JP5432213B2 - パターン検査装置 - Google Patents
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Claims (6)
- 基板上において第一方向に間隔をあけて配設された複数の導電パターンのうち、断線が生じた導電パターンである断線パターンにおける断線位置を検出するパターン検査装置であって、
前記断線パターンの一端から交流電圧を印加する印加手段と、
前記基板に間隙を介して対向しつつ移動するセンサであって、少なくとも、2以上の電極を備えたセンサと、
前記電極で検知された信号に基づいて、前記センサの移動方向と断線箇所の判断を行なう制御部と、
を備え、
前記2以上の電極は、少なくとも、前記第一方向に配設された二つのトラッキング電極を備えており、
前記制御部は、前記二つのトラッキング電極で検知された信号の比較結果に基づいて前記断線パターンに対する前記センサの前記第一方向の位置の適否を判断し、当該判断結果に基づいて前記センサの移動方向を決定する、
ことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置であって、
前記制御部は、
前記センサを、前記一端から離れるべく、前記第一方向と直交する第二方向に規定距離、移動させる移動処理と、
前記移動処理の後、前記二つのトラッキング電極で検知された信号の比較結果に基づいて、前記二つのトラッキング電極の中間に断線パターンが位置するべく、前記センサの第一方向の位置を調整するトラッキング処理と、
前記トラッキング処理の後、前記センサが断線箇所に到達したか否かを判断する判断処理と、
を前記判断処理において前記センサが断線箇所に到達したと判断されるまで繰り返す、ことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1または2に記載のパターン検査装置であって、さらに、
前記二つのトラッキング電極で検知された信号の差分信号を、印加信号で同期検波する同期検波器を備え、
前記制御部は、前記同期検波器からの出力信号に基づいて前記断線パターンに対する前記センサの前記第一方向の位置の適否を判断する、
ことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載のパターン検査装置であって、
前記2以上の電極は、さらに、前記二つのトラッキング電極の間に設けられた一つの断線検知電極を含み、
前記制御部は、前記断線検知電極で検知された信号に基づいて、前記センサが断線箇所に到達したか否かを判断する、
ことを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載のパターン検査装置であって、さらに、
前記二つのトラッキング電極で検知された信号の差分信号を整流する整流素子を備え、
前記制御部は、前記センサを第一方向に移動させた際の前記整流素子からの出力信号の変化に基づいて、前記センサが断線箇所に到達したか否かを判断する、
ことを特徴とするパターン検査装置。 - 基板上において第一方向に間隔をあけて配設された複数の導電パターンのうち、短絡した導電パターンである短絡パターンにおいて短絡位置を検出するパターン検査装置であって、
隣接する二つの短絡パターンそれぞれの一端から交流電圧を印加し、前記二つの短絡パターンおよび短絡部で構成される閉回路に電流を流す印加手段と、
前記基板に間隙を介して対向しつつ移動し、周囲に形成される磁界を電圧信号として検知する検知用コイルと、
前記検知用コイルで検知された電圧信号に基づいて、前記検知用コイルの移動方向と短絡箇所の判断を行なう制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記電圧信号のレベルに基づいて、前記短絡パターンに対する前記検知用コイルの前記第一方向の位置の適否を判断し、当該判断結果に基づいて前記検知用コイルの移動方向を決定する、
ことを特徴とするパターン検査装置。
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