CN103487955B - 一种短路测量方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种短路测量方法,所述方法包括:确定待检测的源信号线和目标信号线;输入电信号到所述源信号线的一端;分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置。本发明可以通过检测目标信号线的电信号确定目标信号线的短路位置。

Description

一种短路测量方法
技术领域
本发明涉及电子电路和液晶制造领域,尤其涉及一种短路测量方法。
背景技术
目前薄膜晶体管-液晶显示屏(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay,TFT-LCD)的制造过程大概可以分为三个阶段:阵列工艺、制盒工艺以及模组工艺。
在阵列工艺中,要在基板上镀多层膜,其中一层为栅极Gate线层,经过蚀刻等工艺在基板上形成横向或纵向排列Gate线层,它的好坏直接影响最终产品质量,所以对Gate线层是否存在短路情况的检测至关重要。
目前测试Gate线短路情况的主要装置为开路-短路(Open-Short,OS)测试装置,它可以检测到Gate线是否有短路情况。
如图1所示,为现有的OS设备测试Gate线是否发生短路的方法,Gate线5具有第一端1和第二端2,将Gate线5的第一端1作为输入端,输入测试信号,该输入测试信号为电压信号3,查看输出端第二端2的输出电压信号4,如果输出电压信号4与输入的电压信号3相比发生了变化,则确定该Gate线5发生了短路。
使用该方法进行短路测试时,必须要对每一根Gate线进行测量,以便确定是否发生短路,且对于发生短路的Gate线不能够确定具体的短路位置,如果需要确定具体的短路位置,还需要利用另外的光检装置进行扫描。
发明内容
本发明的目的是提供一种短路测量方法,可以通过检测目标信号线的电信号确定目标信号线的短路位置。
为了实现上述目的,本发明实施例提供了一种短路测量方法,所述方法包括:
确定待检测的源信号线和目标信号线;
输入电信号到所述源信号线的一端;
分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置。
上述的短路测量方法,其中,所述方法还包括:
根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线与所述源信号线是否发生短路;
在所述目标信号线与所述源信号线发生短路时,执行所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置的步骤。
上述的短路测量方法,其中,所述目标信号线为一条或多条。
上述的短路测量方法,其中,所述目标信号线为一条时,所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为:
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述目标信号线与所述源信号线未发生短路;
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述目标信号线与所述源信号线发生短路。
上述的短路测量方法,其中,所述目标信号线为多条时,所述分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数具体为:
依次分别测量多条目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,分别获取多条目标信号线的第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为:
当多条目标信号线中第一目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述第一目标信号线与所述源信号线未发生短路;
当多条目标信号线中第二目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述第二目标信号线与所述源信号线发生短路。
上述的短路测量方法,其中,所述电参数至少包括电压值和电流值。
上述的短路测量方法,其中,所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置具体为:
L 1 = S ( U 2 - U 1 ) - ρLI 2 ρ ( I 1 - I 2 ) ,
其中L1为所述目标信号线上的短路位置距离所述目标信号线第一端的距离,S为所述目标信号线的横截面积,U1为第一电信号的电压值,U2为第二电信号的电压值,I1为第一电信号的电流值,I2为第二电信号的电流值,ρ为目标信号线的电阻率,L为目标信号线的长度。
上述的短路测量方法,其中,所述信号线为阵列基板上的栅极线、数据线或公共电极线。
上述的短路测量方法,其中,所述源信号线为与所述目标信号线相邻的信号线。
本发明实施例不需要对每条信号线均测试输入端和输出端的电压信号,只需要对源信号线的一端输入电压测量信号,通过测试目标信号线两端的电压值和电流值,就可以判断所述目标信号线与所述源信号线是否发生短路,并在发生短路时根据目标信号线的电信号确定具体的短路位置,不需要另外的光检装置,其中,目标信号线可以为一条或多条。
附图说明
图1为现有技术中测试Gate线是否发生短路的示意图;
图2为本发明实施例提供的短路测量方法的流程示意图;
图3为本发明实施例提供的源信号线与目标信号线无短路时的示意图;
图4为本发明实施例提供的源信号线与目标信号线短路时的示意图;
主要组件符号说明:
1:第一端、2:第二端、3:电压测试信号、4:输出电压信号、5:栅极线、6:源信号线、7:目标信号线、8:目标信号线上的短路位置。
具体实施方式
为使本发明实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明实施例提供了一种短路测量方法,所述方法如图2所示,包括:
步骤21,确定待检测的源信号线6和目标信号线7;
步骤22,输入电信号到所述源信号线6的一端;
步骤23,分别检测所述目标信号线7第一端1的第一电信号和第二端2的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
步骤24,根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线7的短路位置。
在本发明实施例中,只需要对源信号线6的一端输入电信号,优选地,所述电信号为电压测试信号3,通过测试目标信号线7两端的第一电信号的电参数和第二电信号的电参数,所述电参数至少电压值和电流值,就可以确定所述目标信号线7发生短路的位置,相比于现有技术中通过光检装置扫描来检测短路的方法更加简便高效、降低成本。
优选地,在确定目标信号线7是否短路时,不需要对每条信号线均测试输入端和输出端的电信号,只需要对源信号线6的一端输入电压测试信号3,通过测试目标信号线7两端的第一电信号的电参数或第二电信号的电参数,就可以确定目标信号线是否短路,即根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路,只有在确定了目标信号线发生短路时,才需要进一步地执行步骤24。
这里的目标信号线7可以为一条或多条,目标信号线7为一条时,所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路可以具体为:
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述目标信号线未发生短路;
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述目标信号线发生短路。
优选地,电参数至少包括电流值和电压值。
对目标信号线7为一条时,根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路,举例说明如下。
<实施例1>
如图3所示,在源信号线6的一端输入电压测量信号3,如果源信号线6与目标信号线7未发生短路时,那么测量到目标信号线7两端的电压值和电流值必然均为0。
在源信号线6的一端输入电压测量信号3,如果源信号线6与目标信号线7发生短路,那么测量到目标信号线7两端的电压值和电流值必然均不为0。
因此,只要检测到目标信号线7两端的电压值和电流值均为0,就可以确定所述目标信号线7与所述源信号线6均未发生短路,如果到目标信号线7两端的电压值和电流值任一端不为0,就可以确定所述目标信号线7与所述源信号线6发生了短路。
目标信号线7为多条时,步骤23具体为:
依次分别测量多条目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,分别获取多条目标信号线的第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
进一步地,所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为:
当多条目标信号线中第一目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述第一目标信号线与所述源信号线未发生短路;
当多条目标信号线中第二目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述第二目标信号线与所述源信号线发生短路。
依次测量多条目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,当测量出多条目标信号线中的第一目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定第一目标信号线与所述源信号线未发生短路,当第二目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述第二目标信号线与所述源信号线发生短路。优选地,电参数至少包括电流值和电压值。
对目标信号线7为多条时,根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路,举例说明如下。
<实施例2>
如图4所示,在源信号线6的一端输入电压测量信号3,依次测量目标信号线7第一端的电压值和第二端的电压值,如果源信号线6与目标信号线7中的第一目标信号线未发生短路时,那么测量到目标信号线7两端的电压值和电流值必然均为0;
如果源信号线6与目标信号线7中的第二目标信号线短路,那么测量到第二目标信号线两端的电压值和电流值必然均不为0。
进一步地,本发明实施例可以根据所述目标信号线7两端的电压值和电流值确定所述目标信号线7上短路位置8的坐标。
假定目标信号线7此时在第一端1和第二端2的电压值分别为U1和U2
目标信号线7的短路位置8的电压值为Um
在第一端1和第二端2的电流值分别为I1和I2
目标信号线7线长为L;
短路位置8距离目标信号线7的第一端1和第二端2的距离分别为L1和L2
短路位置8与目标信号线7的第一端1和第二端2的电阻分别为R1和R2
目标信号线7的电阻R与线长L、横截面积S之间的计算公式如式1所示:
R=ρL/S(式1)
其中,ρ为目标信号线7的电阻率。
根据电压、电流与电阻间的计算公式U=R*I和式1,得到式2-式3:
Um-U1=R1*I1=ρL1I1/S(式2)
U2-Um=R2*I2=ρL2I2/S(式3)
由于L1+L2=L(式4)
根据式2-式4,可以计算出L1的值:
L 1 = S ( U 2 - U 1 ) - &rho;LI 2 &rho; ( I 1 - I 2 ) .
在计算出L1后,同样可以得到L2的值。
无论计算出L1还是L2,都可以明确定位目标信号线上的短路位置8的坐标。
上述的短路位置的计算不仅适用于目标信号线7为一条时,当目标信号线7为多条时同样适用,如果目标信号线7中第二目标信号线两端的电压值和电流值均不为0时,可以确定所述目标信号线7中电压值和电流值均不为0的信号线与所述源信号线6发生短路,且短路位置的坐标为:
L 1 = S ( U 2 - U 1 ) - &rho;LI 2 &rho; ( I 1 - I 2 ) .
在本发明实施例中所述信号线例如但不局限为阵列基板上的栅极线、数据线或公共电极线。
当信号线为上述优选信号线时,目标信号线7与源信号线6平行,且目标信号线7距离源信号线6距离越近,判断是否源信号线6与所述目标信号线7是否发生短路的结果越准确。
在本发明实施例中,只需要在源信号线6的一端输入电压测量信号3,就可以通过测量与源信号线6平行的一条或多条目标信号线7两端的电压值和电流值,来判断目标信号线7是否与源信号线6发生短路,且能够确定目标信号线7上短路位置的坐标。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种短路测量方法,其特征在于,所述方法包括:
确定待检测的源信号线和目标信号线;
输入电信号到所述源信号线的一端;
分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置;
所述电参数至少包括电压值和电流值;
所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置具体为:
L 1 = S ( U 2 - U 1 ) - &rho;LI 2 &rho; ( I 1 - I 2 ) ,
其中L1为所述目标信号线上的短路位置距离所述目标信号线第一端的距离,S为所述目标信号线的横截面积,U1为第一电信号的电压值,U2为第二电信号的电压值,I1为第一电信号的电流值,I2为第二电信号的电流值,ρ为目标信号线的电阻率,L为目标信号线的长度。
2.如权利要求1所述的短路测量方法,其特征在于,所述方法还包括:
根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线与所述源信号线是否发生短路;
在所述目标信号线与所述源信号线发生短路时,执行所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置的步骤。
3.如权利要求2所述的短路测量方法,其特征在于,所述目标信号线为一条或多条。
4.如权利要求3所述的短路测量方法,其特征在于,所述目标信号线为一条时,所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为:
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述目标信号线与所述源信号线未发生短路;
当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述目标信号线与所述源信号线发生短路。
5.如权利要求3所述的短路测量方法,其特征在于,所述目标信号线为多条时,所述分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数具体为:
依次分别测量多条目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号,分别获取多条目标信号线的第一电信号的电参数和第二电信号的电参数;
所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为:
当多条目标信号线中第一目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时,确定所述第一目标信号线与所述源信号线未发生短路;
当多条目标信号线中第二目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时,确定所述第二目标信号线与所述源信号线发生短路。
6.如权利要求1-5任一项所述的短路测量方法,其特征在于,所述信号线为阵列基板上的栅极线、数据线或公共电极线。
7.如权利要求6所述的短路测量方法,其特征在于,所述源信号线为与所述目标信号线相邻的信号线。
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