JP3978178B2 - 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 - Google Patents
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- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
Description
以上の説明では、少なくともセンサ電極25の一部を必ず供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンの他方端部位置となるように制御する例を説明した。しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、例えば、センサ電極25を複数設け、複数設けたセンサ電極25のうちの1つは供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンの他方端部位置となるように設け、複数設けたセンサ電極25のその他の少なくとも1つは供給電極35が実際に検査信号を供給しているパターンに隣接するパターンの他方端部位置に設ける構成にしても良い。
以上の説明は、センサ電極25及び供給電極35を検査対象パターンの端部を横断するように移動させて不良パターンを検出する例を説明した。しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、例えば、センサ電極25又は供給電極35の一方を検査対象パターンに沿っても移動制御可能に構成し、上述した制御で不良パターンを特定した後に、不良パターン位置に両電極を位置決めし一方の電極を不良パターンに沿ってパターン上を移動させ、センサ電極25での検出信号値を読み込み、検出信号値の変化位置を検出してパターン不良発生箇所として特定可能に構成しても良い。
以上の説明では、スカラーロボット80によりセンサ電極25及び供給電極35移動制御を主にX−Y方向に2次元制御する例を説明した。これは、検査対象基板が液晶パネルであり、ガラス基板で平滑度は高かったからである。パターン厚さが厚かったり、検査基板が大型で表面の凹凸がさけられないような基板を検査する場合には、以上の2次元制御のみならず、上下方向(Z方向)にも制御するように構成して、検査対象基板の凹凸があっても良好か検査結果が得られる様に構成すればよい。
15 導電パターン
20 センサ部
22 第一のセンサ電極
24 第二のセンサ電極
25 センサ電極
26 カメラ
28 レーザ変位計
30 検査信号供給部
32 プローブ接触手段
35 供給電極
38 レーザ変位計
50 アナログ信号処理回路
51 増幅器
52 バンドパスフィルタ
53 整流回路
54 平滑回路
60 制御部
70 ロボットコントローラ
80 スカラーロボット
61 CPU
62 ROM
63 RAM
64 A/Dコンバータ
65 信号供給部
66 表示部
Claims (14)
- 検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち1つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給し、前記検査対象パターンより信号を検出して前記検査対象パターンを検査する回路パターン検査装置であって、
前記検査対象パターンの一端に前記検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、
少なくとも前記パターンの2列分の幅を有し、前記検査信号が供給される前記検査対象パターンと、前記検査信号が供給される前記検査対象パターンに隣接するパターンとにそれぞれ容量結合する検査電極を有する検出手段と、
前記供給電極と前記検出電極とを、それぞれの移動支持部材に搭載し、前記検査対象パターンから離間させつつ、順次、対向する前記検査対象パターンとを容量結合させる状態で前記検査対象パターンの前記両端を横切り移動させる第1の移動手段とを備え、
前記第1の移動手段は、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、且つ前記検出手段が前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出することを特徴とする回路パターン検査装置。 - 更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合には、前記検査対象パターンの正常と、前記検出結果が所定の範囲より外れる場合には、前記検査対象パターンの前記不良と判断する判断手段を備えることを特徴とする請求項1記載の回路パターン検査装置。
- 更に、前記判断手段が不良と判断した検査対象パターンの前記両端に対して、前記第1の移動手段により前記供給電極と前記検出電極とが対向された際に、前記供給電極と前記検出電極のいずれか一方を固定し、他方を前記検査対象パターンに沿って移動させる第2の移動手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき、前記検査対象パターンにおける検出変化位置を検出する位置検出手段と、
を備え、前記不良の所在位置を検出することを特徴とする請求項2記載の回路パターン検査装置。 - 前記移動支持部材に搭載される撮像手段を備えることを特徴とする請求項3記載の回路パターン検査装置。
- 前記第2の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と、検査対象パターンとの距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間制御手段を備えることを特徴とする請求項3記載の回路パターン検査装置。
- 前記第1の移動手段により移動される前記供給電極及び前記検出電極の少なくとも一方と検査対象パターンとの離間距離がほぼ一定になるように位置決め制御する離間距離制御手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれかに記載の回路パターン検査装置。
- 前記離間処理制御手段は、前記検出電極あるいは供給電極近傍位置に前記検出電極あるいは前記供給電極と共に移動する変位計を備え、前記変位計の検出結果に従って前記検出電極あるいは供給電極と検査対象との離間距離がほぼ一定になるように前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の回路パターン検査装置。
- 前記離間処理制御手段は、前記検査対象パターンの複数ピッチ間の前記変位計の検出結果の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象に直交する方向に位置決め制御することを特徴とする請求項7に記載の回路パターン検査装置。
- 検査対象領域に所定幅でほぼ棒状に形成され両端近傍が列状に形成された導電性の複数のパターンのうち1つの検査対象パターンに交流の検査信号を供給する供給電極を有する供給手段と、少なくとも前記パターンの2列分の幅を有し、前記検査対象パターンより信号を検出する検出電極を有する検出手段とを備え、前記検査対象パターンの良否を検査する回路パターン検査装置におけるパターン検査方法であって、
前記供給電極から離間する前記検査対象パターンに前記検査信号が供給され、前記検出手段が前記検査対象パターンと該検査対象パターンに隣接するパターンとの少なくとも2列のパターンに離間して容量結合し、
前記容量結合の状態を維持しつつ、前記供給電極と前記検出電極が同一検査対象パターンの一端及び他端の上方を通過するように同期させて移動し、
前記検査対象パターン及び前記隣接するパターンにおける前記容量結合の変化により得た前記検査信号から前記検査対象パターンの断線又は短絡による不良を検出することを特徴とする回路パターン検査方法。 - 更に、前記検出手段による検出結果が所定範囲にある場合には、前記検査対象パターンの正常と、前記検出結果が所定の範囲より外れる場合には、前記検査対象パターンの前記不良と、を判断することを特徴とする請求項9に記載の回路パターン検査方法。
- 前記パターン検査方法によって、不良と判断された検査対象パターンの両端に、前記供給電極と前記検出電極とが対向した際に、前記供給手段と前記検出手段のいずれか一方を固定し、他方を前記検査対象パターンに沿って移動させて、前記検出手段から検出された結果に基づき、前記検査対象パターンにおける不良の所在位置を検出することを特徴とする請求項9に記載の回路パターン検査方法。
- 前記供給電極及び前記検出電極をそれぞれに搭載して移動させる移動支持部材のいずれか一方に備えられた撮像手段を他方に向かってパターンに沿って移動させ、検査対象パターンの不良位置の不良状態を撮像することを特徴とする請求項11記載の回路パターン検査方法。
- 前記検出手段又は前記供給手段が移動する際に、前記検出電極又は前記供給電極と検査対象パターンとの離間距離の変位が検出され、検出された前記離間距離がほぼ一定になるように位置決め制御して前記検出電極の結果を一定化することを特徴とする請求項9乃至請求項12のいずれかに記載の回路パターン検査方法。
- 前記検査対象パターン複数ピッチ間の前記変位の平均変位を前記検出電極あるいは前記供給電極と検査対象との離間距離として前記検査対象との位置決め制御をすることを特徴とする請求項11に記載の回路パターン検査方法。
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