JP2002189050A - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
検査方法及び検査装置Info
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- JP2002189050A JP2002189050A JP2000388820A JP2000388820A JP2002189050A JP 2002189050 A JP2002189050 A JP 2002189050A JP 2000388820 A JP2000388820 A JP 2000388820A JP 2000388820 A JP2000388820 A JP 2000388820A JP 2002189050 A JP2002189050 A JP 2002189050A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線
の全般に渡って検出すること。 【解決手段】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された２つの回路配線を検査する検査方法であって、回
路配線の他端に導電性部材１を配置して回路配線間を短
絡し、回路配線間に電流を供給し、電流の供給によっ
て、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域に生
じる磁界と、２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲
まれる領域に生じる第２の磁界とを、それぞれ検出す
る。そして、検出した磁界に基づいて、回路配線に欠陥
があるか否かを判定する。
の全般に渡って検出すること。 【解決手段】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された２つの回路配線を検査する検査方法であって、回
路配線の他端に導電性部材１を配置して回路配線間を短
絡し、回路配線間に電流を供給し、電流の供給によっ
て、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域に生
じる磁界と、２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲
まれる領域に生じる第２の磁界とを、それぞれ検出す
る。そして、検出した磁界に基づいて、回路配線に欠陥
があるか否かを判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路配線の検査技
術に関する。
術に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルやその他の電子回路の回
路配線（導電パターン等）では、短絡配線（ショートバ
ー等とも呼ばれる。）を採用したものが提案されてい
る。この短絡配線は、回路基板上にＩＣチップ等をマウ
ントする際に、回路基板に帯電した静電気がＩＣチップ
等に突入し、これを破壊することを防止するために設け
られる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの
配線である。
路配線（導電パターン等）では、短絡配線（ショートバ
ー等とも呼ばれる。）を採用したものが提案されてい
る。この短絡配線は、回路基板上にＩＣチップ等をマウ
ントする際に、回路基板に帯電した静電気がＩＣチップ
等に突入し、これを破壊することを防止するために設け
られる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの
配線である。
【０００３】一方、このような短絡配線を利用して、回
路配線の検査を行う方法が提案されている。図４及び図
５は、その検査原理を示した図である。
路配線の検査を行う方法が提案されている。図４及び図
５は、その検査原理を示した図である。
【０００４】図中、太線１１１は、短絡配線を示してお
り、また、一端が短絡配線１１１に接続された線１１２
は、それぞれ回路配線を示している。
り、また、一端が短絡配線１１１に接続された線１１２
は、それぞれ回路配線を示している。
【０００５】ここで、図４に示すように、隣接する２つ
の回路配線１１２間に電位差を与えると、これらの回路
配線１１２と短絡配線１１１とを通って電流１１３が流
れることとなる。すると、これらの回路配線１１２と短
絡配線１１１とに略囲まれるコ型の領域内に、電流１１
３による磁界１１４が発生する。
の回路配線１１２間に電位差を与えると、これらの回路
配線１１２と短絡配線１１１とを通って電流１１３が流
れることとなる。すると、これらの回路配線１１２と短
絡配線１１１とに略囲まれるコ型の領域内に、電流１１
３による磁界１１４が発生する。
【０００６】そして、この磁界１１４を磁気センサ等で
検出することにより、電位差を与えた２つの回路配線１
１２の断線、短絡等の欠陥を検査することが可能とな
る。
検出することにより、電位差を与えた２つの回路配線１
１２の断線、短絡等の欠陥を検査することが可能とな
る。
【０００７】具体的には、例えば、図５に示すように、
検査対象である回路配線１１２に断線（１１５）が生じ
ている場合について説明すると、図４のように電流１１
３は流れないか、若しくは、殆ど流れないため、磁界１
１４もほとんど発生することがない。従って、この場合
は、回路配線１１２に欠陥が生じていると考えられる。
検査対象である回路配線１１２に断線（１１５）が生じ
ている場合について説明すると、図４のように電流１１
３は流れないか、若しくは、殆ど流れないため、磁界１
１４もほとんど発生することがない。従って、この場合
は、回路配線１１２に欠陥が生じていると考えられる。
【０００８】すなわち、検査対象である２つの回路配線
１１２と短絡配線１１１とに略囲まれる領域内の磁界の
強度、分布等を検出することにより、回路配線に欠陥が
生じているか否かを検出することが可能となるのであ
る。
１１２と短絡配線１１１とに略囲まれる領域内の磁界の
強度、分布等を検出することにより、回路配線に欠陥が
生じているか否かを検出することが可能となるのであ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このように、短絡配線
が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配
線の検査を行うことができるが、従来の検査手法では、
回路配線１１２に対して、電位差を与える部位により、
検査もれが生じるという問題がある。例えば、図６に示
すように、電位差を与える部位よりも、開放端側に断線
（１１６）が生じていたとすると、回路配線１１２に断
線が生じているにも関わらず、正常な場合と同様に磁界
１１４が発生し、その断線を検出することはできない。
が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配
線の検査を行うことができるが、従来の検査手法では、
回路配線１１２に対して、電位差を与える部位により、
検査もれが生じるという問題がある。例えば、図６に示
すように、電位差を与える部位よりも、開放端側に断線
（１１６）が生じていたとすると、回路配線１１２に断
線が生じているにも関わらず、正常な場合と同様に磁界
１１４が発生し、その断線を検出することはできない。
【００１０】従って、本発明の目的は、回路配線に生じ
ている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出し得る
検査方法及び検査装置を提供することにある。
ている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出し得る
検査方法及び検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を達成するための手段】本発明によれば、一端が
短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線
を検査する検査方法であって、前記回路配線の前記他端
に導電性部材を配置することにより、前記２つの回路配
線間を短絡する工程と、前記回路配線間に電流を供給す
る供給工程と、前記電流の供給によって、前記２つの回
路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１
の磁界と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配
線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第２の
磁界とを、それぞれ検出する工程と、検出した前記第１
及び第２の磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥
があるか否かを判定する判定工程と、を含むことを特徴
とする検査方法が提供される。
短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線
を検査する検査方法であって、前記回路配線の前記他端
に導電性部材を配置することにより、前記２つの回路配
線間を短絡する工程と、前記回路配線間に電流を供給す
る供給工程と、前記電流の供給によって、前記２つの回
路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１
の磁界と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配
線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第２の
磁界とを、それぞれ検出する工程と、検出した前記第１
及び第２の磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥
があるか否かを判定する判定工程と、を含むことを特徴
とする検査方法が提供される。
【００１２】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する
検査装置であって、前記回路配線の前記他端に配置さ
れ、前記２つの回路配線間を短絡する導電性部材と、前
記回路配線間に電流を供給する供給手段と、前記電流の
供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに
略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１のセンサ
と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前
記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出す
る第２のセンサと、前記第１及び第２のセンサが検出し
た磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか
否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする
検査装置が提供される。
接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する
検査装置であって、前記回路配線の前記他端に配置さ
れ、前記２つの回路配線間を短絡する導電性部材と、前
記回路配線間に電流を供給する供給手段と、前記電流の
供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに
略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１のセンサ
と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前
記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出す
る第２のセンサと、前記第１及び第２のセンサが検出し
た磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか
否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする
検査装置が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
について図面を参照して説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施形態に係る検査装
置Ａの概略図である。
置Ａの概略図である。
【００１５】検査装置Ａは、図１の右側に示すような一
端が短絡配線に接続され、他端が開放された回路配線を
検査するための装置であって、検査対象となる回路配線
間を短絡するための導電性部材１と、該回路配線間に電
流を供給するための電気信号源２及び可変抵抗器６と、
電流の供給によって生じる磁界を検出するための２つの
磁気センサ３ａ及び３ｂと、検査対象である回路配線に
欠陥があるか否かを判定するコンピュータ４と、を備
え、また、磁気センサ３ａ及び３ｂからの信号を処理す
る信号処理部５を備える。
端が短絡配線に接続され、他端が開放された回路配線を
検査するための装置であって、検査対象となる回路配線
間を短絡するための導電性部材１と、該回路配線間に電
流を供給するための電気信号源２及び可変抵抗器６と、
電流の供給によって生じる磁界を検出するための２つの
磁気センサ３ａ及び３ｂと、検査対象である回路配線に
欠陥があるか否かを判定するコンピュータ４と、を備
え、また、磁気センサ３ａ及び３ｂからの信号を処理す
る信号処理部５を備える。
【００１６】導電性部材１は、例えば、銅等の導電性材
料からなる部材であり、本実施形態では、ＧＮＤに電気
的に接続している。電気信号源２は、例えば、直流電源
や交流電源であり、回路配線上に電流を供給することが
できるものであれば足りる。
料からなる部材であり、本実施形態では、ＧＮＤに電気
的に接続している。電気信号源２は、例えば、直流電源
や交流電源であり、回路配線上に電流を供給することが
できるものであれば足りる。
【００１７】磁気センサ３ａ及び３ｂは、例えば、コイ
ルやホール素子等からなるセンサであり、検出した磁界
の強さに応じた電圧等を発生するものである。コンピュ
ータ４は、磁気センサ３ａ及び３ｂが検出した磁界に基
づいて、検査対象である回路配線に断線、短絡等の欠陥
が生じていないか否かを判定する。本実施形態では、特
に、断線が生じていないか否かを判定する。
ルやホール素子等からなるセンサであり、検出した磁界
の強さに応じた電圧等を発生するものである。コンピュ
ータ４は、磁気センサ３ａ及び３ｂが検出した磁界に基
づいて、検査対象である回路配線に断線、短絡等の欠陥
が生じていないか否かを判定する。本実施形態では、特
に、断線が生じていないか否かを判定する。
【００１８】信号処理部５は、磁気センサ３ａ及び３ｂ
からの電気信号をコンピュータ４が処理可能とするため
に信号処理を行うもので、例えば、増幅器、Ａ／Ｄ変換
器等から構成される。
からの電気信号をコンピュータ４が処理可能とするため
に信号処理を行うもので、例えば、増幅器、Ａ／Ｄ変換
器等から構成される。
【００１９】次に、係る構成からなる検査装置Ａによる
検査手順を図２を参照して説明する。図２は、検査装置
Ａの検査時の態様を示した図である。
検査手順を図２を参照して説明する。図２は、検査装置
Ａの検査時の態様を示した図である。
【００２０】まず、回路配線の中から検査の対象とする
２つの回路配線を選択し、その開放側の端部間を跨ぐよ
うにして、導電性部材１を配置する。これにより、それ
らの回路配線は、その開放側の端部において電気的に短
絡されたこととなる。なお、検査終了後には、この導電
性部材１が取り外されることはいうまでもない。
２つの回路配線を選択し、その開放側の端部間を跨ぐよ
うにして、導電性部材１を配置する。これにより、それ
らの回路配線は、その開放側の端部において電気的に短
絡されたこととなる。なお、検査終了後には、この導電
性部材１が取り外されることはいうまでもない。
【００２１】次に、磁気センサ３ａを、２つの回路配線
と短絡配線とに略囲まれる領域に配置する。この場合、
磁気センサ３ａをできるだけ短絡配線に近づけて配置す
ることが望ましい。同様にして、磁気センサ３ｂを、２
つの回路配線と、先に配置された導電性部材１とに略囲
まれる領域に配置する。この場合も、磁気センサ３ｂを
できるだけ導電性部材１に近づけて配置することが望ま
しい。
と短絡配線とに略囲まれる領域に配置する。この場合、
磁気センサ３ａをできるだけ短絡配線に近づけて配置す
ることが望ましい。同様にして、磁気センサ３ｂを、２
つの回路配線と、先に配置された導電性部材１とに略囲
まれる領域に配置する。この場合も、磁気センサ３ｂを
できるだけ導電性部材１に近づけて配置することが望ま
しい。
【００２２】次に、検査対象である２つの回路配線間に
電流を供給する。具体的には、電気信号源２を一方の回
路配線の途中に電気的に接続し、また、可変抵抗器６を
他方の回路配線の途中に電気的に接続する。
電流を供給する。具体的には、電気信号源２を一方の回
路配線の途中に電気的に接続し、また、可変抵抗器６を
他方の回路配線の途中に電気的に接続する。
【００２３】電気信号源２から電気信号を供給すると、
回路配線に電流が流れる。この場合、電流は、電気信号
源２を電気的に接続した箇所から分流して流れることと
なる。すなわち、一方の回路配線→短絡配線→他方の回
路配線→可変抵抗器６→ＧＮＤという経路で電流２１が
流れる。また、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤ
という経路で電流２２が流れる。
回路配線に電流が流れる。この場合、電流は、電気信号
源２を電気的に接続した箇所から分流して流れることと
なる。すなわち、一方の回路配線→短絡配線→他方の回
路配線→可変抵抗器６→ＧＮＤという経路で電流２１が
流れる。また、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤ
という経路で電流２２が流れる。
【００２４】なお、可変抵抗器６を用いているのは、高
精度の検査を実現するために、各経路における電流２１
及び２２を調整するためであり、これに代えて固定抵抗
器を用いてもよいし、或いは、ＧＮＤに直接回路配線を
接続するようにしてもよい。また、導電性部材１をＧＮ
Ｄに接続しているのは、これも高精度の検査を実現する
ために、各経路における電流２１及び２２が安定して分
流するようにしたものであり、必ずしも導電性部材１を
ＧＮＤに接続する必要はない。
精度の検査を実現するために、各経路における電流２１
及び２２を調整するためであり、これに代えて固定抵抗
器を用いてもよいし、或いは、ＧＮＤに直接回路配線を
接続するようにしてもよい。また、導電性部材１をＧＮ
Ｄに接続しているのは、これも高精度の検査を実現する
ために、各経路における電流２１及び２２が安定して分
流するようにしたものであり、必ずしも導電性部材１を
ＧＮＤに接続する必要はない。
【００２５】次に、電流２１が流れることにより、２つ
の回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域には磁界が発
生することとなる。また、電流２２が流れることによ
り、２つの回路配線と導電性部材１とに略囲まれる領域
にも磁界が発生することとなる。
の回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域には磁界が発
生することとなる。また、電流２２が流れることによ
り、２つの回路配線と導電性部材１とに略囲まれる領域
にも磁界が発生することとなる。
【００２６】そこで、これらの磁界を、それぞれ磁気セ
ンサ３ａと３ｂとで検出し、その強度をコンピュータ４
で分析することにより、回路配線に欠陥が生じているか
否かを判定する。
ンサ３ａと３ｂとで検出し、その強度をコンピュータ４
で分析することにより、回路配線に欠陥が生じているか
否かを判定する。
【００２７】具体的には、例えば、図３に示すように回
路配線に断線１０が生じていたとする。この場合、上述
した、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経
路では電流が流れないこととなり、図３に示すように、
一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線という経路
で電流２３が流れ、更に、可変抵抗器６が電気的に接続
されている箇所で、可変抵抗器６→ＧＮＤという経路を
流れる電流と、他方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤ
という経路を流れる電流２３’と、に電流２３が分流す
ることとなる。
路配線に断線１０が生じていたとする。この場合、上述
した、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経
路では電流が流れないこととなり、図３に示すように、
一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線という経路
で電流２３が流れ、更に、可変抵抗器６が電気的に接続
されている箇所で、可変抵抗器６→ＧＮＤという経路を
流れる電流と、他方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤ
という経路を流れる電流２３’と、に電流２３が分流す
ることとなる。
【００２８】この結果、回路配線が正常である図２の場
合と比較すると、磁気センサ３ａが検出する磁界の強さ
は大きくなり、磁気センサ３ｂが検出する磁界の強さは
小さくなる。よって、コンピュータ４は、図３の場合、
回路配線に断線が生じていると判定することが可能とな
る。特に、本実施形態では、検査対象である回路配線の
開放側の端部を導電性部材１で短絡し、そこに磁気セン
サ３ｂを配置したことにより、電気信号源２及び可変抵
抗器６を回路配線に電気的に接続する部位に関わらず、
回路配線全体の欠陥を検査することが可能である。
合と比較すると、磁気センサ３ａが検出する磁界の強さ
は大きくなり、磁気センサ３ｂが検出する磁界の強さは
小さくなる。よって、コンピュータ４は、図３の場合、
回路配線に断線が生じていると判定することが可能とな
る。特に、本実施形態では、検査対象である回路配線の
開放側の端部を導電性部材１で短絡し、そこに磁気セン
サ３ｂを配置したことにより、電気信号源２及び可変抵
抗器６を回路配線に電気的に接続する部位に関わらず、
回路配線全体の欠陥を検査することが可能である。
【００２９】なお、コンピュータ４における判定は、回
路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気セン
サ３ｂの出力値を予備実験等で予め取得して、欠陥の有
無を区別する閾値を用意しておき、実際の各検査におい
て取得した磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値
と、その閾値とを比較することにより欠陥の有無を判定
したり、或いは、他の回路配線の検査における磁気セン
サ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値との対比により欠陥
の有無を判定することもできる。
路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気セン
サ３ｂの出力値を予備実験等で予め取得して、欠陥の有
無を区別する閾値を用意しておき、実際の各検査におい
て取得した磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値
と、その閾値とを比較することにより欠陥の有無を判定
したり、或いは、他の回路配線の検査における磁気セン
サ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値との対比により欠陥
の有無を判定することもできる。
【００３０】ここで、コンピュータ４における判定で
は、次のような処理を行うこともできる。まず、回路配
線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３
ｂの出力値をそれぞれＡ１、Ａ２とし、検査の結果得た
磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれ
Ｂ１、Ｂ２と仮定する。この場合、各磁気センサ３ａ及
び磁気センサ３ｂの出力値の変化率Ｃ１、Ｃ２は次のよ
うに表せる。
は、次のような処理を行うこともできる。まず、回路配
線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３
ｂの出力値をそれぞれＡ１、Ａ２とし、検査の結果得た
磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれ
Ｂ１、Ｂ２と仮定する。この場合、各磁気センサ３ａ及
び磁気センサ３ｂの出力値の変化率Ｃ１、Ｃ２は次のよ
うに表せる。
【００３１】Ｃ１＝Ｂ１／Ａ１ Ｃ２＝Ｂ２／Ａ２ そして、それぞれの変化率の差の絶対値Ｄを求める。
【００３２】Ｄ＝｜Ｃ１−Ｃ２｜ 回路配線に断線が生じている場合、この絶対値Ｄは略１
００に近い。一方、回路配線が正常な場合、この絶対値
Ｄは略０に近い。すなわち、回路配線に断線が生じてい
るか否かで、この絶対値Ｄの値は略１００の開きがあ
る。従って、例えば、閾値を５０とし、この絶対値を算
出・比較することにより、回路配線の欠陥の有無を簡単
に判定することができる。
００に近い。一方、回路配線が正常な場合、この絶対値
Ｄは略０に近い。すなわち、回路配線に断線が生じてい
るか否かで、この絶対値Ｄの値は略１００の開きがあ
る。従って、例えば、閾値を５０とし、この絶対値を算
出・比較することにより、回路配線の欠陥の有無を簡単
に判定することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡
って検出することができる。
回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡
って検出することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図
である。
である。
【図２】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図３】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図４】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図で
ある。
ある。
【図５】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図で
ある。
ある。
【図６】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図で
ある。
ある。
Claims (8)
- 【請求項１】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された２つの回路配線を検査する検査方法であって、 前記回路配線の前記他端に導電性部材を配置することに
より、前記２つの回路配線間を短絡する工程と、 前記回路配線間に電流を供給する供給工程と、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短
絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１の磁界と、前記
電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性
部材とに略囲まれる領域に生じる第２の磁界とを、それ
ぞれ検出する工程と、 検出した前記第１及び第２の磁界に基づいて、前記２つ
の回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 【請求項２】 検出した前記第１の磁界の、前記２つの
回路配線が正常である場合の前記第１の磁界に対する変
化率を算出する工程と、 検出した前記第２の磁界の、前記２つの回路配線が正常
である場合の前記第２の磁界に対する変化率を算出する
工程と、 算出した２つの前記変化率の差を算出する工程と、を含
み、 前記判定工程では、算出した前記変化率の差に基づい
て、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する
ことを特徴とする請求項１に記載の検査方法。 - 【請求項３】 前記導電性部材が、ＧＮＤに接続された
ことを特徴とする請求項１に記載の検査方法。 - 【請求項４】 前記供給工程では、 一方の前記回路配線に電気信号源を接続し、他方の前記
回路配線にＧＮＤに接続された抵抗器を接続することを
特徴とする請求項３に記載の検査方法。 - 【請求項５】 一端が短絡配線に接続され、他端が開放
された２つの回路配線を検査する検査装置であって、 前記回路配線の前記他端に配置され、前記２つの回路配
線間を短絡する導電性部材と、 前記回路配線間に電流を供給する供給手段と、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短
絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１
のセンサと、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導
電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第
２のセンサと、 前記第１及び第２のセンサが検出した磁界に基づいて、
前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定
手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - 【請求項６】 前記第１のセンサが検出した磁界の、前
記２つの回路配線が正常である場合の当該磁界に対する
変化率を算出する手段と、 前記第２のセンサが検出した磁界の、前記２つの回路配
線が正常である場合の当該磁界に対する変化率を算出す
る工程と、 算出した２つの前記変化率の差を算出する手段と、を備
え、 前記判定手段は、算出した前記変化率の差に基づいて、
前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定すること
を特徴とする請求項５に記載の検査装置。 - 【請求項７】 前記導電性部材が、ＧＮＤに接続された
ことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。 - 【請求項８】 前記供給手段は、 一方の前記回路配線に接続され、これに電気信号を供給
する電気信号源と、 他方の前記回路配線に接続され、かつ、ＧＮＤに接続さ
れた抵抗器と、を備えたことを特徴とする請求項７に記
載の検査装置。
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