ce type d'examen, détecteur de court-circuit dans une carte à circuit imprimé, et détecteur à enroulement pour cet examen |
| US6937035B2 (en) | 2001-07-19 | 2005-08-30 | Omron Corporation | Method and apparatus for inspecting printed circuit boards |
| CN104237725A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种确定光栅器件中的短路点的位置的方法 |
| JP2016027612A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-02-18 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法、積層セラミックコンデンサの方向識別装置及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1175799A patent/JPH0750138B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002189050A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Oht Inc | 検査方法及び検査装置 |
| JP4512264B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2010-07-28 | オー・エイチ・ティー株式会社 | 検査方法及び検査装置 |
| WO2002056038A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-18 | Oht Inc. | Procédé de détection de courts-circuits dans une carte à circuit imprimé, sondes à piston utilisées pour ce procédé, carte à circuit imprimé prévue pour ce type d'examen, détecteur de court-circuit dans une carte à circuit imprimé, et détecteur à enroulement pour cet examen |
| US6937035B2 (en) | 2001-07-19 | 2005-08-30 | Omron Corporation | Method and apparatus for inspecting printed circuit boards |
| JP2016027612A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-02-18 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法、積層セラミックコンデンサの方向識別装置及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| CN104237725A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种确定光栅器件中的短路点的位置的方法 |
| CN104237725B (zh) * | 2014-09-04 | 2017-03-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种确定光栅器件中的短路点的位置的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0750138B2 (ja) | 1995-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5131962B2 (ja) | 非接触シングルサイドプローブ及び、これを用いたパターン電極の断線・短絡検査装置及びその方法 | |
| KR100796171B1 (ko) | 접촉식 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 도선의 단선 및단락 검사장치 및 그 방법 | |
| JPS6190048A (ja) | 漏液検知センサ | |
| TWI474012B (zh) | 導電圖案檢查裝置及檢查方法 | |
| CN103487955B (zh) | 一种短路测量方法 | |
| KR20100067618A (ko) | 회로 패턴 검사 장치 및 그 회로 패턴 검사 방법 | |
| WO2013035357A1 (ja) | 導通検査装置および導通検査方法 | |
| JP2006105795A (ja) | 絶縁検査方法および絶縁検査装置 | |
| JPH0339989A (ja) | 透明導電回路基板の欠陥検査法 | |
| JP2007309691A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
| KR20080098088A (ko) | 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법 | |
| JP2000221227A (ja) | 導電パターン検査装置及び方法 | |
| TW200537112A (en) | Circuit pattern testing apparatus and circuit pattern testing method | |
| JP3950713B2 (ja) | 回路配線検査方法およびその装置 | |
| JP2000077459A (ja) | 半導体装置及びその検査方法 | |
| JP2004184374A (ja) | インピーダンス測定装置 | |
| JPH03121413A (ja) | 電極基板の製造方法 | |
| KR100948062B1 (ko) | 비접촉 싱글사이드 프로브 | |
| JP4369002B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH02251931A (ja) | アクティブマトリックスアレイ | |
| JP2610834B2 (ja) | 短絡位置検出装置及び短絡位置検出方法 | |
| JP2006071567A (ja) | プローブの接触状態判別方法、回路基板検査方法および回路基板検査装置 | |
| JP3056574U (ja) | 導電パターン検査装置 | |
| JPH02198424A (ja) | アクティブマトリクス基板 | |
| JPH10300823A (ja) | プローバの点検方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |