JP5276774B2 - 検査方法及び装置 - Google Patents
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- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Description
12 被検査基板
14 ガラス板
16,18 電路
20,60 センサ基板
22 センサ回路群
24,26,62 給電電極
28 受電電極
30,32,34 端子
36 ガラス板
38 センサ回路
30,40,41,44 配線
42 フラットケーブル
54 断線箇所
56 短絡パターン
58 クロス断線箇所
130 フレーム
132 搬送装置
136 受け渡し装置
138 センターリング装置
144,146 第1及び第2の搬送部材
148 ベース板
150組み付け装置
158 搬送補助装置
160 支持部材
162 基板ホルダ
164,176 アクチュエータ
166 上下移動機構
168 ストッパ
170 凹所
172 ロッド
174 ブッシュ
178 センサ回路
Claims (6)
- 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する、前記第1の方向に間隔をおいた少なくとも2つの給電電極と、少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記複数の受電電極は、それぞれが前記第1の方向に間隔をおいて前記給電電極に対応された少なくとも2つの受電電極グループであってそれぞれが対応する給電電極からの検査信号を受信可能の複数の受電電極を含む受電電極グループに分けられているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは前記検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、
前記判定ステップは、前記給電電極への給電のタイミングと同期して前記電路の正否を判定する、検査方法。 - 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する、前記第1の方向に間隔をおいた複数の給電電極と、少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記複数の受電電極は、前記給電電極に一対一の形に対応されているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは前記検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、
前記判定ステップは、前記給電電極への給電のタイミングと同期して前記電路の正否を判定する、検査方法。 - 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路と前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる複数の第2の電路とを備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、
交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも1つの給電電極及び前記第2の電路に交流の第2の検査信号を供給する少なくとも1つの第2の給電電極と、
少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、
該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含む基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは、前記第2の検査信号を前記第2の給電電極に供給し、
前記判定ステップは、前記第2の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査方法。 - 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路及び前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる複数の第2の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも1つの給電電極及び前記第2の電路に交流の第2の検査信号を供給する少なくとも1つの第2の給電電極と、少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記第2の給電電極は前記第1の方向における前記給電電極及び前記受電電極の配置領域から外れた箇所に配置されているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは、前記第2の検査信号を前記第2の給電電極に供給し、
前記判定ステップは、前記第2の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査方法。 - 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路及び前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる複数の第2の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも1つの給電電極及び前記第2の電路に交流の第2の検査信号を供給する少なくとも1つの第2の給電電極と、少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含むセンサ基板と、
前記給電電極に供給する交流の検査信号を発生する検査信号発生回路と、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記センサ基板と被検査基板とが前記移動装置により移動されかつ前記検査信号が前記給電電極に供給される間の前記センサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定する判定回路とを含み、
前記検査信号発生回路は、さらに、前記第2の検査信号を前記第2の給電電極に供給し、
前記判定回路は、さらに、前記第2の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査装置。 - 第1の方向に間隔をおいて第2の方向へ伸びる複数の電路及び前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる複数の第2の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも1つの給電電極及び前記第2の電路に交流の第2の検査信号を供給する少なくとも1つの第2の給電電極と、少なくとも前記第1の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第2の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記第2の給電電極は前記第1の方向における前記給電電極及び前記受電電極の配置領域から外れた箇所に配置されているセンサ基板と、
前記給電電極に供給する交流の検査信号を発生する検査信号発生回路と、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第2の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第2の方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記センサ基板と被検査基板とが前記移動装置により移動されかつ前記検査信号が前記給電電極に供給される間の前記センサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定する判定回路とを含み、
前記検査信号発生回路は、さらに、前記第2の検査信号を前記第2の給電電極に供給し、
前記判定回路は、さらに、前記第2の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査装置。
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