KR20230048796A - 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널이 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 구비되고, 광학 검사기로 이동되는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트를 상기 하부 플레이트에 이격되게 지지하는 고정 포스트; 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트; 상기 중부 플레이트에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트를 관통하여 상기 패널에 접촉되는 서포트 핀; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 중부 플레이트를 승하강시켜 상기 서포트 핀의 단부에 접촉된 상기 패널을 승하강시키는 슬라이딩 모듈; 및 상기 상부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 패널을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈; 을 포함한다.

Description

패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치{apparatus for lifting panel of automatic optical inspection machine for surface of panel}
본 발명은 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 관한 것으로, 패널을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널의 사이즈에 따라 패널을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 관한 것이다.
광학 검사기는 디스플레이 패널, 글라스, 웨이퍼, 기판 등(이하, '패널(P)')의 표면을 머신 비전으로 촬영하여 표면의 찍힘, 스크래치, 파손 등의 불량(이하, '불량')을 검사하는 패널 표면 검사장치이다.
도 1에는 광학 검사기(A)로 패널(P)을 이송하는 시스템이 도시되어 있다. 핸들러(H)가 패널(P)이 적재된 공급부(미도시)로부터 패널(P)을 이송 받아 스테이지 유닛(S)에 안착시킨다. 스테이지 유닛(S)은 안착된 패널(P)을 광학 검사기(A)로 이송시킨 후 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향시킨다. 머신 비전(V)은 이송된 패널(P)의 표면을 촬영하여, 표면의 불량을 검사한다.
여기서, 핸들러(H)가 패널(P)을 스테이지 유닛(S)에 안착시킬 때, 패널(P)의 하중으로 인해 패널(P)이 파손될 수도 있으므로, 패널(P)은 안정적으로 안착시켜야 한다.
이후, 패널(P) 표면의 촬영을 위해 패널(P)을 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향시켜야 하는데, 이 경우 패널(P)을 상부 방향으로 승강시켜 패널(P)을 머신 비전(V)에 대향시킨다.
이때, 패널(P)이 정확한 위치로 승강되어야 하는데, 스테이지 유닛(S)을 승강시키는 경우 스테이지 유닛(S) 및 패널(P)의 하중 및 사이즈에 따라 정확한 위치로 승강되지 않으므로, 패널(P)을 정확한 위치로 승강시킬 수 있는 장치의 개발이 필요한 실정이다.
또한, 패널(P)이 스테이지 유닛(S)에 안착될 때 패널(P)의 사이즈에 따라 패널(P)이 스테이지 유닛(S)에 특정 위치에 정확히 정렬되어야 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 촬영할 수 있다.
특히, 패널(P)의 면적(m2)이 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')의 경우에 따라, 각 패널(P)의 위치가 스테이지 유닛(S)에 정확하게 정렬되어야 한다.
따라서, 패널(P)을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널(P)의 사이즈에 따라 패널(P)을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 패널을 안정적으로 안착시키고, 정확한 위치로 승강시키며, 패널의 사이즈에 따라 패널을 정확히 정렬시킬 수 있는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널이 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 구비되고, 광학 검사기로 이동되는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트를 상기 하부 플레이트에 이격되게 지지하는 고정 포스트; 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트; 상기 중부 플레이트에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트를 관통하여 상기 패널에 접촉되는 서포트 핀; 상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 중부 플레이트를 승하강시켜 상기 서포트 핀의 단부에 접촉된 상기 패널을 승하강시키는 슬라이딩 모듈; 및 상기 상부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 패널을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈; 을 포함한다.
또한, 상기 슬라이딩 모듈은, 상기 하부 플레이트에 구비되는 구동부; 상기 구동부에 연결되고 상기 구동부에 의해 전후 방향으로 이동되는 메인 로드; 상기 메인 로드의 단부에 결합되고 상기 메인 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 연결 로드; 상부에 경사면이 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되고 상기 연결 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 전후진 유닛; 및 상기 중부 플레이트에 결합되고 상기 경사면에 구비되어, 상기 경사면을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 유닛; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 전후진 유닛은, 상기 경사면이 상부에 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되는 전후진 바디; 상기 하부 플레이트에 결합되는 전후진 레일; 상기 전후진 바디의 하부에 결합되는 전후진 플레이트; 및 상기 전후진 플레이트와 상기 전후진 레일 사이에 구비되어, 상기 전후진 플레이트를 전후 방향으로 이동시키는 전후진 엘엠; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬라이딩 유닛은, 상기 경사면에 구비되는 슬라이딩 레일; 상기 중부 플레이트에 결합되는 슬라이딩 브라켓; 및 상기 슬라이딩 브라켓과 상기 슬라이딩 레일 사이에 구비되어, 상기 슬라이딩 브라켓을 상기 경사면에 슬라이딩시키는 슬라이딩 엘엠; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬라이딩 브라켓은, 상기 슬라이딩 엘엠에 결합되는 엘엠 결합부; 및 상기 엘엠 결합부로부터 절곡되고 상기 하부 플레이트에 수평하게 배치되고, 상기 중부 플레이트가 결합되는 플레이트 결합부; 를 포함할 수 있다.
또한, 상기 패널 정렬 모듈은, 제1패널 및 제2패널이 배치된 상기 상부 플레이트에 고정 결합되는 정렬 고정 프레임; 상기 정렬 고정 프레임에 결합되는 정렬 승하강 유닛; 상기 정렬 승하강 유닛에 고정 결합되어 승하강되는 정렬 승하강 프레임; 상기 정렬 승하강 프레임의 일측에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제1패널을 이동시키는 전방 정렬 유닛; 및 상기 정렬 승하강 프레임의 타측에 구비되고, 상기 전방 정렬 유닛의 반대편에 배치되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제2패널을 이동시키는 후방 정렬 유닛; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 전방 정렬 유닛은, 상기 상부 플레이트에 노출되고 상기 제1패널을 이동시키는 전방 헤드; 상기 전방 헤드가 구비되는 전방 브라켓; 상기 정렬 승하강 프레임에 결합되고 상기 전방 브라켓을 전후진시키는 전방 푸쉬 유닛; 및 상기 전방 브라켓과 상기 전방 푸쉬 유닛 사이에 구비되는 전방 브릿지; 를 포함할 수 있다.
또한, 상기 전방 푸쉬 유닛은, 상기 정렬 승하강 프레임에 고정 결합되는 전방 푸쉬 바디; 및 상기 전방 푸쉬 바디에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 전방 브릿지에 결합되는 전방 푸쉬 피스톤; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 후방 정렬 유닛은, 상기 상부 플레이트에 노출되고 상기 제2패널을 이동시키는 후방 헤드; 상기 후방 헤드가 구비되는 후방 브라켓; 및 상기 정렬 승하강 프레임에 결합되고 상기 후방 브라켓을 전후진시키는 후방 푸쉬 유닛; 을 포함할 수 있다.
또한, 상기 후방 푸쉬 유닛은, 상기 정렬 승하강 프레임에 고정 결합되는 후방 푸쉬 바디; 및 상기 후방 푸쉬 바디에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 후방 브라켓에 결합되는 후방 푸쉬 피스톤; 을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 의하면, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상하 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승하강되므로, 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.
또한, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 검사 시, 중부 플레이트(20)가 정확한 위치로 정밀하게 승강되어 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 패널(P)을 사용자가 기설정한 정확한 위치로 정밀하게 승강시킬 수 있게 된다.
또한, 슬라이딩 모듈(40)이 간단한 구조로 구성되어, 공간 활용성을 높이고 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트 사이(30)의 이격 공간을 슬림(slim)하게 구성할 수 있다.
또한, 패널 정렬 모듈(60)이 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 각각 후방 및 전방으로 기설정된 위치에 정확히 정렬시켜, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.
도 1은 광학 검사기(A)로 패널(P)을 이송하는 시스템 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 일부 분해사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 중부 플레이트(20) 및 하부 플레이트(30)의 분해사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 슬라이딩 모듈(40)의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 상부 방향으로 승강할 때 동작도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 하부 방향으로 하강할 때 동작도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 측면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)의 동작도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)의 동작도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 도면부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 일부 분해사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 중부 플레이트(20) 및 하부 플레이트(30)의 분해사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 슬라이딩 모듈(40)의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치의 정면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는, 패널(P)이 배치되는 상부 플레이트(10), 상기 상부 플레이트(10)의 하부에 구비되고, 광학 검사기(A)로 이동되는 하부 플레이트(30), 상기 하부 플레이트(30)에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)를 상기 하부 플레이트(30)에 이격되게 지지하는 고정 포스트(31), 상기 상부 플레이트(10)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트(20), 상기 중부 플레이트(20)에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트(10)를 관통하여 상기 패널(P)에 접촉되는 서포트 핀(23), 상기 하부 플레이트(30)에 구비되고, 상기 중부 플레이트(20)를 승하강시켜 상기 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 상기 패널(P)을 승하강시키는 슬라이딩 모듈(40), 및 상기 중부 플레이트(20)에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 패널(P)을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈(60)을 포함한다.
상부 플레이트(10)는 외관을 형성한다. 상부 플레이트(10)에는 패널(P)이 배치될 수 있다. 패널(P)은 디스플레이 패널, 글라스, 웨이퍼, 기판 등으로 실시될 수 있고, 이하에서 패널(P)은 디스플레이 패널로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. 패널(P)의 표면에는 찍힘, 스크레치, 파손, 액정 깨짐, 크랙 등의 불량(이하, '불량')이 발생될 수 있다.
패널(P)은 실시예에 따라 다양한 면적으로 실시될 수 있다. 패널(P)의 면적(m2)은 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
하부 플레이트(30)는 외관을 형성한다. 하부 플레이트(30)는 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다. 하부 플레이트(30)는 이송부(T)에 연결될 수 있다. 하부 플레이트(30)는 이송부(T)에 의해 패널(P)의 표면을 검사하는 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다. 본 발명의 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는 이송부(T)에 의해 광학 검사기(A)로 이동될 수 있다.
고정 포스트(31)는 하부 플레이트(30)에 구비된다. 고정 포스트(31)는 하부 플레이트(30)에 수직하게 고정 구비될 수 있다. 고정 포스트(31)는 상부 플레이트(10)를 하부 플레이트(30)에 이격되게 지지한다. 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(30) 사이에는 이격 공간이 형성될 수 있다.
중부 플레이트(20)는 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트(30) 사이에 구비된다. 중부 플레이트(20)는 상술한 이격 공간에 구비될 수 있다.
중부 플레이트(20)는 상하부 방향으로 승하강될 수 있다. 여기서, 상하부 방향은 도 2에 도시된 Z축 방향으로 정의한다. Z축을 기준으로 상부 방향으로 이동되는 경우는 승강, 하부 방향으로 이동되는 경우는 하강으로 정의한다. 이 경우, 중부 플레이트(20)는 후술하는 슬라이딩 모듈(40)에 의해 상하부 방향으로 승하강될 수 있다.
서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 구비된다. 서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 수직하게 고정 구비될 수 있다. 서포트 핀(23)은 중부 플레이트(20)에 돌출되게 구비된다.
서포트 핀(23)은 단부가 상부 플레이트(10)를 관통한다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 서포트 핀(23)의 단부가 관통되는 서포트 핀홀(11)이 개구되게 형성될 수 있다. 서포트 핀(23)은 상부 플레이트(10)에 상하방향으로 승하강될 수 있다.
서포트 핀(23)의 단부에는 패널(P)이 접촉된다. 서포트 핀(23)의 단부에는 패널(P)의 하면이 접촉되어, 패널(P)을 지지할 수 있다. 즉, 배경기술에서 상술한 핸들러(H)가 본 발명의 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에 패널(P)을 안착시킬 때, 서포트 핀(23)의 단부에 패널(P)이 접촉되어 지지될 수 있다.
슬라이딩 모듈(40)은 하부 플레이트(30)에 구비된다. 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 상하부 방향으로 승하강시킬 수 있다.
슬라이딩 모듈(40)은 서포트 핀(23)을 승하강시킬 수 있다. 즉, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 승하강시켜, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)을 승하강시킬 수 있다. 이때, 슬라이딩 모듈(40)은 서포트 핀(23)을 승하강시켜, 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 패널(P)을 승하강시킬 수 있다.
슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 승강시켜, 중부 플레이트(20)를 상부 플레이트(10)로 접근시킬 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)의 단부를 패널(P)에 접촉시킬 수 있다.
또한, 슬라이딩 모듈(40)은 중부 플레이트(20)를 하강시켜, 중부 플레이트(20)를 하부 플레이트(30)로 접근시킬 수 있다. 이 경우, 서포트 핀(23)에 접촉된 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 안착되게 배치될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 모듈(40)은 상기 하부 플레이트(30)에 구비되는 구동부(41), 상기 구동부(41)에 연결되고 상기 구동부(41)에 의해 전후 방향으로 이동되는 메인 로드(42), 상기 메인 로드(42)의 단부에 결합되고 상기 메인 로드(42)와 함께 전후 방향으로 이동되는 연결 로드(43), 상부에 경사면(445a)이 형성되고, 상기 연결 로드(43)에 결합되고 상기 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동되는 전후진 유닛(44), 및 상기 중부 플레이트(20)에 결합되고 상기 경사면(445a)에 구비되어, 상기 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 유닛(45)을 포함한다.
구동부(41)는 하부 플레이트(30)에 구비된다. 구동부(41)는 공압 실린더, 유압 실린더, 서보 실린더 중 어느 하나로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
메인 로드(42)는 구동부(41)에 연결된다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 전후 방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 전후 방향은 도 2에 도시된 X축 방향으로 정의한다. 이 경우, X축을 기준으로 전방으로 이동되는 경우는 전진, 후방으로 이동되는 경우는 후진으로 정의한다.
연결 로드(43)는 메인 로드(42)의 단부에 결합된다. 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 전후 방향으로 이동된다. 연결 로드(43)는 메인 로드(42)를 기준으로 양측에 대칭되는 위치에 각각 구비될 수 있다. 이 경우, 메인 로드(42)를 기준으로 연결 로드(43)는 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)로 정의된다. 이하에서는 제1연결 로드(431)를 연결 로드(43)로 설명하며, 제2연결 로드(432)는 제1연결 로드(431)와 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.
전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)에 결합된다. 전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)의 단부에 결합될 수 있다. 전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)의 전단부 및 후단부에 각각 결합될 수 있다. 이 경우, 전후진 유닛(44)은 제1전후진 유닛(441) 및 제2전후진 유닛(442)으로 정의된다.
또한, 전후진 유닛(44)은 제2연결 로드(432)의 전단부 및 후단부에 각각 결합될 수 있다. 이 경우, 전후진 유닛(44)은 제3전후진 유닛(443) 및 제4전후진 유닛(444)으로 정의된다.
이하에서, 제1전후진 유닛(441)을 전후진 유닛(44)으로 설명하며, 제2전후진 유닛(442), 제3전후진 유닛(443) 및 제4전후진 유닛(444)은 제1전후진 유닛(441)과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다.
전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동된다. 전후진 유닛(44)은 하부 플레이트(30)에 대해 전후 방향으로 이동된다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 전후 방향으로 이동될 수 있다.
전후진 유닛(44)의 상부에는 경사면(445a)이 형성된다. 경사면(445a)은 경사지게 형성되어 슬로프(slope)로 형성될 수 있다. 경사면(445a)은 하부 플레이트(30)와 교각을 형성할 수 있다. 여기서, 경사면(445a)의 상단은 상사점, 경사면(445a)의 하단은 하사점으로 정의한다.
슬라이딩 유닛(45)은 중부 플레이트(20)에 결합된다. 슬라이딩 유닛(45)은 중부 플레이트(20)에 고정 결합된다.
슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)에 구비된다. 슬라이딩 유닛(45)은 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)의 경사면(445a)에 구비될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 제1슬라이딩 유닛(451), 제2슬라이딩 유닛(452), 제3슬라이딩 유닛(453) 및 제4슬라이딩 유닛(454)으로 정의된다. 이하에서, 제1슬라이딩 유닛(451)을 슬라이딩 유닛(45)으로 설명하며, 제2슬라이딩 유닛(452), 제3슬라이딩 유닛(453) 및 제4슬라이딩 유닛(454)은 제1슬라이딩 유닛(451)과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다.
슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 상사점 내지 하사점 사이에서 슬라이딩될 수 있다.
슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)은 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다.
슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 상사점 내지 하사점 사이에서 승하강될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 선형적으로 상사점 내지 하사점 사이에서 정확한 위치로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상하 방향으로 승하강될 수 있게 된다.
이에 따라, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상하 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승하강되므로, 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.
또한, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 검사 시, 중부 플레이트(20)가 정확한 위치로 정밀하게 승강되어 서포트 핀(23)의 단부에 접촉된 패널(P)을 사용자가 기설정한 정확한 위치로 정밀하게 승강시킬 수 있게 된다.
또한, 슬라이딩 모듈(40)이 간단한 구조로 구성되어, 공간 활용성을 높이고 상부 플레이트(10)와 하부 플레이트 사이(30)의 이격 공간을 슬림(slim)하게 구성할 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 전후진 유닛(44)은, 상기 경사면(445a)이 상부에 형성되고, 상기 연결 로드(43)에 결합되는 전후진 바디(445), 상기 하부 플레이트(30)에 결합되는 전후진 레일(446), 상기 전후진 바디(445)의 하부에 결합되는 전후진 플레이트(447), 및 상기 전후진 플레이트(447)와 상기 전후진 레일(446) 사이에 구비되어, 상기 전후진 플레이트(447)를 전후 방향으로 이동시키는 전후진 엘엠(448)을 포함한다.
전후진 바디(445)는 연결 로드(43)에 결합된다. 이 경우, 전후진 바디(445)는 연결 로드(43)가 전후 방향으로 이동되면, 연결 로드(43)와 함께 전후 방향으로 이동된다.
전후진 바디(445)의 상부에는 경사면(445a)이 형성된다. 경사면(445a)은 상술한 것과 같이, 경사지게 형성되어 하부 플레이트(30)와 교각을 형성할 수 있다. 이 경우, 전후진 바디(445)는 삼각형으로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
전후진 레일(446)은 하부 플레이트(30)에 결합된다. 전후진 레일(446)은 전후 방향으로 배치된다. 전후진 레일(446)에는 후술하는 전후진 엘엠(448)이 전후 방향으로 이동되게 결합된다.
전후진 플레이트(447)는 전후진 바디(445)의 하부에 결합된다. 전후진 플레이트(447)는 전후진 바디(445)의 하부에 고정 결합된다.
전후진 엘엠(448)은 전후진 레일(446)에 결합된다. 전후진 엘엠(448)은 전후진 레일(446)을 따라 전후 방향으로 이동된다.
전후진 엘엠(448)은 전후진 플레이트(447)와 전후진 레일(446) 사이에 구비된다. 전후진 엘엠(448)은 전후진 플레이트(447)를 전후진 레일(446)을 따라 전후 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 연결 로드(43)가 전후진 바디(445)를 전후 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 유닛(45)은, 상기 경사면(445a)에 구비되는 슬라이딩 레일(455), 상기 중부 플레이트(20)에 결합되는 슬라이딩 브라켓(456), 및 상기 슬라이딩 브라켓(456)과 상기 슬라이딩 레일(455) 사이에 구비되어, 상기 슬라이딩 브라켓(456)을 상기 경사면(445a)에 슬라이딩시키는 슬라이딩 엘엠(457)을 포함한다.
슬라이딩 레일(455)은 경사면(445a)에 구비된다. 슬라이딩 레일(455)은 경사면(445a)을 따라 경사지게 구비된다.
슬라이딩 브라켓(456)은 중부 플레이트(20)에 결합된다. 슬라이딩 브라켓(456)은 후술하는 슬라이딩 엘엠(457)에 결합된다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)은 슬라이딩 엘엠(457)을 따라 슬라이딩 될 수 있다. 이때, 슬라이딩 브라켓(456)은 슬라이딩 엘엠(457)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에서 슬라이딩될 수 있다.
중부 플레이트(20)에는 슬라이딩 브라켓홈(22)이 개구되어 형성될 수 있다. 슬라이딩 브라켓홈(22)에는 슬라이딩 브라켓(456)이 노출되게 배치될 수 있다. 슬라이딩 브라켓홈(22)은 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 결합될 때, 슬라이딩 브라켓(456)이 슬라이딩 브라켓홈(22)으로 노출되게 배치되어, 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 결합될 때 서로 간섭되는 것을 방지한다.
슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 레일(455)에 결합된다. 슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 레일(455)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에 슬라이딩될 수 있다.
슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 브라켓(456)과 슬라이딩 레일(455) 사이에 구비된다. 슬라이딩 엘엠(457)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정된 위치로 정확하게 슬라이딩 될 수 있다.
슬라이딩 엘엠(457)은 슬라이딩 브라켓(456)을 경사면(445a)에 슬라이딩 레일(455)을 따라 슬라이딩시킨다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되어, 상사점 내지 하사점 사이에서 승하강될 수 있다. 이에 따라, 슬라이딩 브라켓(456)에 결합된 중부 플레이트(20)가 상사점 내지 하사점 사이에서 정확한 위치로 정밀하게 승하강될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 브라켓(456)은, 상기 슬라이딩 엘엠(457)에 결합되는 엘엠 결합부(4562), 및 상기 엘엠 결합부(4562)로부터 절곡되고 상기 하부 플레이트(30)에 수평하게 배치되고, 상기 중부 플레이트(20)가 결합되는 플레이트 결합부(4561)를 포함한다.
엘엠 결합부(4562)는 슬라이딩 엘엠(457)에 결합된다. 엘엠 결합부(4562)는 슬라이딩 엘엠(457)에 고정 결합되어, 슬라이딩 엘엠(457)과 함께 경사면(445a)에서 슬라이딩된다. 이 경우, 엘엠 결합부(4562)는 경사면(445a)과 수평하게 배치된다.
상술한 것과 같이, 중부 플레이트(20)에는 슬라이딩 브라켓홈(22)이 개구되어 형성될 수 있다. 이 경우, 슬라이딩 브라켓(456)이 중부 플레이트(20)에 간섭되지 않도록 엘엠 결합부(4562)가 슬라이딩 브라켓홈(22)에 노출되게 배치된다.
플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)로부터 절곡되어 형성된다. 이 경우, 플레이트 결합부(4561)는 하부 플레이트(30)에 수평하게 배치된다.
플레이트 결합부(4561)에는 중부 플레이트(20)가 결합된다. 이 경우, 플레이트 결합부(4561)는 중부 플레이트(20)에 수평하게 배치된다.
플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)와 소정각도를 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시예의 경우, 플레이트 결합부(4561)는 엘엠 결합부(4562)와 둔각을 형성하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치는 중부 플레이트 가이드 모듈(50)을 더 포함한다.
중부 플레이트 가이드 모듈(50)은 중부 플레이트(20)와 하부 플레이트(30) 사이에 구비된다. 중부 플레이트 가이드 모듈(50)은 중부 플레이트(20)가 상사점 내지 하사점 사이에서 안정적으로 상하부 방향으로 승하강되도록, 중부 플레이트(20)를 가이드 한다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트 가이드 모듈(50)은, 상기 하부 플레이트(30)에 수직하게 구비되는 서포트 바(52), 및 상기 중부 플레이트(20)에 결합되고 상기 서포트 바(52)가 관통되어, 상기 서포트 바(52)에 대해 상하부 방향으로 승하강되는 가이드 부시(51)를 포함한다.
서포트 바(52)는 하부 플레이트(30)에 수직하게 구비된다. 서포트 바(52)는 하부 플레이트(30)에 고정 결합된다.
가이드 부시(51)는 중부 플레이트(20)에 결합된다. 이 경우, 가이드 부시(51)는 중부 플레이트(20)에 개구되게 형성된 부시홀(21)에 결합될 수 있다.
가이드 부시(51)에는 서포트 바(52)가 관통된다. 이 경우, 가이드 부시(51)는 서포트 바(52)에 대해 상하부 방향으로 승하강된다. 이에 따라, 중부 플레이트(20)가 상하부 방향으로 승하강될 때, 가이드 부시(51)가 하부 플레이트(30)에 수직하게 결합된 서포트 바(52)를 따라 승하강되므로, 중부 플레이트(20)가 서포트 바(52)를 따라 상하부 방향으로 안정적이고 정확하게 승하강될 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 상부 방향으로 승강할 때 동작도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 중부 플레이트(20)가 하부 방향으로 하강할 때 동작도이다.
도 7에 따른 동작은 핸들러(H)가 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 안정적으로 안착시키기 위한 동작 및/또는 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 승강시켜 광학 검사기(A)에 대향시키는 동작이다.
먼저, 핸들러(H)가 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 안착시키는 경우, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 전방으로 이동된다. 이 경우, 메인 로드(42)는 전진한다. 이때, 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 전진한다. 이 경우, 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)가 동시에 전진할 수 있다.
전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 전진한다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 전진할 수 있다.
이때, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 하사점 내지 상사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다.
슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 승강된다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 선형적으로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상부 방향으로 승강될 수 있게 된다.
이에 따라, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상부 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강되므로, 핸들러(H)에 의해 패널(P)이 상부 플레이트(10)에 접근 시 서포트 핀(23)을 상부 방향으로 승강시켜, 서포트 핀(23)의 단부가 패널(P)의 하면에 안정적으로 접촉되어 패널(P)을 지지할 수 있게 된다.
한편, 도 8을 참조하면, 실시예에 따라 패널(P)을 하부 방향으로 하강시킬 수 있다. 즉, 패널(P)을 상부 플레이트(10)에 배치 또는 패널(P)을 광학 검사기(A)로 이동시킬 때, 패널(P)의 하중 및 사이즈로 인해 패널(P)을 안정적으로 상부 플레이트(10)에 배치하기 위해 패널(P)을 하부 방향으로 하강시킬 필요가 있다.
이 경우, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 메인 로드(42)는 구동부(41)에 의해 후방으로 이동된다. 이 경우, 메인 로드(42)는 후진한다. 이때, 연결 로드(43)는 메인 로드(42)와 함께 후진한다. 이 경우, 제1연결 로드(431) 및 제2연결 로드(432)가 동시에 후진할 수 있다.
전후진 유닛(44)은 연결 로드(43)와 함께 후진한다. 이 경우, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 후진할 수 있다.
이때, 슬라이딩 유닛(45)이 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 상사점 내지 하사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다.
슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩되면, 중부 플레이트(20)는 슬라이딩 유닛(45)을 따라 하강된다. 이 경우, 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 선형적으로 정밀하게 슬라이딩되므로, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 하부 방향으로 하강될 수 있게 된다.
이에 따라, 패널(P)의 하중 및 사이즈로 인해 패널(P)을 안정적으로 상부 플레이트(10)에 배치하기 위해 패널(P)을 하부 방향으로 정밀하게 하강시킬 수 있게 된다.
한편, 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 광학 검사기(A)에 대향시키는 경우, 먼저 이송부(T)에 의해 패널(P)이 안착된 본 발명의 패널 표면 검사장치용 리프팅 장치가 광학 검사기(A)로 이동된다.
이후, 도 7에서 상술한 것과 같이, 구동부(41)가 작동하여 구동력을 발생한다. 이 경우, 상술한 구성요소들이 작동되며 슬라이딩 유닛(45)이 경사면(445a)을 따라 슬라이딩된다. 슬라이딩 유닛(45)은 하사점 내지 상사점 사이에 슬라이딩 될 수 있다. 슬라이딩 유닛(45)은 서보 기구(servo machine)로 실시되어, 경사면(445a)에서 사용자가 설정한 정확한 위치까지 정밀하게 슬라이딩 될 수 있다.
이에 따라, 중부 플레이트(20)가 안정적이고 정밀하게 상부 방향으로 승강될 수 있게 되어, 중부 플레이트(20)에 구비된 서포트 핀(23)이 상부 방향으로 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강되므로, 패널(P)이 정확한 위치에 승강되어 광학 검사기(A)의 머신 비전(V)에 대향될 수 있게 된다.
이때, 제1전후진 유닛(441) 내지 제4전후진 유닛(444)이 동시에 작동되어, 중부 플레이트(20)가 각 전후진 유닛(44)이 결합된 4개 지점에서 동시에 승강되므로, 중부 플레이트(20)가 하중에 의한 처짐 없이 안정적이고 정확한 위치로 정밀하게 승강될 수 있게 된다.
이하에서는 도 9 내지 도 13을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 사시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬 모듈(60)의 측면도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)의 동작도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)의 동작도이다.
도 9 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치에는 패널 정렬 모듈(60)이 구비된다.
패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)에 구비될 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은 복수개 구비될 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)를 기준으로 양측에 각각 구비될 수 있다. 이 경우, 패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)의 일측에 구비된 제1패널 정렬 모듈(61) 및 타측에 구비된 제2패널 정렬 모듈(62)로 정의된다. 이하에서는, 제1패널 정렬 모듈(61)을 패널 정렬 모듈(60)로 설명하며, 제2패널 정렬 모듈(62)은 제1패널 정렬 모듈(60)과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.
패널(P)은 상술한 것과 같이, 다양한 사이즈로 실시될 수 있다. 패널(P)은 면적(m2)이 원판 사이즈, 원판의 1/2 사이즈(이하, '하프 사이즈'), 하프 사이즈의 1/2 사이즈(이하, '쿼터 사이즈')로 실시될 수 있다. 이하에서, 상부 플레이트(10)에 배치되는 패널(P)은 쿼터 사이즈로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
상부 플레이트(10)에는 복수개의 패널(P)이 배치될 수 있다. 상부 플레이트(10)에는 2개 패널(P)이 배치될 수 있다. 이하에서, 패널(P)은 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)로 실시되고, 각 패널(P)은 쿼터 사이즈로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다.
패널 정렬 모듈(60)은 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 정렬시킨다. 패널 정렬 모듈(60)은 패널(P)을 전후 방향으로 정렬시킬 수 있다. 패널 정렬 모듈(60)은, 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 각각 후방 및 전방으로 정렬시킬 수 있다.
패널 정렬 모듈(60)이 상부 플레이트(10)에 배치된 패널(P)을 기설정된 위치에 정확히 정렬시켜, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 패널 정렬 모듈(60)은, 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)이 배치된 상기 상부 플레이트(10)에 고정 결합되는 정렬 고정 프레임(611), 상기 정렬 고정 프레임(611)에 결합되는 정렬 승하강 유닛(615), 상기 정렬 승하강 유닛(615)에 고정 결합되어 승하강되는 정렬 승하강 프레임(612), 상기 정렬 승하강 프레임(612)의 일측에 구비되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 제1패널(P1)을 이동시키는 전방 정렬 유닛(613), 및 상기 정렬 승하강 프레임(612)의 타측에 구비되고, 상기 전방 정렬 유닛(613)의 반대편에 배치되고, 상기 상부 플레이트(10)에 배치된 상기 제2패널(P2)을 이동시키는 후방 정렬 유닛(614)을 포함한다.
정렬 고정 프레임(611)은 상부 플레이트(10)에 고정 결합될 수 있다. 실시예에 따라, 정렬 고정 프레임(611)은 하부 플레이트(30)에 고정 결합될 수도 있다.
정렬 승하강 유닛(615)은 정렬 고정 프레임(611)에 결합된다. 정렬 승하강 유닛(615)은 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합되어, 후술하는 정렬 승하강 프레임(612)을 승하강시킬 수 있다.
정렬 승하강 프레임(612)은 정렬 승하강 유닛(615)에 고정 결합된다. 정렬 승하강 프레임(612)은 정렬 승하강 유닛(615)에 의해 승하강된다. 정렬 승하강 프레임(612)은 전후 방향으로 길게 형성될 수 있다.
전방 정렬 유닛(613)은 정렬 승하강 프레임(612)의 일측에 구비된다. 전방 정렬 유닛(613)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다.
전방 정렬 유닛(613)은 상부 플레이트(10)에 배치된 제1패널(P1)의 단부에 접촉된다. 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 밀어낼 수 있다. 여기서, 제1패널(P1)은 상부 플레이트(10)의 상면 중 후방에 위치한 패널(P)로 정의한다.
이 경우, 도 12와 같이, 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 이동시킨다. 전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다. 이때, 전방 정렬 유닛(613)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정한 위치로 정확하게 패널(P)을 이동시킬 수 있다.
전방 정렬 유닛(613)은 제1패널(P1)을 이동시켜, 사용자가 기설정한 위치로 제1패널(P1)을 정렬시킨다. 이 경우, 전방 헤드(6133)가 제1패널(P1)을 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)이 기설정된 위치에 정확히 정렬되어, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.
후방 정렬 유닛(614)은 정렬 승하강 프레임(612)의 타측에 구비된다. 후방 정렬 유닛(614)은 전방 정렬 유닛(613)의 반대편에 배치된다. 후방 정렬 유닛(614)은 전방 정렬 유닛(613)에 대칭되게 배치될 수 있다. 후방 정렬 유닛(614)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다.
후방 정렬 유닛(614)은 상부 플레이트(10)에 배치된 제2패널(P2)의 단부에 접촉된다. 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 밀어낼 수 있다. 여기서, 제2패널(P2)은 상부 플레이트(10)의 상면 중 전방에 위치한 패널(P)로 정의한다.
이 경우, 도 13과 같이, 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 이동시킨다. 후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 전진시킬 수 있다. 이때, 후방 정렬 유닛(614)은 서보 기구로 실시되어, 사용자가 기설정한 위치로 정확하게 패널(P)을 이동시킬 수 있다.
후방 정렬 유닛(614)은 제2패널(P2)을 이동시켜, 사용자가 기설정한 위치로 제2패널(P2)을 정렬시킨다. 이 경우, 후방 헤드(6143)가 제2패널(P2)을 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2패널(P2)이 기설정된 위치에 정확히 정렬되어, 광학 검사기(A)에서 패널(P)의 표면을 정확하게 검사할 수 있게 된다.
전방 정렬 유닛(613)과 후방 정렬 유닛(614)은 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 서로 이격되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 제1패널(P1)은 후진되고, 제2패널(P2)은 전진될 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)은 및 제2패널(P2)이 상부 플레이트(10)의 후방 모서리 및 전방 모서리에 각각 배치되어, 기설정된 위치에 정렬될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 정렬 유닛(613)은, 상기 상부 플레이트(10)에 노출되고 상기 제1패널(P1)을 이동시키는 전방 헤드(6133), 상기 전방 헤드(6133)가 구비되는 전방 브라켓(6132), 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 결합되고 상기 전방 브라켓(6132)을 전후진시키는 전방 푸쉬 유닛(6131), 및 상기 전방 브라켓(6132)과 상기 전방 푸쉬 유닛(6131) 사이에 구비되는 전방 브릿지(6134)를 포함한다.
전방 헤드(6133)는 상부 플레이트(10)에 노출되게 배치될 수 있다. 전방 헤드(6133)는 상부 플레이트(10)에 수직하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 전방 헤드(6133)가 노출되는 정렬 헤드홈(12)이 개구되어 형성될 수 있다.
전방 헤드(6133)는 정렬 헤드홈(12)을 관통하며 상부 플레이트(10)에 노출되어, 상부 플레이트(10)에 배치된 제1패널(P1)의 단부에 접촉된다. 이 경우, 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 밀어낼 수 있다. 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 이동시킨다. 전방 헤드(6133)는 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다.
전방 브라켓(6132)은 몸체를 형성한다. 전방 브라켓(6132)에는 전방 헤드(6133)가 구비된다.
전방 푸쉬 유닛(6131)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 전방 푸쉬 유닛(6131)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다.
전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 브라켓(6132)을 전후진시킬 수 있다. 이 경우, 전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 헤드(6133)를 전후진시킬 수 있다. 이때, 전방 푸쉬 유닛(6131)은 전방 헤드(6133)를 후진시켜, 제1패널(P1)을 후진시킬 수 있다.
전방 브릿지(6134)는 전방 브라켓(6132)에 연결된다. 전방 브릿지(6134)는 전방 푸쉬 유닛(6131)에 연결된다. 전방 브릿지(6134)는 전방 브라켓(6132)과 전방 푸쉬 유닛(6131) 사이에 구비되어, 전방 브라켓(6132)과 전방 푸쉬 유닛(6131)을 연결한다. 이 경우, 전방 푸쉬 유닛(6131)이 전방 브릿지(6134)를 이동시키면, 전방 브릿지(6134)가 전방 브라켓(6132)을 이동시킬 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 전방 푸쉬 유닛(6131)은, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 전방 푸쉬 바디(6131a), 및 상기 전방 푸쉬 바디(6131a)에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 전방 브릿지(6134)에 결합되는 전방 푸쉬 피스톤(6131b)을 포함한다.
전방 푸쉬 바디(6131a)는 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합된다. 전방 푸쉬 바디(6131a)는 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강된다.
전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 푸쉬 바디(6131a)에 전후진 가능하게 결합된다. 전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 푸쉬 바디(6131a)로부터 전후진될 수 있다.
전방 푸쉬 피스톤(6131b)은 전방 브릿지(6134)에 결합된다. 이 경우, 전방 푸쉬 피스톤(6131b)이 전후진되어, 전방 브릿지(6134)를 전후진시킬 수 있다. 이에 따라, 전방 브릿지(6134)에 연결된 전방 헤드(6133)가 전후진되어, 제1패널(P1)을 이동시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 정렬 유닛(614)은, 상기 상부 플레이트(10)에 노출되고, 상기 제2패널(P2)을 이동시키는 후방 헤드(6143), 상기 후방 헤드(6143)가 구비되는 후방 브라켓(6142), 및 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 결합되고 상기 후방 브라켓(6142)을 전후진시키는 후방 푸쉬 유닛(6141)을 포함한다.
후방 헤드(6143)는 상부 플레이트(10)에 노출되게 배치될 수 있다. 후방 헤드(6143)는 상부 플레이트(10)에 수직하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 플레이트(10)에는 후방 헤드(6143)가 노출되는 정렬 헤드홈(12)이 개구되어 형성될 수 있다.
후방 헤드(6143)는 정렬 헤드홈(12)을 관통하며 상부 플레이트(10)에 노출되어, 상부 플레이트(10)에 배치된 제2패널(P2)의 단부에 접촉된다. 이 경우, 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 밀어낼 수 있다. 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 이동시킨다. 후방 헤드(6143)는 제2패널(P2)을 후진시킬 수 있다.
후방 브라켓(6142)은 몸체를 형성한다. 후방 브라켓(6142)에는 후방 헤드(6143)가 구비된다.
후방 푸쉬 유닛(6141)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 후방 푸쉬 유닛(6141)은 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 상하부 방향으로 승하강될 수 있다.
후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 브라켓(6142)을 전후진시킬 수 있다. 이 경우, 후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 헤드(6143)를 전후진시킬 수 있다. 이때, 후방 푸쉬 유닛(6141)은 후방 헤드(6143)를 전진시켜, 제2패널(P2)을 전진시킬 수 있다.
전방 헤드(6133)와 후방 헤드(6143)는 제1패널(P1) 및 제2패널(P2)을 서로 이격되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 제1패널(P1)은 후진되고, 제2패널(P2)은 전진될 수 있다. 이에 따라, 제1패널(P1)은 및 제2패널(P2)이 상부 플레이트(10)의 후방 모서리 및 전방 모서리에 각각 배치되어, 기설정된 위치에 정렬될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 후방 푸쉬 유닛(6141)은, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 후방 푸쉬 바디(6141a), 및 상기 후방 푸쉬 바디(6141a)에 전후진 가능하게 결합되고, 상기 후방 브라켓(6142)에 결합되는 후방 푸쉬 피스톤(6141b)을 포함한다.
후방 푸쉬 바디(6141a)는 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합된다. 후방 푸쉬 바디(6141a)는 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강된다.
후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 푸쉬 바디(6141a)에 전후진 가능하게 결합된다. 후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 푸쉬 바디(6141a)로부터 전후진될 수 있다.
후방 푸쉬 피스톤(6141b)은 후방 브라켓(6142)에 결합된다. 이 경우, 후방 푸쉬 피스톤(6141b)이 전후진되어, 후방 브라켓(6142)울 전후진시킬 수 있다. 이에 따라, 후방 헤드(6143)가 전후진되어, 제2패널(P2)을 이동시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬 승하강 유닛(615)은, 상기 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합되는 승하강 푸쉬 바디(6151), 및 상기 승하강 푸쉬 바디(6151)에 승하강 가능하게 결합되고, 상기 정렬 승하강 프레임(612)에 고정 결합되는 승하강 푸쉬 피스톤(6152)을 포함한다.
승하강 푸쉬 바디(6151)는 정렬 고정 프레임(611)에 고정 결합된다.
승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 승하강 푸쉬 바디(6151)에 승하강 가능하게 결합된다. 승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 승하강 푸쉬 바디(6151)로부터 승하강될 수 있다.
승하강 푸쉬 피스톤(6152)은 정렬 승하강 프레임(612)에 결합된다. 이 경우, 승하강 푸쉬 피스톤(6152)이 승하강되어, 정렬 승하강 프레임(612)을 승하강시킬 수 있다. 이에 따라, 전방 정렬 유닛(613) 및 후방 정렬 유닛(614)이 정렬 승하강 프레임(612)과 함께 승하강되어, 전방 헤드(6133) 및 후방 헤드(6143)가 상부 플레이트(10)의 정렬 헤드홈(12)에 노출되게 배치될 수 있게 된다.
이상, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 상부 플레이트 20 : 중부 플레이트
30 : 하부 플레이트 40 : 슬라이딩 모듈
60 : 패널 정렬 모듈

Claims (5)

  1. 패널이 배치되는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 하부에 구비되고, 광학 검사기로 이동되는 하부 플레이트;
    상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트를 상기 하부 플레이트에 이격되게 지지하는 고정 포스트;
    상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 구비되어 상하부 방향으로 승하강되는 중부 플레이트;
    상기 중부 플레이트에 구비되고, 단부가 상기 상부 플레이트를 관통하여 상기 패널에 접촉되는 서포트 핀;
    상기 하부 플레이트에 구비되고, 상기 중부 플레이트를 승하강시켜 상기 서포트 핀의 단부에 접촉된 상기 패널을 승하강시키는 슬라이딩 모듈; 및
    상기 상부 플레이트에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 패널을 전후 방향으로 정렬시키는 패널 정렬 모듈;
    을 포함하는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬라이딩 모듈은,
    상기 하부 플레이트에 구비되는 구동부;
    상기 구동부에 연결되고 상기 구동부에 의해 전후 방향으로 이동되는 메인 로드;
    상기 메인 로드의 단부에 결합되고 상기 메인 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 연결 로드;
    상부에 경사면이 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되고 상기 연결 로드와 함께 전후 방향으로 이동되는 전후진 유닛; 및
    상기 중부 플레이트에 결합되고 상기 경사면에 구비되어, 상기 경사면을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 유닛;
    을 포함하는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전후진 유닛은,
    상기 경사면이 상부에 형성되고, 상기 연결 로드에 결합되는 전후진 바디;
    상기 하부 플레이트에 결합되는 전후진 레일;
    상기 전후진 바디의 하부에 결합되는 전후진 플레이트; 및
    상기 전후진 플레이트와 상기 전후진 레일 사이에 구비되어, 상기 전후진 플레이트를 전후 방향으로 이동시키는 전후진 엘엠;
    을 포함하는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 패널 정렬 모듈은,
    제1패널 및 제2패널이 배치된 상기 상부 플레이트에 고정 결합되는 정렬 고정 프레임;
    상기 정렬 고정 프레임에 결합되는 정렬 승하강 유닛;
    상기 정렬 승하강 유닛에 고정 결합되어 승하강되는 정렬 승하강 프레임;
    상기 정렬 승하강 프레임의 일측에 구비되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제1패널을 이동시키는 전방 정렬 유닛; 및
    상기 정렬 승하강 프레임의 타측에 구비되고, 상기 전방 정렬 유닛의 반대편에 배치되고, 상기 상부 플레이트에 배치된 상기 제2패널을 이동시키는 후방 정렬 유닛;
    을 포함하는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 전방 정렬 유닛은,
    상기 상부 플레이트에 노출되고 상기 제1패널을 이동시키는 전방 헤드;
    상기 전방 헤드가 구비되는 전방 브라켓;
    상기 정렬 승하강 프레임에 결합되고 상기 전방 브라켓을 전후진시키는 전방 푸쉬 유닛; 및
    상기 전방 브라켓과 상기 전방 푸쉬 유닛 사이에 구비되는 전방 브릿지;
    를 포함하는 패널 표면 검사장치용 패널 리프팅 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002231792A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
KR102112555B1 (ko) * 2019-11-21 2020-05-19 케이맥(주) 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치

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