JP2806330B2 - ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置 - Google Patents
ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置Info
- Publication number
- JP2806330B2 JP2806330B2 JP7294496A JP29449695A JP2806330B2 JP 2806330 B2 JP2806330 B2 JP 2806330B2 JP 7294496 A JP7294496 A JP 7294496A JP 29449695 A JP29449695 A JP 29449695A JP 2806330 B2 JP2806330 B2 JP 2806330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pitch
- probe
- transparent electrodes
- display element
- dot matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子、エ
レクトロルミネッセンス等に用いられているガラス基板
上の電極、特に透明導電膜電極（以下、透明電極とい
う）の電気特性の検査方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、各種表示素子用にパターニングし
た透明電極の検査方法としては、目視による外観検査方
式をとっていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】液晶表示素子の場合、
時計，電卓等のパターン形状が大きく、隣り合う電極間
隔がゼロ点数ｍｍ程度の場合においては、外観検査によ
ってパターン間のショートを検出することが可能であっ
たが、ドットマトリックス表示用として用いられる透明
電極は電極間隔が数十μｍ程度かつそのパターンの数も
一素子当り数百本以上になるにあたり、すべての電極間
スペースを目視あるいは顕微鏡を用いた外観検査で行う
ことが不可能となってきた。 【０００４】そこで、この発明は、上記問題点に鑑み前
記透明電極に対して、電極端子間隔と等間隔をおいて固
定した２本のプローブを該電極上を接触しつつ移動させ
各電極間のショートを直接確実に電気的方法で検出する
電極基板の検査方法を提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明のドットマトリッ
クス表示素子基板の検査方法は、所定のピッチで配置さ
れた複数の透明電極に接続されており前記複数の透明電
極のピッチより狭いピッチで配置された複数の端子部を
有するガラス基板と、前記複数の端子部のピッチと等し
い間隔で配置された少なくとも２本のプローブと、の相
対的な位置関係が検査可能な位置関係であることを光学
センサーによって検出し、前記プローブを隣接する前記
端子部にそれぞれ接触させて、前記隣接する端子部に接
続された前記透明電極間の電気特性の不良個所を検出す
ることを特徴とする。その際、プローブは回転可能なア
ームに支持されたプローブ固定手段に取り付けられてお
り、プローブと、ガラス基板と、の相対的な位置関係が
検査可能な位置関係であるときには、アームを回転させ
てプローブを透明電極に接触させるとよい。 【０００６】また、本発明のドットマトリックス表示素
子基板の検査装置は、所定のピッチで配置された複数の
透明電極に接続されており、前記複数の透明電極のピッ
チより狭いピッチで配置された複数の端子部を有するガ
ラス基板と、前記端子部のピッチと等しい間隔で配置さ
れた少なくとも２本のプローブと、前記プローブと前記
ガラス基板との相対的な位置関係が検査可能な位置関係
であることを検出する光学センサーと、前記プローブを
隣接する前記端子部にそれぞれ接触させて、前記隣接す
る端子部に接続された前記透明電極間の電気特性の不良
個所を検出する検出回路と、を有することを特徴とす
る。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明を以下の実施例を用いて説
明する。 【０００８】この発明の一実施例の構成を図１（ａ），
（ｂ）に示すと、ガラス基板１上にパターニングした透
明電極２の端子部分に対して、取付け板４に端子ピッチ
ａの間隔をもって２本のプローブ５を固定し取り付け
る。プローブ５を検出回路６に各々接続して、端子部３
上をプローブ５がすべる様にガラス基板１又は取付け板
４を平行移動させることによって、各透明電極２間の導
通を確認し、ショートを検出する。検出回路６について
は図２に示す様なゲート回路を用いる。１３の入力端に
電圧Ｖを入力し、１４のゲートが１／２以下になった場
合開くとする。この時、２本のプローブ１６，１７の間
の抵抗１８が非常に大きい、すなわち電極間にショート
が存在しないときにはゲート１４には１／２Ｖ以上の電
圧が印加される。しかし、抵抗１８がショートとして検
出されるべき抵抗１５の値より小さくなった場合、すな
わち電極間にショートが存在する場合には、ショート、
つまり抵抗１８によって、ゲートに印加される電圧以上
にグランドに電圧を放出してしまい、よってゲート１４
に印加される電圧は１／２Ｖ以下となりゲート１４が開
き出力端１９に信号が出力されショートを検出する。 【０００９】図１，図２についての更に詳細な実施例を
図３及び図４に示す。図３は、プローブ５−１を端子位
置に上向きに固定した取付け板４−１を、ガイドわく７
に取付けたものである。ガラス基板１−１は、透明電極
を下側に向け該ガイドわく７のガイド部８−１に渡し
て、該ガラス基板を図面左右方向に移勤させて、透明電
極間のショートを検出する。図３は、少量の透明電極付
きガラスの検査及び工程における抜き取り検査用として
ハンドワークに適する様にしたものである。該図３の形
式に対して、工程内に流動する多数のガラス基板の全数
を検査する様にした例が図４に示すものである。図４に
おいて、透明電極を上向きにしたガラス基板１−２を搬
送用回転ベルト９上に乗せ移動させる。プローブ５−２
を端子位置に下向きに固定した取付け板４−２は、該プ
ローブ５−２が該ガラス基板１−２の端面に当たり損傷
しない様、センサー１２によって該ガラス基板１−２が
プローブの下側に移動したことを確認すると、アーム１
０が回転して該プローブ５−２を該ガラス基板１−２上
にすべらせる。検出回路６−２がショートを検出する
と、ショート位置が該プローブ５−２の下部より、ショ
ートチェックスタンパー１１の下部に移勤する時間だ
け、ショート検出信号をディレイさせ、その後、該ショ
ートチェックスタンパーに対して該検出回路６よりショ
ート検出信号を出力し、ショート箇所にマーキングす
る。検査作業においては、該装置より除材されたガラス
基板のマーキングの有無を確認するだけで、ショートの
発生箇所を確認することが可能となり多量の透明電極付
きガラスのショート検査をすることが可能となる。 【００１０】 【００１１】 【発明の効果】本発明によれば、プローブと、ガラス基
板と、の相対的な位置関係が検査可能な位置関係である
ことを光学センサーにより検出することによって、
（イ）ガラス基板との接触によるプローブの破損を防止
し、（ロ）端子部とプローブとの接触を確実なものと
し、そして、（ハ）複数枚のガラス基板を連続的に検査
するのに適したドットマトリックス表示素子基板の検査
方法及び検査装置を実現するものである。 【００１２】特に、透明電極に接続された端子部のピッ
チが微細なドットマトリックス表示素子に用いる基板の
検査においては、目視によってプローブと、ガラス基板
と、の相対的な位置関係を視認することが困難であるた
め、光学センサーによる検出を行う本発明が有効とな
る。
レクトロルミネッセンス等に用いられているガラス基板
上の電極、特に透明導電膜電極（以下、透明電極とい
う）の電気特性の検査方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、各種表示素子用にパターニングし
た透明電極の検査方法としては、目視による外観検査方
式をとっていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】液晶表示素子の場合、
時計，電卓等のパターン形状が大きく、隣り合う電極間
隔がゼロ点数ｍｍ程度の場合においては、外観検査によ
ってパターン間のショートを検出することが可能であっ
たが、ドットマトリックス表示用として用いられる透明
電極は電極間隔が数十μｍ程度かつそのパターンの数も
一素子当り数百本以上になるにあたり、すべての電極間
スペースを目視あるいは顕微鏡を用いた外観検査で行う
ことが不可能となってきた。 【０００４】そこで、この発明は、上記問題点に鑑み前
記透明電極に対して、電極端子間隔と等間隔をおいて固
定した２本のプローブを該電極上を接触しつつ移動させ
各電極間のショートを直接確実に電気的方法で検出する
電極基板の検査方法を提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明のドットマトリッ
クス表示素子基板の検査方法は、所定のピッチで配置さ
れた複数の透明電極に接続されており前記複数の透明電
極のピッチより狭いピッチで配置された複数の端子部を
有するガラス基板と、前記複数の端子部のピッチと等し
い間隔で配置された少なくとも２本のプローブと、の相
対的な位置関係が検査可能な位置関係であることを光学
センサーによって検出し、前記プローブを隣接する前記
端子部にそれぞれ接触させて、前記隣接する端子部に接
続された前記透明電極間の電気特性の不良個所を検出す
ることを特徴とする。その際、プローブは回転可能なア
ームに支持されたプローブ固定手段に取り付けられてお
り、プローブと、ガラス基板と、の相対的な位置関係が
検査可能な位置関係であるときには、アームを回転させ
てプローブを透明電極に接触させるとよい。 【０００６】また、本発明のドットマトリックス表示素
子基板の検査装置は、所定のピッチで配置された複数の
透明電極に接続されており、前記複数の透明電極のピッ
チより狭いピッチで配置された複数の端子部を有するガ
ラス基板と、前記端子部のピッチと等しい間隔で配置さ
れた少なくとも２本のプローブと、前記プローブと前記
ガラス基板との相対的な位置関係が検査可能な位置関係
であることを検出する光学センサーと、前記プローブを
隣接する前記端子部にそれぞれ接触させて、前記隣接す
る端子部に接続された前記透明電極間の電気特性の不良
個所を検出する検出回路と、を有することを特徴とす
る。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明を以下の実施例を用いて説
明する。 【０００８】この発明の一実施例の構成を図１（ａ），
（ｂ）に示すと、ガラス基板１上にパターニングした透
明電極２の端子部分に対して、取付け板４に端子ピッチ
ａの間隔をもって２本のプローブ５を固定し取り付け
る。プローブ５を検出回路６に各々接続して、端子部３
上をプローブ５がすべる様にガラス基板１又は取付け板
４を平行移動させることによって、各透明電極２間の導
通を確認し、ショートを検出する。検出回路６について
は図２に示す様なゲート回路を用いる。１３の入力端に
電圧Ｖを入力し、１４のゲートが１／２以下になった場
合開くとする。この時、２本のプローブ１６，１７の間
の抵抗１８が非常に大きい、すなわち電極間にショート
が存在しないときにはゲート１４には１／２Ｖ以上の電
圧が印加される。しかし、抵抗１８がショートとして検
出されるべき抵抗１５の値より小さくなった場合、すな
わち電極間にショートが存在する場合には、ショート、
つまり抵抗１８によって、ゲートに印加される電圧以上
にグランドに電圧を放出してしまい、よってゲート１４
に印加される電圧は１／２Ｖ以下となりゲート１４が開
き出力端１９に信号が出力されショートを検出する。 【０００９】図１，図２についての更に詳細な実施例を
図３及び図４に示す。図３は、プローブ５−１を端子位
置に上向きに固定した取付け板４−１を、ガイドわく７
に取付けたものである。ガラス基板１−１は、透明電極
を下側に向け該ガイドわく７のガイド部８−１に渡し
て、該ガラス基板を図面左右方向に移勤させて、透明電
極間のショートを検出する。図３は、少量の透明電極付
きガラスの検査及び工程における抜き取り検査用として
ハンドワークに適する様にしたものである。該図３の形
式に対して、工程内に流動する多数のガラス基板の全数
を検査する様にした例が図４に示すものである。図４に
おいて、透明電極を上向きにしたガラス基板１−２を搬
送用回転ベルト９上に乗せ移動させる。プローブ５−２
を端子位置に下向きに固定した取付け板４−２は、該プ
ローブ５−２が該ガラス基板１−２の端面に当たり損傷
しない様、センサー１２によって該ガラス基板１−２が
プローブの下側に移動したことを確認すると、アーム１
０が回転して該プローブ５−２を該ガラス基板１−２上
にすべらせる。検出回路６−２がショートを検出する
と、ショート位置が該プローブ５−２の下部より、ショ
ートチェックスタンパー１１の下部に移勤する時間だ
け、ショート検出信号をディレイさせ、その後、該ショ
ートチェックスタンパーに対して該検出回路６よりショ
ート検出信号を出力し、ショート箇所にマーキングす
る。検査作業においては、該装置より除材されたガラス
基板のマーキングの有無を確認するだけで、ショートの
発生箇所を確認することが可能となり多量の透明電極付
きガラスのショート検査をすることが可能となる。 【００１０】 【００１１】 【発明の効果】本発明によれば、プローブと、ガラス基
板と、の相対的な位置関係が検査可能な位置関係である
ことを光学センサーにより検出することによって、
（イ）ガラス基板との接触によるプローブの破損を防止
し、（ロ）端子部とプローブとの接触を確実なものと
し、そして、（ハ）複数枚のガラス基板を連続的に検査
するのに適したドットマトリックス表示素子基板の検査
方法及び検査装置を実現するものである。 【００１２】特に、透明電極に接続された端子部のピッ
チが微細なドットマトリックス表示素子に用いる基板の
検査においては、目視によってプローブと、ガラス基板
と、の相対的な位置関係を視認することが困難であるた
め、光学センサーによる検出を行う本発明が有効とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図。
【図２】本発明に用いる検出回路の一例を示す図。
【図３】本発明の応用例としてのハンドワークによる電
極基板検査機の概略を示す図。 【図４】本発明の一実施例を示す図。 １・・・ガラス基板 ２・・・透明電極 ３・・・透明電極の端子部 ４・・・プローブ取付け板 ５・・・プローブ ６・・・検出回路 ７・・・ガイドわく ８・・・基板ガイド ９・・・搬送用回転ベルト １０・・・プローブ取付け板取付けアーム １１・・・ショートチェックスタンパー １２・・・光学センサー １３・・・検出回路入力端 １４・・・ゲート回路 １５・・・基準抵抗 １６，１７・・・プローブ接続端 ｌ８・・・検査対象の抵抗値 １９・・・出力端
極基板検査機の概略を示す図。 【図４】本発明の一実施例を示す図。 １・・・ガラス基板 ２・・・透明電極 ３・・・透明電極の端子部 ４・・・プローブ取付け板 ５・・・プローブ ６・・・検出回路 ７・・・ガイドわく ８・・・基板ガイド ９・・・搬送用回転ベルト １０・・・プローブ取付け板取付けアーム １１・・・ショートチェックスタンパー １２・・・光学センサー １３・・・検出回路入力端 １４・・・ゲート回路 １５・・・基準抵抗 １６，１７・・・プローブ接続端 ｌ８・・・検査対象の抵抗値 １９・・・出力端
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．ドットマトリックス表示素子基板の検査方法におい
て、 所定のピッチで配置された複数の透明電極に接続されて
おり前記複数の透明電極のピッチより狭いピッチで配置
された複数の端子部を有するガラス基板と、前記複数の
端子部のピッチと等しい間隔で配置された少なくとも２
本のプローブと、の相対的な位置関係が検査可能な位置
関係であることを光学センサーによって検出し、前記プ
ローブを隣接する前記端子部にそれぞれ接触させて、前
記隣接する端子部に接続された前記透明電極間の電気特
性の不良個所を検出することを特徴とするドットマトリ
ックス表示素子基板の検査方法。 ２．ドットマトリックス表示素子基板の検査装置におい
て、 所定のピッチで配置された複数の透明電極に接続されて
おり、前記複数の透明電極のピッチより狭いピッチで配
置された複数の端子部を有するガラス基板と、 前記端子部のピッチと等しい間隔で配置された少なくと
も２本のプローブと、 前記プローブと前記ガラス基板との相対的な位置関係が
検査可能な位置関係であることを検出する光学センサー
と、 前記プローブを隣接する前記端子部にそれぞれ接触させ
て、前記隣接する端子部に接続された前記透明電極間の
電気特性の不良個所を検出する検出回路と、を有するこ
とを特徴とするドットマトリックス表示素子基板の検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294496A JP2806330B2 (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294496A JP2806330B2 (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207100A Division JP2530121B2 (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 電極基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211119A JPH08211119A (ja) | 1996-08-20 |
| JP2806330B2 true JP2806330B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17808523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7294496A Expired - Lifetime JP2806330B2 (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2806330B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5243485A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-05 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Marking device in flaw inspection of pipe bodies |
| JPH0142039Y2 (ja) * | 1981-05-29 | 1989-12-11 | ||
| JPS60179666A (ja) * | 1983-06-01 | 1985-09-13 | ジヨセフ・エフ・フエスタ | 電子回路検査装置 |
| JPS6020917A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-02 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 熱可塑性樹脂の製造方法 |
| JPS60118773U (ja) * | 1984-01-19 | 1985-08-10 | 広播電子工業株式会社 | 電子部品の電気特性測定装置 |
-
1995
- 1995-11-13 JP JP7294496A patent/JP2806330B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08211119A (ja) | 1996-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07146323A (ja) | 液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置 | |
| JP2806330B2 (ja) | ドットマトリックス表示素子基板の検査方法及び検査装置 | |
| JP2530121B2 (ja) | 電極基板の検査装置 | |
| JPH03121413A (ja) | 電極基板の製造方法 | |
| JPH088023A (ja) | 表示装置およびその接続状態検査方法 | |
| US7049527B1 (en) | Conductor-pattern testing method, and electro-optical device | |
| JP2004212115A (ja) | ストライプ電極の断線検出装置 | |
| CN1170167C (zh) | 测试印刷电路板性能的方法和装置 | |
| JP3448195B2 (ja) | 液晶パネル検査装置 | |
| KR970703534A (ko) | 기판검사방법 및 기판검사장치(method and apparatus for probe testing substrate) | |
| KR100462378B1 (ko) | 액정표시소자 및 그의 콘택저항 측정방법 | |
| JP3448290B2 (ja) | 液晶パネル検査装置 | |
| JP2673241B2 (ja) | コンタクト検査方法及びプロービング方法 | |
| JPH02251931A (ja) | アクティブマトリックスアレイ | |
| JPH0784010A (ja) | 非接触マルチプローブ | |
| JPH09113567A (ja) | プリント基板のパターンショート・オープン検査装置 | |
| JP3072207B2 (ja) | ディスプレイパネル用検査装置 | |
| JPH08313857A (ja) | Ｌｃｄパネルの位置決め機構 | |
| JPH03142498A (ja) | 薄膜トランジスタアクティブマトリクス基板の検査方法および装置 | |
| JP2004184248A (ja) | ディスプレイの電極検査装置および電極検査方法 | |
| KR0118730Y1 (ko) | 하이브리드 집적회로의 저항치 검사용 저항시트 | |
| JPH0836013A (ja) | 配線基板の検査装置および検査方法 | |
| JPS6193965A (ja) | フアインパタ−ン基板の検査方法とその装置 | |
| JPH06331711A (ja) | 非接触マルチプローブ | |
| JPS6235912B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |