JP2002131365A - 検査方法及び検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短絡配線に接続された回路配線の検査におい
て、他の回路配線に生じている欠陥の影響をより低減し
て回路配線の検査をすること。 【解決手段】 短絡配線２０１に接続された回路配線２
０２を検査するにあたり、検査対象である２つの回路配
線２０２を挟む短絡配線２０１の２箇所（２０５、２０
６）を、抵抗器２０７を介してＧＮＤに接続して所定の
電位とし、破線２０８で、検査対象である回路配線２０
２を他の回路配線から電気的にアイソレートする。その
後、検査対象である回路配線２０２に電流を流し、これ
により発生した磁界２０４の強度等を検出することによ
り、回路配線の異常を検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路配線の検査技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルやその他の電子回路の回
路配線（導電パターン等）では、短絡配線（ショートバ
ー等とも呼ばれる。）を採用したものが提案されてい
る。この短絡配線は、回路基板上にＩＣチップ等をマウ
ントする際に、回路基板に帯電した静電気がＩＣチップ
等に突入し、これを破壊することを防止するために設け
られる配線であり、本来的な回路を構成しないダミーの
配線である。

【０００３】図７は、係る短絡配線が設けられた回路配
線を有する回路基板の一例を示す図である。図７におい
て、回路基板Ｘは、ＩＣチップがマウントされる領域１
０１（点線）と、領域１０１にマウントされるＩＣチッ
プに接続される一群の回路配線１０２と、黒塗りの太線
で示す矩形の短絡配線１０３と、を有する。各回路配線
１０２は、その一端が短絡配線１０３に接続され、ま
た、その他端が開放されており、この他端が領域１０１
にマウントされるＩＣチップに接続されることとなる。

【０００４】係る構成からなる回路基板Ｘでは、短絡配
線１０３をＧＮＤに落とした状態で領域１０１にＩＣチ
ップをマウントする。この結果、回路基板Ｘに帯電した
静電気がＧＮＤに流れ込み、ＩＣチップへの突入が防止
できることとなる。ＩＣチップのマウントが終了する
と、短絡配線１０３は不要であるので、点線１０４にお
いて回路配線１０２と短絡配線１０３とを切り離すか、
若しくは、点線１０４において回路基板Ｘを切断するこ
ととなる。図８は、ＩＣチップ１０５がマウントされた
後、点線１０４において切断した回路基板Ｘを示してい
る。

【０００５】一方、このような短絡配線を利用して、回
路配線の検査を行う方法が提案されている。図９及び図
１０は、その検査原理を示した図である。

【０００６】図中、太線１１１は、短絡配線を示してお
り、また、一端が短絡配線１１１に接続された線１１２
は、回路配線を示している。

【０００７】ここで、図９に示すように、隣接する２つ
の回路配線１１２間に電位差を与えると、これらの回路
配線１１２と短絡配線１１１とを通って電流１１３が流
れることとなる。すると、これらの回路配線１１２と短
絡配線１１１とに略囲まれるコ型の領域内に、電流１１
３による磁界１１４が発生する。

【０００８】そして、この磁界１１４を磁気センサ等で
検出することにより、電位差を与えた２つの回路配線１
１２の欠陥を検査することが可能となる。具体的には、
例えば、図１０に示すように、回路配線１１２間が、線
１１５によって短絡しているという欠陥が生じていたと
すると、図９の電流１１３が線１１５に分流して、電流
１１３ａ及び１１３ｂが流れ、これに対応して磁界１１
４ａと１１４ｂとが発生することとなる。

【０００９】この際、回路配線に欠陥が生じている図１
０の磁界１１４ａ又は１１４ｂと、正常な図９の磁界１
１４と、では、前者の方が電流１１３ａ又は１１３ｂが
小さいので、その磁界の強度も弱い。従って、検査対象
である２つの回路配線１１２と短絡配線１１１とに略囲
まれる領域内の磁界の強度、分布等を検出することによ
り、回路配線に欠陥が生じているか否かを検出すること
が可能となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、短絡配線
が設けられた回路配線では、短絡配線を利用して回路配
線の検査を行うことができるが、この検査方法では、一
の回路配線の検査にあたり、他の回路配線に生じている
欠陥が、その検査に影響を与えるという問題がある。例
えば、図７の回路配線１０２１と１０２２とを上述した
方法で検査する場合に、回路配線１０２３等に欠陥が存
在すると、短絡配線１０３を介して回路配線１０２１と
１０２１との検査に影響を及ぼし、欠陥箇所の特定に支
障を与える等、高精度な検査結果が得られない場合があ
る。

【００１１】従って、本発明の目的は、他の回路配線に
生じている欠陥の影響をより低減して回路配線の検査を
なし得る検査方法及び検査装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を達成するための手段】本発明によれば、一端が
短絡配線に接続された一群の回路配線を検査する検査方
法であって、前記一群の回路配線の中から相互に隣接す
る２つの回路配線を選択する工程と、選択した前記２つ
の回路配線の前記一端間を挟む前記短絡配線の２箇所
を、所定の電位とする工程と、選択した前記２つの回路
配線間に電流を供給する工程と、前記電流の供給によっ
て、選択した前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略
囲まれる領域に生じる磁界を検出する工程と、検出した
前記磁界に基づいて前記２つの回路配線を検査する工程
と、を含むことを特徴とする検査方法が提供される。

【００１３】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続された少なくとも２以上の回路配線を検査する検査
方法であって、前記少なくとも２以上の回路配線の中か
ら相互に隣接する２つの回路配線を選択する工程と、選
択した前記２つの回路配線の前記一端間を挟む前記短絡
配線の２箇所を、所定の電位とする工程と、選択した前
記２つの回路配線間に電流を供給する工程と、前記電流
の供給によって、選択した前記２つの回路配線と前記短
絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する工程
と、検出した前記磁界に基づいて前記２つの回路配線を
検査する工程と、を含むことを特徴とする検査方法が提
供される。

【００１４】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続された一群の回路配線であって、前記回路配線が複
数のグループ毎に区分けされた一群の回路配線を、前記
グループ単位で検査する検査方法であって、いずれかの
前記グループを選択する工程と、選択した前記グループ
に属する前記回路配線のうち、該グループの両端に位置
する２つの前記回路配線の前記一端間を挟む前記短絡配
線の２箇所を、所定の電位とする工程と、選択した前記
グループに属する前記回路配線を順次検査する検査工程
と、を含み、前記検査工程は、選択した前記グループに
属する前記回路配線の中から相互に隣接する２つの回路
配線を選択する工程と、選択した前記２つの回路配線間
に電流を供給する工程と、前記電流の供給によって、選
択した前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれ
る領域に生じる磁界を検出する工程と、検出した前記磁
界に基づいて前記２つの回路配線を検査する工程と、を
含むことを特徴とする検査方法が提供される。

【００１５】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続された一群の回路配線を検査する検査装置であっ
て、相互に隣接する２つの前記回路配線間に電流を供給
する電流供給手段と、前記電流が供給される２つの前記
回路配線の前記一端間を挟む前記短絡配線の２箇所を、
所定の電位とする手段と、前記電流の供給によって、前
記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に
生じる磁界を検出する磁界検出手段と、を備えたことを
特徴とする検査装置が提供される。

【００１６】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続された少なくとも２以上の回路配線を検査する検査
装置であって、相互に隣接する２つの前記回路配線間に
電流を供給する電流供給手段と、前記電流が供給される
２つの前記回路配線の前記一端間を挟む前記短絡配線の
２箇所を、所定の電位とする手段と、前記電流の供給に
よって、前記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲ま
れる領域に生じる磁界を検出する磁界検出手段と、を備
えたことを特徴とする検査装置が提供される。

【００１７】また、本発明によれば、一端が短絡配線に
接続された一群の回路配線であって、前記回路配線が複
数のグループ毎に区分けされた一群の回路配線を、前記
グループ単位で検査する検査装置であって、相互に隣接
する２つの前記回路配線間に電流を供給する電流供給手
段と、各々の前記グループ間に位置する前記短絡配線を
所定の電位とする手段と、前記電流の供給によって、前
記２つの回路配線と前記短絡配線とに略囲まれる領域に
生じる磁界を検出する磁界検出手段と、を備え、前記所
定の電位とする手段は、検査対象である前記グループの
両側に位置する前記短絡配線をそれぞれ所定の電位とす
ることを特徴とする検査装置が提供される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。 ＜検査原理＞まず、本発明の検査原理について説明す
る。本発明では、隣接する２つの回路配線を選択し、選
択した回路配線間に電位差を与える等して該回路配線及
び短絡配線に電流を供給し、該電流により生じた磁界を
検出する点は従来と同様であるが、選択した回路配線の
一端間を挟む短絡配線の２箇所を所定の電位とする点が
異なる。以下、図１を参照して具体的に説明する。図１
は、本発明の検査原理を示した図である。

【００１９】図１において、太線２０１は、短絡配線を
示しており、４本の線２０２は回路配線を示している。
各回路配線２０２は、その一端が短絡配線２０１に接続
されている。なお、その他端は、開放されている場合も
あれば他の回路配線に接続されている場合もあり得る。

【００２０】回路配線２０２の検査手順としては、ま
ず、検査対象とされる回路配線２０２を選択する。図１
では、４本の回路配線２０２のうち、相互に隣接する中
央の２本の回路配線２０２が検査対象として選択されて
いる。

【００２１】次に、短絡配線２０１のうち、選択した回
路配線２０２の一端（２０２ａ）間を挟む２箇所を所定
の電位とする。図１では、短絡配線２０１のうち、選択
した回路配線２０２の各一端２０２ａ間を挟む、ポイン
ト２０５とポイント２０６とが、抵抗器２０７を介して
ＧＮＤに接続され、所定の電位とされている。

【００２２】このような状態で、選択した２つの回路配
線２０２に電流を供給する。図１のでは、選択した回路
配線２０２間に電位差を与えているため、選択した一方
の回路配線２０２から短絡配線２０３を介して選択した
他方の回路配線２０２へ電流２０３が流れることとな
る。

【００２３】なお、図１では、回路配線２０２間に、固
定値の電位差を与える構成を採用しているが、回路配線
２０２に電流を流すことができれば、逐次変化する電位
差、例えば、電圧が矩形波状に変化する信号や、交流波
状に変化する信号等、任意の信号を回路配線２０２に与
えて電流を流すようにしてもよく、係る場合も本発明に
含まれる。

【００２４】そして、電流２０３により生じる磁界２０
４を検出することにより、選択した２つの回路配線２０
２の欠陥を検査するが、この時、ポイント２０５と２０
６とを所定の電位としているので、選択された２つの回
路配線２０２と、短絡配線２０１のうちポイント２０５
とポイント２０６とに挟まれる領域と、が、他の回路配
線２０２や短絡配線２０１の他の領域から電気的にアイ
ソレートされることとなる。すなわち、図１では、点線
２０８間に挟まれる部分と、他の部分とが電気的にアイ
ソレートされる。

【００２５】従って、選択した２つの回路配線２０２の
検査にあたり、これ以外の回路配線２０２等の欠陥に基
づく影響が低減され、より高精度な検査が可能となる。

【００２６】なお、ポイント２０５及び２０６の電位
は、上記電気的なアイソレートが実現可能な範囲で適宜
定めることができる。例えば、検査対象である回路配線
２０２の一方の電位をＶとし、他方の電位を０（ＧＮ
Ｄ）と想定すれば、ポイント２０５及び２０６の電位
を、前記他方の電位と同じ電位、すなわち０（ＧＮＤ）
としたり、若しくは、前記各電位の間の電位、すなわ
ち、０からＶの間の電位（Ｖ／２、Ｖ／３等）とするこ
とができる。また、検査対象である回路配線２０２の一
方の電位を＋Ｖとし、他方の電位を−Ｖと想定すれば、
ポイント２０５及び２０６の電位を−Ｖや、−Ｖから＋
Ｖの間の電位（０等）とすることもできる。但し、検査
対象である回路配線２０２間に、より大きな電流を安定
して流すためには、ポイント２０５及び２０６の電位
を、検査対象である回路配線２０２の各電位の間の電位
とすることが望ましいと考えられる。

【００２７】また、ポイント２０５及び２０６の電位
は、検査対象である回路配線２０２に与えられる電位と
同じとしてもよい。図１１は、この場合の検査原理を示
す図である。図１１の例では、検査対象である回路配線
２０２の一方に第１の電位（ここでは＋Ｖ１）を与え、
他方に第２の電位（ここではＧＮＤ）を与えると共に、
ポイント２０５及び２０６の電位を上記第１の電位（＋
Ｖ１）としている。

【００２８】このような態様においても、選択された２
つの回路配線２０２と、短絡配線２０１のうちポイント
２０５とポイント２０６とに挟まれる領域と、が、他の
回路配線２０２や短絡配線２０１の他の領域から電気的
にアイソレートされることとなり、特に、回路配線２０
２間に流れる電流を安定化させ、他の回路配線２０２等
の欠陥の影響を受けにくいと考えられる。

【００２９】また、ポイント２０５及び２０６の電位
は、それぞれ異なる電位であってもよい。図１２は、こ
の場合の検査原理を示す図である。図１２の例では、検
査対象である回路配線２０２の一方に第１の電位（ここ
では＋Ｖ１）を与え、他方に第２の電位（ここではＧＮ
Ｄ）を与えると共に、ポイント２０５及び２０６の電位
をそれぞれ、＋Ｖ３及び＋Ｖ２としている。ここに、＋
Ｖ１≧＋Ｖ２、＋Ｖ２＞＋Ｖ３であることが好ましい。

【００３０】このような態様においても、選択された２
つの回路配線２０２と、短絡配線２０１のうちポイント
２０５とポイント２０６とに挟まれる領域と、が、他の
回路配線２０２や短絡配線２０１の他の領域から電気的
にアイソレートされることとなり、特に、＋Ｖ２及び＋
Ｖ３の値の選択の仕方により、回路配線２０２間に流れ
る電流を制御することができ、他の回路配線２０２等の
欠陥の影響を受けにくいと考えられる。

【００３１】また、本発明においては、所定の電位とす
るポイント２０５及び２０６の位置は、必ずしも検査対
象である回路配線２０２の直近の位置に限定されるもの
ではなく、短絡配線２０１のうち、検査対象である回路
配線２０２の各一端２０２ａ間を挟む部位であれば、例
えば、図１のポイント２０５’及び２０６’とすること
もできる。

【００３２】この場合、図１における両脇の２本の回路
配線２０２に欠陥があれば、中央の２本の回路配線２０
２の検査に影響が生じるが、少なくともポイント２０
５’と２０６’とに挟まれる４本の回路配線２０２のい
ずれかに欠陥があることは特定できるので、欠陥箇所の
特定に支障は無く、回路基板の修理若しくは廃棄の判断
に役立てることができ、検査結果としては申し分ない。 ＜検査装置の例＞次に、本発明の好適な装置の例につい
て説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る検査装
置Ａの概略図である。

【００３３】検査装置Ａは、図７に示した回路基板Ｘを
検査することを想定したものであって、略チップ形状の
検査ユニット１と、検査対象となる２つの回路配線間に
電流を供給するための電源２と、検査対象となる２つの
回路配線を選択等、検索ユニット１を制御するための制
御信号を検査ユニット１へ送出する制御回路３と、主と
して検査ユニット１で検出された磁界等を計測する計測
器４と、回路基板Ｘの短絡配線１０３上の所定のポイン
トを所定の電位とするための可変抵抗器５と、を備え
る。

【００３４】電源２は、検査対象となる２つの回路配線
に異なる電位を与えて電位差を生じさせ、これらに電流
を供給するための電源であり、本実施形態では、＋Ｖ電
位とＧＮＤ電位とを与える。但し、後で説明するように
電界センサによる検査を行う場合は、時間的に変化する
電気信号、例えば、電圧変化の周期が、５００ｋＨｚか
ら１０ＭＨｚ程度の電気信号、を発生し得る信号発生機
能を有することが必要とされる。

【００３５】可変抵抗器５は、短絡配線上の所定のポイ
ントを所定の電位とするためのものであり、その抵抗値
を可変とすることにより、電源２から与えられる＋Ｖ電
位とＧＮＤ電位との間の電位を与えることができる。尤
も、この可変抵抗器５を抵抗値固定の抵抗器としてもよ
いし、抵抗器を設けずに直接ＧＮＤ電位を与えるように
してもよい。

【００３６】なお、上述した図１１の検査原理を採用す
る場合は、可変抵抗器５に代えて、別の電源を採用する
こともできる。また、上述した図１２の検査原理を採用
する場合は、２種類の電位を発生できるように、例え
ば、２つの電源を採用すればよい。

【００３７】制御回路３は、少なくとも検査ユニット１
に対して、検査する回路配線を順次選択する信号を発生
するものであり、例えば、コンピュータ等から構成する
ことができる。また、図の矢印で示すように計測器４と
データ交換可能に構成し、どの回路配線が選択されてい
るかを示すデータを提供するようにしてもよい。

【００３８】計測器４は、主として検査ユニット１で検
出された磁界に基づく電気信号を検査ユニット１から取
得し、解析等する信号処理機能を有するものである。

【００３９】検査ユニット１は、その表面から突出した
ピン形状の複数グループの検査用プローブ１１（ａ乃至
ｄ）及び複数のシールド用プローブ１２（ａ乃至ｄ）
と、４つの磁気センサ１３と、４つの電界センサ１５
と、を備える。

【００４０】検査用プローブ１１は、図２に示すよう
に、各グループ（ａ乃至ｄ）毎に１０本づつ整列配置さ
れている。この検査用プローブ１１は、導電性を有する
材料からなり、その先端が回路基板Ｘの回路配線上のい
ずれかの部位（本実施形態ではパッド部分）に接触し、
選択された回路配線１０２間に電源２により電流を供給
するためのものである。シールド用プローブ１２は、導
電性を有する材料からなり、その先端が、回路基板Ｘの
短絡配線１０３に接触することにより、短絡配線１０３
上のポイントを可変抵抗器５を介して所定の電位とする
ためのものである。

【００４１】磁気センサ１３は、回路基板Ｘの回路配線
１０２と短絡配線１０３とに電流が流れることにより生
じる磁界を検出するためのセンサユニットであり、例え
ば、コイルやホール素子等から構成され、発生した磁界
の強度に応じた電気信号（例えば、電圧）を発生する。
この電気信号は、計測器４で計測され、磁界の強度等が
測定されることとなる。

【００４２】電界センサ１５は、磁気センサ１３による
検査とは別に検査を行うためのセンサであり、磁気セン
サ１３による検査のみを行う場合は必ずしも必要ない。

【００４３】この電界センサ１５は、従来、接触式検査
と呼ばれる手法に代えて採用される非接触式検査に用い
られるセンサであり、既に種々の形式のものが提案され
ている。

【００４４】ここで、接触式検査とは、一般に、検査す
る回路配線の両端にそれぞれプローブを接触させ、一方
のプローブから電気信号を供給して他方のプローブから
これを受信して導通チェックを行い、回路配線の断線、
短絡等を検査する検査手法である。

【００４５】しかし、近年では、回路配線の高密度化に
より、回路配線にプローブを正確に逐次接触させること
が困難な状況となってきたため、電気信号の受信側では
プローブを用いずに、回路配線と接触することなく電気
信号を受信する手法、すなわち、非接触式検査が提案さ
れている。

【００４６】この非接触式の検査手法では、一般には、
検査の対象となる回路配線の一端に接触するプローブを
配置すると共に、その他端に該回路配線に近接して電界
センサを配置した後、プローブに時間的に変化する電気
信号（例えば、電圧変化の周波数が、５００ｋＨｚから
１０ＭＨｚ程度のもの。）を供給することにより、回路
配線と電界センサとの間に介在する静電容量を介して該
電界センサに現れる電気信号を検出して回路配線の断線
等を検査するものである。

【００４７】このような非接触式検査に用いられる電界
センサは、検査する回路配線上の電気信号の変化に伴っ
て電気信号を発生する素材、例えば、単純なものでいえ
ば導電性を有する材料や、若しくは、半導体素子等のセ
ンサ要素から構成されるものを挙げることができる。な
お、図２、図４等においては、電界センサ１５は、図面
上４つ配置されているが、各電界センサ１５は、各回路
配線を個別に検査できるように、各回路配線毎のセンサ
要素を有するものである。

【００４８】本実施形態では、磁気センサ１３による検
査と電界センサ１５による検査とを併用可能としたもの
であるが、本実施形態は磁気センサ１３による検査を主
たる目的とするものである。

【００４９】次に、検査ユニット１は、電源２と検査用
プローブ１１とを接続するための端子１ａ及び１ｂと、
制御回路３から制御信号が入力される端子１ｃと、磁気
センサ１３が検出した磁界に基づく電気信号を計測器４
へ送出するための端子１ｅと、可変抵抗器５とシールド
用プローブ１２とを接続するための端子１ｄと、電界セ
ンサ１５が検出した電気信号を計測器４へ送出するため
の端子１ｆと、を有する。

【００５０】図３は、検査ユニット１の内部回路を示し
た図である。

【００５１】検査ユニット１は、マルチプレクサ等から
構成される切替回路１４を内蔵しており、切替回路１４
は、各検査用プローブ１１を、端子１ａ及び１ｂを介し
て電源２に接続するか、又は、オープンに個別に切替え
る。切替は、端子１ｃを介して入力される制御回路３か
らの制御信号に基づいて行われる。また、各シールド用
プローブ１２は、端子１ｄを介して可変抵抗器５へ、各
磁気センサ１３は、端子１ｅを介して計測器４へ、各電
界センサ１５は、端子１ｆを介して計測器４へ、それぞ
れ接続可能としている。

【００５２】なお、上述した図１２の検査原理を採用す
る場合は、端子１ｄの数を少なくとも２つにし、それら
を各シールド用プローブ１２に選択的に接続するように
構成して、各シールド用プローブ１２が、複数の端子１
ｄにそれぞれ接続される異なる電源等と選択的に接続さ
れるように構成することが考えられる。

【００５３】ここで、検査ユニット１の検査用プローブ
１１、シールド用プローブ１２及び磁気センサ１３、若
しくは、電界センサ１５は、検査対象である回路基板の
回路配線の構成に応じてその配置が定められる。本実施
形態では、検査装置Ａは、図７の回路基板Ｘを検査する
ことを想定しているので、その回路配線１０２に対応し
た配置とされている。

【００５４】図４は、検査時における回路基板Ｘに対す
る検査ユニット１の配置を示した図である。図４は、回
路基板Ｘを破線で示しており、回路基板Ｘを透視して検
査ユニット１の表面を表した平面図を構成している。ま
た、図５は、図４の線ＹＹに沿う断面図である。なお、
図４及び図５は理解を容易にするために構成の一部をデ
フォルメ若しくは省略している。

【００５５】図４において、回路基板Ｘの各回路配線１
０２（ａ乃至ｄ）のパッド部分（円形部分）上には、黒
点で示した各検査用プローブ１１（ａ乃至ｄ）が個別に
対応して接触している。これは、各回路配線１０２を個
別に検査するためである。

【００５６】また、図４において、各シールド用プロー
ブ１１ａ乃至１１ｄは、略矩形枠形状を有する短絡配線
１０３の各隅上に接触している。本実施形態では、後で
説明するように、回路配線１０２を、１０２ａ乃至１０
２ｄに示すグループ単位で検査を行う。このため、各シ
ールド用プローブ１１ａ乃至１１ｄは、１０２ａ乃至１
０２ｄの各グループの両端に位置する２つの回路配線の
一端（短絡配線１０３に接続される側の端部）間を挟む
短絡配線１０３上の各ポイントに接触するように配置さ
れている。

【００５７】回路基板Ｘの場合、略矩形枠形状を有する
短絡配線１０３の左右上下の４辺に、各グループの回路
配線１０２ａ乃至１０２ｄが、それぞれ接続されている
ので、各グループの両端に位置する２つの回路配線の一
端間を挟む短絡配線１０３上のポイントは、短絡配線１
０３の４つの隅部分とすることができるのである。

【００５８】次に、各磁気センサ１３は、各グループの
回路配線１０２ａ乃至１０２ｄ毎に設けられており、特
に、各回路配線１０２と短絡配線１０３とに略囲まれる
領域であって、各回路配線１０２と短絡配線１０３との
接続部分付近上を覆うように配置されている。この部分
において尤も強度の強い磁界が発生すると考えられるか
らである。

【００５９】また、電界センサ１４は、各グループの回
路配線１０２ａ乃至１０２ｄ毎に設けられており、特
に、各回路配線１０２の他端（ＩＣチップに接続される
側の端部）上に非接触で配置されている。 ＜検査手順＞次に、検査装置Ａにおける磁気センサ１３
による検査手順の例を図４を参照して説明する。

【００６０】まず、各グループの回路配線１０２ａ乃至
１０２ｄの中から検査する一つのグループを選択する。
ここでは、回路配線１０２ａのグループが選択されたも
のとする。

【００６１】次に、回路配線１０２ａの両端に位置する
回路配線１０２ａ’の一端（短絡配線１０３に接続され
る側の端部）間を挟む短絡配線１０３の２箇所を所定電
位とする。本実施形態では、シールド用プローブ１２ａ
と１２ｂとが短絡配線１０３に接触しており、かつ、こ
れらのプローブを可変抵抗器５に接続したことにより、
これが実現される。この結果、回路基板Ｘの回路配線１
０２及び短絡配線１０３は、図４の破線１２ａ’と１２
ｂ’とに挟まれる部分と、それ以外の部分とが、電気的
にアイソレートされる。

【００６２】なお、本実施形態では、シールド用プロー
ブ１２ｃ及び１２ｄも可変抵抗器５に接続されているた
め、これらが接触する短絡配線１０３上の２箇所も所定
電位とされるが、これは回路配線１０２ａの検査では不
要である。よって、各シールド用プローブ１２ａ乃至１
２ｃを全て直接可変抵抗器５に接続せずに、必要なシー
ルド用プローブだけ可変抵抗器５に切替えて接続するよ
うにしてもよい。

【００６３】次に、１０本の回路配線１０２ａの中か
ら、検査対象となる相互に隣接した２つの回路配線が選
択される。選択は、制御回路３から送出される制御信号
に基づいて切替回路１４が行い、回路配線１０２ａのう
ちの一つを端子１ａに接続し、他の一つを端子１ｂに接
続し、他の回路配線はオープンとされる。

【００６４】選択された２つの回路配線１０２ａは、電
源２に接続されるので、電位差が生じ、選択された一方
の回路配線１０２ａから短絡配線１０３を介して他方の
回路配線１０２ａへ電流が流れることとなる。

【００６５】この結果、選択された２つの回路配線１０
２ａと短絡配線１０３とに略囲まれる領域に磁界が発生
し、磁気センサ１３がこれを検出する。磁気センサ１３
は、検出した磁界に応じた電気信号を発生し、この電気
信号が計測器４へ入力される。計測器４では、入力され
た電気信号を分析して選択された２つの回路配線１０２
ａに欠陥がないか否かを判定する。判定は、例えば、電
気信号のピーク値等が予備実験等で予め得た値よりも低
いか否か、若しくは、他の回路配線１０２の検査におけ
るピーク値との相対比較等により異常を判別することに
より行う。例えば、選択した２つの回路配線１０２ａ間
に短絡が生じていると、上述した通り、磁界の強度が小
さくなるので、電気信号のピーク値が下がるため、短絡
の有無が判定できる。

【００６６】また、この時、回路配線１０２ａのグルー
プは、破線１２ａ’及び１２ｂ’を境にして、他の回路
配線１０２ｂ乃至１０２ｄ等から電気的にアイソレート
されているので、例えば、回路配線１０２ｃに欠陥が生
じていたとしても、その影響は極めて少ないものとな
る。

【００６７】この後、同様の手順により回路配線１０２
ａのグループの中で、順次回路配線を選択していき、全
ての回路配線１０２ａの検査を行う。回路配線１０２ａ
のグループについて検査が終了すると、次に、回路配線
１０２ｂのグループといったように順番に検査を行い、
全ての回路配線１０２の検査を行う。

【００６８】検査の結果、異常が認められた場合は、そ
の回路配線が属するグループのいずれかの回路配線に欠
陥があることとなる。以上により検査が終了する。

【００６９】なお、本実施形態では、一つの回路基板を
検査する場合について説明したが、一般に回路基板は、
生産効率向上の観点から、例えば、図６に示すように同
種複数の回路配線を単一基材上に構成し、後に分割する
場合が多い。図６は、図７の回路基板Ｘを８つ集合して
一体とされている回路基板を示した図である。

【００７０】このような回路基板を検査する場合は、検
査ユニット１を順次移動させて、各回路配線を検査する
ことも考えられるが、移動時の位置決め等に手間がかか
るため、例えば、図６の回路基板に合わせて８つの検査
ユニット１を合体して一つのユニットを作成し、ユニッ
トの移動なしに検査を行えるようにしてもよい。

【００７１】次に、検査装置Ａにおける電界センサ１５
による検査手順を簡単に説明する。

【００７２】この場合、電源２が時間的に変化する信号
を発生する機能を有することが必要である。計測器４
は、電界センサ１５からの電気信号を解析する機能があ
れば足りるので、多くの場合、磁界センサ１３による検
査に用いるものと同じものを採用できると考えられる。

【００７３】まず、回路配線１０２の中から、電気信号
を供給する回路配線が選択される。電気信号の供給は、
プローブ１１を介して行うことができる。よって、回路
配線の選択は、制御回路３から送出される制御信号に基
づいて切替回路１４が行い、回路配線１０２のうちの一
つを端子１ａに接続し、他の回路配線はオープンとされ
る。この場合、いずれかの回路配線をＧＮＤに接続する
必要はない。

【００７４】選択された回路配線には、電源２から時間
的に変化する電気信号が供給される。その後、電界セン
サ１５に現れる電気信号を計測器４で観察することによ
り各回路配線の欠陥等を発見することが可能となる。例
えば、回路配線に断線が生じていれば、電界センサ１５
に現れる電気信号の強度が正常な場合よりも低くなり、
また、短絡が生じていれば、本来電気信号が現れない回
路配線から電気信号が検出され、これらが検査可能とな
る。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
他の回路配線に生じている欠陥の影響をより低減して回
路配線の検査をすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査原理を示した図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る検査装置Ａの概略図
である。

【図３】検査ユニット１の内部回路を示した図である。

【図４】検査時における回路基板Ｘに対する検査ユニッ
ト１の配置を示した図である。

【図５】図４の線ＹＹに沿う断面図である。

【図６】図７の回路基板Ｘを８つ集合して一体とされて
いる回路基板を示した図である。

【図７】短絡配線が設けられた回路配線を有する回路基
板Ｘを示す図である。

【図８】点線１０４において切断した回路基板Ｘを示す
図である。

【図９】短絡配線１１１を利用した、回路配線１１２の
検査原理を示す図である。

【図１０】短絡配線１１１を利用した、回路配線１１２
の検査原理を示す図である。

【図１１】本発明の検査原理の他の例を示した図であ
る。

【図１２】本発明の検査原理の他の例を示した図であ
る。

フロントページの続き (72)発明者 石岡 聖悟 広島県深安郡神辺町字西中条1118番地の１ オー・エイチ・ティー株式会社内 Ｆターム(参考） 2G014 AA01 AB21 AB59 AC09 AC19

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端が短絡配線に接続された一群の回路
   配線を検査する検査方法であって、 前記一群の回路配線の中から相互に隣接する２つの回路
   配線を選択する工程と、 選択した前記２つの回路配線の前記一端間を挟む前記短
   絡配線の２箇所を、所定の電位とする工程と、 選択した前記２つの回路配線間に電流を供給する工程
   と、 前記電流の供給によって、選択した前記２つの回路配線
   と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出
   する工程と、 検出した前記磁界に基づいて前記２つの回路配線を検査
   する工程と、を含むことを特徴とする検査方法。
2. 【請求項２】 検出した前記磁界に基づいて、選択した
   前記２つの回路配線間の短絡の有無を検査することを特
   徴とする請求項１に記載の検査方法。
3. 【請求項３】 前記所定電位が、ＧＮＤ電位であること
   を特徴とする請求項１に記載の検査方法。
4. 【請求項４】 前記所定電位が、選択した前記２つの回
   路配線の各電位の間の電位であることを特徴とする請求
   項１に記載の検査方法。
5. 【請求項５】 一端が短絡配線に接続された少なくとも
   ２以上の回路配線を検査する検査方法であって、 前記少なくとも２以上の回路配線の中から相互に隣接す
   る２つの回路配線を選択する工程と、 選択した前記２つの回路配線の前記一端間を挟む前記短
   絡配線の２箇所を、所定の電位とする工程と、 選択した前記２つの回路配線間に電流を供給する工程
   と、 前記電流の供給によって、選択した前記２つの回路配線
   と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出
   する工程と、 検出した前記磁界に基づいて前記２つの回路配線を検査
   する工程と、を含むことを特徴とする検査方法。
6. 【請求項６】 一端が短絡配線に接続された一群の回路
   配線であって、前記回路配線が複数のグループ毎に区分
   けされた一群の回路配線を、前記グループ単位で検査す
   る検査方法であって、 いずれかの前記グループを選択する工程と、 選択した前記グループに属する前記回路配線のうち、該
   グループの両端に位置する２つの前記回路配線の前記一
   端間を挟む前記短絡配線の２箇所を、所定の電位とする
   工程と、 選択した前記グループに属する前記回路配線を順次検査
   する検査工程と、を含み、 前記検査工程は、 選択した前記グループに属する前記回路配線の中から相
   互に隣接する２つの回路配線を選択する工程と、 選択した前記２つの回路配線間に電流を供給する工程
   と、 前記電流の供給によって、選択した前記２つの回路配線
   と前記短絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出
   する工程と、 検出した前記磁界に基づいて前記２つの回路配線を検査
   する工程と、を含むことを特徴とする検査方法。
7. 【請求項７】 一端が短絡配線に接続された一群の回路
   配線を検査する検査装置であって、 相互に隣接する２つの前記回路配線間に電流を供給する
   電流供給手段と、 前記電流が供給される２つの前記回路配線の前記一端間
   を挟む前記短絡配線の２箇所を、所定の電位とする手段
   と、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短
   絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する磁界
   検出手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。
8. 【請求項８】 前記所定の電位とする手段が、 ＧＮＤに接続され、前記短絡配線に接触するプローブを
   備えたことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
9. 【請求項９】 前記プローブが可変抵抗器を介してＧＮ
   Ｄに接続されることを特徴とする請求項８に記載の検査
   装置。
10. 【請求項１０】 前記電流供給手段が、 隣接する２つの前記回路配線にそれぞれ接触する一対の
    プローブと、 前記一対のプローブにそれぞれ異なる電位を与える電源
    と、を備えたことを特徴とする請求項７に記載の検査装
    置。
11. 【請求項１１】 前記電流供給手段が、 各々の前記回路配線に対応して設けられた複数のプロー
    ブであって、前記回路配線に接触するプローブと、 前記複数のプローブのうちの２つのプローブにそれぞれ
    異なる電位を与える電源と、 前記複数のプローブのうちの２つのプローブを、順次切
    替えて前記電源に接続する切替手段と、を備えたことを
    特徴とする請求項７に記載の検査装置。
12. 【請求項１２】 一端が短絡配線に接続された少なくと
    も２以上の回路配線を検査する検査装置であって、 相互に隣接する２つの前記回路配線間に電流を供給する
    電流供給手段と、 前記電流が供給される２つの前記回路配線の前記一端間
    を挟む前記短絡配線の２箇所を、所定の電位とする手段
    と、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短
    絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する磁界
    検出手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。
13. 【請求項１３】 一端が短絡配線に接続された一群の回
    路配線であって、前記回路配線が複数のグループ毎に区
    分けされた一群の回路配線を、前記グループ単位で検査
    する検査装置であって、 相互に隣接する２つの前記回路配線間に電流を供給する
    電流供給手段と、 各々の前記グループ間に位置する前記短絡配線を所定の
    電位とする手段と、 前記電流の供給によって、前記２つの回路配線と前記短
    絡配線とに略囲まれる領域に生じる磁界を検出する磁界
    検出手段と、を備え、 前記所定の電位とする手段は、 検査対象である前記グループの両側に位置する前記短絡
    配線をそれぞれ所定の電位とすることを特徴とする検査
    装置。
14. 【請求項１４】 前記回路配線に時間的に変化する電気
    信号を供給する手段と、 前記電気信号を前記回路配線に非接触で検出する電界セ
    ンサと、を設けたことを特徴とする請求項７、１２又は
    １３のいずれかに記載の検査装置。
15. 【請求項１５】 前記プローブを介して、前記回路配線
    に時間的に変化する電気信号を供給する手段と、 前記電気信号を前記回路配線に非接触で検出する電界セ
    ンサと、を設けたことを特徴とする請求項１０又は１１
    に記載の検査装置。
16. 【請求項１６】 前記電流を供給する工程では、 選択した前記２つの回路配線のうちの一方を第１の電位
    とし、他方を第２の電位とすることにより、当該回路配
    線間に電流を供給し、 前記所定の電位とする工程では、前記短絡配線の２箇所
    を前記第１の電位とすることを特徴とする請求項１に記
    載の検査方法。
17. 【請求項１７】 前記第１の電位が正の電位であり、前
    記第２の電位がＧＮＤであることを特徴とする請求項１
    ６に記載の検査方法。
18. 【請求項１８】 前記所定の電位とする工程では、 前記短絡配線の２箇所を、それぞれ異なる電位とするこ
    とを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
19. 【請求項１９】 前記電流供給手段が、 隣接する２つの前記回路配線にそれぞれ接触する一対の
    プローブと、 前記プローブの一方に第１の電位を与える手段と、 前記プローブの他方に第２の電位を与える手段と、を備
    え、 前記所定の電位とする手段が、 前記短絡配線の２箇所を前記第１の電位とすることを特
    徴とする請求項７に記載の検査装置。
20. 【請求項２０】 前記第１の電位が正の電位であり、前
    記第２の電位がＧＮＤであることを特徴とする請求項１
    ９に記載の検査装置。
21. 【請求項２１】 前記所定の電位とする手段は、 前記短絡配線の２箇所を、それぞれ異なる電位とするこ
    とを特徴とする請求項７に記載の検査装置。