JP4512264B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路配線の検査技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルやその他の電子回路の回路配線（導電パターン等）では、短絡配線（ショートバー等とも呼ばれる。）を採用したものが提案されている。この短絡配線は、回路基板上にＩＣチップ等をマウントする際に、回路基板に帯電した静電気がＩＣチップ等に突入し、これを破壊することを防止するために設けられる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの配線である。
【０００３】
一方、このような短絡配線を利用して、回路配線の検査を行う方法が提案されている。図４及び図５は、その検査原理を示した図である。
【０００４】
図中、太線１１１は、短絡配線を示しており、また、一端が短絡配線１１１に接続された線１１２は、それぞれ回路配線を示している。
【０００５】
ここで、図４に示すように、隣接する２つの回路配線１１２間に電位差を与えると、これらの回路配線１１２と短絡配線１１１とを通って電流１１３が流れることとなる。すると、これらの回路配線１１２と短絡配線１１１とに略囲まれるコ型の領域内に、電流１１３による磁界１１４が発生する。
【０００６】
そして、この磁界１１４を磁気センサ等で検出することにより、電位差を与えた２つの回路配線１１２の断線、短絡等の欠陥を検査することが可能となる。
【０００７】
具体的には、例えば、図５に示すように、検査対象である回路配線１１２に断線（１１５）が生じている場合について説明すると、図４のように電流１１３は流れないか、若しくは、殆ど流れないため、磁界１１４もほとんど発生することがない。従って、この場合は、回路配線１１２に欠陥が生じていると考えられる。
【０００８】
すなわち、検査対象である２つの回路配線１１２と短絡配線１１１とに略囲まれる領域内の磁界の強度、分布等を検出することにより、回路配線に欠陥が生じているか否かを検出することが可能となるのである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、短絡配線が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配線の検査を行うことができるが、従来の検査手法では、回路配線１１２に対して、電位差を与える部位により、検査もれが生じるという問題がある。例えば、図６に示すように、電位差を与える部位よりも、開放端側に断線（１１６）が生じていたとすると、回路配線１１２に断線が生じているにも関わらず、正常な場合と同様に磁界１１４が発生し、その断線を検出することはできない。
【００１０】
従って、本発明の目的は、回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出し得る検査方法及び検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を達成するための手段】
本発明によれば、一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査方法であって、
前記回路配線の前記他端に導電性部材を配置することにより、前記２つの回路配線間を短絡する工程と、
前記回路配線間に電流を供給する供給工程と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１の磁界と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第２の磁界とを、それぞれ検出する工程と、
検出した前記第１及び第２の磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法が提供される。
【００１２】
また、本発明によれば、一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査装置であって、
前記回路配線の前記他端に配置され、前記２つの回路配線間を短絡する導電性部材と、
前記回路配線間に電流を供給する供給手段と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１のセンサと、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第２のセンサと、
前記第１及び第２のセンサが検出した磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図である。
【００１５】
検査装置Ａは、図１の右側に示すような一端が短絡配線に接続され、他端が開放された回路配線を検査するための装置であって、検査対象となる回路配線間を短絡するための導電性部材１と、該回路配線間に電流を供給するための電気信号源２及び可変抵抗器６と、電流の供給によって生じる磁界を検出するための２つの磁気センサ３ａ及び３ｂと、検査対象である回路配線に欠陥があるか否かを判定するコンピュータ４と、を備え、また、磁気センサ３ａ及び３ｂからの信号を処理する信号処理部５を備える。
【００１６】
導電性部材１は、例えば、銅等の導電性材料からなる部材であり、本実施形態では、ＧＮＤに電気的に接続している。電気信号源２は、例えば、直流電源や交流電源であり、回路配線上に電流を供給することができるものであれば足りる。
【００１７】
磁気センサ３ａ及び３ｂは、例えば、コイルやホール素子等からなるセンサであり、検出した磁界の強さに応じた電圧等を発生するものである。コンピュータ４は、磁気センサ３ａ及び３ｂが検出した磁界に基づいて、検査対象である回路配線に断線、短絡等の欠陥が生じていないか否かを判定する。本実施形態では、特に、断線が生じていないか否かを判定する。
【００１８】
信号処理部５は、磁気センサ３ａ及び３ｂからの電気信号をコンピュータ４が処理可能とするために信号処理を行うもので、例えば、増幅器、Ａ／Ｄ変換器等から構成される。
【００１９】
次に、係る構成からなる検査装置Ａによる検査手順を図２を参照して説明する。図２は、検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【００２０】
まず、回路配線の中から検査の対象とする２つの回路配線を選択し、その開放側の端部間を跨ぐようにして、導電性部材１を配置する。これにより、それらの回路配線は、その開放側の端部において電気的に短絡されたこととなる。なお、検査終了後には、この導電性部材１が取り外されることはいうまでもない。
【００２１】
次に、磁気センサ３ａを、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域に配置する。この場合、磁気センサ３ａをできるだけ短絡配線に近づけて配置することが望ましい。同様にして、磁気センサ３ｂを、２つの回路配線と、先に配置された導電性部材１とに略囲まれる領域に配置する。この場合も、磁気センサ３ｂをできるだけ導電性部材１に近づけて配置することが望ましい。
【００２２】
次に、検査対象である２つの回路配線間に電流を供給する。具体的には、電気信号源２を一方の回路配線の途中に電気的に接続し、また、可変抵抗器６を他方の回路配線の途中に電気的に接続する。
【００２３】
電気信号源２から電気信号を供給すると、回路配線に電流が流れる。この場合、電流は、電気信号源２を電気的に接続した箇所から分流して流れることとなる。すなわち、一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線→可変抵抗器６→ＧＮＤという経路で電流２１が流れる。また、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路で電流２２が流れる。
【００２４】
なお、可変抵抗器６を用いているのは、高精度の検査を実現するために、各経路における電流２１及び２２を調整するためであり、これに代えて固定抵抗器を用いてもよいし、或いは、ＧＮＤに直接回路配線を接続するようにしてもよい。また、導電性部材１をＧＮＤに接続しているのは、これも高精度の検査を実現するために、各経路における電流２１及び２２が安定して分流するようにしたものであり、必ずしも導電性部材１をＧＮＤに接続する必要はない。
【００２５】
次に、電流２１が流れることにより、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域には磁界が発生することとなる。また、電流２２が流れることにより、２つの回路配線と導電性部材１とに略囲まれる領域にも磁界が発生することとなる。
【００２６】
そこで、これらの磁界を、それぞれ磁気センサ３ａと３ｂとで検出し、その強度をコンピュータ４で分析することにより、回路配線に欠陥が生じているか否かを判定する。
【００２７】
具体的には、例えば、図３に示すように回路配線に断線１０が生じていたとする。この場合、上述した、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路では電流が流れないこととなり、図３に示すように、一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線という経路で電流２３が流れ、更に、可変抵抗器６が電気的に接続されている箇所で、可変抵抗器６→ＧＮＤという経路を流れる電流と、他方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路を流れる電流２３’と、に電流２３が分流することとなる。
【００２８】
この結果、回路配線が正常である図２の場合と比較すると、磁気センサ３ａが検出する磁界の強さは大きくなり、磁気センサ３ｂが検出する磁界の強さは小さくなる。よって、コンピュータ４は、図３の場合、回路配線に断線が生じていると判定することが可能となる。特に、本実施形態では、検査対象である回路配線の開放側の端部を導電性部材１で短絡し、そこに磁気センサ３ｂを配置したことにより、電気信号源２及び可変抵抗器６を回路配線に電気的に接続する部位に関わらず、回路配線全体の欠陥を検査することが可能である。
【００２９】
なお、コンピュータ４における判定は、回路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値を予備実験等で予め取得して、欠陥の有無を区別する閾値を用意しておき、実際の各検査において取得した磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値と、その閾値とを比較することにより欠陥の有無を判定したり、或いは、他の回路配線の検査における磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値との対比により欠陥の有無を判定することもできる。
【００３０】
ここで、コンピュータ４における判定では、次のような処理を行うこともできる。まず、回路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれＡ１、Ａ２とし、検査の結果得た磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれＢ１、Ｂ２と仮定する。この場合、各磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値の変化率Ｃ１、Ｃ２は次のように表せる。
【００３１】
Ｃ１＝Ｂ１／Ａ１
Ｃ２＝Ｂ２／Ａ２
そして、それぞれの変化率の差の絶対値Ｄを求める。
【００３２】
Ｄ＝｜Ｃ１−Ｃ２｜
回路配線に断線が生じている場合、この絶対値Ｄは略１００に近い。一方、回路配線が正常な場合、この絶対値Ｄは略０に近い。すなわち、回路配線に断線が生じているか否かで、この絶対値Ｄの値は略１００の開きがある。従って、例えば、閾値を５０とし、この絶対値を算出・比較することにより、回路配線の欠陥の有無を簡単に判定することができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図である。
【図２】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図３】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図４】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
【図５】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
【図６】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路配線の検査技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルやその他の電子回路の回路配線（導電パターン等）では、短絡配線（ショートバー等とも呼ばれる。）を採用したものが提案されている。この短絡配線は、回路基板上にＩＣチップ等をマウントする際に、回路基板に帯電した静電気がＩＣチップ等に突入し、これを破壊することを防止するために設けられる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの配線である。
【０００３】
一方、このような短絡配線を利用して、回路配線の検査を行う方法が提案されている。図４及び図５は、その検査原理を示した図である。
【０００４】
図中、太線１１１は、短絡配線を示しており、また、一端が短絡配線１１１に接続された線１１２は、それぞれ回路配線を示している。
【０００５】
ここで、図４に示すように、隣接する２つの回路配線１１２間に電位差を与えると、これらの回路配線１１２と短絡配線１１１とを通って電流１１３が流れることとなる。すると、これらの回路配線１１２と短絡配線１１１とに略囲まれるコ型の領域内に、電流１１３による磁界１１４が発生する。
【０００６】
そして、この磁界１１４を磁気センサ等で検出することにより、電位差を与えた２つの回路配線１１２の断線、短絡等の欠陥を検査することが可能となる。
【０００７】
具体的には、例えば、図５に示すように、検査対象である回路配線１１２に断線（１１５）が生じている場合について説明すると、図４のように電流１１３は流れないか、若しくは、殆ど流れないため、磁界１１４もほとんど発生することがない。従って、この場合は、回路配線１１２に欠陥が生じていると考えられる。
【０００８】
すなわち、検査対象である２つの回路配線１１２と短絡配線１１１とに略囲まれる領域内の磁界の強度、分布等を検出することにより、回路配線に欠陥が生じているか否かを検出することが可能となるのである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、短絡配線が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配線の検査を行うことができるが、従来の検査手法では、回路配線１１２に対して、電位差を与える部位により、検査もれが生じるという問題がある。例えば、図６に示すように、電位差を与える部位よりも、開放端側に断線（１１６）が生じていたとすると、回路配線１１２に断線が生じているにも関わらず、正常な場合と同様に磁界１１４が発生し、その断線を検出することはできない。
【００１０】
従って、本発明の目的は、回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出し得る検査方法及び検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を達成するための手段】
本発明によれば、一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査方法であって、
前記回路配線の前記他端に導電性部材を配置することにより、前記２つの回路配線間を短絡する工程と、
前記回路配線間に電流を供給する供給工程と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１の磁界と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第２の磁界とを、それぞれ検出する工程と、
検出した前記第１及び第２の磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法が提供される。
【００１２】
また、本発明によれば、一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査装置であって、
前記回路配線の前記他端に配置され、前記２つの回路配線間を短絡する導電性部材と、
前記回路配線間に電流を供給する供給手段と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１のセンサと、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第２のセンサと、
前記第１及び第２のセンサが検出した磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図である。
【００１５】
検査装置Ａは、図１の右側に示すような一端が短絡配線に接続され、他端が開放された回路配線を検査するための装置であって、検査対象となる回路配線間を短絡するための導電性部材１と、該回路配線間に電流を供給するための電気信号源２及び可変抵抗器６と、電流の供給によって生じる磁界を検出するための２つの磁気センサ３ａ及び３ｂと、検査対象である回路配線に欠陥があるか否かを判定するコンピュータ４と、を備え、また、磁気センサ３ａ及び３ｂからの信号を処理する信号処理部５を備える。
【００１６】
導電性部材１は、例えば、銅等の導電性材料からなる部材であり、本実施形態では、ＧＮＤに電気的に接続している。電気信号源２は、例えば、直流電源や交流電源であり、回路配線上に電流を供給することができるものであれば足りる。
【００１７】
磁気センサ３ａ及び３ｂは、例えば、コイルやホール素子等からなるセンサであり、検出した磁界の強さに応じた電圧等を発生するものである。コンピュータ４は、磁気センサ３ａ及び３ｂが検出した磁界に基づいて、検査対象である回路配線に断線、短絡等の欠陥が生じていないか否かを判定する。本実施形態では、特に、断線が生じていないか否かを判定する。
【００１８】
信号処理部５は、磁気センサ３ａ及び３ｂからの電気信号をコンピュータ４が処理可能とするために信号処理を行うもので、例えば、増幅器、Ａ／Ｄ変換器等から構成される。
【００１９】
次に、係る構成からなる検査装置Ａによる検査手順を図２を参照して説明する。図２は、検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【００２０】
まず、回路配線の中から検査の対象とする２つの回路配線を選択し、その開放側の端部間を跨ぐようにして、導電性部材１を配置する。これにより、それらの回路配線は、その開放側の端部において電気的に短絡されたこととなる。なお、検査終了後には、この導電性部材１が取り外されることはいうまでもない。
【００２１】
次に、磁気センサ３ａを、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域に配置する。この場合、磁気センサ３ａをできるだけ短絡配線に近づけて配置することが望ましい。同様にして、磁気センサ３ｂを、２つの回路配線と、先に配置された導電性部材１とに略囲まれる領域に配置する。この場合も、磁気センサ３ｂをできるだけ導電性部材１に近づけて配置することが望ましい。
【００２２】
次に、検査対象である２つの回路配線間に電流を供給する。具体的には、電気信号源２を一方の回路配線の途中に電気的に接続し、また、可変抵抗器６を他方の回路配線の途中に電気的に接続する。
【００２３】
電気信号源２から電気信号を供給すると、回路配線に電流が流れる。この場合、電流は、電気信号源２を電気的に接続した箇所から分流して流れることとなる。すなわち、一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線→可変抵抗器６→ＧＮＤという経路で電流２１が流れる。また、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路で電流２２が流れる。
【００２４】
なお、可変抵抗器６を用いているのは、高精度の検査を実現するために、各経路における電流２１及び２２を調整するためであり、これに代えて固定抵抗器を用いてもよいし、或いは、ＧＮＤに直接回路配線を接続するようにしてもよい。また、導電性部材１をＧＮＤに接続しているのは、これも高精度の検査を実現するために、各経路における電流２１及び２２が安定して分流するようにしたものであり、必ずしも導電性部材１をＧＮＤに接続する必要はない。
【００２５】
次に、電流２１が流れることにより、２つの回路配線と短絡配線とに略囲まれる領域には磁界が発生することとなる。また、電流２２が流れることにより、２つの回路配線と導電性部材１とに略囲まれる領域にも磁界が発生することとなる。
【００２６】
そこで、これらの磁界を、それぞれ磁気センサ３ａと３ｂとで検出し、その強度をコンピュータ４で分析することにより、回路配線に欠陥が生じているか否かを判定する。
【００２７】
具体的には、例えば、図３に示すように回路配線に断線１０が生じていたとする。この場合、上述した、一方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路では電流が流れないこととなり、図３に示すように、一方の回路配線→短絡配線→他方の回路配線という経路で電流２３が流れ、更に、可変抵抗器６が電気的に接続されている箇所で、可変抵抗器６→ＧＮＤという経路を流れる電流と、他方の回路配線→導電性部材１→ＧＮＤという経路を流れる電流２３’と、に電流２３が分流することとなる。
【００２８】
この結果、回路配線が正常である図２の場合と比較すると、磁気センサ３ａが検出する磁界の強さは大きくなり、磁気センサ３ｂが検出する磁界の強さは小さくなる。よって、コンピュータ４は、図３の場合、回路配線に断線が生じていると判定することが可能となる。特に、本実施形態では、検査対象である回路配線の開放側の端部を導電性部材１で短絡し、そこに磁気センサ３ｂを配置したことにより、電気信号源２及び可変抵抗器６を回路配線に電気的に接続する部位に関わらず、回路配線全体の欠陥を検査することが可能である。
【００２９】
なお、コンピュータ４における判定は、回路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値を予備実験等で予め取得して、欠陥の有無を区別する閾値を用意しておき、実際の各検査において取得した磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値と、その閾値とを比較することにより欠陥の有無を判定したり、或いは、他の回路配線の検査における磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値との対比により欠陥の有無を判定することもできる。
【００３０】
ここで、コンピュータ４における判定では、次のような処理を行うこともできる。まず、回路配線が正常である場合の磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれＡ１、Ａ２とし、検査の結果得た磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値をそれぞれＢ１、Ｂ２と仮定する。この場合、各磁気センサ３ａ及び磁気センサ３ｂの出力値の変化率Ｃ１、Ｃ２は次のように表せる。
【００３１】
Ｃ１＝Ｂ１／Ａ１
Ｃ２＝Ｂ２／Ａ２
そして、それぞれの変化率の差の絶対値Ｄを求める。
【００３２】
Ｄ＝｜Ｃ１−Ｃ２｜
回路配線に断線が生じている場合、この絶対値Ｄは略１００に近い。一方、回路配線が正常な場合、この絶対値Ｄは略０に近い。すなわち、回路配線に断線が生じているか否かで、この絶対値Ｄの値は略１００の開きがある。従って、例えば、閾値を５０とし、この絶対値を算出・比較することにより、回路配線の欠陥の有無を簡単に判定することができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、回路配線に生じている欠陥を、当該回路配線の全般に渡って検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図である。
【図２】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図３】検査装置Ａの検査時の態様を示した図である。
【図４】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
【図５】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
【図６】従来の短絡配線を利用した検査原理を示す図である。
Claims (8)
- 一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査方法であって、
前記回路配線の前記他端に導電性部材を配置することにより、前記２つの回路配線間を短絡する工程と、
前記回路配線間に電流を供給する供給工程と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる第１の磁界と、前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる第２の磁界とを、それぞれ検出する工程と、
検出した前記第１及び第２の磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 検出した前記第１の磁界の、前記２つの回路配線が正常である場合の前記第１の磁界に対する変化率を算出する工程と、
検出した前記第２の磁界の、前記２つの回路配線が正常である場合の前記第２の磁界に対する変化率を算出する工程と、
算出した２つの前記変化率の差を算出する工程と、を含み、
前記判定工程では、算出した前記変化率の差に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。 - 前記導電性部材が、ＧＮＤに接続されたことを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
- 前記供給工程では、
一方の前記回路配線に電気信号源を接続し、他方の前記回路配線にＧＮＤに接続された抵抗器を接続することを特徴とする請求項３に記載の検査方法。 - 一端が短絡配線に接続され、他端が開放された２つの回路配線を検査する検査装置であって、
前記回路配線の前記他端に配置され、前記２つの回路配線間を短絡する導電性部材と、
前記回路配線間に電流を供給する供給手段と、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第１のセンサと、
前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記導電性部材とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する第２のセンサと、
前記第１及び第２のセンサが検出した磁界に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置。 - 前記第１のセンサが検出した磁界の、前記２つの回路配線が正常である場合の当該磁界に対する変化率を算出する手段と、
前記第２のセンサが検出した磁界の、前記２つの回路配線が正常である場合の当該磁界に対する変化率を算出する工程と、
算出した２つの前記変化率の差を算出する手段と、を備え、
前記判定手段は、算出した前記変化率の差に基づいて、前記２つの回路配線に欠陥があるか否かを判定することを特徴とする請求項５に記載の検査装置。 - 前記導電性部材が、ＧＮＤに接続されたことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
- 前記供給手段は、
一方の前記回路配線に接続され、これに電気信号を供給する電気信号源と、
他方の前記回路配線に接続され、かつ、ＧＮＤに接続された抵抗器と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
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