JPH07146323A - 液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置 - Google Patents
液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置Info
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- JPH07146323A JPH07146323A JP5339098A JP33909893A JPH07146323A JP H07146323 A JPH07146323 A JP H07146323A JP 5339098 A JP5339098 A JP 5339098A JP 33909893 A JP33909893 A JP 33909893A JP H07146323 A JPH07146323 A JP H07146323A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 片側にのみ検査用パッドを持つゲート電極
線、データ電極線の断線及び短絡を検出する。 【構成】 データ電極線又はゲート電極線に時間的に変
化する電圧を印加することによりそれら電極線の電位を
時間的に変化させる。プローブ４１を非接触に基板上の
被検査電極線１２上に配置し、被検査電極線１２とプロ
ーブ４１間の静電容量を介して被検査電極線１２の電位
変化を検知することにより電極線の断線、短絡等を検出
する。
線、データ電極線の断線及び短絡を検出する。 【構成】 データ電極線又はゲート電極線に時間的に変
化する電圧を印加することによりそれら電極線の電位を
時間的に変化させる。プローブ４１を非接触に基板上の
被検査電極線１２上に配置し、被検査電極線１２とプロ
ーブ４１間の静電容量を介して被検査電極線１２の電位
変化を検知することにより電極線の断線、短絡等を検出
する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は液晶表示器に用いるガ
ラス基板上における電極線の断線や電極線間の短絡等を
検査するための検査方法及び検査装置に関するものであ
る。
ラス基板上における電極線の断線や電極線間の短絡等を
検査するための検査方法及び検査装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示器に用いるガラス基板には、単
純マトリクス型用として複数のデータ電極線又は複数の
ゲート電極線をそれぞれ別のガラス基板上に薄膜プロセ
スを用いて形成したものと、薄膜トランジスタアクティ
ブマトリクス型用として複数のデータ線、ゲート線、薄
膜トランジスタ、画素電極、容量素子を１枚のガラス基
板上に薄膜プロセスを用いて形成したものとがある。
純マトリクス型用として複数のデータ電極線又は複数の
ゲート電極線をそれぞれ別のガラス基板上に薄膜プロセ
スを用いて形成したものと、薄膜トランジスタアクティ
ブマトリクス型用として複数のデータ線、ゲート線、薄
膜トランジスタ、画素電極、容量素子を１枚のガラス基
板上に薄膜プロセスを用いて形成したものとがある。
【０００３】これらの基板においては、製造工程での塵
埃やフォトレジスト工程での欠陥等に起因して電極線の
断線や電極線間の短絡等の欠陥が発生する。
埃やフォトレジスト工程での欠陥等に起因して電極線の
断線や電極線間の短絡等の欠陥が発生する。
【０００４】従来、これら欠陥の検査としては、各電極
線の両端に検査用パッドを設け、これらのパッドに検査
用プローブを接触させて各電極線の電気抵抗及び電極線
間の電気抵抗を測定し、断線と短絡を検出する方法が行
われている。これは基板内の全電極線に対して検査され
る。
線の両端に検査用パッドを設け、これらのパッドに検査
用プローブを接触させて各電極線の電気抵抗及び電極線
間の電気抵抗を測定し、断線と短絡を検出する方法が行
われている。これは基板内の全電極線に対して検査され
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで各電極線の両
端に検査用パッドを設けることは、本来表示器機能とし
ては不必要な検査のためのみのパターンをガラス基板上
に作ることになり、高価なガラス基板の面積利用効率を
低下させる。
端に検査用パッドを設けることは、本来表示器機能とし
ては不必要な検査のためのみのパターンをガラス基板上
に作ることになり、高価なガラス基板の面積利用効率を
低下させる。
【０００６】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、片側にのみ検査
用パッドを設けた場合であっても、電極線の断線、短絡
等を正確に検出可能な検査方法及び検査装置を提供する
ことにある。
になされたものであって、その目的は、片側にのみ検査
用パッドを設けた場合であっても、電極線の断線、短絡
等を正確に検出可能な検査方法及び検査装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１の液晶表
示器用ガラス基板の検査方法は、マトリクス状に配列さ
れた複数個の画素を、互いに直交する複数のデータ電極
線と複数のゲート電極線とから作り出すマトリクス型液
晶表示器用ガラス基板の検査方法において、データ電極
線又はゲート電極線に時間的に変化する電圧を電極線の
片側に設けたパッドと接触式プローブとを介して印加す
ることによりそれら電極線の電位を時間的に変化させ、
プローブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置し、
被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検査電
極線の電位変化を検知することにより電極線の断線、短
絡等を検出することを特徴としている。
示器用ガラス基板の検査方法は、マトリクス状に配列さ
れた複数個の画素を、互いに直交する複数のデータ電極
線と複数のゲート電極線とから作り出すマトリクス型液
晶表示器用ガラス基板の検査方法において、データ電極
線又はゲート電極線に時間的に変化する電圧を電極線の
片側に設けたパッドと接触式プローブとを介して印加す
ることによりそれら電極線の電位を時間的に変化させ、
プローブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置し、
被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検査電
極線の電位変化を検知することにより電極線の断線、短
絡等を検出することを特徴としている。
【０００８】また請求項２の液晶表示器用ガラス基板の
検査装置は、マトリクス状に配列された複数個の画素
を、互いに直交する複数のデータ電極線と複数のゲート
電極線とから作り出すマトリクス型液晶表示器用ガラス
基板の検査装置において、データ電極線又はゲート電極
線に時間的に変化する電圧を電極線の片側に設けたパッ
ドと接触式プローブとを介して印加する手段と、プロー
ブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置する手段
と、被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検
査電極線の電位変化を検知する検知手段とを備えたこと
を特徴としている。
検査装置は、マトリクス状に配列された複数個の画素
を、互いに直交する複数のデータ電極線と複数のゲート
電極線とから作り出すマトリクス型液晶表示器用ガラス
基板の検査装置において、データ電極線又はゲート電極
線に時間的に変化する電圧を電極線の片側に設けたパッ
ドと接触式プローブとを介して印加する手段と、プロー
ブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置する手段
と、被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検
査電極線の電位変化を検知する検知手段とを備えたこと
を特徴としている。
【０００９】さらに請求項３の液晶表示器用ガラス基板
の検査方法及び検査装置は、平行に並ぶ電極線群の中の
少なくとも３本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電
極線には時間的に変化する電圧を印加し、残る２本の電
極線には接地電圧又は一定電圧を印加し、これにより断
線を検出することを特徴としている。
の検査方法及び検査装置は、平行に並ぶ電極線群の中の
少なくとも３本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電
極線には時間的に変化する電圧を印加し、残る２本の電
極線には接地電圧又は一定電圧を印加し、これにより断
線を検出することを特徴としている。
【００１０】請求項４の液晶表示器用ガラス基板の検査
方法及び検査装置は、平行に並ぶ電極線群の中の少なく
とも３本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電極線に
は接地電圧又は一定電圧を印加し、残る２本の電極線に
は互いに反転した波形を持つ時間的に変化する電圧を印
加し、これにより短絡を検出することを特徴としてい
る。
方法及び検査装置は、平行に並ぶ電極線群の中の少なく
とも３本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電極線に
は接地電圧又は一定電圧を印加し、残る２本の電極線に
は互いに反転した波形を持つ時間的に変化する電圧を印
加し、これにより短絡を検出することを特徴としてい
る。
【００１１】請求項５の液晶表示器用ガラス基板の検査
方法及び検査装置は、電圧を印加する少なくとも３本の
電極線を、それら電極線上の電位検出用の非接触容量結
合型プローブの移動に同期させて順次選択することを特
徴としている。
方法及び検査装置は、電圧を印加する少なくとも３本の
電極線を、それら電極線上の電位検出用の非接触容量結
合型プローブの移動に同期させて順次選択することを特
徴としている。
【００１２】請求項６の液晶表示器用ガラス基板の検査
方法及び検査装置は、上記液晶表示器は、マトリクス状
に配列された複数個の画素と、複数のデータ電極線と、
複数のゲート線とを備え、前記画素がスイッチングトラ
ンジスタと容量素子とから成る薄膜トランジスタアクテ
ィブマトリクス型液晶表示器であることを特徴としてい
る。
方法及び検査装置は、上記液晶表示器は、マトリクス状
に配列された複数個の画素と、複数のデータ電極線と、
複数のゲート線とを備え、前記画素がスイッチングトラ
ンジスタと容量素子とから成る薄膜トランジスタアクテ
ィブマトリクス型液晶表示器であることを特徴としてい
る。
【００１３】
【作用】電極線の断線欠陥を検出するために、ガラス基
板上の被検査電極線には、上記パッドと接触式プローブ
とを介して時間的に変化する電圧を与え、被検査電極線
の電位を時間的に変化させる。一方被検査電極線上に、
電極線とは非接触にプローブを位置決めし、そのプロー
ブと被検査電極線間の静電容量を介して、被検査電極線
の電位変化を検知する。そして被検査電極線に断線があ
るとき、その電極線電位は正常とは異なる振幅や波形に
なるので、これを利用し、欠陥の有無を検出することが
できる。検出精度を向上させるため、被検査電極線に隣
合う２本の電極線には接地又は一定の電圧を与える。
板上の被検査電極線には、上記パッドと接触式プローブ
とを介して時間的に変化する電圧を与え、被検査電極線
の電位を時間的に変化させる。一方被検査電極線上に、
電極線とは非接触にプローブを位置決めし、そのプロー
ブと被検査電極線間の静電容量を介して、被検査電極線
の電位変化を検知する。そして被検査電極線に断線があ
るとき、その電極線電位は正常とは異なる振幅や波形に
なるので、これを利用し、欠陥の有無を検出することが
できる。検出精度を向上させるため、被検査電極線に隣
合う２本の電極線には接地又は一定の電圧を与える。
【００１４】電極線間の短絡欠陥を検出するために、ガ
ラス基板上の被検査電極線には、上記パッドと接触式プ
ローブとを介して接地又は一定の電圧を与え、被検査電
極線に隣合う２本の電極線には、上記パッドと接触式プ
ローブとを介して互いに反転した波形を持つ時間的に変
化する電圧を与える。一方被検査電極線上に、電極線と
は非接触にプローブを位置決めし、そのプローブと被検
査電極線間の静電容量を介して、被検査電極線の電位変
化を検知する。そして被検査電極線に隣の電極線と短絡
があるとき、その電極線電位は正常とは異なる振幅や波
形になるので、これを利用し、欠陥の有無を検出するこ
とができる。すなわち上記のようにすることで、片側に
のみ検査用パッドを設けた電極線の断線、短絡欠陥を正
確に検出可能である。
ラス基板上の被検査電極線には、上記パッドと接触式プ
ローブとを介して接地又は一定の電圧を与え、被検査電
極線に隣合う２本の電極線には、上記パッドと接触式プ
ローブとを介して互いに反転した波形を持つ時間的に変
化する電圧を与える。一方被検査電極線上に、電極線と
は非接触にプローブを位置決めし、そのプローブと被検
査電極線間の静電容量を介して、被検査電極線の電位変
化を検知する。そして被検査電極線に隣の電極線と短絡
があるとき、その電極線電位は正常とは異なる振幅や波
形になるので、これを利用し、欠陥の有無を検出するこ
とができる。すなわち上記のようにすることで、片側に
のみ検査用パッドを設けた電極線の断線、短絡欠陥を正
確に検出可能である。
【００１５】なおデータ線とは、信号線、ドレイン線等
と称されるものを含み、またゲート線とは走査線と称さ
れるものを含む。
と称されるものを含み、またゲート線とは走査線と称さ
れるものを含む。
【００１６】
【実施例】図１は本発明による検査装置の一実施例を示
す。これは被検査ガラス基板１を、基板吸着が可能なチ
ャック２の上に固定し、これと相対向させて非接触プロ
ーブ４１を、高さ方向Ｚ及び図示Ｘ方向に位置決め及び
移動可能な機構部４により支持したものである。一方チ
ャック２は、Ｘに直角で紙面に垂直なＹ方向に位置決め
及び移動可能な機構部７により支持されており、両機構
部４、７を用いることで、非接触プローブ４１を、基板
１上の任意の電極線上の任意の位置に任意の距離を隔て
て位置決めすることができるようになっている。
す。これは被検査ガラス基板１を、基板吸着が可能なチ
ャック２の上に固定し、これと相対向させて非接触プロ
ーブ４１を、高さ方向Ｚ及び図示Ｘ方向に位置決め及び
移動可能な機構部４により支持したものである。一方チ
ャック２は、Ｘに直角で紙面に垂直なＹ方向に位置決め
及び移動可能な機構部７により支持されており、両機構
部４、７を用いることで、非接触プローブ４１を、基板
１上の任意の電極線上の任意の位置に任意の距離を隔て
て位置決めすることができるようになっている。
【００１７】接触式プローブ３１は、電極線にパッドを
介して電圧を供給するためのプローブであり、図には示
されていない電源に接続されている。なお図１におい
て、５はＸ方向位置決めガイド、６は架台をそれぞれ示
している。
介して電圧を供給するためのプローブであり、図には示
されていない電源に接続されている。なお図１におい
て、５はＸ方向位置決めガイド、６は架台をそれぞれ示
している。
【００１８】図２はアクティブマトリクス型ガラス基板
の模式的電極線パターン構成の一例を示すもので、デー
タ電極線１１・・１６の片側のみに検査用パッド２１・
・２６を設けてある。なお各電極線は静電気対策のため
短絡線９に接続されている。この短絡線９とそれへの接
続部は、表示器として組立てる工程の前に切断される。
の模式的電極線パターン構成の一例を示すもので、デー
タ電極線１１・・１６の片側のみに検査用パッド２１・
・２６を設けてある。なお各電極線は静電気対策のため
短絡線９に接続されている。この短絡線９とそれへの接
続部は、表示器として組立てる工程の前に切断される。
【００１９】本実施例では被検査電極線の時間的に変化
する電位を検知するために、非接触式の容量結合型プロ
ーブを用いる。図３に薄膜トランジスタアクティブマト
リクス基板上に非接触プローブ４１を位置決めした様子
を示す。図３において非接触プローブ４１は、被検査電
極線１２の端部真上に適当な距離を隔てて位置決めされ
ている。被検査電極線１２とその両隣の電極線１１、１
３には、それぞれの検査用パッド２１・・２３に接触し
ているプローブ３１・・３３から検査に必要な電圧波形
を印加される。
する電位を検知するために、非接触式の容量結合型プロ
ーブを用いる。図３に薄膜トランジスタアクティブマト
リクス基板上に非接触プローブ４１を位置決めした様子
を示す。図３において非接触プローブ４１は、被検査電
極線１２の端部真上に適当な距離を隔てて位置決めされ
ている。被検査電極線１２とその両隣の電極線１１、１
３には、それぞれの検査用パッド２１・・２３に接触し
ているプローブ３１・・３３から検査に必要な電圧波形
を印加される。
【００２０】電極線の断線を検出する場合を図４、図５
に示す。ここでは被検査電極線１２にパルス状の交番電
圧Ａを印加し、被検査電極線１２に隣合う２本の電極線
１１、１３には接地電圧Ｇを印加している。図４に示す
ように、被検査電極線１２が正常な場合、プローブ４１
の出力波形Ｐは被検査電極線１２に印加されたパルス状
の交番電圧Ａと同じになる。その一方、図５に示すよう
に、被検査電極線１２が断線（断線箇所Ｘ）している場
合、プローブ４１の出力中のパルス状交番電圧成分は小
さくなり波形Ｑはほぼ一定になる。このことから電極線
１２の断線を検出することができる。なお図４、図５に
おいて、５１はプローブ４１に誘起された電圧を増幅す
る増幅器をそれぞれ示している。
に示す。ここでは被検査電極線１２にパルス状の交番電
圧Ａを印加し、被検査電極線１２に隣合う２本の電極線
１１、１３には接地電圧Ｇを印加している。図４に示す
ように、被検査電極線１２が正常な場合、プローブ４１
の出力波形Ｐは被検査電極線１２に印加されたパルス状
の交番電圧Ａと同じになる。その一方、図５に示すよう
に、被検査電極線１２が断線（断線箇所Ｘ）している場
合、プローブ４１の出力中のパルス状交番電圧成分は小
さくなり波形Ｑはほぼ一定になる。このことから電極線
１２の断線を検出することができる。なお図４、図５に
おいて、５１はプローブ４１に誘起された電圧を増幅す
る増幅器をそれぞれ示している。
【００２１】電極線間の短絡を検出する場合を図６、図
７に示す。ここでは被検査電極線１２に接地電圧Ｇを印
加し、被検査電極線に隣合う２本の電極線１１、１３に
は互いに反転したパルス状の交番電圧Ａ、Ｂを印加して
いる。図６に示すように、被検査電極線１２が正常な場
合、プローブ４１に誘起される両隣の電極線１１、１３
からのクロストークは互いに打ち消し合うので、プロー
ブ４１の出力波形Ｒは一定電圧となる。その一方、図７
に示すように、被検査電極線１２が隣の電極線１１と画
素電極Ｙを介して短絡している場合、プローブ４１の出
力波形Ｓは短絡している電極線１１に印加されたパルス
状の交番電圧Ａと同じになる。プローブ４１の出力波形
Ｓと両隣の電極線１１、１３に印加した互いに反転して
いるパルス状の交番電圧Ａ、Ｂとを比べることにより、
どちらの電極線１１、１３との短絡かを検出することが
できる。なお図６、図７において、５１はプローブに誘
起された電圧を増幅する増幅器をそれぞれ示している。
７に示す。ここでは被検査電極線１２に接地電圧Ｇを印
加し、被検査電極線に隣合う２本の電極線１１、１３に
は互いに反転したパルス状の交番電圧Ａ、Ｂを印加して
いる。図６に示すように、被検査電極線１２が正常な場
合、プローブ４１に誘起される両隣の電極線１１、１３
からのクロストークは互いに打ち消し合うので、プロー
ブ４１の出力波形Ｒは一定電圧となる。その一方、図７
に示すように、被検査電極線１２が隣の電極線１１と画
素電極Ｙを介して短絡している場合、プローブ４１の出
力波形Ｓは短絡している電極線１１に印加されたパルス
状の交番電圧Ａと同じになる。プローブ４１の出力波形
Ｓと両隣の電極線１１、１３に印加した互いに反転して
いるパルス状の交番電圧Ａ、Ｂとを比べることにより、
どちらの電極線１１、１３との短絡かを検出することが
できる。なお図６、図７において、５１はプローブに誘
起された電圧を増幅する増幅器をそれぞれ示している。
【００２２】図８、図９に各電極線に順次印加する電圧
波形を非接触プローブの移動に同期して切換えていく実
施例を示す。図８において、非接触プローブ４３は２チ
ャンネル分の入力電極４４、４５を持ち、図示する矢印
方向に電極線群１１・・１５上を移動する。一方、電極
線１１・・１５の他端にあるパッド２１・・２５に接触
させたプローブ３１・・３５はスイッチ群５５に接続さ
れている。スイッチ群５５は非接触プローブ４３の電極
４４が上空にある電極線１４には信号Ａで示されるパル
ス波形電圧を与え、その隣の非接触プローブ４３の電極
４５が上空にある電極線１３には接地電圧（信号Ｇ）を
与える。またさらにその隣の電極線１２には信号Ｂで示
されているように、電極線１４に与えた波形を反転した
パルス波形電圧を与える。その他のすべての電極線１
１、１５には接地電圧（信号Ｇ）を与える。なお５２、
５３はプローブに誘起された電圧を増幅する増幅器を示
している。
波形を非接触プローブの移動に同期して切換えていく実
施例を示す。図８において、非接触プローブ４３は２チ
ャンネル分の入力電極４４、４５を持ち、図示する矢印
方向に電極線群１１・・１５上を移動する。一方、電極
線１１・・１５の他端にあるパッド２１・・２５に接触
させたプローブ３１・・３５はスイッチ群５５に接続さ
れている。スイッチ群５５は非接触プローブ４３の電極
４４が上空にある電極線１４には信号Ａで示されるパル
ス波形電圧を与え、その隣の非接触プローブ４３の電極
４５が上空にある電極線１３には接地電圧（信号Ｇ）を
与える。またさらにその隣の電極線１２には信号Ｂで示
されているように、電極線１４に与えた波形を反転した
パルス波形電圧を与える。その他のすべての電極線１
１、１５には接地電圧（信号Ｇ）を与える。なお５２、
５３はプローブに誘起された電圧を増幅する増幅器を示
している。
【００２３】図９は非接触プローブ４３の移動にしたが
い、各電極線１１・・１５に印加する電圧波形Ａ、Ｂ、
Ｇを切換えていく様子を示す。表中丸印はプローブ電極
４４が上空にあるときを、四角印はプローブ電極４５が
上空にあるときを示す。すなわち図９において、時刻Ｔ
１にはプローブ電極４４が電極線１４上に、プローブ電
極４５は電極線１３上にある。そしてそのときスイッチ
群５５により、電極線１５は信号Ｇに、電極線１４は信
号Ａに、電極線１３は信号Ｇに、電極線１２には信号Ｂ
に、電極線１１及びその他の電極線は信号Ｇに制御され
ることを示す。前述したようにこの例ではプローブ電極
４４により電極線の断線を、プローブ電極４５により電
極線間の短絡を検出する。
い、各電極線１１・・１５に印加する電圧波形Ａ、Ｂ、
Ｇを切換えていく様子を示す。表中丸印はプローブ電極
４４が上空にあるときを、四角印はプローブ電極４５が
上空にあるときを示す。すなわち図９において、時刻Ｔ
１にはプローブ電極４４が電極線１４上に、プローブ電
極４５は電極線１３上にある。そしてそのときスイッチ
群５５により、電極線１５は信号Ｇに、電極線１４は信
号Ａに、電極線１３は信号Ｇに、電極線１２には信号Ｂ
に、電極線１１及びその他の電極線は信号Ｇに制御され
ることを示す。前述したようにこの例ではプローブ電極
４４により電極線の断線を、プローブ電極４５により電
極線間の短絡を検出する。
【００２４】
【発明の効果】以上のようにこの発明においては、単純
マトリクス型及び蒲膜トランジスタアクティブマトリク
ス型液晶表示器のガラス基板のゲート電極線及びデータ
電極線の断線や短絡不良を、各電極線の片側に検査用パ
ッドを設けるのみで検出可能な検査方法と検査装置とを
提供することが可能であるため、この発明により液晶表
示器のガラス基板の面積利用効率が向上し、原価低減と
なる。
マトリクス型及び蒲膜トランジスタアクティブマトリク
ス型液晶表示器のガラス基板のゲート電極線及びデータ
電極線の断線や短絡不良を、各電極線の片側に検査用パ
ッドを設けるのみで検出可能な検査方法と検査装置とを
提供することが可能であるため、この発明により液晶表
示器のガラス基板の面積利用効率が向上し、原価低減と
なる。
【図１】この発明の検査装置の一例を示す模式図であ
る。
る。
【図２】この発明により電極線の断線、短絡検出が可能
なアクティブマトリクス型ガラス基板の模式的電極線パ
ターン構成図である。
なアクティブマトリクス型ガラス基板の模式的電極線パ
ターン構成図である。
【図３】被検査基板上に非接触プローブを位置決めした
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
【図４】電極線の断線を検出する場合において断線のな
い場合の説明図である。
い場合の説明図である。
【図５】電極線の断線を検出する場合において断線のあ
る場合の説明図である。
る場合の説明図である。
【図６】電極線間の短絡を検出する場合において短絡の
ない場合の説明図である。
ない場合の説明図である。
【図７】電極線間の短絡を検出する場合において短絡の
ある場合の説明図である。
ある場合の説明図である。
【図８】各電極線に順次印加する電圧波形を非接触プロ
ーブの移動に同期して切換えていく実施例の説明図であ
る。
ーブの移動に同期して切換えていく実施例の説明図であ
る。
【図９】非接触プローブの移動にしたがい、各電極線に
印加する電圧波形を切換えていく様子を示す説明図であ
る。
印加する電圧波形を切換えていく様子を示す説明図であ
る。
１１ 電極線 １２ 電極線 １３ 電極線 ２１ パッド ２２ パッド ２３ パッド ３１ プローブ ３２ プローブ ３３ プローブ ４１ 容量結合型プローブ
Claims (6)
- 【請求項１】 マトリクス状に配列された複数個の画素
を、互いに直交する複数のデータ電極線と複数のゲート
電極線とから作り出すマトリクス型液晶表示器用ガラス
基板の検査方法において、データ電極線又はゲート電極
線に時間的に変化する電圧を電極線の片側に設けたパッ
ドと接触式プローブとを介して印加することによりそれ
ら電極線の電位を時間的に変化させ、プローブを非接触
に基板上の被検査電極線上に配置し、被検査電極線とプ
ローブ間の静電容量を介して被検査電極線の電位変化を
検知することにより電極線の断線、短絡等を検出するこ
とを特徴とする液晶表示器用ガラス基板の検査方法。 - 【請求項２】 マトリクス状に配列された複数個の画素
を、互いに直交する複数のデータ電極線と複数のゲート
電極線とから作り出すマトリクス型液晶表示器用ガラス
基板の検査装置において、データ電極線又はゲート電極
線に時間的に変化する電圧を電極線の片側に設けたパッ
ドと接触式プローブとを介して印加する手段と、プロー
ブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置する手段
と、被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検
査電極線の電位変化を検知する検知手段とを備えたこと
を特徴とする液晶表示器用ガラス基板の検査装置。 - 【請求項３】 平行に並ぶ電極線群の中の少なくとも３
本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電極線には時間
的に変化する電圧を印加し、残る２本の電極線には接地
電圧又は一定電圧を印加し、これにより断線を検出する
ことを特徴とする請求項１の液晶表示器用ガラス基板の
検査方法又は請求項２の液晶表示器用ガラス基板の検査
装置。 - 【請求項４】 平行に並ぶ電極線群の中の少なくとも３
本の隣合う電極線に対し、中央の被検査電極線には接地
電圧又は一定電圧を印加し、残る２本の電極線には互い
に反転した波形を持つ時間的に変化する電圧を印加し、
これにより短絡を検出することを特徴とする請求項１の
液晶表示器用ガラス基板の検査方法又は請求項２の液晶
表示器用ガラス基板の検査装置。 - 【請求項５】 電圧を印加する少なくとも３本の電極線
を、それら電極線上の電位検出用の非接触容量結合型プ
ローブの移動に同期させて順次選択することを特徴とす
る請求項３又は請求項４の液晶表示器用ガラス基板の検
査方法又は請求項３又は請求項４の液晶表示器用ガラス
基板の検査装置。 - 【請求項６】 上記液晶表示器は、マトリクス状に配列
された複数個の画素と、複数のデータ電極線と、複数の
ゲート線とを備え、前記画素がスイッチングトランジス
タと容量素子とから成る薄膜トランジスタアクティブマ
トリクス型液晶表示器であることを特徴とする請求項５
の液晶表示器用ガラス基板の検査方法又は請求項５の液
晶表示器用ガラス基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5339098A JPH07146323A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5339098A JPH07146323A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146323A true JPH07146323A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=18324246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5339098A Pending JPH07146323A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146323A (ja) |
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- 1993-11-22 JP JP5339098A patent/JPH07146323A/ja active Pending
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