JPS63187282A

JPS63187282A - 万線状電極板

Info

Publication number: JPS63187282A
Application number: JP1983187A
Authority: JP
Inventors: 健蔵福吉; 小林　貴
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1987-01-30
Filing date: 1987-01-30
Publication date: 1988-08-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、液晶、プラズマディスプレイ、ＥＬ＃に用い
る万線状゛電極板に１関する。

〈従来の技術〉液晶等のディスプレイでは、酸化インジウムや酸化スズ
等から成る導電膜を万線状にパタニング形成して電極と
して用いている。従来この様な万線状電極を検査する方
法としてプローバーと呼ばれる針状の導通チェック用の
端子を電極の数及びそのピッチに合わせて用意し、各々
の断線（オープン）・短絡（ショート）の検査を行うこ
とが一般的であった。あるいは第６図に示した様に数本
のグルーピングを行い、５１　５１’間の抵抗値を測定
する方法、第４図のように端子長さを変えてＡ、Ｂ、Ｃ
と順に同じ端子長の端子どうしの抵抗値を測定する方法
等により検査を行っていた。

しかし、この様な先述したプローバーを用いる万線状電
極の検査方式は比較的簡便ではあるが、プローバーを多
数配設した横置治具の加工がきわめて繁雑でありシ、シ
かも万線の太さや間隔が高精細ファインピッチ化しつつ
ある電極パターンに対しては対応が困難になっている。

又、透明電極である為、プローバーを指す位置を正しく
認識する事が難しく１間違いが発生していた。又、先述
したように抵抗値を測定する方法では断線状態は明確に
判断できるが、短絡している場合は判別しにくいという
欠点があった。加えてこのような従来法では電極の膜厚
にバラツキがある場合（抵抗値のバラツキ）は、そのま
ま測定誤差となるため正確な検査方式とはいえない。

したがっ℃、この様な欠点を解消する為に予め基板上に
横置用金属薄膜パターンを形成しておき。

ある一定の厚みを持つ絶縁層を介して万線状電極を積層
し、その万線状電極と金属薄膜パターンとの間で電気容
重を測定することにより万線状電極に短絡や断線等の異
常がないかを検査する方法が開発された。

〈発明が解決しようとする問題点〉上述の様な抵抗を検査する方法は、短絡状也は比較的明
瞭に判断できる。しかし、断線状幅を検知する場合、断
線の位置によって検知される電気容重が違って（る。特
に、断線位置が万線状１極の検査部分と反対に位置した
場合には、殆ど邂気容蓋の変化が起きない事となる。従
って、この場合は断線があっても正常な万線状電極板と
検査されることになる。

〈問題を解決する為の手段〉基板上に、金属薄膜パターンと絶縁層と万線状電極を順
に積層してある万線状電極板を、金属薄膜パターンが万
線状電極の外部接続部分と反対側で全部の万線状電極に
かかる独立部分と、その他の残部とに電気的に互いに独
立して分かれる様にする。

なお、金属薄膜パターンの材料は、導電性があれば良く
本発明において材料を限定する必要はない。液晶ティス
プレィのコントラスト向上を目的とした場合は、酸化ク
ロムに金属クロムを＠層したもの、あるいは、）−ンダ
付やワイヤーボンディング性をもたせるには、金属薄膜
の表面はＳｍ。

Ｃｕ、Ｎｉ、Ａ−ｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ａｇなど、もしくは
はんだめっきであっても良い。または他金属との多層構
成でも良い。万線状′電極はＩＴＯと呼ばれるＩ　ｎｇ
　Ｏｓ　−８ｎ０２系のもの、５ｎＯ２−８ｂ、０．系
のもの、　ＺｎＯ−Ａ−ｇ□０３系のもの等可視域で透
過上が高く、導電性の良い材料で形成すれば良い。

絶縁層は有機材料、無機材料、あるいはこれらの多１−
構成でも良く材料を限定する必要はない。絶縁層はカラ
ー表示のためのカラーフィルターを含む構成であっても
良い。

また、ここでいう万線状電極は平行に線状電極が多数並
んでいるものを指す。

〈作用〉本発明では以上のように複数個に分割した金属薄膜パタ
ーンを短絡検査用と、断線検査用とに役割を分けること
により同時に、かつ、高精度で万線状電極を検食し得る
ものである。

以下１本発明を実施例とともに詳細に説明する。

〔実施例１〕第１図は本発明の実Ａｄ様を示すための模式平面図であ
る。

厚さ１１１ＩＩのガラスの基板αＤ上テ戚化クロムと金
属クロムの２層膜をコントラスト向上用のブラックマト
リックスを兼ねて２個の金＠薄［パターンａ’ａ、ａ’
ａにパタニング形成してある。金ｔ’Ｊｆ薄模パターン
＋１２１．　（１３１上には、レリーフ染色によるカラ
ーフィルター上に０．４μｍのゼラチン模を積層し、さ
らに二酸化硅素（ＳｉＯ２）を１００ＯＡ摸付けして絶
縁層ｔｌｌが形成してある。

該絶縁層１上にはストライプ状に万緑状電極＋１５１゜
（１３）、　＋１７）、（１８１が形成してある。短絡
している万線状電極ｔｔ５１ないしα印と電気的に接続
している金属薄膜パターン（１２１との電気容重は、正
常な万線状電極Ｕυのほぼ２倍となり、また、断線して
いる万線状電極αηの一端（５）、　（３）、　（７）
、　（８）と先端部に配設した金属薄膜パターンαＪと
の電気容量がほぼゼロとなった。以上のように万線状電
極＋１５１．　（１３）、α７）％ｄ８）の検査が簡便
に行えた。

〔実施例２〕第２図は１本発明の実ｍａ様を示すための模式平面図で
ある。

実施例１と同様同じ材料でガラスの基板ｔａｌｌ上に。

金属薄膜パターン１２３．　Ｃ１’５．　＝Ｉｌｌとカ
ラーフィルターを含む絶縁層＠）、万線状電極１２５）
、ｌＡを形成した。

万線状電極（至）、（至）は、中央で上下に分割した２
段分割方式の万線状電極の並びとして模式的に示したも
のである。金属薄膜パターン−Ｊを断線検査用として、
残部の金属薄膜パターンＣ２）、ｃ！４１を短絡検査用
として、万線状電極Ｃω、（２ｅの外端部との間で電気
容量を測定することにより容易に検査が実施できた。

〈発明の効果〉本発明は、１〜２個のプローバーを一方向に順次コンタ
クトさせて横送りすれば良いため、１極パターンに対す
る柔軟性がきわめて高くなる。実際には、測定した電気
容量値をコンピューターに入力し、解析、照合すればよ
り迅速な検査が実施できる。

また３０μｒｒＬ〜３００μｍといった細かいピッチの
透明電極パターンにも十分追随でき、高精細化にも十分
対応が可能となった。

さらに、剛性基板の導電層を大小２分割し、断線用、短
絡用に分けた事により、特に断線に関して、より高い精
度での検査が可能となった。

卯えて、夷Ａ１ｆ１２で示した様な中央で上下に分割さ
れた電極パターンにも、金属薄膜パターンを分割する事
により容易に対応できる。

また、本発明は用いる絶縁層の厚みを数μｍ以下に薄く
できるため、３０μｒｒＬ、６００μｍといった万線状
電極の細かいピッチでの検査に対し。

十分な解隊度・精度を保持した検査が行なえるものであ
る。絶縁層を無機薄膜とした場合、高誘電率の絶縁材料
を用いることができるため、゛電気容量値のレベルを大
きくとれ、浮遊容置等によるノイズを相対的に小さくで
き、高精度の検査が実施できる。

なお、１枚の大型基板に第１回、第２図に示した様なパ
ターンを多面付げした場合にも、大小の金属薄膜パター
ンの組を面付は数に対応させてふやせば良く１本発明は
この場合も対応可能である。

また、金属薄膜パターンは位置検出のための電磁誘導用
センス線（電極配線）であっても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は１本発明の実施仏様を示すための模式
平面図である。Ｕυ、−〇、　＠）　、　　（６３）・・・基板ｆ１５
）、　　１３）、　　（１７）、ｕｓ）、　ａ、　　ａ
、　　（ｓｔ）　、　　（６１）・・・万線状電極Ｕ、＠）・・・絶縁層

Claims

【特許請求の範囲】１）基板上に、金属薄膜パターンと絶縁層と万線状電極
を順に積層してある万線状電極板に於いて、前記金属薄
膜パターンが前記万線状電極の一端で全部の前記万線状
電極にかかる独立部分と、その他の残部とに電気的に互
いに独立して分れている万線状電極板。２）上記基板が透明基板で、上記万線状電極が透明電極
である事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の万線
状電極板。３）上記金属薄膜パターンがブラックマトリックスパタ
ーンとなっている事を特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の万線状電極板。