JP2006284597A - 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも端部が列状に配設された検査対象パターンを検査する際に、検査対象パターン15の両端部にパターンと所定距離離間させた状態を保ちつつ検査信号供給電極35と検査信号検出センサ電極25をパターンを横切るように移動させ、供給電極35から容量結合により検査対象パターン15に供給された検査信号を同じく検査対象パターンと容量結合されたセンサ電極で検出し、検出信号値が所定範囲より下がった場合にはパターン断線、検出信号値が所定範囲より大きかった場合にはパターン短絡と判断する。
【選択図】 図1
Description
前記検査対象パターンの検査対象領域の一方より前記検査対象パターンに前記検査信号を供給するための供給電極を有する供給手段と、
前記検査対象パターンよりの信号を検出する検出電極を有する検出手段と、
前記供給手段の供給電極及び前記検出手段の検出電極を前記検査対象パターンから離間させつつ前記検査対象領域の列状パターン部を横切り移動させる移動手段とを備え、
前記検出手段は、前記供給電極により検査信号を供給される検査対象パターンの他方端部近傍に配設された第一の検出電極と、一方端部近傍で前記供給電極により検査信号を供給される検査対象パターンに隣接する検査対象パターンの他方端部位置に配設された第二の検出電極とを有することを特徴とする。
例えば、更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合に検査対象パターンの正常と、検出結果が所定の範囲より外れる場合に検査対象パターンの不良と判断する判断手段を備えることを特徴とする。
前記供給手段の供給電極と前記検出手段の検出電極とを前記供給手段の供給電極面及び前記検出手段の検出電極面を前記検査対象パターン表面と離間させた状態を維持しつつ前記供給電極及び前記検出電極とを前記列状検査対象パターン部を横切り移動させ、前記検査対象パターンの前記検査対象領域の一方より前記供給電極により交流の検査信号を供給し、
前記検出電極から検査信号を供給している導電パターンからの信号を前記検出手段の第一の検出電極で検出して導電パターン間の断線を検出可能とし、前記検出電極から検査信号を供給している導電パターンに隣接する導電パターンからの信号を前記検出手段の第二の検出電極で検出して隣接する導電パターン間の短絡を検査可能とする。
更に例えば、前記供給手段の供給電極又は前記検出手段の検出電極のいずれか他方を検査対象パターンに接触させる回路パターン検査方法であることを特徴とする。
検査対象領域の両端近傍が列状に形成されている検査対象パターンの前記検査対象領域の一方より交流の検査信号を供給し、他方から前記検査対象パターンよりの信号を検出して前記検査対象パターンを検査する回路パターン検査装置であって、前記検査対象パターンの検査対象領域の一方より前記検査信号を前記検査対象パターンに供給する供給電極を有する供給手段と、前記検査対象パターンよりの信号を検出する検出電極を有する検出手段と、前記供給手段の供給電極と前記検出手段の検出電極とを前記検査対象パターンから離間させつつ前記検査対象領域の両端近傍の列状パターン部を横切り移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。
以上の説明では、少なくともセンサ電極25の一部を必ず供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンの他方端部位置となるように制御する例を説明した。しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、例えば、センサ電極25を複数設け、複数設けたセンサ電極25のうちの1つは供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンの他方端部位置となるように設け、複数設けたセンサ電極25のその他の少なくとも1つは供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンに隣接するパターンの他方端部位置に設ける構成にしても良い。
以上の説明は、センサ電極25及び供給電極35を検査対象パターンの端部を横断するように移動させて不良パターンを検出する例を説明した。しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、例えば、センサ電極25又は供給電極35の一方を検査対象パターンに沿っても移動制御可能に構成し、上述した制御で不良パターンを特定した後に、不良パターン位置に両電極を位置決めし一方の電極を不良パターンに沿ってパターン上を移動させ、センサ電極25での検出信号値を読み込み、検出信号値の変化位置を検出してパターン不良発生箇所として特定可能に構成しても良い。
一方、検査の結果不良パターンが検出された場合には信号供給部65を消勢すると共に、ステップS3と同様に電極を初期位置に位置決めして図8に示す処理に移行する。そして図8に示す処理の終了後ステップS20の処理に移行すればよい。
以上の説明では、スカラーロボット80によりセンサ電極25及び供給電極35移動制御を主にX−Y方向に2次元制御する例を説明した。これは、検査対象基板が液晶パネルであり、ガラス基板で平滑度は高かったからである。パターン厚さが厚かったり、検査基板が大型で表面の凹凸がさけられないような基板を検査する場合には、以上の2次元制御のみならず、上下方向(Z方向)にも制御するように構成して、検査対象基板の凹凸があっても良好か検査結果が得られる様に構成すればよい。
15 導電パターン
20 センサ部
22 第一のセンサ電極
24 第二のセンサ電極
25 センサ電極
26 カメラ
28 レーザ変位計
30 検査信号供給部
32 プローブ接触手段
35 供給電極
38 レーザ変位計
50 アナログ信号処理回路
51 増幅器
52 バンドパスフィルタ
53 整流回路
54 平滑回路
60 制御部
70 ロボットコントローラ
80 スカラーロボット
61 CPU
62 ROM
63 RAM
64 A/Dコンバータ
65 信号供給部
66 表示部
Claims (22)
- 検査対象領域の少なくとも両端近傍が列状に形成されている検査対象パターンの前記検査対象領域の一方より交流の検査信号を供給し、前記検査対象パターンよりの信号を検出することにより前記検査対象パターンを検査する回路パターン検査装置であって、
前記検査対象パターンの検査対象領域の一方より前記検査対象パターンに前記検査信号を供給するための供給電極を有する供給手段と、
前記検査対象パターンよりの信号を検出する検出電極を有する検出手段と、
前記供給手段の供給電極及び前記検出手段の検出電極を前記検査対象パターンから離間させつつ前記検査対象領域の列状パターン部を横切り移動させる移動手段とを備え、
前記検出手段は、前記供給電極により検査信号を供給される検査対象パターンの他方端部近傍に配設された第一の検出電極と、一方端部近傍で前記供給電極により検査信号を供給される検査対象パターンに隣接する検査対象パターンの他方端部位置に配設された第二の検出電極とを有することを特徴とする回路パターン検査装置。 - 前記第一の検出電極の幅は、検査対象パターンのパターン幅以下であることを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。
- 前記第二の検出電極の幅は、検査対象パターンのパターン幅以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の回路パターン検査装置。
- 前記移動手段は、前記供給手段の供給電極面及び前記検出手段の検出電極面を前記検査対象パターンと容量結合させた状態で前記検査対象領域の両端近傍の列状部分を横切り移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の回路パターン検査装置。
- 更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合に検査対象パターンの正常と、検出結果が所定の範囲より外れる場合に検査対象パターンの不良と判断する判断手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の回路パターン検査装置。
- 前記判断手段が不良と判断した検査対象パターンの両端に、前記供給手段の供給電極と前記検出手段の検出電極とを移動させ、前記供給手段の供給電極又は前記検出手段の検出電極のいずれか一方を他方に向かってパターンに沿って移動させる第2の移動手段と、前記検出手段の検出結果に基づき検出変化位置を検出する位置検出手段とを備えることを特徴とする請求項5に記載の回路パターン検査装置。
- 前記供給手段の供給電極又は前記検出手段の検出電極のいずれか他方を検査対象パターンに接触させる接触手段を備えることを特徴とする請求項6に記載の回路パターン検査装置。
- 前記第2の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方に撮像手段を備えることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の回路パターン検査装置。
- 前記第2の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と、検査対象パターンとの距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間制御手段を備えることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれかに記載の回路パターン検査装置。
- 前記移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と検査対象パターンとの離間距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間距離制御手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の回路パターン検査装置。
- 前記離間処理制御手段は、前記検出電極あるいは供給電極近傍位置に前記検出電極あるいは前記供給電極と共に移動する変位計を備え、前記変位計の検出結果に従って前記検出電極あるいは供給電極と検査対象との離間距離がほぼ一定になるように前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の回路パターン検査装置。
- 前記離間処理制御手段は、前記検査対象パターンの複数ピッチ間の前記変位計の検出結果の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項11に記載の回路パターン検査装置。
- 検査対象領域の両端近傍が列状に形成されている検査対象パターンの検査対象領域の一方より検査信号を前記検査対象パターンに供給する供給電極を有する供給手段と、前記前記検査対象パターンよりの信号を検出する検出電極を有する検出手段とを有する回路パターン検査装置におけるパターン検査方法であって、
前記供給手段の供給電極と前記検出手段の検出電極とを前記供給手段の供給電極面及び前記検出手段の検出電極面を前記検査対象パターン表面と離間させた状態を維持しつつ前記供給電極及び前記検出電極とを前記列状検査対象パターン部を横切り移動させ、前記検査対象パターンの前記検査対象領域の一方より前記供給電極により交流の検査信号を供給し、
前記検出電極から検査信号を供給している導電パターンからの信号を前記検出手段の第一の検出電極で検出して導電パターン間の断線を検出可能とし、前記検出電極から検査信号を供給している導電パターンに隣接する導電パターンからの信号を前記検出手段の第二の検出電極で検出して隣接する導電パターン間の短絡を検査可能とすることを特徴とする回路パターン検査方法。 - 前記回路パターンは、基板上に所定幅でほぼ棒状に形成された導電性パターンであることを特徴とする請求項13に記載の回路パターン検査方法。
- 前記検出電極の幅は、少なくとも検査対象パターンの2列分の幅とし、検査信号を供給している導電パターンに隣接する導電パターンからの信号を検出して隣接する導電パターン間の短絡を検出可能とすることを特徴とする請求項14に記載の回路パターン検査方法。
- 前記検出手段で非検出となる検出手段位置から導電パターンの概略断線箇所位置を検出することを特徴とする請求項13乃至請求項15のいずれかに記載の回路パターン検査方法。
- 更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合に検査対象パターンの正常と、検出結果が所定の範囲より外れる場合に検査対象パターンの不良と判断することを特徴とする請求項13乃至請求項16のいずれかに記載の回路パターン検査方法。
- 前記判断手段が不良と判断した検査対象パターン位置を識別して保持し、前記識別した不良と判断した検査対象パターンの両端部に前記供給手段の供給電極と前記検出手段の検出電極を移動させ、前記供給電極又は前記検出電極のいずれか一方を他方に向かってパターンに沿って移動させ、前記検出手段の検出結果に基づき変化位置を検査対象パターンの不良位置とすることを特徴とする請求項17記載の回路パターン検査方法。
- 前記供給手段の供給電極又は前記検出手段の検出電極のいずれか他方を検査対象パターンに接触させることを特徴とする請求項18に記載の回路パターン検査方法。
- 前記供給電極又は前記検出電極のいずれか一方に備えられた撮像手段を他方に向かってパターンに沿って移動させ、検査対象パターンの不良位置の不良状態を撮像することを特徴とする請求項18又は請求項19に記載の回路パターン検査方法。
- 前記検出電極あるいは前記供給電極近傍位置に前記検出電極あるいは供給電極と共に移動する変位計を配置し、前記変位計の検出結果に従って前記検出電極あるいは供給電極と検査対象との離間距離がほぼ一定になるように前記検査対象に直交する方向に位置決め制御して前記検出電極の結果を一定化することを特徴とする請求項13乃至請求項20のいずれかに記載の回路パターン検査方法。
- 前記検査対象パターン複数ピッチ間の前記変位計の検出結果の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象との位置決め制御をすることを特徴とする請求項21に記載の回路パターン検査方法。
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