KR101032088B1 - 기판검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판검사장치는 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들; 상기 스테이지의 하부에 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 핀 플레이트; 그리고 상기 핀 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 핀 플레이트의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함한다.
핀 플레이트, 보조 플레이트, 가이드부재, 보조가이드부재

Description

기판검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}
본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 형성된 패턴 결함을 검사하는 기판검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 글라스를 검사하는 시스템에 많이 사용되는 컬러 필터 패턴 자동광학검사(Automated Optical Inspection:이하 AOI) 시스템은 컬러 필터 글라스(Color Filter glass)의 미세한 패턴 결함을 정밀한 카메라에 의해 고속으로 검출하고, 검출된 결함을 실시간으로 재생, 저장 가능한 제품으로, 다양한 모델의 글라스(Multi Model Glass)에 대응이 가능하며, 사용자 운영하기 쉬운 소프트웨어와 인라인(Inline) 및 독립적으로 운영(Stand alone)이 가능한 검사 장비이다.
글라스는 스테이지의 상부에 놓여진 상태에서 스테이지와 함께 일방향으로 이동하며, 카메라 설치 프레임에 설치된 여러 대의 비전카메라는 기판을 스캔하여 패턴 결함을 검사한다.
본 발명의 목적은 스테이지 상에 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 데 있다. 또한, 기판의 유동으로 인하여 검사오류가 발생하는 것을 방지할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판검사장치는 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들; 상기 스테이지의 하부에 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 핀 플레이트; 그리고 상기 핀 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 핀 플레이트의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함한다.
상기 핀 플레이트는 상기 기판의 일변과 나란하게 배치될 수 있다.
상기 기판검사장치는 상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 그리고 상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 기판검사장치는 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라; 상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들; 상기 스테이지의 하부에 서로 나란하게 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 각각 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 복수의 핀 플레이트들; 상기 핀 플레이트들의 일단 및 타단을 각각 연결하여 상기 핀 플레이트들과 함께 승강하는 제1 및 제2 연결플레이트들; 그리고 상기 제1 및 제2 연결플레이트들에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 연결플레이트들의 승강을 안내하는 가이드부재를 포함한다.
상기 핀 플레이트들은 상기 기판의 일변과 나란하게 배치되며, 상기 연결플레이트들은 상기 핀 플레이트들과 수직하게 배치될 수 있다.
상기 기판검사장치는 상기 스테이지에 형성된 복수의 분사홀들에 각각 연결되어 상기 분사홀들에 에어를 공급하는 에어공급라인을 더 포함하며, 상기 분사홀들은 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 향하여 상기 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지로부터 부상시킬 수 있다.
본 발명에 의하면 기판을 스테이지 상에 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 기판의 유동으로 인하여 검사오류가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 3을 참고하여 더 욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
이하에서는 기판을 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다.
한편, 명세서 내용 중 "포함하는", "구비하는", "갖는", "함유하는", "수반하는", 그리고 이와 동등한 의미를 가지는 단어는 기재된 항목과 그 등가물 뿐만 아니라 추가적인 항목도 포함하는 것으로 해석된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 측면도이며, 도 2는 도 1에 도시한 핀 플레이트 및 보조 플레이트를 나타내는 평면도이다. 기판검사장치는 스테이지(10), 리프트 핀(22), 그리고 비전카메라(40)를 포함한다.
스테이지(10)는 기판(S)이 놓여지는 상부면을 가지며, 기판(S)은 스테이지(10)와 대체로 나란하게 배치된다. 스테이지(10)의 상부면에는 확산홈(12)이 형성되며, 확산홈(12) 상에는 복수의 분사홀들(14)이 형성된다. 분사홀들(14)은 에어공급라인(18)에 연결되며, 에어공급라인(18)은 분사홀들(14)에 각각 에어를 공급한다.
에어공급라인(18)을 통해 공급된 에어는 분사홀들(14)을 통해 각각 분사되며, 분사된 에어는 확산홈(12) 상에서 확산되어 스테이지(10)의 상부면에 놓여진 기판(S)을 스테이지(10)의 상부면으로부터 부상시킨다.
또한, 스테이지(10)는 복수의 리프트 핀 홀들(16)을 포함한다. 리프트 핀(22)은 리프트 핀 홀(16) 상에 설치되어 리프트 핀 홀(16)을 통해 승강하며, 스테이지(10) 상에 놓여진 기판(S)을 지지한다. 기판(S)은 반송로봇(도시안함)에 의해 스테이지(10)의 상부로 이동하며, 상승한 복수의 리프트 핀들(22) 상에 놓여진다. 이후, 리프트 핀들(22)은 하강하며, 기판(S)은 스테이지(10)의 상부에 놓여진다.
리프트 핀들(22)은 핀 플레이트(24)에 연결되며, 핀 플레이트(24)는 리프트 핀들(22)과 함께 동시에 승강한다. 이때, 기판(S)의 무게로 인하여 또는 승강하는 과정에서 리프트 핀들(22)이 유동할 수 있다. 리프트 핀들(22)이 유동할 경우, 기판(S)을 안정적으로 지지하기 곤란할 뿐만 아니라, 검사오류의 원인이 될 수 있다.
따라서, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단에 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)를 각각 설치하고, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단이 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)를 따라 각각 승강할 수 있도록 한다. 좌측 가이드부재(26) 및 우측 가이드부재(27)는 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단의 승강을 각각 안내하며, 핀 플레이트(24)의 좌측단 및 우측단이 유동하는 것을 방지한다.
한편, 도 2에 도시한 바와 같이, 복수의 핀 플레이트들(24)은 서로 나란하게 배치되며, 보조플레이트들(25)은 복수의 핀 플레이트들(24)과 수직하게 배치되어 핀 플레이트들(24)을 연결한다. 보조플레이트들(25)은 핀 플레이트들(24)과 동시에 승강한다.
마찬가지로, 보조플레이트(25)가 유동하는 것을 방지하기 위하여 보조플레이트(25)의 상단 및 하단에 상부 보조가이드부재(28) 및 하부 보조가이드부재(29)를 각각 설치하고, 보조플레이트(25)의 상단 및 하단이 상부 보조가이드부재(28) 및 하부 가이드부재(29)를 따라 각각 승강할 수 있도록 한다. 상부 가이드부재(28) 및 하부 가이드부재(29)는 보조플레이트(25)의 상단 및 하단의 승강을 각각 안내하며, 보조플레이트(25)의 상단 및 하단이 유동하는 것을 방지한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 가이드부재(26,27)가 핀 플레이트(24)의 상하방향 유동을 방지하는 반면에, 보조가이드부재(28,29)는 보조플레이트(25)의 좌우방향유동을 방지한다. 따라서, 리프트 핀(22)이 상하좌우방향으로 유동하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 핀 플레이트(24)와 스테이지(10) 사이에 벨로우즈(도시안함)가 설치될 수 있으며, 벨로우즈는 리프트 핀(22)의 하부를 감싸도록 설치된다. 또한, 스테이지(10)는 일방향(예를 들어, 도 1을 기준으로 우측방향)으로 이동하며, 스테이지(10)의 상부에 설치된 비전카메라(40)는 기판(S)을 스캔하여 기판(S) 상에 존재 하는 패턴결함을 촬영한다. 광 조사부(30)는 기판(S)의 표면에 검사용 광원을 조사할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 기판검사장치는 보조플레이트(25)와 대체로 나란한 연결플레이트(251,252)를 더 구비할 수 있다. 연결플레이트(251,252)는 핀 플레이트들(24)과 수직하게 배치되어 핀 플레이트들(24)의 양단을 각각 연결하며, 핀 플레이트들(24)과 동시에 승강한다.
연결플레이트(251,252)는 각각 외측으로 돌출된 돌기(253,254)를 가지며, 돌기(253,254)는 가이드부재(26,27)에 삽입되어 가이드부재(26,27)를 따라 승강한다. 가이드부재(26,27)는 돌기(253,254)의 승강을 각각 안내하며, 이를 통해 연결플레이트(251,252) 및 핀 플레이트들(24)이 유동하는 것을 방지한다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 핀 플레이트 및 보조 플레이트를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판검사장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 스테이지 12 : 확산홈
14 : 분사홀 16 : 리프트 핀 홀
22 : 리프트 핀 24 : 핀 플레이트
25 : 보조플레이트 251 : 연결플레이트
253,254 : 돌기 26,27 : 가이드부재
28,29 : 보조가이드부재 30 : 광조사부
40 : 비전카메라

Claims (7)

  1. 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라;
    상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들;
    상기 스테이지의 하부에 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 핀 플레이트;
    상기 핀 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 핀 플레이트의 승강을 안내하는 가이드부재;
    상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 및
    상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 포함하는 기판검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 상부에 기판이 놓여지며, 상기 기판과 함께 일방향을 따라 이동하는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 설치되며, 상기 일방향을 따라 이동하는 상기 기판을 스캔하는 비전카메라;
    상기 스테이지에 형성된 복수의 리프트 핀 홀들을 통해 승강하여 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀들;
    상기 스테이지의 하부에 서로 나란하게 위치하여 상기 리프트 핀들의 하부를 각각 연결하며, 상기 리프트 핀들과 함께 승강하는 복수의 핀 플레이트들;
    상기 핀 플레이트들의 일단 및 타단을 각각 연결하여 상기 핀 플레이트들과 함께 승강하는 제1 및 제2 연결플레이트들;
    상기 제1 및 제2 연결플레이트들에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 연결플레이트들의 승강을 안내하는 가이드부재;
    상기 핀 플레이트와 수직하게 배치되어 상기 핀 플레이트와 연결되며, 상기 핀 플레이트와 함께 승강하는 보조 플레이트; 및
    상기 보조 플레이트의 일단 및 타단에 각각 연결되어 상기 보조 플레이트의 승강을 안내하는 보조가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 기판검사장치는 상기 스테이지에 형성된 복수의 분사홀들에 각각 연결되어 상기 분사홀들에 에어를 공급하는 에어공급라인을 더 포함하며,
    상기 분사홀들은 상기 스테이지의 상부에 놓여진 상기 기판을 향하여 상기 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지로부터 부상시키는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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