KR102112555B1 - 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치 - Google Patents

이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 제공한다. 상기 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치는 내부 공간이 형성되는 본체부; 상기 본체부의상단부에 배치되며, 사각 판상의 디스플레이 패널이 안착되는 안착부; 상기 본체부에 설치되며, 안착된 상기 디스플레이 패널의 사이즈를 확인하는 사이즈 확인부; 상기 본체부에 설치되되, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대응되며, 상기 안착부의 하부에서 승강 가능한 핀 접촉부; 및, 상기 본체부에 설치되며, 상기 사이즈가 확인된 상기 디스플레이 패널의 4면에 형성되는 검사 영역들에 상기 핀 접촉부의 프로브 핀들이 접촉되도록 상기 핀 접촉부를 이동을 제어하는 제어부;를 포함한다. 이를 통해 본 발명은 대면적 디스플레이 증착 공정에서 종류 및 크기가 다른 다수의 디스플레이 패널을 자동으로 점등 후 검사할 수 있다.

Description

이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치{TESTING DEVICE FOR DISPLAY PANEL}
본 발명은 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적 디스플레이 증착 공정에서 종류 및 크기가 다른 다수의 디스플레이 패널을 자동으로 점등 후 검사할 수 있는 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치에 관한 것이다.
현재의 일반적인 OLED Panel 점등 검사 장비는 OLED Panel 한 장에 한 종류의Cell을 다수로 배열하여 한 종류의 Probe Card(Cell을 점등하기 위한 접촉 핀 모듈)로 접촉 후 점등을 한 후 광학 검사(에이징(Aging), 화질, 색 특성, 색 이상 등의 광학 검사)하는 기술이다.
종래의 기술에서는 다른 종류의 OLED Cell을 생산을 할 경우 특정 제품에 한정된 Probe Card로 교체를 해야 하며 또한 검사가 가능하도록 시스템의 설정 변경이 필요하다.
그리고 가장 큰 문제는 생산하고자 하는 OLED Cell이 대형으로 변경이 되면서 Probe Card를 OLED Cell 외각 1면 이상을 접촉을 해야 점등이 가능한데 종래의 기술은 1면만 접촉을 할 수 있는 구조를 이룰 뿐이다.
이에 따라 종래에는 대면적 디스플레이 증착 공정에서 종류 및 크기가 다른 다수의 디스플레이 패널에 대해 점등 후 검사를 진행하는 경우, 각각의 사이즈에 해당되는 검사 장치에 투입하여 검사를 진행하여야 하는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 다양한 사이즈를 갖는 대면적 OLED 디스플레이 패널들에 대한 전기적 특성 검사를 진행할 수 있는 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 다른 목적은 대면적 디스플레이 패널의 4면에 프로브 핀들을 전기적으로 접촉시켜 4면 동시 또는 어느 하나의 면에 대하여 선택적으로 검사를 진행하도록 할 수 있는 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상기의 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 제공한다.
상기 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치는 내부 공간이 형성되는 본체부; 상기 본체부의 상단부에 배치되며, 사각 판상의 디스플레이 패널이 안착되는안착부; 상기 본체부에 설치되며, 안착된 상기 디스플레이 패널의 사이즈를 확인하는 사이즈 확인부; 상기 본체부에 설치되되, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대응되며, 상기 안착부의 하부에서 승강 가능한 핀 접촉부; 및, 상기 본체부에 설치되며, 상기 사이즈가 확인된 상기 디스플레이 패널의 4면에 형성되는 검사 영역들에 상기 핀 접촉부의 프로브 핀들이 접촉되도록 상기 핀 접촉부를 이동을 제어하는 제어부;를 포함한다.
여기서 상기 안착부는,
안착부 몸체와,
상기 안착부 몸체의 상부에 배치되며, 상기 디스플레이 패널이 진공을 통해 안착되는 진공척과,
상기 안착부 몸체의 상단에 설치되며, XY축을 따라 상기 진공척의 XY위치를 가변시키는 XY모듈을 구비하는 것이 바람직하다. 또한 상기 XY모듈은 진공척을 θ축을 중심으로 회전시킬 수도 있다.
그리고 상기 안착부 몸체는 회전축을 구비하고,
상기 회전축의 양단은 상기 본체부의 상단부에 회전 지지되고,
상기 회전축은, 회전기의 축과 연결되고,
상기 제어부는,
상기 디스플레이 패널이 상기 진공척 상에 안착되면, 상기 회전기를 구동시켜 상기 진공척을 180도 회전시켜 상기 진공척에 안착된 상기 디스플레이 패널을 반전시키도록 제어하는 것이 바람직하다.
또한 상기 사이즈 확인부는,
상기 안착부의 하부에 배치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널에 대한 영상을 촬상하고, 촬상된 상기 영상을 상기 제어부로 전송하는 비전 센서를 포함하고,
상기 제어부는,
전송된 상기 영상을 영상 처리하여, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보를 산출하고,
상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보에 해당되는 위치로 상기 핀 접촉부를 이동시키도록 제어하는 것이 바람직하다.
또한 상기 핀 접촉부는,
서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1핀 접촉부와, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2핀 접촉부를 구비하되,
상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부와 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부는 사각 형상의 테두리를 형성하도록 배치되며,
상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보에 해당되는 프로브 핀을 갖는 프로브 블록만을 승강시키는 것이 바람직하다.
또한 상기 본체부의 상단부에는,
X축을 따라 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1이동 레일과, Y축을 따라 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2이동 레일이 설치되되,
상기 한 쌍의 제 1이동 레일은, 상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부의 이동을 안내하고,
상기 한 쌍의 제 2이동 레일은, 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부의 이동을 안내하되,
상기 한 쌍의 제 1이동 레일과 상기 한 쌍의 제 2이동 레일은 서로 간섭 되지 않도록 단차를 이루는 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부 각각은,
양단이 상기 한 쌍의 제 1이동 레일에 이동 가능하게 배치되는 제 1지지 블록과,
상기 한 쌍의 제 1이동 레일에 연결되며, 상기 제 1지지 블록을 이동시키는 제 1리니어 모터와,
상기 제 1지지 블록 상에 설치되는 제 1핀 접촉부 몸체와,
상기 제 1핀 접촉부 몸체에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 1프로브 핀들이 설치되는 다수의 제 1프로브 블록과,
상기 제 1프로브 블록에 설치되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 다수의 제 1프로브 블록 각각을 승강시키는 제 1승강기를 구비하고,
상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부 각각은,
양단이 상기 한 쌍의 제 2이동 레일에 이동 가능하게 배치되는 제 2지지 블록과,
상기 한 쌍의 제 2이동 레일에 연결되며, 상기 제 2지지 블록을 이동시키는 제 2리니어 모터와,
상기 제 2지지 블록 상에 설치되는 제 2핀 접촉부 몸체와,
상기 제 2핀 접촉부 몸체에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 2프로브 핀들이 설치되는 다수의 제 2프로브 블록과,
상기 제 2프로브 블록에 설치되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 다수의 제 2프로브 블록 각각을 승강시키는 제 2승강기를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 다수의 제 1프로브 블록 각각은,
상기 제 1핀 접촉부 블록의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 1승강기의 구동에 의해 승강되는 제 1블록 몸체와,
상기 제 1블록 몸체의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 1프로브 핀들을 구비하고,
상기 다수의 제 2프로브 블록 각각은,
상기 제 2핀 접촉부 블록의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 2승강기의 구동에 의해 승강되는 제 2블록 몸체와,
상기 제 2블록 몸체의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 2프로브 핀들을 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 본체부에는,
상기 안착부의 하부에 배치되는 광학 검사부가 배치되되,
상기 광학 검사부는,
Y축 이동 경로를 형성하는 한 쌍의 제 1레일 블록과,
양단이 상기 한 쌍의 제 1레일 블록에 연결되며, Y축을 따라 이동되며, 상단에 X축 이동 경로가 형성되는 한 쌍의 제 2레일 블록과,
상기 X축 이동 경로를 따라 이동되도록 각각의 상기 한 쌍의 제 2레일 블록과 연결되고, Z축 이동 경로가 형성되는 두 쌍의 제 3레일 블록과,
상기 두 쌍의 제 3레일 블록의 Z축 이동 경로를 따라 승강되도록 연결되는 승강 블록들과,
상기 승강 블록들에 설치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널의 검사 영역에 대한 검사 영상을 취득하고, 상기 검사 영상을 상기 제어부로 전송하는 광학 검사기들과,
상기 한 쌍의 제 2레일 블록 및 상기 두 쌍의 제 3레일 블록과, 상기 승강 블록들을 이동시키는 이동 장치를 구비하되,
상기 제어부는,
반전된 상기 디스플레이 패널의 사각 모서리 하부에 해당되는 위치 좌표에 이르도록 상기 이동 장치의 구동을 제어하여, 상기 광학 검사기들을 이동 배치하는 것이 바람직하다.
또한 상기 광학 검사기들은,
상기 두 쌍의 제 3레일 블록 각각에 배치되어 4개로 구성되며, 4개로 구성되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치는 소정의 평면 사이즈를 갖는 디스플레이 패널이 안착되면, 상기 디스플레이 패널의 4면에 해당되는 프로브 핀들을 선정하고, 선정된 상기 프로브 핀들만을 이동시켜 상기 4면에 접촉시킨다.
상기의 해결수단에 의해 본 발명은 다양한 사이즈를 갖는 대면적 OLED 디스플레이 패널들에 대한 전기적 특성 검사 및 광학 검사를 진행할 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 대면적 디스플레이 패널의 4면에 프로브 핀들을 전기적으로 접촉시켜 4면 동시 또는 어느 하나의 면에 대하여 선택적으로 검사를 진행하도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 프로프 핀들을 Cell 설계에 따라 디스플레이 패널의 1면, 2면, 3면 4면에 선택적으로 접촉하여 검사가 이루어지도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치의 전체 구성을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 안착부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 안착부 몸체를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 리프트 핀 모듈을 보여주는 사시도이다.
도 5a는 본 발명에 따른 정렬 스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 5b는 에어 분출홀들이 형성된 안착판을 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 핀 접촉부의 배치 상태를 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 제 1,2프로브 블록의 구성을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 광학 검사부의 배치 상태를 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 안착부 상에 소정의 사이즈를 갖는 디스플레이 패널이 안착된 상태를 보여주는 사시도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 안착부가 반전되는 상태를 보여주는 사시도들이다.
도 12는 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부의 대기 상태를 보여주는 사시도이다.
도 13은 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부가 이동되는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 제 1,2핀 접촉부의 제 1,2프로브 블록들이 상승되는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 15 및 도 16은 본 발명에 따른 광학 검사부의 작동을 보여주는 사시도들이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
이하에서 기재의 "상부 (또는 하부)" 또는 기재의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 구비 또는 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 기재의 상면 (또는 하면)에 접하여 구비 또는 배치되는 것을 의미한다.
또한, 상기 기재와 기재 상에 (또는 하에) 구비 또는 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성을 포함하지 않는 것으로 한정하는 것은 아니다.
이하, 첨부되는 도면들을 참조하여, 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 설명한다. 본 발명에 따른 장치의 구성을 설명하고, 이를 참조로 하여 검사 공정을 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치의 전체 구성을 보여주는 사시도이다.
도 1을 참조 하면, 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치는 크게 본체부(100)와, 안착부(200)와, 사이즈 확인부와, 핀 접촉부(400)와, 제어부(500)를 포함한다.
본체부(100)
본 발명에 따른 본체부(100)는 베이스(110)를 갖는다. 상기 베이스(110)는 지면이 지지된다.
상기 베이스(110)의 상단에는 한 쌍의 메인 프레임(120)이 설치된다. 상기 한 쌍의 메인 프레임(120) 간에는 한 쌍의 서브 프레임(130)이 설치된다.
이에 상기 한 쌍의 메인 프레임(120)과 한 쌍의 서브 프레임(130)에 의해 전체적으로 사각 형상의 틀을 형성한다.
따라서 본체부(100)의 내부에는 공간이 형성될 수 있다.
안착부(200)
도 2는 본 발명에 따른 안착부를 보여주는 사시도이다. 도 3은 본 발명에 따른 안착부 몸체를 보여주는 사시도이다.도 4는 본 발명에 따른 리프트 핀 모듈을 보여주는 사시도이다.도 5a는 본 발명에 따른 정렬 스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 2 내지 도 5a를 참조 하면, 본 발명에 따른 안착부(200)에는 상기 본체부(100)의 상단부에 배치되며, 사각 판상의 디스플레이 패널(10)이 안착된다.
본 발명에 따른 안착부(200)는 안착부 몸체(210)와, 상기 안착부 몸체(210)의 상부에 배치되며, 상기 디스플레이 패널(10)이 진공을 통해 안착되는진공척(220)과, 상기 안착부 몸체(210)의 상단에 설치되며, XY축을 따라 상기 진공척(220)의 XY위치를 가변시키는 XY모듈(230)을 구비한다.
또한 상기 XY모듈(230)은 진공척(220)을 θ을 회전중심으로 하여 회전시켜, 진공척 상에 안착된 디스플레이 패널(10)을 Vision Align 할 수 있다.
상기 안착부 몸체(210)는 회전축(211)을 구비한다. 상기 회전축(211)의 양단은 상기 본체부(100)의 상단부에 회전 지지된다. 상기 회전축(211)은, 회전기(212)의 축과 연결된다.
상기 안착부 몸체(210)의 상단에는 진공척(220)이 배치된다. 상기 진공척(220)은 상기 정렬 스테이지(221)를 포함한다. 상기 정렬 스테이지(221)는 다수의 XYΘ모듈(230)의 구동에 의해 XY축을 따라 일정의 위치로 이동 배치 가능하다. 상기 XY모듈(230)은 서보 모터를 사용할 수 있다. 제어부(500)는 XY모듈(230)을 사용하여 안착판(222)을 설정된 위치에 이르도록 정렬한다.
상기 정렬 스테이지(221)의 상단에는 안착판(222)이 배치된다. 상기 안착판(222)에는 도 4에 도시된 리프트 핀 모듈(240)이 배치된다. 상기 리프트 핀 모듈(240)은 상방으로 연장되는 리프트 핀들(241)을 갖는다. 상기 리프트 핀들(241)은 안착판(222)을 관통한다.
상기 리프트 핀 모듈(240)은 별도의 승강 장치를 통해 리프트 핀들(241)을 안착판(222)의 상방으로 돌출시킨다. 상기 승강 장치는 제어부(500)의 제어에 의해 구동되는 실린더를 사용할 수 있다.
상기 안착판(222)에는 진공홀이 형성되고, 상기 진공홀은 진공 제공기(미도시)와 튜브를 통해 연결되어 진공을 제공받을 수 있다. 상기 진공 제공기는 제어부(500)의 제어에 의해 구동된다.
도 5b는 에어 분출홀들이 형성된 안착판을 보여주는 사시도이다.
도 5b를 참조 하면, 안착판(222)에는 디스플레이 패널의 정렬을 위한 에어 분출홀들(222a)이 형성된다. 에어 분출홀들(222a)은 에어 제공기와 튜브를 통해 연결된다.
에어 분출홀들(222a)을 통해 분사되는 에어에 의해 안착판(222) 상에 안착되는 디스플레이 패널은 안착판(222) 상에서 부상된다.
그리고 안착판(222) 테두리를 따라 배치되는 8개의 정렬 모듈(290)의 구동에 의해 디스플레이 패널은 설정된 자세를 이루도록 정렬될 수 있다. 여기서 상기 정렬 모듈들(290)은 안착판(222)의 4면 각각에서 2군데에 배치된다. 정렬 모듈(290) 각각의 끝단에는 롤러(291)가 설치되고, 신축되는 연결바(292)를 갖는다. 상기 연결바(292)는 리니어 모터(293)의 구동에 의해 전후진될 수 있다. 각각의 정렬 모듈(290) 각각의 롤러(291)는 실질적으로 부상된 디스플레이 패널의 해당 위치에서의 테두리 면에 접촉된다.
디스플레이 패널의 4면에서 8개의 정렬 모듈(290)의 구동을 통해 정렬이 이루어진 이후, 에어 분출홀(222a)을 통한 에어 분사는 중지될 수 있다. 따라서 디스플레에 패널은 정렬된 상태로 안착판(222) 상에 안착되고, 진공을 통해 정렬된 디스플레이 패널은 안착판(222) 상에서 고정한다.
본 발명에 따른 제어부(500)는 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 진공척(220) 상에 안착되면, 상기 회전기(212)를 구동시켜 상기 진공척(220)을 180도 회전시켜 상기 진공척(220)에 진공 흡착되어 안착된 상기 디스플레이 패널(10)을 반전시키도록 제어한다.
사이즈 확인부
본 발명에 따른 사이즈 확인부(미도시)는 본체부(100)에 설치되며, 안착된 상기 디스플레이 패널(10)의 사이즈를 확인한다.
본 발명에 따른 사이즈 확인부는 상기 안착부(200)의 하부에 배치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널(10)에 대한 영상을 촬상하고, 촬상된 상기 영상을 상기 제어부로 전송하는 비전 센서들을 포함한다.
상기 제어부(500)는 전송된 상기 영상을 영상 처리하여, 안착부(200)에 안착되어 반전된 디스플레이 패널(10)의 4면에 대한 위치 정보를 산출한다.
상기 제어부(500)는 상기 디스플레이 패널(10)의 4면에 대한 위치 정보에 해당되는 위치로 본 발명에 따른 핀 접촉부(400)를 이동시키도록 제어한다.
핀 접촉부
본 발명에 따른 핀 접촉부는 디스플레에 패널의 각 면에 형성되는 Cell에 전류를 인가를 위한 접촉 블록이다.
도 6은 본 발명에 따른 핀 접촉부의 배치 상태를 보여주는 사시도이다.
도 6을 참조 하면, 본 발명에 따른 핀 접촉부(400)는 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410)와, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2핀 접촉부(420)를 갖는다.
상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410)와 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부(420)는 사각 형상의 테두리를 형성하도록 배치된다.
여기서 상기 본체부(100)의 상단부에는X축을 따르고 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1이동 레일(140)과, Y축을 따르고 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2이동 레일(150)이 설치된다.
상기 한 쌍의 제 1이동 레일(140)은 상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410)의 이동을 안내한다.
상기 한 쌍의 제 2이동 레일(150)은 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부(420)의 이동을 안내한다.
상기 한 쌍의 제 1이동 레일(140)과 상기 한 쌍의 제 2이동 레일(150)은 서로 간섭되지 않도록 상하를 따라 단차를 이루는 위치에 배치된다.
상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410) 각각은, 양단이 상기 한 쌍의 제 1이동 레일(140)에 이동 가능하게 배치되는 제 1지지 블록(411)과,상기 한 쌍의 제 1이동 레일(140)에 연결되며, 상기 제 1지지 블록(411)을 이동시키는 제 1리니어 모터(미도시)와,상기 제 1지지 블록(411) 상에 설치되는 제 1핀 접촉부 몸체(412)와,상기 제 1핀 접촉부 몸체(412)에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 1프로브 핀들(413a)이 설치되는 다수의 제 1프로브 블록(413)과,상기 제 1프로브 블록(413)에 설치되며, 상기 제어부(500)의 제어에 따라 상기 다수의 제 1프로브 블록(413) 각각을 승강시키는 제 1승강기(미도시)를 구비한다.
상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부(420) 각각은 양단이 상기 한 쌍의 제 2이동 레일(150)에 이동 가능하게 배치되는 제 2지지 블록(421)과, 상기 한 쌍의 제 2이동 레일(150)에 연결되며, 상기 제 2지지 블록(421)을 이동시키는 제 2리니어 모터(미도시)와,상기 제 2지지 블록(421) 상에 설치되는 제 2핀 접촉부 몸체(422)와,상기 제 2핀 접촉부 몸체(422)에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 2프로브 핀들(423a)이 설치되는 다수의 제 2프로브 블록(423)과,상기 제 2프로브 블록(423)에 설치되며, 상기 제어부(500)의 제어에 따라 상기 다수의 제 2프로브 블록(423) 각각을 승강시키는 제 2승강기(미도시)를 구비한다.
도 7은 본 발명에 따른 제 1,2프로브 블록의 구성을 보여주는 사시도이다.
도 7을 참조 하면, 다수의 제 1프로브 블록(413) 각각은 상기 제 1프로브 블록(413)의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 1승강기의 구동에 의해 승강되는 제 1블록 몸체(413b)와, 상기 제 1블록 몸체(413b)의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 1프로브 핀들(413a)을 구비한다.
상기 다수의 제 2프로브 블록(423) 각각은 상기 제 2프로브 블록(423)의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 2승강기의 구동에 의해 승강되는 제 2블록 몸체(423b)와, 상기 제 2블록 몸체(423b)의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 2프로브 핀들(423a)을 구비한다.
광학 검사부(600)
도 8은 본 발명에 따른 광학 검사부의배치 상태를 보여주는 사시도이다.
도 8을 참조 하면 본 발명에 따른 광학 검사부(600)는 안착부(200)의 하부에 배치된다.
상기 광학 검사부(600)는, Y축 이동 경로를 형성하는 한 쌍의 제 1레일 블록(610)과, 양단이 상기 한 쌍의 제 1레일 블록(610)에 연결되며, Y축을 따라 이동되며, 상단에 X축 이동 경로가 형성되는 한 쌍의 제 2레일 블록(620)과, 상기 X축 이동 경로를 따라 이동되도록 각각의 상기 한 쌍의 제 2레일 블록(620)과 연결되고, Z축 이동 경로가 형성되는 두 쌍의 제 3레일 블록(630)과, 상기 두 쌍의 제 3레일 블록(630)의 Z축 이동 경로를 따라 승강되도록 연결되는 승강 블록들(640)과, 상기 승강 블록들(640)에 설치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널(10)의 검사 영역에 대한 검사 영상을 취득하고, 상기 검사 영상을 상기 제어부(500)로 전송하는 광학 검사기들(650)과, 상기 한 쌍의 제 2레일 블록(620) 및 상기 두 쌍의 제 3레일 블록(630)과, 상기 승강 블록들(640)을 이동시키는 이동 장치(미도시)로 구성된다.
상기 제어부(500)는 반전된 상기 디스플레이 패널(10)의 사각 모서리 하부에 해당되는 위치 좌표에 이르도록 상기 이동 장치의 구동을 제어하여, 상기 광학 검사기들(650)을 이동 배치한다.
상기 광학 검사기들(650)은 상기 두 쌍의 제 3레일 블록(630) 각각에 배치되어 4개로 구성된다.
다음은 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치를 사용한 검사 과정을 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 안착부 상에 소정의 사이즈를 갖는 디스플레이 패널이 안착된 상태를 보여주는 사시도이다.
도 9를 참조 하면, 본 발명에 따른 장치로 서로 다른 사이즈를 갖는 대면적 OLED 디스플레이 패널(10)이 순차적으로 공급될 수 있다.
이에 일정의 사이즈를 갖는 OLED 디스플레이 패널(10)은 안착부(200)에 안착된다.
여기서 해당 디스플레이 패널(10)은 상승된 리프트 핀들의 상단에 안착된다. 그리고 리프트 핀은 다시 하강되어 디스플레이 패널(10)을 안착판(222)에 안착시킨다. 이때 리프트 핀들은 외부에서 제공되는 진공을 통해 디스플레이 패널(10)을 진공을 통해 흡착한다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 안착부가 반전되는 상태를 보여주는 사시도들이다.
도 10 및 도 11을 참조 하면, 회전기(222)는 제어부(500)의 제어에 따라 회전축을 회전시키되, 디스플레이 패널(10)이 180도 반전되도록 회전시킨다.
따라서 디스플레이 패널(10)은 안착부(200)에 진공을 통해 흡착된 상태로 180도 반전된 상태를 이룬다.
도 12는 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부의 대기 상태를 보여주는 사시도이다.
이때, 도 12에 도시되는 바와 같이, 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410), 제 2핀 접촉부(420)는 디스플레이 패널(10)의 외측 테두리로부터 일정 거리 이격된 위치에서 대기되는 상태를 이룬다.
여기서 본 발명에 따른 사이즈 확인부는 반전된 디스플레이 패널(10)의 4면에 대한 위치 정보를 비전 센서들을 통해 측정하고, 이를 제어부(500)로 전송한다.
도 13은 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부가 이동되는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 13을 참조 하면, 제어부(500)는 제 1리니어 모터를 사용하여 한 쌍의 제 1핀 접촉부 몸체(412)를 한 쌍의 제 1이동 레일(140)을 따라 이동시킨다.
상기 제어부(500)는 사이즈 확인부로부터 한 쌍의 제 1면에 대한 위치 정보를 전달 받고, 상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부 몸체(412)를 상기 한 쌍의 제 1면 하부에 위치되도록 이동 위치시키는 것이 좋다.
그리고 제어부(500)는 제 2리니어 모터를 사용하여 한 쌍의 제 2핀 접촉부 몸체(422)를 한 쌍의 제 2이동 레일(150)을 따라 이동시킨다.
상기 제어부(500)는 사이즈 확인부로부터 한 쌍의 제 2면에 대한 위치 정보를 전달 받고, 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부 몸체(422)를 상기 한 쌍의 제 2면 하부에 위치되도록 이동 위치시키는 것이 좋다.
따라서 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부 몸체(412, 422)는 사각판상을 이루며 일정의 사이즈를 갖는 디스플레이 패널(10)의 4면에 대응되는 위치의 하부에 이동 위치될 수 있다.
도 14는 본 발명에 따른 제 1,2핀 접촉부의 제 1,2프로브 블록들이 상승되는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 14를 참조 하면, 한 쌍의 제 1핀 접촉부(410)에 구비되는 제 1프로브 블록들(413)은 제 1승강기의 구동에 의해 동시에 상승된다. 이에 따라 제 1검사블록들(413)에 구비되는 제 1프로브 핀들(413a)은 디스플레이 패널(10)의 한 쌍의 제 1면에 형성된 검사 영역에 접촉될 수 있다.
또한 한 쌍의 제 2핀 접촉부(420)에 구비되는 제 2프로브 블록들(423)은 제 2승강기의 구동에 의해 상기 디스플레이 패널(10)의 제 2면에 포함되는 제 2검사블록들(423) 만이 상승된다.
따라서 검사 대상인 반전된 디스플레이 패널(10)의 4면에 형성된 검사 영역에는 본 발명에 따른 제 1,2프로브 핀들(413a, 423a)이 상승되어 접촉될 수 있다.
이어 상기 제 1,2프로브 핀들을 통해 전류 및 신호를 인가한다.
도 15 및 도 16은 본 발명에 따른 광학 검사부의 작동을 보여주는 사시도들이다.
도 15을 참조 하면, 제어부(500)의 제어에 따라 한 쌍의 제 2레일 블록(620)은 한 쌍의 제 1레일 블록(610)을 따라 디스플레이 패널(10)의 Y축 폭에 대응하는 위치로 이동된다.
이어, 한 쌍의 제 2레일 블록(620)에 배치되는 두 개의 제 3레일 블록(630)은 디스플레이 패널(10)의 X축 폭에 대응하는 위치로 이동된다.
이에 따라 4개의 제 3레일 블록(630)은 각각의 승강 블록(640)이 디스플레이 패널(10)의 모서리 하부에 위치될 수 있다.
이어 도 16에 보여지는 바와 같이 제어부(500)는 승강 블록들(640)을 일정 위치로 상승시킨다. 따라서 승강 블록들(640)에 설치되는 광학 검사기들(650)은 반전된 디스플레이 패널(10)의 모서리 하부에 위치될 수 있다.
이에 본 발명에 따른 한 쌍의 제 1,2핀 접촉부(410, 420)는 증착 정보를 받은 위치로 이동 후 디스플레이 패널(10)의 4면에 접촉되고, 특정의 전압 및 신호를 인가하여 Red, Green, Blue, White를 점등 후 광학 검사부(600)를사용하여 화질, 색 특성, 색 이상, 마스크의 틀어짐, 박막의 두께 등을 검사한이후 검사 이미지를 제어부(500)에 포함되는 메모리에 저장하도록 할 수 있다.
상기와 같은 검사가 완료된 이후, 핀 접촉부(400) 및 광학 검사부(600)는 원위치로 복귀되고, 안착부(200)는 재반전되며, 이에 따라 디스플레이 패널(10)은 검사전 위치로 복귀되며, 별도의 이탈 수단(미도시)을 통해 안착부(200)에서 이탈될 수 있다.
상기와 같은 구성 및 작용에 따라 본 발명에 따른 실시예는대형 OLED 디스플레이 패널에 종류 및 크기가 다른 다수의 Cell이 구성되더라도, 점등 후 광학 검사를 가능하게 할 수 있으며, 별도의 핀 접촉부 즉 Probe Card Module을 교체 또는 시스템 재설정이 요구되지 않기 때문에, OLED Panel 생산 시 생산성을 효율적으로 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명에 따른 실시예는 다양한 사이즈를 갖는 대면적 OLED 디스플레이 패널들에 대한 전기적 특성 검사 및 광학 검사를 진행할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 실시예는 대면적 디스플레이 패널의 4면에 프로브 핀들을 전기적으로 접촉시켜 4면 동시 또는 어느 하나의 면에 대하여 선택적으로 검사를 진행하도록 할 수 있다. 즉 또한 본 발명은 프로프 핀들을 Cell 설계에 따라 디스플레이 패널의 1면, 2면, 3면 4면에 선택적으로 접촉하여 검사가 이루어지도록 할 수 있다.
이상, 본 발명에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 디스플레이 패널
100 :본체부
200 :안착부
400 :핀 접촉부
500 :제어부
600 : 광학 검사부

Claims (11)

  1. 내부 공간이 형성되는 본체부;
    상기 본체부의 상단부에 배치되며, 사각 판상의 디스플레이 패널이 안착되는안착부;
    상기 본체부에 설치되며, 안착된 상기 디스플레이 패널의 사이즈를 확인하는 사이즈 확인부;
    상기 본체부에 설치되되, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대응되며, 상기 안착부의 하부에서 승강 가능한 핀 접촉부; 및,
    상기 본체부에 설치되며, 상기 사이즈가 확인된 상기 디스플레이 패널의 4면에 형성되는 검사 영역들에 상기 핀 접촉부의 프로브 핀들이 접촉되도록 상기 핀 접촉부를 이동을 제어하는 제어부;를 포함하되,
    상기 안착부는, 안착부 몸체와, 상기 안착부 몸체의 상부에 배치되며, 상기 디스플레이 패널이 진공을 통해 안착되는 진공척과, 상기 안착부 몸체의 상단에 설치되며, XY축을 따라 상기 진공척의 X,Y,θ위치를 가변시키는 XY모듈을 구비하고,
    상기 안착부 몸체는 회전축을 구비하고,
    상기 회전축의 양단은 상기 본체부의 상단부에 회전 지지되고,
    상기 회전축은, 회전기의 축과 연결되고,
    상기 제어부는, 상기 디스플레이 패널이 상기 진공척 상에 안착되면, 상기 회전기를 구동시켜 상기 진공척을 180도 회전시켜 상기 진공척에 안착된 상기 디스플레이 패널을 반전시키도록 제어하고,
    상기 사이즈 확인부는, 상기 안착부의 하부에 배치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널에 대한 영상을 촬상하고, 촬상된 상기 영상을 상기 제어부로 전송하는 비전 센서를 포함하고,
    상기 제어부는, 전송된 상기 영상을 영상 처리하여, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보를 산출하고, 상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보에 해당되는 위치로 상기 핀 접촉부를 이동시키도록 제어하고,
    상기 핀 접촉부는,
    서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1핀 접촉부와, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2핀 접촉부를 구비하되,
    상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부와 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부는 사각 형상의 테두리를 형성하도록 배치되며,
    상기 디스플레이 패널의 4면에 대한 위치 정보에 해당되는 프로브 핀을 갖는 프로브 블록만을 승강시키는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 본체부의 상단부에는,
    X축을 따라 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 1이동 레일과, Y축을 따라 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제 2이동 레일이 설치되되,
    상기 한 쌍의 제 1이동 레일은, 상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부의 이동을 안내하고,
    상기 한 쌍의 제 2이동 레일은, 상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부의 이동을 안내하되,
    상기 한 쌍의 제 1이동 레일과 상기 한 쌍의 제 2이동 레일은 서로 간섭되지않도록 단차를 이루는 위치에 배치되는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 1핀 접촉부 각각은,
    양단이 상기 한 쌍의 제 1이동 레일에 이동 가능하게 배치되는 제 1지지블록과,
    상기 한 쌍의 제 1이동 레일에 연결되며, 상기 제 1지지 블록을 이동시키는 제 1리니어 모터와,
    상기 제 1지지 블록 상에 설치되는 제 1핀 접촉부 몸체와,
    상기 제 1핀 접촉부 몸체에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 1프로브 핀들이 설치되는 다수의 제 1프로브 블록과,
    상기 제 1프로브 블록에 설치되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 다수의 제 1프로브 블록 각각을 승강시키는 제 1승강기를 구비하고,
    상기 한 쌍의 제 2핀 접촉부 각각은,
    양단이 상기 한 쌍의 제 2이동 레일에 이동 가능하게 배치되는 제 2지지 블록과,
    상기 한 쌍의 제 2이동 레일에 연결되며, 상기 제 2지지 블록을 이동시키는 제 2리니어 모터와,
    상기 제 2지지 블록 상에 설치되는 제 2핀 접촉부 몸체와,
    상기 제 2핀 접촉부 몸체에 길이 방향을 따라 간격을 이루어 배치되며, 제 2프로브 핀들이 설치되는 다수의 제 2프로브 블록과,
    상기 제 2프로브 블록에 설치되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 다수의 제 2프로브 블록 각각을 승강시키는 제 2승강기를 구비하는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 다수의 제 1프로브 블록 각각은,
    상기 제 1핀 접촉부 블록의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 1승강기의 구동에 의해 승강되는 제 1블록 몸체와,
    상기 제 1블록 몸체의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 1프로브 핀들을 구비하고,
    상기 다수의 제 2프로브 블록 각각은,
    상기 제 2핀 접촉부 블록의 설정된 위치에서 승강 가능하게 배치되며, 상기 제 2승강기의 구동에 의해 승강되는 제 2블록 몸체와,
    상기 제 2블록 몸체의 상단에 나란하게 설치되는 상기 제 2프로브 핀들을 구비하는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 본체부에는,
    상기 안착부의 하부에 배치되는 광학 검사부가 배치되되,
    상기 광학 검사부는,
    Y축 이동 경로를 형성하는 한 쌍의 제 1레일 블록과,
    양단이 상기 한 쌍의 제 1레일 블록에 연결되며, Y축을 따라 이동되며, 상단에 X축 이동 경로가 형성되는 한 쌍의 제 2레일 블록과,
    상기 X축 이동 경로를 따라 이동되도록 각각의 상기 한 쌍의 제 2레일 블록과 연결되고, Z축 이동 경로가 형성되는 두 쌍의 제 3레일 블록과,
    상기 두 쌍의 제 3레일 블록의 Z축 이동 경로를 따라 승강되도록 연결되는 승강 블록들과,
    상기 승강 블록들에 설치되며, 반전된 상기 디스플레이 패널의 검사 영역에 대한 검사 영상을 취득하고, 상기 검사 영상을 상기 제어부로 전송하는 광학 검사기들과,
    상기 한 쌍의 제 2레일 블록 및 상기 두 쌍의 제 3레일 블록과, 상기 승강 블록들을 이동시키는 이동 장치를 구비하되,
    상기 제어부는,
    반전된 상기 디스플레이 패널의 사각 모서리 하부에 해당되는 위치 좌표에 이르도록 상기 이동 장치의 구동을 제어하여, 상기 광학 검사기들을 이동 배치하는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 광학 검사기들은,
    상기 두 쌍의 제 3레일 블록 각각에 배치되어 4개로 구성되며,
    4개로 구성되는,
    이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치.
  11. 삭제
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230048796A (ko) * 2021-10-05 2023-04-12 고영광 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치
KR20230052590A (ko) * 2021-10-13 2023-04-20 (주)에프테크놀로지 광학 검사기용 패널 리프팅 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160035726A (ko) * 2014-09-24 2016-04-01 주식회사 디이엔티 액정표시패널의 검사장치
KR20160109420A (ko) * 2015-03-11 2016-09-21 주식회사 영우디에스피 플렉시블 디스플레이 패널 검사용 반전기
KR20190014232A (ko) * 2017-07-28 2019-02-12 대구가톨릭대학교산학협력단 디스플레이 패널에 대한 비전(vision)검사를 위한 패널 정렬 장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07311375A (ja) * 1994-05-17 1995-11-28 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 液晶ディスプレイ基板検査装置の検査ステージ
JP2006194858A (ja) * 2004-12-17 2006-07-27 Micronics Japan Co Ltd 表示用パネルの検査装置
JP4533271B2 (ja) * 2005-08-01 2010-09-01 株式会社日本マイクロニクス 表示パネルの電気検査装置
JP4989911B2 (ja) * 2006-03-31 2012-08-01 株式会社日本マイクロニクス 可動式プローブユニット及び検査装置
JP5137336B2 (ja) * 2006-05-29 2013-02-06 株式会社日本マイクロニクス 可動式プローブユニット機構及び電気検査装置
JP4917852B2 (ja) * 2006-08-21 2012-04-18 株式会社日本マイクロニクス パネル支持機構及び検査装置
JP2009265139A (ja) * 2008-04-22 2009-11-12 Hitachi High-Technologies Corp 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法
KR101616564B1 (ko) * 2014-09-24 2016-04-29 주식회사 디이엔티 프로브 이동장치
CN106873195B (zh) * 2015-12-11 2020-10-30 De&T株式会社 探针单元更换装置
KR101901394B1 (ko) * 2017-02-17 2018-11-07 (주) 루켄테크놀러지스 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법
KR102007718B1 (ko) * 2017-06-13 2019-10-21 우리마이크론(주) 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160035726A (ko) * 2014-09-24 2016-04-01 주식회사 디이엔티 액정표시패널의 검사장치
KR20160109420A (ko) * 2015-03-11 2016-09-21 주식회사 영우디에스피 플렉시블 디스플레이 패널 검사용 반전기
KR20190014232A (ko) * 2017-07-28 2019-02-12 대구가톨릭대학교산학협력단 디스플레이 패널에 대한 비전(vision)검사를 위한 패널 정렬 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230048796A (ko) * 2021-10-05 2023-04-12 고영광 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치
KR20230052590A (ko) * 2021-10-13 2023-04-20 (주)에프테크놀로지 광학 검사기용 패널 리프팅 장치

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