KR100528696B1 - 평판표시장치의 검사방법 및 장치 - Google Patents
평판표시장치의 검사방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (33)
- 다수의 신호배선 중 기수 신호배선들의 일측단에 제1 공통전압을 인가하는 단계와;상기 다수의 신호배선 중 우수 신호배선들의 일측단에 상기 제1 공통전압과 다른 제2 공통전압을 인가하는 단계와;상기 다수의 신호배선 상을 자기센서로 스캔하는 단계와;상기 자기센서의 저항 변화를 검출하여 상기 신호배선의 단락을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 신호배선의 단락을 감지하는 단계는,상기 자기센서에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서의 저항을 검출하는 단계와;상기 자기센서의 저항이 소정의 기준값보다 크면 상기 신호배선이 단락된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 자기센서로 스캔하는 단계는,상기 신호배선들의 타측단에 연결된 패드들 상을 스캔하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 자기센서의 경자성층과 연자성층을 자화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 신호배선의 단락을 감지하는 단계는,상기 연자성층의 자화방향이 반전될 때 상기 신호배선이 단락된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 절연층을 사이에 두고 적어도 하나의 제1 신호배선 상에 적층되는 적어도 하나의 제2 신호배선을 형성하는 단계와;상기 제1 신호배선들의 일측단에 제1 공통전압을 인가하는 단계와;상기 제2 신호배선들의 일측단에 상기 제1 공통전압과 다른 제2 공통전압을 인가하는 단계와;상기 제 1 및 제 2 신호배선 상을 자기센서로 스캔하는 단계와;상기 자기센서의 저항변화를 검출하여 상기 신호배선들의 층간 단락을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 신호배선의 층간 단락을 감지하는 단계는,상기 자기센서에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서의 저항을 검출하는 단계와;상기 자기센서의 저항이 소정의 기준값보다 크면 상기 신호배선이 단락된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 삭제
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 자기센서로 스캔하는 단계는,상기 신호배선들의 타측단에 연결된 패드들 상을 상기 자기센서로 스캔하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 자기센서의 경자성층과 연자성층을 자화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 신호배선의 층간 단락을 감지하는 단계는,상기 연자성층의 자화방향이 반전될 때 상기 신호배선이 단락된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 전극패턴에 전류를 공급하는 단계와;화소크기 이하인 적어도 하나 이상의 자기센서를 포함하는 센서 어레이로 상기 전극패턴 상을 스캔하는 단계와;상기 자기센서 각각의 저항변화를 검출하여 상기 전극패턴의 패턴불량을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 패턴불량을 감지하는 단계는,상기 자기센서 각각에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서 각각의 저항을 검출하는 단계와;상기 자기센서의 저항이 큰 위치에서 상기 전극패턴의 일부가 유실된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 삭제
- 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 자기센서의 경자성층과 연자성층을 자화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 전극패턴의 패턴불량을 감지하는 단계는,상기 연자성층의 자화방향이 반전될 때 상기 전극패턴의 패턴이 유실된 것으로 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사방법.
- 다수의 신호배선들 중 기수 신호배선들의 일측단에 제1 공통전압을 인가하는 제1 전압원과;다수의 신호배선들 중 우수 신호배선들의 일측단에 상기 제1 공통전압과 다른 제2 공통전압을 인가하는 제2 전압원과;상기 다수의 신호배선 상을 스캔하는 자기센서와;상기 자기센서의 저항 변화를 검출하여 상기 신호배선의 단락을 감지하는 감지회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 자기센서는,GMR 센서(Giant Magnetoreseistance sensor), MR 센서(Magnetoreseistance sensor), 플럭스게이트 센서(Fluxgate sensor), 인덕티브 센서(Inductive sensor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서,상기 감지회로는,상기 자기센서에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서의 저항을 검출하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 21 항에 있어서,상기 자기센서는,상기 신호배선들의 타측단에 연결된 패드들 상을 스캔하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 제1 신호배선들의 일측단에 제1 공통전압을 인가하는 제1 전압원과;절연층을 사이에 두고 상기 제1 신호배선상에 적층되는 제2 신호배선들의 일측단에 상기 제1 공통전압과 다른 제2 공통전압을 인가하는 제2 전압원과;상기 제2 신호배선 상을 스캔하는 자기센서와;상기 자기센서의 저항변화를 검출하여 상기 신호배선들의 층간 단락을 감지하는 감지회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사장치.
- 제 25 항에 있어서,상기 자기센서는,GMR 센서(Giant Magnetoreseistance sensor), MR 센서(Magnetoreseistance sensor), 플럭스게이트 센서(Fluxgate sensor), 인덕티브 센서(Inductive sensor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,상기 감지회로는,상기 자기센서에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서의 저항을 검출하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 삭제
- 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,상기 자기센서는,상기 신호배선들의 타측단에 연결된 패드들 상을 스캔하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 전극패턴에 전류를 공급하는 전원과;화소크기 이하인 적어도 하나 이상의 자기센서를 포함하며 상기 전극패턴 상을 스캔하는 자기센서와;상기 자기센서 각각의 저항변화를 검출하여 상기 전극패턴의 패턴불량을 감지하는 감지회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사장치.
- 제 30 항에 있어서,상기 자기센서 각각은,GMR 센서(Giant Magnetoreseistance sensor), MR 센서(Magnetoreseistance sensor), 플럭스게이트 센서(Fluxgate sensor), 인덕티브 센서(Inductive sensor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
- 제 30 항 또는 제 31 항에 있어서,상기 감지회로는,상기 자기센서 각각에 흐르는 전류의 변화로 상기 자기센서 각각의 저항을 검출하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 검사장치.
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