CN109029534B - 用于oled基板的承载测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于OLED基板的承载测量装置，用于OLED基板的承载测量装置包括：底座、承载部件、测量部件，所述承载部件包括连接在所述基座上的承载平台和可滑动地连接于所述承载平台的支撑柱，所述支撑柱可相对于所述承载平台升降；所述测量部件包括测量平台、顶升机构以及测量模块，所述测量模块至少包括膜厚测量模块，所述测量模块设于所述测量平台上，所述测量平台通过所述顶升机构可升降地设于所述底座上，所述测量平台可在顶升位置和落下位置之间升降运动，在所述落下位置所述测量平台至少部分嵌设在所述承载平台内。由此，在减小测量装置占用空间的同时，兼顾承载功能和测量功能，减少了基板从承载平台移动到测量平台的时间。

Description

用于OLED基板的承载测量装置
技术领域
本发明涉及OLED基板的测试技术领域，具体而言，涉及一种用于OLED基板的承载测量装置。
背景技术
相关技术中，用于对玻璃基板的有机发光层的膜层厚度测量的平台与承载平台是分开的，测量过程如下：首先使承载平台承载玻璃基板，通过上方的真空吸附平台对玻璃基板吸附，之后传送到测量平台上面进行测量。这样测量的缺点就是增大了一倍的测量空间，由于需要在充满氮气的腔室内测量，腔室较大，氮气的冲放时间较长，同时再生时候会浪费更多的再生气体。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种用于OLED基板的承载测量装置，在减小测量装置占用空间的同时，兼顾承载功能和测量功能，减少了基板从承载平台移动到测量平台的时间。
根据本发明实施例的用于OLED基板的承载测量装置包括：底座、承载部件、测量部件，所述承载部件包括连接在所述底座上的承载平台和可滑动地连接于所述承载平台的支撑柱，所述支撑柱可相对于所述承载平台升降；所述测量部件包括测量平台、顶升机构以及测量模块，所述测量模块至少包括膜厚测量模块，所述测量模块设于所述测量平台上，所述测量平台通过所述顶升机构可升降地设于所述底座上，所述测量平台可在顶升位置和落下位置之间升降运动，在所述落下位置所述测量平台至少部分嵌设在所述承载平台内。
本发明的用于OLED基板的承载测量装置，通过将承载平台和测量平台集成在一起、实现了承载测量装置的一体化，且使承载部件的支撑柱、测量平台均可伸缩，从而能够在减小测量装置占用空间的同时，兼顾承载功能和测量功能，减少了基板从承载平台移动到测量平台的时间，减少了对测量空间内氮气的充放时间，同时避免浪费再生气体。
在一些实施例中，所述测量平台被构造成在顶升位置可被驱动沿第一方向、第二方向水平移动，其中，所述第一方向、所述第二方向、所述测量平台的升降方向两两垂直。
在一些实施例中，还包括第一导轨，所述第一导轨与所述底座固定连接且所述第一导轨设于所述承载平台和所述底座之间，所述顶升机构的下端沿第一方向可滑动地设于所述第一导轨上，所述顶升机构的上端在所述测量平台的下方与所述测量平台连接。
在一些实施例中，所述第一导轨的个数为多个，多个第一导轨沿纵向间隔设置，所述顶升机构通过纵向连接板可滑动地设于多个第一导轨上，所述连接板具有多个分别与多个第一导轨滑动配合的滑槽。
在一些实施例中，所述顶升机构为气缸，所述顶升机构包括缸体和可伸缩的顶升杆，所述缸体与所述第一导轨滑动配合，所述顶升杆与所述测量平台连接，在所述测量平台处于落下位置时所述顶升机构隐藏在所述测量平台内。
在一些实施例中，还包括第二导轨，所述第二导轨嵌设在所述测量平台的上表面内，所述测量模块沿第二方向可滑动地设于所述第二导轨上。
在一些实施例中，所述测量模块还包括阻抗测量模块和像素移动测量模块，所述阻抗测量模块、所述像素移动模块、所述膜厚测量模块与多个平行设置的第二导轨一一滑动配合。
在一些实施例中，所述承载平台为中空结构且中部形成有与所述测量平台相适配的安装通孔，所述安装通孔的内壁自下向上逐渐向外倾斜，所述测量平台的侧壁与所述安装通孔的内壁斜楔配合。
在一些实施例中，所述承载平台为方框形，所述承载平台的四个边角处设有沉头孔，所述支撑柱与所述沉头孔间隙配合，所述支撑柱的顶部具有与所述沉头孔的沉头部相适配的止挡凸缘。
在一些实施例中，还包括多个驱动件，所述驱动件为驱动电机、液压缸、气缸中的任一种，多个所述驱动件分别与所述支撑柱、所述测量平台连接。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明实施例的承载测量装置的示意图。
图2是根据本发明实施例的承载测量装置的一个工作示意图。
图3是根据本发明实施例的卡夹与基板配合的示意图。
图4是根据本发明实施例的承载测量装置的承载部件的示意图。
图5是根据本发明实施例的承载测量装置的另一个工作示意图。
图6是根据本发明实施例的承载测量装置的剖视示意图。
图7是根据本发明实施例的承载测量装置的俯视示意图。
图8和图10是根据本发明实施例的承载测量装置的工作示意图(沿两个垂直的方向剖切承载测量装置)。
图9是根据本发明实施例的承载测量装置的另一个工作示意图(测量平台左右移动)。
附图标记：
承载测量装置100，真空吸附平台的卡夹201，基板300，
底座10，
承载部件20，承载平台21，安装通孔211，支撑柱22，止挡凸缘221，
测量部件30，测量平台31，顶升机构32，膜厚测量模块33，阻抗测量模块34，连接板35，
第一导轨40，
第二导轨50。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的单元或具有相同或类似功能的单元。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面参考图1至图10描述根据本发明实施例的用于OLED基板300的承载测量装置100。
如图1所示，本发明实施例的用于OLED基板300的承载测量装置100包括：底座10、承载部件20、测量部件30。
如图2至图4所示，承载部件20包括连接在底座10上的承载平台21和可滑动地连接于承载平台21的支撑柱22，支撑柱22可相对于承载平台21升降。也就是说，支撑柱22可伸出承载平台21的上表面或者落入承载平台21内。当支撑柱22上升并伸出承载平台21外时可用于对基板300进行支撑。
测量部件30包括测量平台31、顶升机构32以及测量模块，测量模块至少包括膜厚测量模块33，测量模块设于测量平台31上，测量平台31通过顶升机构32可升降地设于底座10上，测量平台31可在顶升位置和落下位置之间升降运动，在落下位置测量平台31至少部分嵌设在承载平台21内，参见图5所示。这样，在支撑平台将基板300运输到位后支撑柱22落下，之后顶升机构32将测量平台31顶出并靠近基板300以便对基板300的膜厚或者其它指标进行检测。
具体地，膜厚测量模块33可以是椭偏仪，以用于检测OLED基板300的有机发光层的膜层厚度。
本发明的用于OLED基板300的承载测量装置100，通过将承载平台21和测量平台31集成在一起、实现了承载测量装置100的一体化，且使承载部件20的支撑柱22、测量平台31均可升降，从而能够在减小测量装置占用空间的同时，兼顾承载功能和测量功能，减少了基板300从承载平台21移动到测量平台31的时间，减少了对测量空间内氮气的充放时间，同时避免浪费再生气体。
在一些实施例中，测量模块被构造成在顶升位置相对于底座10沿第一方向、第二方向水平移动，其中，第一方向、第二方向、测量平台31的升降方向两两垂直。具体地，第一方向可以是测量平台31的长度方向，第二方向可以是测量平台31的宽度方向。由此，测量模块的水平位置可以任意调节以对基板300的不同位置的膜厚进行检测。
可以理解的是，测量模块可以被直接驱动相对于测量平台31沿第一方向和/或第二方向移动，测量模块还可以仅沿一个方向移动，在另一个方向上的移动通过随测量平台31一起移动实现。
进一步地，测量装置还可以包括多个驱动件，驱动件为驱动电机、液压缸、气缸中的任一种，多个驱动件分别与支撑柱22、测量平台31连接。由此，能够通过驱动件驱动支撑柱22的升降、测量平台31的升降以及水平移动。
如图6和图7所示，承载测量装置100还包括第一导轨40，第一导轨40与底座10固定连接且第一导轨40设于承载平台21和底座10之间，顶升机构32的下端沿第一方向可滑动地设于第一导轨40上，顶升机构32的上端在测量平台31的下方与测量平台31连接。
由此，测量平台31可被驱动件驱动沿第一导轨40滑动，以带动集成在测量平台31上的测量模块一起运动，从而实现了对测量位置在第一方向上的调节。
具体地，如图7和图8所示，第一导轨40的个数为多个，多个第一导轨40沿纵向间隔设置，顶升机构32通过纵向连接板35可滑动地设于多个第一导轨40上，连接板35具有多个分别与多个第一导轨40滑动配合的滑槽。
由于基板300通常通过真空吸附平台进行吸附，以在测量时使基板300处于悬空固定的状态，为此，可以将顶升机构32的驱动件设置为气动驱动件，如气缸，这样顶升机构32能够与真空吸附平台共用气源，操作方便、快捷、相对于电动驱动节约了成本。
当将顶升机构32设计为气缸时，顶升机构32包括缸体和可伸缩的顶升杆，缸体与第一导轨40滑动配合，顶升杆与测量平台31连接。为了进一步减小整个承载测量装置100的高度，使承载测量装置100的结构更紧凑，可以在测量平台31处于落下位置时将顶升机构32隐藏在测量平台31内。换言之，测量平台31的下部可以设有用于容纳顶升机构32的容纳空间，以避免顶升机构32额外增大承载测量装置100的整体高度。
如图9和图10所示，承载测量装置100还包括第二导轨50，第二导轨50嵌设在测量平台31的上表面内，测量模块沿第二方向可滑动地设于第二导轨50上。由此，测量模块能够被驱动件驱动沿第二导轨50移动，以实现在第二方向上检测位置的调节。
测量模块的种类和数量均可以有多种，具体地，测量模块还可以包括阻抗测量模块34和像素移动测量模块，阻抗测量模块34、像素移动模块、膜厚测量模块33与多个平行设置的第二导轨50一一滑动配合。其中，阻抗测量模块34可用于检测基板300的电阻，像素移动模块可用于检测基板300上的像素迁移。当然阻抗测量模块34以及像素移动测量模块也可以被设置成卡在测量平台31上移动，以在控制测量平台31沿第一方向运动并与基板300对位后，能够继续调整各个测量模块的位置，以便于检测多个位置的参数，便于提高数据采集的多样性和准确性。
当测量模块测量完毕后需要复位时，控制测量平台31水平运动到中心位置，之后控制升降顶盖带动测量平台31下落。为进一步增强承载平台21与测量平台31集成的紧凑性，可以采用以下设计：承载平台21为中空结构且中部形成有与测量平台31相适配的安装通孔211，安装通孔211的内壁自下向上逐渐向外倾斜，测量平台31的侧壁与安装通孔211的内壁斜楔配合。这样，通过斜楔配合使得承载平台21在测量平台31处于落下位置时能够对测量平台31提供稳定的支撑力。
支撑柱22上还可以设置止挡件以为支撑件提供定位，具体地，在图2和图4所示的具体实施例中，承载平台21为方框形，承载平台21的四个边角处设有沉头孔，支撑柱22与沉头孔间隙配合，支撑柱22的顶部具有与沉头孔的沉头部相适配的止挡凸缘221。
下面参照图1至图10描述根据本发明一个具体实施例的承载测量装置100的工作过程。
如图2所示，当机械手臂将玻璃基板300送到承载平台21后，通过支撑柱22将玻璃基板300送到真空吸附平台上进行吸附，同时支撑柱22通过马达驱动降落到与承载平台21同一水平度。
测量开始时，可以通过驱动测量平台31及上部吸附平台移动以进行左右前后对位测量膜厚，同时在测量模块设置测量膜层阻抗(RS)的四探针模块。
支撑柱22的直径可以是2cm，设计承载平台21对应支撑柱22的穿梭孔洞直径可以是2.5cm，这样，支撑柱22与承载平台21之间具有间隙，以保证在支撑柱22上下抬举玻璃基板300时，不与承载平台21发生干涉。
如图3所示，当玻璃基板300被真空吸附平台吸附后，真空吸附平台的四周的卡夹201夹紧玻璃基板300，以固定及防止掉真空时候玻璃掉落下来。
如图4所示，在玻璃基板300吸附到真空吸附平台后，支撑柱22回落到测量平台31的穿梭孔中。
如图6所示，当测量膜厚时，测量模块(如膜厚测量模块33的测量头)从机台中间位置升起到离测量平台310.5cm处停下来。然后进行对位。当测量阻抗时，阻抗测量模块34升起与玻璃基板300进行接触测量。
如图7和8所示，测量模块与承载模块以楔形镶嵌方式配合。底座10位于腔室底部，左右运行的第一导轨40位于底座10的上部，第一导轨40位于承载平台21的顶升机构32与底座10之间，第一导轨40有两个轨道。测量模块需要左右运动时，可以通过第一导轨40带动测量模块移动。
当测量时，驱动器可以通过联轴器驱动顶升机构32运动，进而使测量平台31下降，测量模块位于上部。
如图9所示，需要左右移动时，驱动测量平台31相对于第一导轨40左右运动，实现不同位置的测量。
如图10所示，需要前后移动时，阻抗模块与测量模块可以分别被驱动沿各自的第二导轨50前后运动，同时可以结合第一导轨40，可以实现测量上部真空吸附平台的玻璃基板300的任意位置的阻抗及膜厚。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构或单元必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，包括：
底座；
承载部件，所述承载部件包括连接在所述底座上的承载平台和可滑动地连接于所述承载平台的支撑柱，所述支撑柱可相对于所述承载平台升降；以及
测量部件，所述测量部件包括测量平台、顶升机构以及测量模块，所述测量模块至少包括膜厚测量模块，所述测量模块设于所述测量平台上，所述测量平台通过所述顶升机构可升降地设于所述底座上，所述测量平台可在顶升位置和落下位置之间升降运动，在所述落下位置所述测量平台至少部分嵌设在所述承载平台内。
2.根据权利要求1所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述测量模块被构造成在顶升位置相对于所述底座沿第一方向、第二方向水平移动，其中，所述第一方向、所述第二方向、所述测量平台的升降方向两两垂直。
3.根据权利要求2所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，还包括第一导轨，所述第一导轨与所述底座固定连接且所述第一导轨设于所述承载平台和所述底座之间，所述顶升机构的下端沿第一方向可滑动地设于所述第一导轨上，所述顶升机构的上端在所述测量平台的下方与所述测量平台连接。
4.根据权利要求3所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述第一导轨的个数为多个，多个第一导轨沿纵向间隔设置，所述顶升机构通过纵向连接板可滑动地设于多个第一导轨上，所述连接板具有多个分别与多个第一导轨滑动配合的滑槽。
5.根据权利要求4所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述顶升机构为气缸，所述顶升机构包括缸体和可伸缩的顶升杆，所述缸体与所述第一导轨滑动配合，所述顶升杆与所述测量平台连接，在所述测量平台处于落下位置时所述顶升机构隐藏在所述测量平台内。
6.根据权利要求2所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，还包括第二导轨，所述第二导轨嵌设在所述测量平台的上表面内，所述测量模块沿第二方向可滑动地设于所述第二导轨上。
7.根据权利要求6所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述测量模块还包括阻抗测量模块和像素移动测量模块，所述阻抗测量模块、所述像素移动测量 模块、所述膜厚测量模块与多个平行设置的第二导轨一一滑动配合。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述承载平台为中空结构且中部形成有与所述测量平台相适配的安装通孔，所述安装通孔的内壁自下向上逐渐向外倾斜，所述测量平台的侧壁与所述安装通孔的内壁斜楔配合。
9.根据权利要求8所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，所述承载平台为方框形，所述承载平台的四个边角处设有沉头孔，所述支撑柱与所述沉头孔间隙配合，所述支撑柱的顶部具有与所述沉头孔的沉头部相适配的止挡凸缘。
10.根据权利要求1-7中任一项所述的用于OLED基板的承载测量装置，其特征在于，还包括多个驱动件，所述驱动件为驱动电机、液压缸、气缸中的任一种，多个所述驱动件分别与所述支撑柱、所述测量平台连接。
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