KR100844537B1 - 평판표시소자용 전극 라인의 결함검출용 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판표시소자의 전극 라인의 결함을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 광학 검사를 수행하는 광학 모듈과, 전/자계 방식으로 검사를 수행하는 송수신 모듈을 포함하고, 상기 광학 모듈과 송수신 모듈은 일체로 구성된다. 상기 광학 모듈과 송수신 모듈에 구비되는 카메라 및 송/수신부는 서로 수직 방향으로 위치되기 때문에, 어느 하나의 모듈에 따른 결함 검출 후에는 광학 모듈을 90°회전시켜서 전극 라인과 수평하게 위치시킨다. 그리고 상기 광학 모듈과 송수신 모듈은 평판표시소자와의 검사시 이격 간격이 서로 상이하기 때문에, 임의의 모듈을 통한 검사시에 상기 송수신 모듈이 일체 구성된 상기 광학 모듈을 상하 방향으로 적절하게 구동하여 전극 라인과의 간격을 유지시킨다. 이에 따라 전극 라인 결함 검출시에 정확한 검증이 필요한 부분에 대해서는 간단한 조작만으로 광학 검사와 전/자계 검사 방식을 용이하게 적용할 수 있어 결함 검출력의 증대를 기대할 수 있고, 특히 광학 검사시에 미검출되는 결함을 효율적으로 검출할 수 있는 잇점이 있다.

평판표시소자, 전극 라인 결함 검출, 광학 검사, 전/자계 검사.

Description

평판표시소자용 전극 라인의 결함검출용 장치 및 방법{Apparatus for defect detection of electrode line in FPD and Method fo defect detection using the same}

도 1은 일반적으로 평판 디스플레이 장치에서 전극 라인의 결함 검출과정을 설명하기 위한 개념도.

도 2 및 도 3은 일반적으로 정상상태의 전극 라인 및 결함이 존재하는 전극 라인의 다양한 실시 예 도면.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치를 보인 사시도.

도 5는 도 4의 저면부.

도 6은 도 4의 결함검출용 장치의 블럭 구성도.

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함 검출방법의 흐름도.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치를 보인 사시도.

도 9는 도 8의 저면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 결함 검출장치 102 : 광학 모듈

108 : CCD 카메라 109 : 중앙처리유닛

120 : 송수신 모듈 122 : 가동부

122a: 송신부 122b: 수신부

124 : 고정부 126 : 스프링

본 발명은 평판표시소자의 전기적 결함을 검출하기 위한 것으로서, 특히 평판형 표시소자(FPD:Flat Panel Display)의 전기적 결함(단선/단락)을 광학적 방식과 전/자계 방식을 모두 이용하여 검출하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치 및 방법에 관한 것이다.

종래, 대부분의 표시장치로 채용되었던 CRT장치가 가진 한계를 극복하고, 또한 컴팩트화/절전화/다양화 등의 요구에 따라서 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)장치가 개발되었다. 상기 평판 디스플레이 장치는 사용되는 재료나 표시방법 등의 차이에 따라 전계발광표시장치(ELD), 액정표시장치(LCD), 플라스마표시패널(PDP) 등과 같이 구분되지만, 이를 구동하는 과정은 대부분 평면상에 전극이 배열된 상태에서 일련의 제어동작에 따라 이루어지고 있다.

그러한 평판 디스플레이 장치는, 제조 공정 중에 전극의 단선(open) 또는 단 락(short) 등의 결함을 검출하고 결함의 유무를 판단하여 다음 공정에서의 불필요한 작업을 방지하여 생산 효율을 향상시키기 위한 검사 기술이 필수적으로 수반된다. 즉 전극이 단선 또는 단락된 경우에는 정상적인 신호처리에 의한 화상정보의 구현에 장애가 발생하기 때문에 디스플레이 소자에서는 치명적인 약점이다.

이와 같이 평판 디스플레이 장치(이하, '평판표시소자'로 함)로 사용되는 전극 라인에 대한 결함 여부를 검출하는 실시 예 구성을 도 1에 도시하고 있다.

상기 평판표시소자의 전극 라인(3)의 결함을 검출하기 위해서는 상기 전극 라인(3)에 대하여 전/자계 방식에 따라 수직방향(X방향)으로 스캔하여 검사하거나, 또는 광학시스템(vision system)(10)을 이용하여 특정 결함 라인과 수평 방향(Y방향)으로 스캔/검사하여 그 결함 여부를 검출하였다.

도 1에 따르면, 상기 평판표시소자의 유리(glass) 표면(1)상에 배열되는 다수의 전극 라인(3) 일단에는 송신부(5)를 배치하고 다른 타단에는 수신부(7)를 배치한다. 그리고, 상기 전극 라인(3)의 수직방향으로 전극 라인(3)을 스캔하면서 그 전극 라인(3)의 전/자계를 측정한다. 상기 측정결과에 따라, 만약 상기 송신부(5)로부터 인가된 전류신호가 상기 수신부(7)에 도달되지 않거나, 어느 하나의 전극 라인에 대한 자기 강도가 다른 전극 라인의 강도와 상이한 경우를 판정하여, 상기 전극 라인(3)의 단선이나 단락 여부를 알 수 있는 것이다.

그리고, 임의의 전극 라인의 단선이나 단락 발생이 파악된 이후에는 상기 전극 라인(3)의 수평방향으로 광학 시스템(10)을 적용하여 그 단선이나 단락이 발생된 정확한 지점을 검출하게 된다.

다시 말해, 상기 전극 라인(3)의 양단에 송신부(5)/수신부(7)가 제공된 상태에서, 전극 라인(3)과 수직한 방향으로 스캔하여 먼저 결함이 있는 전극 라인을 검출하기 위한 전/자계 검출방법이 실행되고, 선택적으로 결함이 발생된 전극 라인에 대해서는 광학 시스템(10)을 이용하여 전극방향과 수평방향으로 스캔하여 정확한 결함위치를 검출하는 것이다.

하지만, 상기 평판표시소자의 결함을 검출하는 방식으로 이용되는 상기 전/자계적 검사 및 광학 시스템에 의한 검사는 별도 과정에 의하여 실시되고 있기에, 다음과 같은 문제점들이 있었다.

상기 전/자계적 검사 및 광학 시스템이 별도 장치로 구성되기 때문에, 그 각각의 검사를 모두 수행하기 위해서는 대응되는 검사장치의 필요로 인하여 구매 비용이 증대되는 문제가 발생 된다.

그리고 종래 기술에 미기재하고 있지만, 도 1의 송신부(5) 및 수신부(7)는 사용 목적에 따라 공기 부양(air floating)모듈을 이용하여 유리 표면(1)으로부터 수십㎛ ∼ 수백 ㎛정도 부상시켜 간격을 유지하면서 검사하는 방법이 제공된다. 그러나, 상기 방법은 비접촉 방식이기 때문에 결함이 발생되더라도 정확한 결함 위치를 알 수 없었다. 따라서, 상기 비접촉 방식의 단점을 해결하기 위하여 상기한 광학 시스템을 이용하여 결함 위치를 검사하여야 하는 번거로운 점이 있었다. 이 경우 두 가지 방식이 별도로 제공되기 때문에 전술한 바와 같이 검사 시간에 많은 시간이 소요되며, 각각의 검사 장비를 이용해야 하는 불편한 점이 있었다.

이에, 광학 시스템만을 적용하여 결함 검출을 검사하는 방법이 시행되기도 한다. 그러나, 이 경우 상기 광학시스템의 특성상 먼지나 기타 이물질이 전극 라인의 패턴 위에 놓여져 있어 내부에 실제 결함(단선/단락)이 존재하더라도 정상으로 판단하는 과검 확률이 높아지는 문제가 있었다.

예컨대, 도 2의 (a) 또는 (d)와 같이 먼지나 기타 이물질이 전극 패턴 위에 놓여져 있어 실제 결함이 있더라도 정상적인 전극 라인으로 판단할 수 있는 것이다. 또한, 도 3과 같이 게이트 라인과 데이터 라인이 교차한 교차 패턴의 경우에도 상기 교차 패턴의 하단부에 단선(open), 단락(short)이 발생될 수 있다. 이때, 상기 광학 시스템은 상측 방향에서 평면상으로만 결함을 검출하기 때문에, 상기 단락/단선 결함을 확인할 수 없어 정상으로 판단하는 경우가 발생된다. 이는 검사 장비의 신뢰성을 저하시키는 문제점으로 이어진다.

따라서, 상술한 검사 방법의 문제를 해결하기 위하여 상기 전극 라인에 전류를 인가하고 전/자계 세기를 측정하여 단락과 단선의 결함을 정확하게 검출하는 방법이 제공된다. 그러나 이 또한 소정 전극 라인의 특정 패턴에 도달하고 신호를 인가하여 검출하는 검사시간이 많이 소요되는 문제가 발생되고 있다. 이는 생산성 저하로 이어진다. 일 예로, 전/자계적 송수신 방식과 유사한 검출방법으로 사용되고 있는 탐침을 이용한 결함검출방법에서는 640*380 화소의 LCD의 전극라인을 검사하기 위해는 약 300,000번의 이동과 약 2시간의 시간이 소요되고 있기 때문에, 검사방법의 효율성 측면에서 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 전극 라인의 결함을 검사하는 데 있어 광학시스템에 전/자계 송수신부를 결합하여 결함 검출의 빠른 확인과 더불어 정확한 검증이 이루어지도록 하는 평판표시소자 전극라인의 결함검출용 장치 및 방법을 제공함에 있다.

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상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 평판표시소자의 상면에 배열된 전극 라인의 수평방향으로 이동하면서 카메라에 의해 상기 전극 라인을 스캔하여 광학적으로 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 광학 모듈과; 상기 광학 모듈의 소정 부분에 장착되고, 상기 전극 라인의 수직 방향으로 이동하면서 전계 방식 또는 자계 방식에 의하여 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 송수신 모듈이 포함되며; 상기 광학 모듈 또는 송수신 모듈 중 어느 하나의 모듈에 의해 상기 전극 라인의 결함을 1차 검출하고 다른 모듈에 의해 상기 전극 라인의 결함을 2차 검출하도록 한다.
상기 광학 모듈은, 상기 카메라 또는 상기 송수신 모듈을 제어하며, 그 카메라의 촬영 신호 또는 송수신 모듈의 감지 신호를 기초로 상기 전극 라인의 결함 여부를 판단하는 중앙처리유닛을 포함하여 구성되고, 상기 중앙처리유닛의 제어동작에 따라서 상기 전극 라인의 검사방향에 따라 소정 방향으로 90°회전되게 된다.
상기 송수신 모듈은, 상기 광학 모듈에 고정되는 고정부; 상기 고정부의 하부와 하나 이상의 스프링으로 연결되고, 적어도 하나의 에어 분출 구멍을 통해 배출되는 에어(air)에 의해 상기 평판표시소자의 상면과 일정한 간격을 유지하면서 이동하는 가동부를 포함하여 구성된다.
상기 가동부는, 소정 레벨로 인가된 전압 신호를 상기 전극 라인으로 공급하는 송신부; 상기 전극 라인으로 공급된 전압 신호가 상기 전극 라인에서 감쇄된 후 그 감쇄된 전압 신호를 수신하는 수신부; 그리고, 상기 수신부에 수신된 전압 신호에 의해 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 중앙처리유닛을 포함하여 구성되거나, 또는 검사하고자 하는 전극 라인의 일단에 전압 신호를 인가하도록 프로브(probe)가 구비된 송신부; 상기 송신부로부터 전압 신호가 인가되었을 때, 상기 전극 라인의 단선 또는 인접된 전극 라인과의 단락을 검출하는 자계 센서로 이루어진 수신부를 포함하여 구성된다.,
상기 평판표시소자와 상기 가동부 상호간은 수십㎛ ∼수백㎛ 정도로 이격되는 것이 바람직하다.
상기 송신부와 수신부는 일정 간격 이격된 상태에서 일 직선으로 배열되고, 상기 송신부와 수신부의 배열 위치와 수직 방향으로 상기 카메라가 위치하는 것이 바람직하다.
상기 송수신 모듈이 상기 광학 모듈 하단에 장착된 경우, 상기 광학 모듈에 구비된 카메라가 상기 전극 라인을 광학적으로 스캔하도록 상기 카메라 촬상 경로에 대응하는 상기 송수신 모듈에 관통공이 형성된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 평판표시소자의 전극 라인에 대하여 수평 방향으로 이동하면서 전극 라인을 스캔하여 광학적으로 결함 여부를 검출하는 단계와, 상기 평판표시소자의 전극 라인에 대하여 수직 방향으로 이동하면서 전계 방식 또는 자계 방식에 따라 상기 전극 라인의 결함 여부를 검출하는 단계를 포함하고, 상기 각 결함 검출 단계는 어느 하나의 검출 단계를 먼저 수행한 후 다른 하나의 검출 단계를 수행하여 이중으로 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 것이다.
상기 광학 모듈에 구비된 카메라와, 상기 송수신 모듈에 구비된 송신부/수신부는 서로 수직되게 형성되어, 상기 어느 하나의 단계에 의한 결함 검출 완료 후 다른 단계에 의하여 결함을 검출하기 위해서 상기 광학 모듈을 90°회전한 후 실시하게 된다.
상기 각각의 단계에 따른 결함 검출시에는 상기 광학 모듈을 상하로 승강 구동하여 상기 전극 라인과의 간격을 조절한다.
상기 광학 모듈 및 송수신 모듈과 상기 평판표시소자와의 간격은 상이하게 제공되며, 상기 광학적 결함 검출시의 간격은 수십㎜이고, 상기 전계 방식 또는 자계 방식의 결함 검출시의 간격은 수십㎛ ∼수백㎛ 인 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은 평판표시소자의 전극 라인에 대한 결함 검출시에 광학적 검사에 의해 검출하지 못하는 결함을 검출할 수 있고, 또한 광학 검사 및 전/자계 검사 방식을 모두 이용하기 때문에 결함 검출 능력을 증대할 수 있게 된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치와 그를 이용한 검출방법에 대해서 자세하게 살펴보기로 한다.

도 4에는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치를 보인 사시도가 도시되어 있고, 도 5에는 도 4의 저면부가 도시되어 있다. 그리고, 도 6은 도 4의 결함검출용 장치의 블럭 구성도를 나타내고 있다.

이들 도면을 참조하면, 본 발명의 결함검출용 장치(100)는, 유리 표면의 상측 방향에 위치하며 전극 라인을 검사하는 방향에 따라 구동모듈(110)에 의해 회전되는 회전브라켓(104)에 의해 일 방향으로의 회전이 이루어지는 광학모듈(102)과, 상기 광학모듈(102)의 측면부에 전/자계방식을 이용한 송수신 컴팩트 센서(Compact Sensor)(이하, 송수신 모듈로 칭함)(120)로 구성된다.

상기 광학 모듈(102)의 하면에는 라인 형태의 CCD 카메라(108)가 구비되며, 그 광학모듈(102)에는 상기 CCD 카메라(108)에 의해 촬영된 데이터 및 상기 송수신 모듈(120)로부터 전달되는 신호에 따라 결함 여부를 판단하는 중앙처리유닛(109)이 제공된다. 상기 CCD 카메라(108)는 카메라 모듈(106)내에 장착된다.

상기 송수신 모듈(120)은 피검사 대상인 유리 표면 상면과 일정 간격의 부상 높이를 유지하면서 검사할 수 있도록 가동부(122) 및 고정부(124), 그 가동부(122)와 고정부(124) 사이에 장착되는 하나 이상의 스프링(126)으로 구성되는 공기부양 유닛(Air Floating unit) 구조로 구성된다. 상기 공기부양 유닛은 공기를 이용하여 상기 가동부(122)의 하단면과 유리 표면의 상단면이 상기 수십㎛∼수백㎛의 간격을 유지하면서 비 접촉식으로 이동할 수 있는 기술이다. 물론, 상기 간격은 피검사 대상인 평판표시소자의 종류, 크기, 및 정밀도 등에 따라 상이한 간격으로 제공될 수 있다. 다시 말해 가동부(122)에는 미도시하고 있는 하나 이상의 에어 분출 구멍이 배치되어 있고, 그 에어 분출 구멍을 통해 에어가 분출되면 에어(air)가 공급되는 동안에는 전극 라인과 일정 간격을 유지할 수 있는 것이다. 상기 에어는 유리 기판에 전형 영향을 미치지 않는 기체가 사용된다.

상기 가동부(122)에는 특정 전극 라인에 전류를 인가하는 송신부(122a)와 상기 인가된 전류에 대한 결과 데이터를 수신하는 수신부(122b)가 형성된다. 상기 송신부(122a)에는 교류신호가 공급되면 상기 수신부(122b)는 상기 교류신호가 전극 라인 패턴에 의해 감쇄된 신호만을 받게 된다. 또 상기 수신부(122b) 측에는 상기 감쇄된 이후의 아주 작은 신호를 증폭하는 증폭기(미도시) 등이 구성되고, 따라서 중앙처리유닛(109)는 상기 증폭기에 의해 증폭된 신호에 의해 전극 라인의 결함을 검출할 수 있다. 따라서 상기 송신부(122a) 및 수신부(122b)는 상기 광학 모듈(102)의 중앙처리유닛(109)과 물리적으로 연결되어 구성된다. 그리고, 상기 송신 부(122a)와 수신부(122b)는 일 직선상으로 상호 일정 거리 이격된 상태로서 상기 CCD 카메라(108)와 90°수직된 방향으로 배열 구성된다.

한편, 상기 광학 모듈(102) 및 송수신 모듈(122)의 크기 및 모양 등은 평판표시소자에 따라 다양한 형상으로 제공될 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 실시 예에 따른 전극 라인의 결함검출용 장치를 이용한 결함 검출과정을 상세하게 설명한다.

여기서 본 발명의 결함 검출과정을 설명함에 있어 상기 광학 모듈에 의한 검사 또는 송수신 모듈에 의한 검사 과정의 검사 순서가 서로 변경되어 진행되어도 상관없다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어 전술한 도 1을 참조하여 설명한다.

먼저, 전극 라인(3)의 결함(단선/단락) 검출을 확인하기 위해 광학 모듈(102)을 이용한다. 상기 광학 모듈(102)은 상기 CCD 카메라(108)를 이용하여 결함 여부의 위치를 검사하는 것으로서, 이를 위해 제 200 단계로부터 상기 CCD 카메라(108)를 전극 라인(3)과 수평되게 배열시킨다. 이때, 상기 CCD 카메라(108)와 전극 라인(3)과의 간격은 수십㎜ 정도를 유지하도록 한다. 만일 CCD 카메라(108)와 전극 라인(3)이 현재 수직 상태인 경우에는 상기 중앙처리유닛(109)에 의해 회전 브라켓(104)을 회전시켜 변경하고, 간격 조절 또한 도시되지 않는 프레임 구동에 의하여 실시한다.

이후, 제 202 단계에서 상기 광학 모듈(102)이 상기 전극 라인(3)에 대하여 수평방향(Y축 방향)으로 이동하면 동시에 CCD 카메라(108)는 상기 전극 라인(3)들을 스캔한다. 상기 스캔에 따라 상기 CCD 카메라(108)로부터 획득된 영상 정보를 기초로 상기 중앙처리유닛(109)는 단락/단선과 같은 결함들을 검출한다(제 204 단계).

이와 같이 상기 광학 모듈(102)을 이용하여 상기 전극 라인의 단락/단선을 검출할 수 있으며, 정확한 검증이 필요한 경우에는 상기 송수신 모듈(120)을 이용하여 다시 검증 과정을 수행한다(제 206 단계).

상기 송수신 모듈(120)은 전계 방식 또는 자계 방식을 통해 결함을 검출할 수 있다. 이하에서는 전계 방식과 자계 방식을 구분하여 설명하겠다.
첫 번째로, 전계 방식에 의해 전극라인의 결함을 검사하는 경우이다.
이를 위해, 제 208 단계와 같이 우선 상기 광학 모듈(102)을 회전시켜 송신 부(122a)와 수신부(122b)가 상기 전극 라인(3)과 수평하게 위치시키며, 또한 상기 프레임을 하강시켜 상기 송수신 모듈(120)의 하단면과 유리 기판과의 간격이 수십㎛ ∼수백㎛(바람직하게는 100㎛)되도록 한다.

이후, 제 210 단계에서 상기 광학 모듈(102)이 구동되면 일체 장착된 상기 송수신 모듈(120)이 함께 이동하게 되고, 상기 전극 라인(3) 위치에 배열되어 있기 때문에 상기 전극 라인(3)에 대하여 수직 방향으로 이동하면서 해당 전극 라인(3)을 스캔하게 된다.
이때 송신부(122a)에 교류신호로 약 10000V 정도의 고전압을 공급하면, 상기 100㎛ 정도 이격된 전극라인에서는 약 1~10V 정도의 감쇄된 신호로서 전달받게 된다. 상기 감쇄된 신호는 그대로 수신부(122b)에 전달되는 것이 아니고 상기 수신부(122b)가 전달받는 경우에는 다시 수mV 정도의 미소신호로 감쇄되어 전달받게 된다. 따라서 만일 전극라인이 단선 또는 단락인 경우에는 수신부(122b)가 최종적으로 전달받는 수 mV와는 다른 세기를 갖는 신호 또는 신호가 전달되지 않기 때문에 상기 중앙처리유닛(109)는 상기 전달된 신호 세기에 따라 전극라인의 단선 또는 단락여부를 검출한다.
두 번째로, 자계 방식에 의해 전극라인의 결함을 검사하는 경우이다.
이 경우는, 송신부(122a)에 프로브(probe)가 설치되고, 수신부(122b)는 자계센서가 제공된 상태를 갖는다. 이 상태에서 상기 송신부(122a)의 프로브에 신호를 인가하고 수신부(122b)의 자계 센서를 이용하여 결함을 검출한다. 즉 단락(short)이 되면 인접하고 하는 다른 전극 라인으로 전류가 도통이 되어 폐쇄루프(closed loop)가 형성이 되기 때문에 이를 검출할 수 있다.
이와 같은 과정에 따라 상기 중앙처리유닛(109)는 상기 송신부(122a)의 송신신호와 수신부(122b)에서 수신한 수신신호를 비교한다. 상기 결과에 따라서 송신신호와 수신신호의 전계 또는 자계 값이 정상적인 신호 범위 이내로 전달되면, 해당되는 전극 라인은 단선/단락의 결함이 없다라고 판단한다. 그러나, 상기 송신신호와 수신신호의 전계 또는 자계 값이 상이하거나 전달되지 않는 경우에는 해당 전극라인에 단선/단락의 결함이 있다라고 판단한다.

이와 같이 상기 실시 예에 설명되고 있는 본 발명은, 상기 광학 모듈과 송수신 모듈을 이용하여 전극 라인을 한번 더 검사하기 때문에, 결함 검출에 대한 검출 능력을 증가시킬 수 있게 된다.

한편, 도 8 및 도 9는 본 발명의 다른 실시 예를 도시하고 있다.

본 발명의 다른 실시 예를 설명함에 있어 상기한 일 실시 예와 동일한 부분에 대해서는 그 설명을 생략하며, 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 부여하여 설명한다.

도 8에는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치를 보인 사시도가 도시되어 있고, 도 9에는 도 8의 저면도가 도시되어 있다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 결함검출용 장치는, 광학 모듈(102)과, 전/자계 방식을 이용하는 송수신 모듈(120)이 상기 광학 모듈(102)의 하단면에 장착되어 구성된다.

상기 광학 모듈(102)의 하면에는 라인 형태의 CCD 카메라(108)가 구성되어 있기 때문에, 상기 송수신 모듈(120)의 중앙 부분에는 상기 CCD 카메라가 상기 전극 라인을 촬영할 수 있도록 소정 형상의 관통 공(130)이 형성된다.

그리고, 상기 송수신 모듈(120)은 가동부(122) 및 고정부(124)와, 상기 가동부(122)와 고정부(124) 사이에 장착되는 하나 이상의 스프링(126)을 포함하여 구성된다. 상기 구성에 따른 송수신 모듈(120)은 유리 기판과의 간격을 수십㎛∼수백㎛로 유지하면서 이동할 수 있도록 공기 부양 유닛(Air Floating unit) 구조로 구성되는 것이 바람직하다. 즉 가동부(122)에는 미도시하고 있는 하나 이상의 에어 분출 구멍이 배치되어 있고, 그 에어 분출 구멍을 통해 에어가 배출되면 에어가 공급되는 동안에는 전극 라인과 일정 간격을 유지할 수 있게 되는 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 전극 라인의 결함검출용 장치를 이용한 결함 검출과정은, 전술한 일 실시 예와 동일하게 적용된다.

이를 다시 한번 설명하면, 상기 광학 모듈(102) 또는 송수신 모듈(120)을 통해 전극 라인의 결함을 2중으로 검출할 수 있다.

이때, 상기 광학 모듈(102)의 CCD 카메라(108)와 상기 송수신 모듈(120)의 송수신부(122a)(122b)는 서로 수직 상태로 배열되어 있기 때문에, 어느 하나의 모듈에 의해 결함 검출이 이루어진 후 다른 모듈에 의해 결함을 검출하고자 하는 경우에는 상기 광학 모듈(102)을 90°회전시켜 상기 전극 라인(3)과 수평 되게 해야 한다.

또한 상기 광학 모듈(102)과 송수신 모듈(120)은 상기 전극 라인이 형성된 상기 유리 기판(1)과의 간격이 상이한 상태에서 결함 검출이 실시되는 바, 임의의 모듈을 통한 결함 검출시에 상기 광학 모듈(102)을 상하 방향으로 구동시켜 간격 조정을 수행해야 한다.

이와 같은 설정에 따라서 상기 광학 모듈(102) 또는 송수신 모듈(120)을 이용하여 결함 검출을 할 수 있으며, 첫 번째 결함 검출 후에 정확한 검증이 필요한 부분에 대하여 간단한 조작만으로 한번 더 결함 검출을 실시할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 평판표시소자용 전극 라인의 결함검출용 장치 및 방법에 따르면, 광학 검사에 따른 전극 라인의 결함 검출시에 검출되지 못한 결함을 검출할 수 있고, 또한 광학 검사와 전/자계 검사 방식을 간단한 조작만으로 용이하게 혼용하여 적용할 수 있어 전극 라인의 결함 검출력을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (12)

1. 평판표시소자의 상면에 배열된 전극 라인의 수평방향으로 이동하면서 상기 전극 라인을 스캔하여 광학적으로 상기 전극 라인의 결함을 검출하기 위한 카메라가 구비되는 광학 모듈과;

   상기 광학 모듈의 소정 부분에 고정부가 고정되며, 상기 고정부의 하부에 하나 이상의 스프링으로 연결되고, 적어도 하나의 에어 분출 구멍을 통해 배출되는 에어(air)에 의해 상기 평판표시소자의 상면과 일정한 간격을 유지하면서 이동하는 가동부가 구비되고, 상기 전극 라인의 수직 방향으로 이동하면서 전계 방식 또는 자계 방식에 의하여 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 송수신 모듈이 포함되며;

   상기 광학모듈에는 상기 카메라 또는 상기 송수신 모듈을 제어하여, 상기 카메라의 촬영 신호 또는 송수신 모듈의 감지 신호를 기초로 상기 전극 라인의 결함 여부를 판단하는 중앙처리유닛이 제공되어,

   상기 광학 모듈 또는 송수신 모듈 중 어느 하나의 모듈에 의해 상기 전극 라인의 결함을 1차 검출하고 다른 모듈에 의해 상기 전극 라인의 결함을 2차 검출하도록 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1항에 있어서,

   상기 가동부는,

   소정 레벨로 인가된 전압 신호를 상기 전극 라인으로 공급하는 송신부;

   상기 전극 라인으로 공급된 전압 신호가 상기 전극 라인에서 감쇄된 후 그 감쇄된 전압 신호를 수신하는 수신부를 포함하여 구성되되,

   상기 중앙처리유닛은 상기 수신부에 수신된 전압 신호에 의해 상기 전극 라인의 결함을 검출함을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 평판표시소자와 상기 가동부 상호간은 수십㎛ ∼수백㎛ 정도로 이격되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 가동부는,

   검사하고자 하는 전극 라인의 일단에 전압 신호를 인가하도록 프로브(probe)가 구비된 송신부;

   상기 송신부로부터 전압 신호가 인가되었을 때, 상기 전극 라인의 단선 또는 인접된 전극 라인과의 단락을 검출하는 자계 센서로 이루어진 수신부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
7. 제 4항에 있어서,

   상기 송신부와 수신부는 일정 간격 이격된 상태에서 일 직선으로 배열되고,

   상기 송신부와 수신부의 배열 위치와 수직 방향으로 상기 카메라가 위치하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 송수신 모듈이 상기 광학 모듈 하단에 장착된 경우, 상기 광학 모듈에 구비된 카메라가 상기 전극 라인을 광학적으로 스캔하도록 상기 카메라 촬상 경로에 대응하는 상기 송수신 모듈에 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치.
9. 제 1항 또는 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항으로 이루어진 평판표시소자 전극 라인의 결함검출용 장치를 이용하여 평판표시소자 전극 라인의 결함을 검출하는 방법에 있어서,

   상기 평판표시소자의 전극 라인에 대하여 수평 방향으로 이동하면서 상기 전극 라인을 스캔하여 광학적으로 결함 여부를 검출하는 단계와,

   상기 평판표시소자의 전극 라인에 대하여 수직 방향으로 이동하면서 전계 방식 또는 자계 방식에 따라 상기 전극 라인의 결함 여부를 검출하는 단계를 포함하고,

   상기 각 결함 검출 단계는 어느 하나의 검출 단계를 먼저 수행한 후 다른 하나의 검출 단계를 수행하여 이중으로 상기 전극 라인의 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출 방법.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 광학 모듈에 구비된 카메라와, 상기 송수신 모듈에 구비된 송신부/수신부는 서로 수직되게 형성되어, 상기 어느 하나의 단계에 의한 결함 검출 완료 후 다른 단계에 의하여 결함을 검출하기 위해서 상기 광학 모듈을 90°회전한 후 실시하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출 방법.
11. 제 9항에 있어서,

    상기 각각의 단계에 따른 결함 검출시에는 상기 광학 모듈을 상하로 승강 구동하여 상기 전극 라인과의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출 방법.
12. 제 11항에 있어서,

    상기 광학 모듈 및 송수신 모듈과 상기 평판표시소자와의 간격은 상이하게 제공되며,

    상기 광학적 결함 검출시의 간격은 수십㎜이고, 상기 전계 방식 또는 자계 방식의 결함 검출시의 간격은 수십㎛ ∼수백㎛ 인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 전극 라인의 결함검출 방법.

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